CN102428552A - 卡匣 - Google Patents

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Abstract

提供能简便地密闭和打开底面的卡匣结构。收纳基板(40)的卡匣(100)具备：卡匣主体部(10)，其在内部配置基板(40)；卡匣开口部(12)，其形成于卡匣主体部(10)的侧面；底面开口部(14)，其形成于卡匣主体部(10)的底面；底板(20)，其封堵底面开口部(14)；支撑棒(30)，其支撑底板(20)的下面；以及底板按压部(22)，其按压由支撑棒(30)支撑的底板(20)的周缘部的上面。

Description

卡匣
技术领域
本发明涉及收纳基板的卡匣，特别是涉及收纳在平板显示器(例如，液晶面板)的制造方法中使用的薄型基板(例如，玻璃基板)的卡匣。
此外，本申请要求基于2009年5月20日提出申请的日本专利申请2009-121567号的优先权，该申请的全部内容被引入到本说明书中作为参照。
背景技术
作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对玻璃基板在确保规定空隙的状态下相对的结构。伴随着液晶面板的大型化、批量化生产，液晶面板用的玻璃基板逐年大型化。在搬运这样的第二代大型液晶玻璃基板的基板搬运系统中，使用收纳多层液晶玻璃基板的收纳卡匣(例如，专利文献1～3等)。
收纳玻璃基板的收纳卡匣使用于如下情况：在净化间内的制造工序中从液晶面板制造装置的载置部向别的制造装置的载置部搬运或者保管玻璃基板。另外，收纳卡匣也使用于如下情况：在液晶面板制造装置的载置部与卡匣保管库的保管部之间搬运/保管玻璃基板。
在净化间内的气氛中，确保了充分的空气清洁度，但有时在搬运/保管收纳卡匣时从操作者、地板面等飞散的灰尘等异物附着于基板表面，或者处理基板时的有机气体等的雾在净化间内漂浮而附着于基板表面。并且，在异物、雾附着的状态下对基板进行工艺处理时，液晶面板的质量有可能降低。因此，玻璃基板以在收纳卡匣中被遮蔽的状态进行搬运/保管，以使得异物等不附着。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开平9-115997号公报
专利文献2：特开2005-142480号公报
专利文献3：特开2005-145628号公报
发明内容
发明要解决的问题
伴随着近年来的玻璃基板的大型化，在搁片伸出形式的收纳卡匣中，支撑玻璃基板的搁片的面积小，因此在收纳大型的玻璃基板的情况下，有时由于其重量而在玻璃基板上产生变形。因此，这种形式的收纳卡匣不能使用于大型的玻璃基板。
因此，最近在收纳/搬运大型的玻璃基板的情况下，为了抑制这种变形，有时使用在收纳卡匣的内壁前后并列地配置多层线的线卡匣。
但是，在使用线卡匣收纳/搬运玻璃基板的情况下，在线卡匣的下面具有用于插入辊式输送机的开口部，因此不能确保密闭性。在将收纳了玻璃基板的线卡匣始终放置于净化间的情况下，线卡匣的下面不密闭的方面的问题少，但就搬运玻璃基板这方面而言，有时不能总是仅在净化间中使用线卡匣。在这种状况中，能简单密闭线卡匣的底面的开口的结构能在技术上提供较大的价值。
本发明是鉴于这样的方面完成的，其主要目的在于提供能简便地使底面密闭的卡匣结构。
用于解决问题的方案
本发明的卡匣是收纳基板的卡匣，具备：卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的侧面，用于取放上述基板；底面开口部，其形成于上述卡匣主体部的底面；底板，其封堵上述底面开口部；支撑棒，其支撑上述底板的下面；以及底板按压部，其按压由上述支撑棒支撑的上述底板的周缘部的上面。
在某优选的实施方式中，上述支撑棒配置在位于上述底面开口部的下方的载置台。
在某优选的实施方式中，形成有密闭构件，所述密闭构件密闭上述底板按压部与上述底板之间的间隙。
在某优选的实施方式中，上述密闭构件是形成于上述底面按压部的下面的弹性构件。
