JP3172681B2 - 薄板収納容器 - Google Patents
薄板収納容器Info
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- JP3172681B2 JP3172681B2 JP25453796A JP25453796A JP3172681B2 JP 3172681 B2 JP3172681 B2 JP 3172681B2 JP 25453796 A JP25453796 A JP 25453796A JP 25453796 A JP25453796 A JP 25453796A JP 3172681 B2 JP3172681 B2 JP 3172681B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
薄板を多数枚内部に収納支持して保管、運搬等を行う際
に、周囲の気圧変化や温度変化に応じて内圧を調整する
薄板収納容器に関する。
薄板を多数枚内部に収納支持して保管、運搬等を行う際
に、周囲の気圧変化や温度変化に応じて内圧を調整する
薄板収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、周囲の気圧や温度が変化する
状態で薄板収納容器を輸送する場合に生じる問題を克服
するための各種の対策が講じられてきた。例えば、飛行
機による輸送の場合、貨物室内では、高空を飛行中は内
部の気圧が大幅に低下してしまう。このため、薄板収納
容器を気密にしておくと、外気圧よりも内気圧が著しく
高くなって、容器が膨張してしまったり、容器内の空気
が流出して地上に降りたときに蓋を開けることができな
くなることがあった。また、輸送中に周囲が高温になる
場合も同様の問題があった。
状態で薄板収納容器を輸送する場合に生じる問題を克服
するための各種の対策が講じられてきた。例えば、飛行
機による輸送の場合、貨物室内では、高空を飛行中は内
部の気圧が大幅に低下してしまう。このため、薄板収納
容器を気密にしておくと、外気圧よりも内気圧が著しく
高くなって、容器が膨張してしまったり、容器内の空気
が流出して地上に降りたときに蓋を開けることができな
くなることがあった。また、輸送中に周囲が高温になる
場合も同様の問題があった。
【０００３】このような問題を克服する対策の一つとし
て、実公平２−４９７２１号公報記載の半導体ウエハ収
納容器が提案されている。
て、実公平２−４９７２１号公報記載の半導体ウエハ収
納容器が提案されている。
【０００４】この半導体ウエハ収納容器１は、図３及び
図４に示すように、多数の半導体ウエハ２を収納支持す
る容器本体３と、この容器本体３の上側を施蓋して内部
を気密にする蓋体４と、容器本体３の側壁３Ａに一体的
に設けられて容器本体３の内外側で空気の出入りを許容
する分子濾過フィルタ５とから概略構成されている。
図４に示すように、多数の半導体ウエハ２を収納支持す
る容器本体３と、この容器本体３の上側を施蓋して内部
を気密にする蓋体４と、容器本体３の側壁３Ａに一体的
に設けられて容器本体３の内外側で空気の出入りを許容
する分子濾過フィルタ５とから概略構成されている。
【０００５】この分子濾過フィルタ５を設けることで、
半導体ウエハ収納容器１の内側と外側との間でこのフィ
ルタ５を介して空気が出入りすることができるようにな
る。この結果、外気圧等の変化により収納容器１の内外
側で気圧の変化が生じた場合でも、収納容器１の内圧を
外気圧と同じ値に保つことができ、半導体ウエハ収納容
器１が膨張する等の問題を防止することができる。
半導体ウエハ収納容器１の内側と外側との間でこのフィ
ルタ５を介して空気が出入りすることができるようにな
る。この結果、外気圧等の変化により収納容器１の内外
側で気圧の変化が生じた場合でも、収納容器１の内圧を
外気圧と同じ値に保つことができ、半導体ウエハ収納容
器１が膨張する等の問題を防止することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記分子濾
過フィルタ５の場合は、空気の通過速度が極めて遅いた
め、飛行機の貨物室等で生じる気圧の変化の速度に追従
させることができない。迅速な追従を可能にするには、
分子濾過フィルタ５の面積を広くしなければならない。
しかし、容器本体３に装着する場合には自ずから限界が
あるため、結果的に分子濾過フィルタ５を装着した半導
