CN201689279U - 母版存放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种母版存放装置，其包括：一个或多个洁净盒子(1)，其尺寸适于存放母版(7)；框体(13)，为密封的长方体结构，框体(13)底部平行布置有一个或多个固定架(8)，一个或多个洁净盒子(1)在框体(13)内部分别固定于相应的固定架(8)上，并且框体(13)具有一个可打开的开口面，以便取放洁净盒子(1)；以及空气过滤器(10)，设置在框体(13)的内表面上。本实用新型所提供的母版存放装置可以很好地保护母版玻璃，防止母版玻璃变形影响图形的尺寸，同时能够保证母版不被灰尘污染，此外使用该母版存放装置取放母版非常方便。

Description

母版存放装置

技术领域

本实用新型涉及母版(mask，掩模)存放装置，且具体地，涉及平板显示屏制作用母版的存放装置。

背景技术

在等离子显示屏等平板显示器件的制作中现在主流的工艺技术为光刻方法。光刻方法采用大型曝光机对产品进行曝光作业，然后进行显影、烧结等工序的制作。随着技术水平的不断发展及成本不断降低的要求，厂商都采用多面取进行制作，同时使用的母版尺寸也在变大。

在生产线上，曝光机用母版是直接存放在曝光机本身的框架上的，每台曝光机都是针对单一的图形设计的，由于曝光机设计的限制最多存放五个母版。现代化的生产线，产品品种兼容能力比较强，产品的更新换代也比较快，母版的使用量也远远超过曝光机设备里面存储的数量，对于曝光机里面存放不下的母版的储存成为一个问题。对于要存放的母版要保证母版的洁净度、温度、变形量等各种因素。

实用新型内容

本实用新型正是致力于克服现有技术的上述问题而作出的。本实用新型的目的在于提供一种母版存放装置，要求该装置能够可靠存放大尺寸的母版。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种母版存放装置，特别地，该装置包括：一个或多个洁净盒子，其尺寸适于存放母版；框体，为密封的长方体结构，框体底部平行布置有一个或多个固定架，一个或多个洁净盒子在框体内部分别固定于相应的固定架上，并且框体具有一个可打开的开口面，以便取放一个或多个洁净盒子；以及空气过滤器，设置在框体的内表面上。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，开口面为框体的一个侧面，并且一个或多个固定架能够从开口面滑出。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，每个固定架的两侧均设置有滑动轨道，并且框体上设置有与滑动轨道相配合的固定轨道。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，固定轨道为滑杆，滑杆一端固定至框体的与开口面相对的侧面，另一端固定并支撑于框体的底部，以及滑动轨道为与滑杆相配合的滑槽。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，固定架的前端还设置有滑轮。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，一个或多个洁净盒子中的每个洁净盒子均包括：第一盖，其内部周边设置有第一支撑边，第一盖与第一支撑边之间设置有缓冲垫；第二盖，与第一盖相对，其内部周边设置有第二支撑边，第二盖与第二支撑边之间设置有缓冲垫；以及锁定装置，锁定第一盖和第二盖，被锁定的第一盖和第二盖构成密闭空间，其中，第一支撑边和第二支撑边闭合时共同限定出母版固定部，母版通过母版固定部固定并支撑于第一支撑边和第二支撑边上。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，第一支撑边的纵向截面为具有纵向部和横向部的L型，纵向部防止母版水平移动，横向部防止母版垂直移动。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，第一支撑边的相对的两个侧边上形成有中断部。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，第一盖的周向外表面上具有第一密封部，第二盖的周向外表面上具有第二密封部，第一密封部和第二密封部闭合形成密封。

优选地，根据本实用新型的母版存放装置，其中，母版为平板显示屏制作用母版。

本实用新型具有以下技术效果：

首先，本实用新型所提供的母版存放装置可以很好地保护母版玻璃，防止母版玻璃变形影响图形的尺寸，同时能够保证母版不被灰尘污染，本装置自带空气过滤器可以保证装置里面的高洁净度。