在某优选的实施方式中，上述底面按压部以沿上述卡匣主体部的内壁一周的方式形成。
在某优选的实施方式中，上述支撑棒设有多根，在上述底板的下方区域，在上述支撑棒之间的空间插入使上述卡匣主体部升降的升降臂。
在某优选的实施方式中，在上述卡匣主体部的内部排列着多根线，上述基板是玻璃基板，上述玻璃基板由上述线支撑，在上述底面开口部插入使上述玻璃基板移动的基板搬运装置。
发明效果
根据本发明的卡匣，因为具备在卡匣主体部的底面形成的底面开口部、封堵底面开口部的底板、支撑底板的下面的支撑棒、按压底板的周缘部的上面的底板按压部以及密闭构件，所以能提供可简便地密闭和打开底面的卡匣结构。
附图说明
图1是本发明的实施方式的线卡匣100的立体图。
图2是示出本发明的实施方式的线卡匣100的侧面构成的截面图。
图3是将包含密闭构件24的底板按压部22和底板20的周边放大的图。
图4(a)和(b)是分别示出底板按压部22的周边的立体图。
图5是说明将线卡匣100的底面开口部14打开的步骤的截面图。
图6是说明将卡匣主体部10以密闭状态搬运的步骤的截面图。
图7是说明将卡匣主体部10以密闭状态搬运的步骤的截面图。
图8是用于说明从线卡匣100搬出基板40的步骤的截面图。
图9是用于说明从线卡匣100搬出基板40的步骤的截面图。
图10是比较例的线卡匣1100的截面图。
图11是比较例的线卡匣1200的截面图。
图12是示出线卡匣100的变更例的侧面构成的截面图。
具体实施方式
下面一边参照附图一边说明本发明的实施方式。在下面的附图中，为了说明的简洁化，用相同的附图标记表示实质上具有相同功能的构成要素。此外，本发明不限于下面的实施方式。
首先，一边参照图1至图4一边对本发明的实施方式的线卡匣100进行说明。
图1是示意性示出本实施方式的线卡匣100的整体构成的立体图。本实施方式的线卡匣100是通过由线支撑基板40而能收纳基板40的收纳卡匣。此外，在图1中，线未图示。另外，箭头50表示重力方向(垂直方向)。
本实施方式的基板40是例如液晶面板用的玻璃基板。该玻璃基板40既可以是切制成液晶面板的尺寸前的母玻璃，也可以是切制后的液晶面板的尺寸的玻璃。而且，玻璃基板40既可以是制成薄膜晶体管(TFT)的阵列基板(或者其制作中途的)，也可以是形成彩色滤光片(CF)的CF基板(或者其制作中途的)。
另外，基板40除了可以是玻璃基板外，也可以是晶片这样的其它薄板。而且，不限于液晶面板用的基板40，也可以是在制作PDP、有机EL面板、其它的平板显示器时采用的薄型基板(不限于玻璃，能以片状保管于线卡匣中即可)。
本实施方式的线卡匣100包括：卡匣主体部10；卡匣开口部12，其形成于卡匣主体部10的侧面；底面开口部14，其形成于卡匣主体部10的底面；以及底板20，其封堵底面开口部14。在卡匣主体部10的内部能配置基板40。另外，从卡匣开口部12能取放基板40。此外，在卡匣开口部12能配置封堵其开口的板(未图示)。
在卡匣主体部10的下部设有封堵底面开口部14的底板20。在底板20的下方配置有支撑底板20的下面的支撑棒30。另外，由支撑棒30支撑的底板20的周缘部的上面被形成于卡匣主体部10的内壁上的底板按压部22按压。此外，虽然图1未示出，但在底板按压部22与底板20之间设有封堵其间隙的密闭构件(24)。
图2是示意性示出本实施方式的线卡匣100的侧面构成的截面图。在图2所示的例子中，在卡匣主体部10的内部排列着支撑基板40的线60。具体地，由多根线60支撑一张基板40，该多根线60排列成多层。通过将线60排列成多层，能在卡匣主体部10的内部收纳多层玻璃基板40。
在该例子中，收纳4层基板40，但基板40的收纳张数与线60的层数对应，能适当设定合适的该层数。另外，线60在卡匣主体部10的内部的相对的壁面(内壁)之间被拉伸，由其张力支撑基板40。