体ウエハ収納容器１は、実用化に至っていない。
過フィルタ５の場合は、空気の通過速度が極めて遅いた
め、飛行機の貨物室等で生じる気圧の変化の速度に追従
させることができない。迅速な追従を可能にするには、
分子濾過フィルタ５の面積を広くしなければならない。
しかし、容器本体３に装着する場合には自ずから限界が
あるため、結果的に分子濾過フィルタ５を装着した半導
体ウエハ収納容器１は、実用化に至っていない。
【０００７】さらに、半導体ウエハ収納容器１は、その
内部に半導体ウエハ２を収納する前に、全体を洗浄しな
ければならない。この場合、分子濾過フィルタ５を半導
体ウエハ収納容器１に装着したままでこの収納容器１を
洗浄すると、この分子濾過フィルタ５に塵埃等の異物が
付着してしまう。この分子濾過フィルタ５に塵埃等が付
着したままで半導体ウエハ収納容器１を使用すると、分
子濾過フィルタ５に付着した不純物が収納容器１内に散
乱してしまうので、この状態では使用することができな
い。このため、予め半導体ウエハ収納容器１を洗浄して
おき、その後に分子濾過フィルタ５を取り付けて運搬の
用に供しなければならない。
内部に半導体ウエハ２を収納する前に、全体を洗浄しな
ければならない。この場合、分子濾過フィルタ５を半導
体ウエハ収納容器１に装着したままでこの収納容器１を
洗浄すると、この分子濾過フィルタ５に塵埃等の異物が
付着してしまう。この分子濾過フィルタ５に塵埃等が付
着したままで半導体ウエハ収納容器１を使用すると、分
子濾過フィルタ５に付着した不純物が収納容器１内に散
乱してしまうので、この状態では使用することができな
い。このため、予め半導体ウエハ収納容器１を洗浄して
おき、その後に分子濾過フィルタ５を取り付けて運搬の
用に供しなければならない。
【０００８】また、一度半導体ウエハ２の運搬に使用し
た半導体ウエハ収納容器１には塵埃等が多量に付着する
ため、再使用する場合は洗浄しなければならない。しか
し、洗浄すれば、前述のように分子濾過フィルタ５が使
用できなくなる。その一方で、分子濾過フィルタ５は容
器本体３に一体的に設けられているため、取り外すこと
ができない。このため、結果的に、半導体ウエハ収納容
器１を再使用することができなかった。
た半導体ウエハ収納容器１には塵埃等が多量に付着する
ため、再使用する場合は洗浄しなければならない。しか
し、洗浄すれば、前述のように分子濾過フィルタ５が使
用できなくなる。その一方で、分子濾過フィルタ５は容
器本体３に一体的に設けられているため、取り外すこと
ができない。このため、結果的に、半導体ウエハ収納容
器１を再使用することができなかった。
【０００９】また、使用済みの半導体ウエハ収納容器１
を廃棄やリサイクルする場合においては、材料の異なる
部材を分離する必要がある。このとき、容器本体３と蓋
体４とは、異なる材料で成形されていても、容易に分離
することができ、その後の処理を行うことができる。し
かし、分子濾過フィルタ５は容器本体３に一体的に取り
付けられているため、これらを分離するのは容易ではな
い。このため、その後の廃棄やリサイクル処理が難しい
という問題点がある。
を廃棄やリサイクルする場合においては、材料の異なる
部材を分離する必要がある。このとき、容器本体３と蓋
体４とは、異なる材料で成形されていても、容易に分離
することができ、その後の処理を行うことができる。し
かし、分子濾過フィルタ５は容器本体３に一体的に取り
付けられているため、これらを分離するのは容易ではな
い。このため、その後の廃棄やリサイクル処理が難しい
という問題点がある。
【００１０】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
で、外気圧の変化速度に迅速に追従して最適な内圧調整
ができると共に、再使用及びリサイクル処理等が容易な
薄板収納容器を提供することを目的とする。
で、外気圧の変化速度に迅速に追従して最適な内圧調整
ができると共に、再使用及びリサイクル処理等が容易な
薄板収納容器を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、多数の薄板を内部に収納支持する容器本体
と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内
部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体と蓋体との