其次，滑轮和滑杆的设计保证取放母版方便自如，从而方便母版的放置和保存，在产品切换上更加方便，同时可以保证母版的使用寿命，有效降低生产成本。

应该理解，以上的一般性描述和以下的详细描述都是列举和说明性质的，目的是为了对要求保护的本实用新型提供进一步的说明。

附图说明

附图构成本说明书的一部分，用于帮助进一步理解本实用新型。这些附图图解了本实用新型的优选实施例，并与说明书一起用来说明本实用新型的原理。在附图中相同的部件用相同的标号表示，在附图中：

图1是本实用新型的洁净盒子的平放示意图；

图2是本实用新型的洁净盒子的立放示意图；

图3是本实用新型的洁净盒子的第一盖的内部结构示意图；

图4是洁净盒子存放有母版时闭合锁定后的剖面示意图；

图5是示出了母版存放装置内部结构的示意图；

图6是母版存放装置的固定架存放母版状态下的侧面示意图；以及

图7是母版存放装置的固定架滑出状态下的侧面示意图。

具体实施方式

下面将结合附图详细说明本实用新型的具体实施方式。应注意，下文仅对本实用新型与现有技术不同的特征进行说明，对于在现有技术中可以发现的技术特征，这里就不赘述了。

首先参照图5，从整体上对根据本实用新型优选实施例的母版存放装置进行说明。该母版存放装置主要包括：五个洁净盒子1，其尺寸适于存放母版7；框体13，为密封的长方体结构，其底部平行布置有五个固定架8，以便分别固定洁净盒子1，并且框体13具有一个可打开的开口面(为便于看清存放装置的内部结构，该面已经处于打开状态)，以便取放这些洁净盒子1；以及空气过滤器10，设置在框体13的上表面上。

在存放母版7时，首先把母版7放进洁净盒子1中，然后把洁净盒子1放置在固定架8上，在固定架8上固定好存放有母版7的洁净盒子1，固定好后固定架8被推进或自动进入框体13中，母版取出时的状态如图7所示。

参照图1至图4，对洁净盒子1的结构进行详细描述。盒子1可以直接在曝光机上使用，其包括：第一盖3，其内部周边设置有第一支撑边5，第一盖3与第一支撑边5之间设置有缓冲垫12；第二盖2，其内部周边设置有第二支撑边14，第二盖2与第二支撑边14之间也设置有缓冲垫12；以及锁定装置4，用于锁定第一盖3和第二盖2，以使它们处于密闭状态，其中，第一支撑边5和第二支撑边14闭合时共同限定出母版固定部，母版7通过母版固定部固定并支撑在第一支撑边5和第二支撑边14上。

具体地，参照图4，第一支撑边5的纵向横截面为具有纵向部51和横向部52的L型，纵向部51防止母版7水平移动，横向部52防止母版7垂直移动。支撑边5的长度和宽度比母版7的长度和宽度大1mm-3mm。此外，第一支撑边5的短边处设置有中断部(或可称作“空余部”)6，使取放母版7时支撑边5不会碰到人手。第一盖3的外表面上具有第一密封部16，第二盖2的外表面上具有第二密封部17，第一密封部16和第二密封部17闭合形成密封(在图3的示意图中未示出这些密封部)。

为便于理解，简单介绍从洁净盒子1取出母版7或向其中放置母版7的过程。从洁净盒子1里取出母版7时洁净盒子1为平放状态，在平时存放母版7时洁净盒子1为直立状态。在洁净盒子1中存放母版7时，洁净盒子1平放在水平的地面上，母版7的四边放置在支撑边5上，母版膜面向上放置。参见图4，母版7放置在第一盖3内的支撑边5里，缓冲垫12使得在放置母版7时及放置后能起到缓冲闭合作用。母版7放置在洁净盒子后，靠锁定装置4使前盖2和后盖3紧密闭合，保证母版7处在密闭的状态，以保证母版7的洁净度。