此外，在卡匣主体部10的底面所形成的底面开口部14中插入取放基板40的辊式输送机(未图示)。辊式输送机具有从线60之间与基板40接触并且从卡匣开口部12取出基板40的功能。并且，在底面开口部14设有封堵其开口的底板20。此外，作为用于从卡匣主体部10取出基板40的基板搬运装置，除了辊式输送机外，也能使用例如气浮式输送机，该气浮式输送机具有能利用空气使基板40上浮而移动的结构。
支撑棒30是从地上起延伸的棒状构件。支撑棒30的顶端支撑底板20，支撑棒30的底部固定于地面侧。支撑棒30为了稳定地支撑底板20而设有多根，在一个例子中，在底板20的下方区域排列成行列状。此外，如果能适当地支撑底板20，则支撑棒30的排列不但可以是其间隔均等的排列，也可以是其间隔不均等的排列。
在本实施方式中，支撑棒30配置在位于底面开口部14的下方的载置台32。载置台32是例如设置在制造工厂内的线卡匣用的底座、或者搬运线卡匣的搬运车辆的货架。在本实施方式的载置台32上形成有凹部33，支撑棒30从凹部33的底面34A起在垂直方向延伸。即，支撑棒30的高度以载置台32的凹部底面34A为基准，与底板按压部22的底面位于的高度(或者，密闭构件24位于的高度)对应地被决定。另外，在凹部33不位于的载置台32的上面34B承载卡匣主体部10的下端15。
支撑棒30包含例如金属材料。另外，支撑棒30的形状是例如圆柱，其直径是例如10mm程度。但是，支撑棒30的形状不受限定，如果可适当地支撑底板20，也可以是其它形状(例如，棱柱)。支撑棒30的顶端弄圆以使得不损伤底板20的底面，而且可以安装树脂等干扰材料。此外，在此，列举假设液晶面板用的玻璃基板40的尺寸是3m×3m程度的情况时的例子，但各尺寸能根据条件适当变更。
另外，底板20被设于卡匣主体部10的内壁上的底板按压部22按压。形成有封堵底板按压部22与底板20之间的间隙的密闭构件24。在本实施方式的构成中，在底板按压部22的下面形成有密闭构件24，但也可以在底板20的上面形成密闭构件24。
图3是将包含密闭构件24的底板按压部22和底板20的周边放大的图。如图3所示，底板20被支撑棒30从下方上推，另一方面，隔着密闭构件24由底板按压部22挡住。由于支撑棒30的上推而产生的变形由密闭构件24吸收，因此，能封堵底板按压部22与底板20之间的间隙。优选密闭构件24是具有缓冲性的弹性构件(例如，橡胶、树脂、弹性体)。
另外，如果能封堵底板按压部22与底板20之间的间隙，密闭构件24也可以作为与底板按压部22独立的构件而形成。例如，密闭构件24可以作为以覆盖底板按压部22的至少底面的方式包覆的涂层构件而存在。另外，密闭构件24也可以作为至少覆盖底板20的周缘部的上面的涂层部而存在。此外，底板20的周缘部是位于底板按压部22下方的区域。
图4(a)是将底板按压部22的局部放大的立体图。底板按压部22从卡匣主体部10的内壁10a朝向中央延伸。底板按压部22包含例如金属，在一个例子中可以包含与卡匣主体部10的一部分的材料相同的材料。图4(a)所示的例子中，底板按压部22的宽度W1是50mm～60mm程度，底板按压部22的厚度T1是2mm～3mm程度。
在底板按压部22的下面的局部形成有密闭构件24。在该例子中，密闭构件24是长条状的细长延伸的线状构件，例如，密闭构件24的截面是矩形。密闭构件24的宽度W2是20mm程度，密闭构件24的厚度T2是5mm程度。此外，密闭构件24的截面不限于矩形，如果是能封堵底板按压部22与底板20之间的间隙，可以是大致半圆形(半圆形、半椭圆系列、半长圆形)，也可以是梯形。
另外，在图示的例子中，密闭构件24的形成位置比底板按压部22的下面的中央(宽度W1的一半的位置)更靠内侧，但密闭构件24也可以形成于底板按压部22的中央的位置，或者也可以形成于比底板按压部22的中央的位置更靠外侧(内壁10a侧)。另外，也能在底板按压部22的下面的整个面(或者大致整个面)形成密闭构件24。
本实施方式的底板按压部22以沿卡匣主体部10的内壁10a一周的方式形成。在该例子中，长条状的细长延伸的密闭构件24也同样以沿一周的方式形成。因此，如图4(b)所示，当在底板按压部22的下面隔着密闭构件24按压底板20时，能利用底板20封堵底面开口部14，而且，能利用密闭构件24封堵底板按压部22与底板20之间的间隙。这样，利用本实施方式的构成，能隔断卡匣主体部10的内部与外界气体(空气)。