間に取り付けられるガスケット状フィルタとを備えた薄
板収納容器において、前記ガスケット状フィルタが、内
外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一
致させると共に塵埃等の通過を制限する機能を備えたこ
とを特徴とする。
に本発明は、多数の薄板を内部に収納支持する容器本体
と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内
部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体と蓋体との
間に取り付けられるガスケット状フィルタとを備えた薄
板収納容器において、前記ガスケット状フィルタが、内
外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一
致させると共に塵埃等の通過を制限する機能を備えたこ
とを特徴とする。
【００１２】前記構成により、前記ガスケット状フィル
タが気体の通過を許容するため、容器本体に蓋体が取り
付けられた状態で、ガスケット状フィルタを介して容器
の内外で気体が出入りする。この気体の出入りは容器の
外周を一回りする全周で行われれる。気体が出入りする
面積はガスケット状フィルタ全体であり、容器の外周を
一回りする長さなので、結果的に広い面積で気体が出入
りすることになる。これにより、容器周囲の気圧の変化
に迅速に追従して、容器の内外で気圧が同じになるよう
に調整される。このとき、ガスケット状フィルタは塵埃
等の通過を制限するため、容器内に塵埃等が侵入するこ
とはない。
タが気体の通過を許容するため、容器本体に蓋体が取り
付けられた状態で、ガスケット状フィルタを介して容器
の内外で気体が出入りする。この気体の出入りは容器の
外周を一回りする全周で行われれる。気体が出入りする
面積はガスケット状フィルタ全体であり、容器の外周を
一回りする長さなので、結果的に広い面積で気体が出入
りすることになる。これにより、容器周囲の気圧の変化
に迅速に追従して、容器の内外で気圧が同じになるよう
に調整される。このとき、ガスケット状フィルタは塵埃
等の通過を制限するため、容器内に塵埃等が侵入するこ
とはない。
【００１３】これにより、容器内への塵埃等の浸入を防
止して清浄状態を保ったまま、容器内圧を最適状態に調
整する。
止して清浄状態を保ったまま、容器内圧を最適状態に調
整する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、薄板
を複数枚並列に収納支持する容器である。この薄板は、
半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶板等であって、塵埃
等がその表面に付着するのを防止する必要のある薄板で
ある。本願の薄板収納容器は、前述のような薄板を収納
する容器であるため、内部が密封構造になっている。こ
こでは、薄板として半導体ウエハを、薄板収納容器とし
て多数の半導体ウエハを支持したウエハキャリアを内部
に収容する半導体ウエハ用のキャリアボックスを用いた
場合を例に説明する。
面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、薄板
を複数枚並列に収納支持する容器である。この薄板は、
半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶板等であって、塵埃
等がその表面に付着するのを防止する必要のある薄板で
ある。本願の薄板収納容器は、前述のような薄板を収納
する容器であるため、内部が密封構造になっている。こ
こでは、薄板として半導体ウエハを、薄板収納容器とし
て多数の半導体ウエハを支持したウエハキャリアを内部
に収容する半導体ウエハ用のキャリアボックスを用いた
場合を例に説明する。
【００１５】本実施形態のキャリアボックス１１は、図
１に示すように主に、内部に半導体ウエハ１２が支持さ
れた後述のウエハキャリア２１を収納する容器本体１３
と、この容器本体１３内に前記ウエハキャリア２１が収
納された状態で容器本体１３の上側を塞ぐ蓋体１４と、
容器本体１３と蓋体１４との間に取り付けられて内部を
清浄な状態に保つガスケット状フィルタ１５とを備えて
構成されている。
１に示すように主に、内部に半導体ウエハ１２が支持さ
れた後述のウエハキャリア２１を収納する容器本体１３