特别地，本实施例中的母版存放装置的固定架8能够从开口面滑出。这通过以下结构来实现：框体13设置有五对滑杆11，每根滑杆11的一端固定至框体13的侧面15，另一端通过支撑件(未示出)由框体13底部来支撑，每个固定架8的两侧均设置有与滑杆11相配合的滑槽(即，滑杆11可从中穿过的圆孔)，并且在固定架8的前端还设置有滑轮9，滑轮9的底部与地面直接接触。因此，固定架8利用滑轮9和滑杆11可以自由滑进、滑出。这种滑动操作可以设计成自动或手动操作。

根据本实用新型的母版存放装置，洁净盒子1立放在固定架8上，可以保证母版玻璃存放时不发生变形。存放装置顶部设计安装的空气过滤器10，可以保证存放装置内部的洁净度。滑轮9和滑杆11的设计使固定架8进出存放设置更加方便。

本领域技术人员可以理解的是，上述实施例也可以作出各种更改和变化，例如，该母版存放装置的开口面可以设置在框体的顶部，从而无需设置滑动装置，即可从框体上方直接取出洁净盒子。当然对于平板显示屏制作用的大尺寸母版而言，上述实施例中的设计方案更易于取放操作。

因此，以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种母版存放装置，其特征在于，包括：

一个或多个洁净盒子(1)，其尺寸适于存放所述母版(7)；

框体(13)，为密封的长方体结构，所述框体(13)底部平行布置有一个或多个固定架(8)，所述一个或多个洁净盒子(1)在所述框体(13)内部分别固定于相应的固定架(8)上，并且所述框体(13)具有一个可打开的开口面，以便取放所述一个或多个洁净盒子(1)；以及

空气过滤器(10)，设置在所述框体(13)的内表面上。

2.根据权利要求1所述的母版存放装置，其特征在于，所述开口面为所述框体(13)的一个侧面，并且所述一个或多个固定架(8)能够从所述开口面滑出。

3.根据权利要求2所述的母版存放装置，其特征在于，每个所述固定架(8)的两侧均设置有滑动轨道，并且所述框体(13)上设置有与所述滑动轨道相配合的固定轨道。

4.根据权利要求3所述的母版存放装置，其特征在于，

所述固定轨道为滑杆(11)，所述滑杆(11)一端固定至所述框体(13)的与所述开口面相对的侧面(15)，另一端固定并支撑于所述框体(13)的底部，以及

所述滑动轨道为与所述滑杆(11)相配合的滑槽。

5.根据权利要求3所述的母版存放装置，其特征在于，所述固定架(8)的前端还设置有滑轮(9)。 

6.根据权利要求1所述的母版存放装置，其特征在于，所述一个或多个洁净盒子(1)中的每个洁净盒子均包括：

第一盖(3)，其内部周边设置有第一支撑边(5)，第一盖(3)与第一支撑边(5)之间设置有缓冲垫(12)；

第二盖(2)，与所述第一盖(3)相对，其内部周边设置有第二支撑边(14)，第二盖(2)与第二支撑边(14)之间设置有缓冲垫(12)；以及

锁定装置(4)，锁定所述第一盖(3)和所述第二盖(2)，被锁定的所述第一盖(3)和所述第二盖(2)构成密闭空间，

其中，所述第一支撑边(5)和第二支撑边(14)闭合时共同限定出母版固定部，所述母版(7)通过所述母版固定部固定并支撑在所述第一支撑边(5)和第二支撑边(14)上。

7.根据权利要求6所述的母版存放装置，其特征在于，所述第一支撑边(5)的纵向截面为具有纵向部(51)和横向部(52)的L型，所述纵向部(51)防止所述母版(7)水平移动，所述横向部(52)防止所述母版(7)垂直移动。

8.根据权利要求6所述的母版存放装置，其特征在于，所述第一支撑边(5)的相对的两个侧边上形成有中断部(6)。

9.根据权利要求6所述的母版存放装置，其特征在于，所述第一盖(3)的周向外表面上具有第一密封部(16)，所述第二盖(2)的周向外表面上具有第二密封部(17)，所述第一密封部(16)和第二密封部(17)闭合形成密封。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的母版存放装置，其特征在于，所述母版为平板显示屏制作用母版。 

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