此外，在图4(b)所示的例子中，底板20包含金属(例如，铝)，在一个例子中，也可以包含与卡匣主体部10的一部分(和/或底板按压部22)的材料相同的材料。另外，底板20的厚度T3是例如2mm～3mm程度。此外，在底板20产生的挠曲较大的情况下，也能在底板20的上部的至少一部分(例如，在底板20的除周缘区域以外的部分)设置加强件(例如，L字角材)。
在本实施方式的构成中，底板20按压于底板按压部22的密闭构件24，但底板20和密闭构件24相互未通过粘接等而一体化。具体地，底板20只不过利用基于卡匣主体部10的重量的作用于底板按压部22下方的力和从地上(载置台32)侧延伸的支撑棒30的作用于上方的力进行固定。因此，底板20将卡匣主体部10向上方抬起，成为载置于支撑棒30上的状态，因此，卡匣主体部10的底面开口部14简单地打开。
本实施方式的卡匣主体部10具有箱形形状。例如，能利用框架结构制作卡匣主体部10的边的部分，利用板结构制作卡匣主体部10的面的部分。在该情况下，框架结构的部分能包含金属(例如，铝、铁、不锈钢等)，板结构的部分能包含树脂板、金属板(例如，铝板)等。
在图1和图2所示的构成例中，卡匣主体部10的骨架具有框架结构，并且，卡匣主体部10的侧面(左面/右面)11A和上面11B由板结构例如，金属板)覆盖。在该例子中，卡匣开口部12形成于卡匣主体部10的前面，但也可以形成于前面并且形成于后面。在卡匣主体部10的前面和后面两者形成卡匣开口部12的情况下，能从前后两者取放基板40。
此外，不必在除卡匣开口部12以外的卡匣主体部10的所有侧面设置板。例如，即使是在卡匣主体部10的侧面没有板的状态下设有底板20的构成，也能得到如下效果：抑制承载卡匣主体部10的卡匣搬运车行驶时空气(灰尘)缭绕上升。
在卡匣主体部10的形成于侧面的卡匣开口部12能设置用于封堵其开口的封闭板。此外，如果是能封堵卡匣开口部12的构成，封闭板能取各种构成。而且，如上所述，即使是不设置封闭板的构成，也能得到基于设置本实施方式的底板20的效果。
接着，一边参照图5一边对从本实施方式的线卡匣100拆卸底板20打开底面开口部14的步骤进行说明。
首先，从图2所示的状态使卡匣主体部10上升。底板20并不是与卡匣主体部10(特别是底板按压部22和密闭构件24)成为一体，所以如图5所示，从底面开口部14拆卸底板20，底面开口部14从密闭状态变成打开状态。卡匣主体部10能利用例如另外设置的升降装置进行上升。
接着，一边参照图6和图7一边对在卡匣主体部10的底面开口部14实质上保留有底板20的状态下搬运线卡匣100的步骤进行说明。
首先，如图6所示，在底板20的下方且位于支撑棒30之间的空间37插入使卡匣主体部10升降的升降臂35。此外，在图1中，在卡匣主体部10的下部形成有用于插入升降臂35的臂插入开口部31，也能根据线卡匣100的构成适当设置臂插入开口部31。
接着，如图7所示，当一边由升降臂35支撑卡匣主体部10的下端15一边使升降臂35上升时，底板20从支撑棒30离开，能在底板20实质上封堵底面开口部14的状态下使卡匣主体部10上升。另外，在为升降臂35也能在水平方向(前后/左右)移动的构成的情况下，能在实质上由底板20封堵的状态下利用升降臂35也在水平方向搬运卡匣主体部10。
如果将利用升降臂35向上抬起的卡匣主体部10放置于形成有支撑棒30的载置台32上，能在由底板20封堵的状态下保管卡匣主体部10。升降臂35的结构或者数量只要是能使卡匣主体部10稳定地升降或者搬运即可。另外，位于支撑棒30之间的空间37(支撑棒30之间的空间)只要是能插入升降臂35的空间即可，所以无论宽的窄的均可。
接着，一边参照图8和图9一边对从本实施方式的线卡匣100搬出基板40的步骤进行说明。