と、この容器本体１３内に前記ウエハキャリア２１が収
納された状態で容器本体１３の上側を塞ぐ蓋体１４と、
容器本体１３と蓋体１４との間に取り付けられて内部を
清浄な状態に保つガスケット状フィルタ１５とを備えて
構成されている。
【００１６】容器本体１３は、全体をほぼ四角形状に形
成されている。容器本体１３の周縁上側端には、ガスケ
ット状フィルタ１５が嵌合してキャリアボックス１１内
を清浄に保つための環状溝１３Ａが形成されている。容
器本体１３の上側のうち、対向する２つの側面には係止
爪１６が設けられている。この係止爪１６は、後述する
蓋体１４の係止片１８と相俟って蓋体１４を容器本体１
３に固定する固定手段１９を構成する。
成されている。容器本体１３の周縁上側端には、ガスケ
ット状フィルタ１５が嵌合してキャリアボックス１１内
を清浄に保つための環状溝１３Ａが形成されている。容
器本体１３の上側のうち、対向する２つの側面には係止
爪１６が設けられている。この係止爪１６は、後述する
蓋体１４の係止片１８と相俟って蓋体１４を容器本体１
３に固定する固定手段１９を構成する。
【００１７】蓋体１４は、浅い皿状に形成され、その周
縁下端部にガスケット状フィルタ１５が嵌合する環状溝
１４Ａが形成されている。蓋体１４のうち容器本体１３
の各係止爪１６に対向する位置には、係止爪１６と共に
固定手段１９を構成する係止片１８がそれぞれ設けられ
ている。
縁下端部にガスケット状フィルタ１５が嵌合する環状溝
１４Ａが形成されている。蓋体１４のうち容器本体１３
の各係止爪１６に対向する位置には、係止爪１６と共に
固定手段１９を構成する係止片１８がそれぞれ設けられ
ている。
【００１８】なお、前記各環状溝１３Ａ,１４Ａは浅く
形成され、これらに嵌合したガスケット状フィルタ１５
が、各環状溝１３Ａ,１４Ａの間で広い面積に亘って外
気と接するようになっている。
形成され、これらに嵌合したガスケット状フィルタ１５
が、各環状溝１３Ａ,１４Ａの間で広い面積に亘って外
気と接するようになっている。
【００１９】半導体ウエハ１２はウエハキャリア２１に
支持される。このウエハキャリア２１は、その支持用リ
ブ２１Ａによって、多数の半導体ウエハ１２を等間隔に
支持する。このウエハキャリア２１が多数の半導体ウエ
ハ１２を支持した状態で容器本体１３内に収納され、そ
の上側から薄板押え部材２２が装着されて、蓋体１４で
施蓋される。そして、蓋体１４の係止片１８が容器本体
１３の係止爪１６に係止されることで、蓋体１４が容器
本体１３に固定される。これにより、容器本体１３と蓋
体１４とでウエハキャリア２１と薄板押え部材２２とが
支持され、このウエハキャリア２１と薄板押え部材２２
とで各半導体ウエハ１２が支持される。この結果、各半
導体ウエハ１２は、キャリアボックス１１に外部から衝
撃が加わっても振動することがなく、安定して搬送され
る。
支持される。このウエハキャリア２１は、その支持用リ
ブ２１Ａによって、多数の半導体ウエハ１２を等間隔に
支持する。このウエハキャリア２１が多数の半導体ウエ
ハ１２を支持した状態で容器本体１３内に収納され、そ
の上側から薄板押え部材２２が装着されて、蓋体１４で
施蓋される。そして、蓋体１４の係止片１８が容器本体
１３の係止爪１６に係止されることで、蓋体１４が容器
本体１３に固定される。これにより、容器本体１３と蓋
体１４とでウエハキャリア２１と薄板押え部材２２とが
支持され、このウエハキャリア２１と薄板押え部材２２
とで各半導体ウエハ１２が支持される。この結果、各半
導体ウエハ１２は、キャリアボックス１１に外部から衝
撃が加わっても振動することがなく、安定して搬送され
る。
【００２０】ガスケット状フィルタ１５は、蓋体１４で
塞がれた容器本体１３の内外側間で気体の通過を許容し
て内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通過
を制限する機能を備えている。即ち、ガスケット状フィ
ルタ１５は、容器本体１３の内外側間を気密にシールす
るのではなく、空気等の気体を通過させて、内部気圧を
外部気圧と一致させる機能を備えている。さらに、ガス
ケット状フィルタ１５は、塵埃等の通過を制限して、容
器本体１３内に収納した半導体ウエハ１２の表面に不純
物が付着するのを防止している。
塞がれた容器本体１３の内外側間で気体の通過を許容し
