CN211320068U - 一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，包括垂直负载驱动机构以及安装在垂直负载驱动机构上的水平放置的托篮托架，所述托篮托架沿长度方向分布有至少两个内部中空的定位托框，所述托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道。本实用新型的晶圆托篮传递运输装置具有一次垂直承载运输多个晶圆托篮的优点，提高了垂直传送晶圆托篮的效率。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种垂直传送的晶圆托篮的传递运输装置。
背景技术
在半导体的工艺设备中，以湿法工艺设备为例，常需要一垂直升降的传送运输装置用以传递空的晶圆托篮载体或是装载晶圆片的托篮载体，而该现有技术的传递托篮的传递运输装置在常规中的配置多以一次传递单个托篮进行垂直升降的传送，而单次传送只能传送一个托篮的机制造成工艺设备中在进行晶圆转移交换托篮的过程所耗费的时间较多，即现有技术的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置的传送效率比较低，提高垂直传送的晶圆托篮传递运输装置的传送效率成为亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够提高传送效率的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，以克服现有技术存在的不足。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，包括垂直负载驱动机构以及安装在垂直负载驱动机构上的水平放置的托篮托架，其特征在于：所述托篮托架沿长度方向分布有至少两个内部中空的定位托框，所述托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道。
采用上述结构，托篮托架上分布有至少两个内部中空的定位托框，并且要求托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道，这样多个并排的晶圆托篮可以从托篮托架的自由端侧边进入托篮托架内并分别最终被各个定位托框定位托住，从而能够一次传送多个晶圆托篮，从而提高了托篮传送的效率。
在本实用新型的具体实施方式中，所述托篮托架为U型结构，所述定位托框为矩形，所述定位托框的四角分布有定位支撑脚。
在本实用新型的具体实施方式中，所述托篮托架上分布有两个定位托框。
在本实用新型的具体实施方式中，所述定位支撑脚上具有接触传感器。由于定位支撑脚上具有传感器，这样就可以通过计算机实时侦测定位托框上是否有晶圆托篮。
在本实用新型的具体实施方式中，为提高托篮托架的稳固性，所述托篮托架的两侧边下方分别连接有从固定端延伸至自由端的侧部加强筋，所述托篮托架的固定端侧边连接有端部加强板。所述端部加强板为梯形板，具有指示托篮托架安装方向的作用。
在本发明中，所述垂直负载驱动机构可以是气缸驱动机构，也可以是单轴机器人。
采用上述技术方案，本发明具有一次垂直承载运输多个晶圆托篮的优点，提高了垂直传送晶圆托篮的效率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明：
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的承载有晶圆托篮的托篮托架示意图；
图3为本实用新型的顶部安装板的结构示意图；
图4为本实用新型的底部安装板的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，包括垂直负载驱动机构100、支撑连接架200以及托篮托架300。
垂直负载驱动机构100为单轴向运动的气缸机构或者单轴向运动的单轴机器人。垂直负载驱动机构100要求能够负载足够的重量，以适应满载晶圆片的晶圆托篮的运输。
本实施例的垂直负载驱动机构100以采用单轴机器人为例，其具有竖直滑轨110、设置在竖直滑轨110上的滑块120，以及驱动滑块210在竖直滑轨上110竖直上下运动的电机及丝杆.