如图8所示，在打开底面开口部14的状态下使卡匣主体部10往下，将辊式输送机61插入到底面开口部14内。此外，固定卡匣主体部10，使辊式输送机61往上，由此也能将辊式输送机61插入到底面开口部14内。此外，在本实施方式中，作为基板搬运装置例示了辊式输送机61，但不限于此，也能使用其它装置(例如，气浮式输送机)。
接着，图9所示，使辊式输送机61上升，在线60之间通过，使辊式输送机61和基板40接触，接着，利用辊式输送机61抬起基板40。接着，在使基板40和线60分离的状态下使辊式输送机61的辊部旋转，使基板40在水平方向移动。由此，基板40从卡匣开口部12被取出，移动到位于线卡匣100外的搬运装置64上。然后，基板40被供给需要的工序，或者被保管于需要的场所。
当最下层的基板40的取出结束时，接着，执行其上方的基板40的取出。具体地，使辊式输送机61进一步上升，在线60之间通过，使该辊式输送机61的辊部旋转，从卡匣开口部12取出基板40(倒数第二基板40)。依次地反复进行该工序，完成所有层的基板40的取出。
根据本实施方式的线卡匣100，具备在卡匣主体部10的底面形成的底面开口部14、封堵底面开口部14的底板20、支撑底板20的下面的支撑棒30、按压底板20的周缘部的上面的底板按压部22以及密闭构件24，所以能实现可简便地密闭和打开底面开口部14的线卡匣结构。
在能利用这样的简便结构进行底面开口部14的密闭和打开时，即使不将线卡匣100始终放置于净化间，也能根据需要用底板20密闭底面开口部14，将线卡匣100移动到净化间外。由此，在净化间外搬运/保管基板40也变得容易，能大幅减少涉及净化间的工厂(例如，液晶面板制造工厂)的设备成本。
在此，对本实施方式的线卡匣100和其它的线卡匣(比较例)进行比较、研讨。除本实施方式中的由底板20封堵底面开口部14的构成以外，也能考虑如下构成。
图10示出具备滑动式结构的底面盖120的线卡匣1100(比较例)，底面盖120具备滑动部125。此外，在图10所示的线卡匣1100中，由前面盖115覆盖取放基板40的卡匣开口部112。
在卡匣主体部110的底面开口部114设有滑动结构(滑动部)125。并且，封堵底面开口部114的底面盖120一边利用滑动结构125滑动一边进行水平动作(箭头54)。在该情况下，在收纳有基板40的卡匣主体部110的内部的附近，该滑动结构125成为灰尘产生源。因此，在此不适于在净化间中使用。
另外，图11示出底面盖121具有门开闭结构127的方式的线卡匣1200。在具有图11所示的门开闭结构127的线卡匣1100的情况下，需要在底面盖121的开闭中确保转动空间(56)，因此，成为需要较多的占有面积的卡匣。因此，在该构成中，不会成为具有占有面积小的开闭结构的线卡匣。
如上所述，与本实施方式的线卡匣100比较，线卡匣1100和1200均具有缺点，难以在结构上解决该缺点。另一方面，本实施方式的线卡匣100能避免那样的缺点。另外，在比较例的线卡匣1100和1200中，在开闭底面盖(120、121)的方面必须安装独立的机构(125、127)，与此相对，在本实施方式的线卡匣100中，即使不安装那样的独立的机构，也能利用卡匣主体部10的升降动作简便地执行卡匣主体部10的底面开口部14的开闭。在该方面，本实施方式的构成也在技术上具有较大的价值。
而且，在本实施方式的线卡匣100中，在底面开口部14的开闭中，能实现占有空间小的结构。即，在图10所示的线卡匣1100的情况下，需要用于使底面盖120活动的占有空间(水平方向54的空间)。并且，在图11所示的线卡匣1200的情况下，为了使底面盖121活动，在卡匣主体部110的下方需要较大的空间，由此也妨碍辊式输送机的动作。
另一方面，根据本实施方式的线卡匣100，线卡匣100的底板20是载置于支撑棒30上的状态或者封堵底面开口部14的状态中的任一种，所以能简化线卡匣100的底面的周围。因此，根据本实施方式的构成，能实现占有空间小的结构。
上面利用优选的实施方式说明了本发明，但这样的记述不是限定事项，当然能进行各种变更。