て内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通過
を制限する機能を備えている。即ち、ガスケット状フィ
ルタ１５は、容器本体１３の内外側間を気密にシールす
るのではなく、空気等の気体を通過させて、内部気圧を
外部気圧と一致させる機能を備えている。さらに、ガス
ケット状フィルタ１５は、塵埃等の通過を制限して、容
器本体１３内に収納した半導体ウエハ１２の表面に不純
物が付着するのを防止している。
【００２１】このガスケット状フィルタ１５は多孔質材
で成形されている。即ち、ガスケット状フィルタ１５の
内側面と外側面とを連通する、連続的な多数の微細な孔
を有する材料で成形されている。この微細な孔として
は、望ましくは0.5〜1.0μｍ適度に設定する。これは、
除去する塵埃等よりも小さい値としての一例であり、0.
5μｍよりも小さい塵埃等がキャリアボックス１１の周
囲に浮遊する場合には、孔の大きさをさらに小さく成形
する。
で成形されている。即ち、ガスケット状フィルタ１５の
内側面と外側面とを連通する、連続的な多数の微細な孔
を有する材料で成形されている。この微細な孔として
は、望ましくは0.5〜1.0μｍ適度に設定する。これは、
除去する塵埃等よりも小さい値としての一例であり、0.
5μｍよりも小さい塵埃等がキャリアボックス１１の周
囲に浮遊する場合には、孔の大きさをさらに小さく成形
する。
【００２２】ガスケット状フィルタ１５の材料として
は、フッ素系樹脂やオレフィン系樹脂等が用いられる。
これらの樹脂を材料として多孔質のガスケット状フィル
タ１５が発砲成形される。また、極細繊維を用いた織布
又は不織布によってガスケット状フィルタ１５を成形し
てもよい。
は、フッ素系樹脂やオレフィン系樹脂等が用いられる。
これらの樹脂を材料として多孔質のガスケット状フィル
タ１５が発砲成形される。また、極細繊維を用いた織布
又は不織布によってガスケット状フィルタ１５を成形し
てもよい。
【００２３】［作用］ 以上のように構成されたキャリアボックス１１は、次の
ようにして半導体ウエハ１２の搬送の用に供される。
ようにして半導体ウエハ１２の搬送の用に供される。
【００２４】まず、容器本体１３及び蓋体１４が、成形
された後、表面に付着した異物等を除去するために洗浄
される。ガスケット状フィルタ１５は、容器本体１３等
が洗浄された後に取り付ける。
された後、表面に付着した異物等を除去するために洗浄
される。ガスケット状フィルタ１５は、容器本体１３等
が洗浄された後に取り付ける。
【００２５】次いで、ウエハキャリア２１に多数の半導
体ウエハ１２を挿入し、このウエハキャリア２１をキャ
リアボックス１１の容器本体１３内に挿入する。さら
に、各半導体ウエハ１２の上側に、これらを上側から押
えて支持する薄板押え部材２２を載置し、その上から蓋
体１４を被せる。このとき、ガスケット状フィルタ１５
は、容器本体１３と蓋体１４との間で十分な面積を外気
に晒した状態で、各環状溝１３Ａ,１４Ａに嵌合する。
体ウエハ１２を挿入し、このウエハキャリア２１をキャ
リアボックス１１の容器本体１３内に挿入する。さら
に、各半導体ウエハ１２の上側に、これらを上側から押
えて支持する薄板押え部材２２を載置し、その上から蓋
体１４を被せる。このとき、ガスケット状フィルタ１５
は、容器本体１３と蓋体１４との間で十分な面積を外気
に晒した状態で、各環状溝１３Ａ,１４Ａに嵌合する。
【００２６】次いで、この蓋体１４を上側から押え、蓋
体１４の係止片１８を容器本体１３の係止爪１６に係止
させる。これにより、容器本体１３と蓋体１４とが、内
部の半導体ウエハ１２を支持した状態で、互いに固定さ
れる。
体１４の係止片１８を容器本体１３の係止爪１６に係止
させる。これにより、容器本体１３と蓋体１４とが、内
部の半導体ウエハ１２を支持した状態で、互いに固定さ
れる。
【００２７】この状態で、キャリアボックス１１を飛行
機等で輸送する。このとき、キャリアボックス１１の周
囲の気圧が低下すると、相対的にキャリアボックス１１
の内圧が高くなっていく。これに伴って、ガスケット状
フィルタ１５の全周からキャリアボックス１１内の気体
が流出し、キャリアボックス１１の内圧と外気圧とがほ
ぼ同じ値に維持される。
機等で輸送する。このとき、キャリアボックス１１の周
囲の気圧が低下すると、相対的にキャリアボックス１１
の内圧が高くなっていく。これに伴って、ガスケット状