滑块120上通过支撑连接架200固定支撑水平放置的托篮托架300。具体地，支撑连接架200由直角连接的横向连接板201和竖向连接板202构成，横向连接板201固定在滑块120上，竖向连接板202连接支撑托篮托架300。
托篮托架300为U型结构，沿长度方向分布有两个内部中空的矩形的定位托框310。其中，托篮托架300的自由端侧边以及两个定位托框310之间均具有容托篮经过的开口通道320。定位托框310的四角分布有定位支撑脚311。这样的结构，使得一次可以传送两个晶圆托篮，并排的两个晶圆托篮可以从托篮托架300的自由端的第一个开口通道平移进入，并且前一个托篮可以继续通过两个定位托框之间的第二个开口通道进入，从而使得两个晶圆托篮能够分别进入到两个定位托框中，最终同时被两个定位托框的定位支撑脚所托住，也就是说，托篮托架采用U型的开口形状，可以实现一次动作就可以将两个晶圆托篮转移到该托篮托架上，提高了晶圆托篮转移的效率。
在本实施例中，定位支撑脚311上具有传感器。传感器为光学式传感器或遮光型传感器或者接触传感器或者其它能够感知托篮位于定位支撑脚311的传感器。这样就可以通过计算机实时侦测晶圆托篮是否在定位托框310上。
为提高托篮托架的稳固性，托篮托架300的两侧边下方分别连接有从固定端延伸至自由端的侧部加强筋331，托篮托架300的固定端侧边连接有端部加强板332。端部加强板332为梯形板，具有指示托篮托架安装方向的作用。
侧部加强筋331的固定端阵列分布有多个通孔，能够实现托篮托架两侧均能与支撑连接架连接，并且安装位置可调。在本实施例中，图示里侧的侧部加强筋331的固定端固定连接在竖向连接板202的顶端。
另外，为了能够将该垂直传送的晶圆托篮传递运输装置安装在工艺设备的金属骨架梁上，竖直滑轨110背面的顶部和底部分别固定有安装板500。
如图3和图4所示，安装板500由一块背部平板501、两根加强竖档502以及一根限位横档503构成。其中，背部平板501的连接端具有横向布置的安装螺栓孔504，通过该安装螺栓孔504利用螺栓能够实现与工艺设备的金属骨架梁连接。背部背板502的背面位于安装螺栓孔504的内侧具有水平的定位沟槽，限位横档503水平地固定在定位沟槽内从而形成安装板500的限位连接头，通过限位横档503的限位，与工艺设备的金属骨架梁连接时，能够方便保证竖直滑轨110处于垂直状态，提高安装效率。两根加强竖档502分别固定在背部平板501背面的两侧边缘，一端与抵顶限位横档503，能够阻挡承载晶圆托篮是所产生的向下旋转的转动力矩。在本实施例中，顶部的安装板的限位连接头朝上，底部的安装板的限位连接头朝下，使得竖直滑轨110上、下两端能够与工艺设备的金属骨架梁固定连接。
以上就是本实用新型的晶圆托篮传递运输装置，如图2所示，该晶圆托篮传递运输装置具有一次垂直承载运输两个满载晶圆片11的晶圆托篮10的优点，提高了垂直传送晶圆托篮的效率，并且左右两侧的加强筋均可以实现安装，以适应水平面上不同方向传递晶圆托篮的作用。
但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求保护范围内。
Claims (10)
1.一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，包括垂直负载驱动机构以及安装在垂直负载驱动机构上的水平放置的托篮托架，其特征在于：所述托篮托架沿长度方向分布有至少两个内部中空的定位托框，所述托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道。
2.根据权利要求1所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述托篮托架为U型结构，所述定位托框为矩形，所述定位托框的四角分布有定位支撑脚。
3.根据权利要求1或2所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述托篮托架上分布有两个定位托框。
4.根据权利要求2所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述定位支撑脚上具有传感器。
5.根据权利要求3所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述托篮托架的两侧边下方分别连接有从固定端延伸至自由端的侧部加强筋，所述托篮托架的固定端侧边连接有端部加强板。
6.根据权利要求5所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述端部加强板为梯形板。
7.根据权利要求1所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述垂直负载驱动机构为气缸驱动机构或单轴机器人。
8.根据权利要求1所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述垂直负载驱动机构具有垂直滑轨以及在所述垂直滑轨的滑块，所述滑块通过支撑连接架支撑连接所述托篮托架。
9.根据权利要求8所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述垂直滑轨的背面的顶部和底部分布具有安装板。
10.根据权利要求9所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述安装板由背部平板、固定在所述背部平板背面的一根限位横档和两根加强竖档构成，所述背部平板的一端分布安装螺栓孔，所述限位横档固定在所述安装螺栓孔的内侧以形成所述安装板的限位连接头，两根所述加强竖档分别固定在背部平板的侧边缘位置。
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