例如，优选卡匣主体部10的底面开口部14由底板按压部22以及密闭构件24和底板20完全封堵，但即使具有少量一部分未被封堵的部位，而如果成为外界气体(空气)难以向卡匣主体部10的内部侵入的结构，则仅此也具有技术上的价值。另外，即使是拆卸密闭构件24而利用底板按压部22和底板20封堵底面开口部14的方式，也会抑制外界气体的侵入，所以充分具有技术上的价值。而且，即使底板按压部22未遍及底板20的周缘部的全周进行按压，但通过在例如在多个位置按压底板20的周缘部的上面，也能得到抑制外界气体侵入的效果。
另外，底板按压部22从卡匣主体部10的内壁延伸，但不必使底板按压部22的一部分直接接触卡匣主体部10的内壁。即，也可以在卡匣主体部10的内壁与底板按压部22的一部分之间隔着其它构件在卡匣主体部10的内壁设有底板按压部22。另外，在密闭构件24的至少表面使用摩擦度高的材料(例如，树脂)的情况下，也能得到抑制由于线卡匣100的搬运加速、振动而使底板20偏移的效果。而且，在本实施方式中，对能利用多根线收纳基板40的线卡匣的构成例进行了说明，但本实施方式的技术不限于线卡匣，也能应用于利用线以外的构件收纳基板40的基板收纳卡匣(例如，搁片伸出形式的收纳卡匣)。
而且，支撑底板20的下面的支撑棒30不限于配置在图2所示的载置台32的构成，可以是其它构成。例如，如图12所示，也能设成在升降臂35的上面配置支撑棒30a的构成，由该支撑棒30a支撑底板20。在图12所示的构成的情况下，能一边由升降臂35支撑卡匣主体部10一边利用支撑棒30a使底面20与密闭构件24接触，因此能封堵底面开口部14。另外，关于支撑底板20的下面的部位，也能省略配置在载置台32的支撑棒30而利用升降臂35的支撑棒30a来构建。而且，作为用于在卡匣主体部10下设置凹部33的容积提高结构，不限于图2所示的具有凹部33的载置台32的结构，也可以设成如下结构：在卡匣主体部10侧设置确保用于设置凹部33的高度的构件。
工业上的可利用性
根据本发明，能提供能简便地密闭和打开底面的卡匣结构。
附图标记说明
10卡匣主体部
10a内壁
12卡匣开口部
14底面开口部
20底板
22底板按压部
24密闭构件
30支撑棒
31臂插入开口部
32载置台
35升降臂
40基板
60线
61辊式输送机
64搬运装置
100线卡匣
1100、1200线卡匣

Claims (7)

1.一种卡匣，其收纳基板，具备：
卡匣主体部，其在内部配置基板；
卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的侧面，用于取放上述基板；
底面开口部，其形成于上述卡匣主体部的底面；
底板，其封堵上述底面开口部；
支撑棒，其支撑上述底板的下面；以及
底板按压部，其按压由上述支撑棒支撑的上述底板的周缘部的上面。
2.根据权利要求1所述的卡匣，上述支撑棒配置在位于上述底面开口部的下方的载置台。
3.根据权利要求1或2所述的卡匣，形成有密闭构件，上述密闭构件密闭上述底板按压部与上述底板之间的间隙。
4.根据权利要求3所述的卡匣，上述密闭构件是形成于上述底面按压部的下面的弹性构件。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的卡匣，上述底面按压部以沿上述卡匣主体部的内壁一周的方式形成。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的卡匣，其特征在于，
上述支撑棒设有多根，
在上述底板的下方区域，在上述支撑棒之间的空间插入使上述卡匣主体部升降的升降臂。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的卡匣，
在上述卡匣主体部的内部排列着多根线，
上述基板是玻璃基板，
上述玻璃基板由上述线支撑，
在上述底面开口部插入使上述玻璃基板移动的基板搬运装置。
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