フィルタ１５の全周からキャリアボックス１１内の気体
が流出し、キャリアボックス１１の内圧と外気圧とがほ
ぼ同じ値に維持される。
【００２８】次いで、飛行機が地上に降りることで、相
対的にキャリアボックス１１の内圧が低くなるが、この
場合は、ガスケット状フィルタ１５を介して外部の気体
がキャリアボックス１１内に流入する。このとき、気体
中の塵埃等はガスケット状フィルタ１５で除去される。
これにより、キャリアボックス１１は、その内部の清浄
状態を保ったまま、内圧と外気圧とがほぼ同じ値に維持
される。
対的にキャリアボックス１１の内圧が低くなるが、この
場合は、ガスケット状フィルタ１５を介して外部の気体
がキャリアボックス１１内に流入する。このとき、気体
中の塵埃等はガスケット状フィルタ１５で除去される。
これにより、キャリアボックス１１は、その内部の清浄
状態を保ったまま、内圧と外気圧とがほぼ同じ値に維持
される。
【００２９】なお、輸送中に、キャリアボックス１１の
周囲の温度が大きく変化しても、内圧と外圧の差が大き
くなるが、この場合も前記飛行機による輸送の場合と同
様である。
周囲の温度が大きく変化しても、内圧と外圧の差が大き
くなるが、この場合も前記飛行機による輸送の場合と同
様である。
【００３０】次いで、この半導体ウエハ１２の搬送に供
されたキャリアボックス１１は、再使用に際して洗浄さ
れる。この場合はガスケット状フィルタ１５を取り外
す。取り外したガスケット状フィルタ１５は、再使用が
可能なものは、塵埃等のないところに保管する。塵埃等
の付着が激しい場合は、新しいのガスケット状フィルタ
１５を用いる。容器本体１３、蓋体１４等は洗浄する。
洗浄が終わったら、ガスケット状フィルタ１５を取り付
けて、再び半導体ウエハ１２の搬送の用に供させる。
されたキャリアボックス１１は、再使用に際して洗浄さ
れる。この場合はガスケット状フィルタ１５を取り外
す。取り外したガスケット状フィルタ１５は、再使用が
可能なものは、塵埃等のないところに保管する。塵埃等
の付着が激しい場合は、新しいのガスケット状フィルタ
１５を用いる。容器本体１３、蓋体１４等は洗浄する。
洗浄が終わったら、ガスケット状フィルタ１５を取り付
けて、再び半導体ウエハ１２の搬送の用に供させる。
【００３１】また、使用済みになったキャリアボックス
１１は、リサイクルしたり、廃棄したりする。その際、
個々の部品はそれぞれ材質の違いに応じて分ける。
１１は、リサイクルしたり、廃棄したりする。その際、
個々の部品はそれぞれ材質の違いに応じて分ける。
【００３２】特にリサイクルするときには、厳密に分類
しなければならないが、容器本体１３と材質の異なるガ
スケット状フィルタ１５は、もともと別部材であり、容
器本体１３から容易に取り外すことができる。そして、
材質の違いに応じて分別してその後の処理を行う。
しなければならないが、容器本体１３と材質の異なるガ
スケット状フィルタ１５は、もともと別部材であり、容
器本体１３から容易に取り外すことができる。そして、
材質の違いに応じて分別してその後の処理を行う。
【００３３】 ［効果］ 以上のように、ガスケット状フィルタ１５を多孔質材料
で成形して、その全体で、キャリアボックス１１の内外
側間での気体の通過のみを許容して、内部気圧を外部気
圧と一致させるようにしたので、キャリアボックス１１
の周囲の気圧が急激に変化しても迅速に対応できるよう
になる。この結果、キャリアボックス１１の内圧が外気
圧の変化に迅速に追従して、内部の清浄状態を保ったま
ま、最適な内圧調整ができるようになる。
で成形して、その全体で、キャリアボックス１１の内外
側間での気体の通過のみを許容して、内部気圧を外部気
圧と一致させるようにしたので、キャリアボックス１１
の周囲の気圧が急激に変化しても迅速に対応できるよう
になる。この結果、キャリアボックス１１の内圧が外気
圧の変化に迅速に追従して、内部の清浄状態を保ったま
ま、最適な内圧調整ができるようになる。
【００３４】ガスケット状フィルタ１５は容器本体１３
とは別の部材であり、容器本体１３から容易に取り外す
ことができるので、再使用やリサイクル等の処理が容易
になる。
とは別の部材であり、容器本体１３から容易に取り外す
ことができるので、再使用やリサイクル等の処理が容易
になる。
【００３５】［変形例］ 前記実施形態では、容器本体１３が上方に開口したキャ
リアボックス１１を例に説明したが、図２に示すよう
に、キャリアボックス２５を前方に開口した構成として
もよい。この場合は、容器本体２６は前方に開口してお
り、蓋体２７は容器本体２６の開口の側部に回動可能に
取り付けられる。そして、容器本体２６の開口周辺にガ
スケット状フィルタ２８が取り付けられる。これによ
り、前記同様の作用、効果を奏することができる。
リアボックス１１を例に説明したが、図２に示すよう
に、キャリアボックス２５を前方に開口した構成として
もよい。この場合は、容器本体２６は前方に開口してお
り、蓋体２７は容器本体２６の開口の側部に回動可能に
取り付けられる。そして、容器本体２６の開口周辺にガ
スケット状フィルタ２８が取り付けられる。これによ
り、前記同様の作用、効果を奏することができる。
【００３６】また、前記実施形態では、容器本体１３に
ウエハキャリア２１を別部材として装着したが、容器本
体に支持用リブを直接設けて、ウエハキャリアと容器本
体を一体にした構成でもでもよい。この場合も、前記同
様の作用、効果を奏することができる。
ウエハキャリア２１を別部材として装着したが、容器本
体に支持用リブを直接設けて、ウエハキャリアと容器本
体を一体にした構成でもでもよい。この場合も、前記同
様の作用、効果を奏することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の薄板収納
容器によれば、ガスケット状フィルタが、内外側間で気
体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると
共に塵埃等の通過を制限する機能を備えたので、薄板収
納容器の周囲の気圧が急激に変化しても迅速に対応でき
るようになる。この結果、薄板収納容器の内圧が外気圧
の変化に迅速に追従して、内部の清浄状態を保ったま
ま、最適な内圧調整ができるようになる。
容器によれば、ガスケット状フィルタが、内外側間で気
体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると
共に塵埃等の通過を制限する機能を備えたので、薄板収
納容器の周囲の気圧が急激に変化しても迅速に対応でき
るようになる。この結果、薄板収納容器の内圧が外気圧
の変化に迅速に追従して、内部の清浄状態を保ったま
ま、最適な内圧調整ができるようになる。
【００３８】また、ガスケット状フィルタは容器本体及
び蓋体とは別の部材であり、容器本体等から容易に取り
外すことができるので、再使用やリサイクル等の処理が
容易になる。
び蓋体とは別の部材であり、容器本体等から容易に取り
外すことができるので、再使用やリサイクル等の処理が
容易になる。
【図１】本発明に係るキャリアボックスの全体構成を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
【図２】本発明に係るキャリアボックスの変形例を示す
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図３】従来のキャリアボックスを示す斜視図である。
【図４】図３のキャリアボックスの正面断面図である。
１１：キャリアボックス、１２：半導体ウエハ、１３：
容器本体、１４：蓋体、１５：ガスケット状フィルタ。
容器本体、１４：蓋体、１５：ガスケット状フィルタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−275709（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86
Claims (1)
- 【請求項１】 多数の薄板を内部に収納支持する容器本
体と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して
内部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体と蓋体と
の間に取り付けられるガスケット状フィルタとを備えた
薄板収納容器において、 前記ガスケット状フィルタが、内外側間で気体の通過を
許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等
の通過を制限する機能を備えたことを特徴とする薄板収
納容器。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25453796A JP3172681B2 (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 薄板収納容器 |
| US08/745,837 US5873468A (en) | 1995-11-16 | 1996-11-08 | Thin-plate supporting container with filter means |
| EP96118224A EP0774774A3 (en) | 1995-11-16 | 1996-11-13 | Thin-plate supporting container |
| EP02017706A EP1255282A3 (en) | 1995-11-16 | 1996-11-13 | Thin-plate supporting container |
| KR1019960054361A KR100414874B1 (ko) | 1995-11-16 | 1996-11-15 | 박판수납용기 |
| TW085114056A TW312035B (ja) | 1995-11-16 | 1996-11-16 | |
| US09/107,829 US6105781A (en) | 1995-11-16 | 1998-06-30 | Thin-plate supporting container with unitary porous gasket |
| US09/189,975 US6032802A (en) | 1995-11-16 | 1998-11-12 | Thin-plate supporting container with filter means |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25453796A JP3172681B2 (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 薄板収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10107135A JPH10107135A (ja) | 1998-04-24 |
| JP3172681B2 true JP3172681B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=17266429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25453796A Expired - Lifetime JP3172681B2 (ja) | 1995-11-16 | 1996-09-26 | 薄板収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3172681B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100794904B1 (ko) * | 2005-04-22 | 2008-01-14 | 가부시키가이샤 다이하치카세이 | 정밀기판 수납용기의 개스킷 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3871924B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2007-01-24 | プラネット株式会社 | ガラス基板搬送用ボックス |
| JP5193673B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2013-05-08 | 株式会社ゴールドエイト | 精密基板収納容器 |
-
1996
- 1996-09-26 JP JP25453796A patent/JP3172681B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100794904B1 (ko) * | 2005-04-22 | 2008-01-14 | 가부시키가이샤 다이하치카세이 | 정밀기판 수납용기의 개스킷 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10107135A (ja) | 1998-04-24 |
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