KR200491418Y1 - 이송 챔버 덮개 도어 액츄에이터들 - Google Patents

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마코토 이나가와
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Abstract

본 개시물의 실시예들은, 덮개 및 액츄에이터 조립체를 갖는 이송 챔버에 관한 것이다. 덮개는 이송 챔버에 회전 가능하게 커플링될 수 있고, 액츄에이터 조립체는, 이송 챔버의 내부로의 액세스를 허용하기 위해 덮개를 개방 및 폐쇄할 수 있다. 액츄에이터 조립체는 일반적으로, 덮개 및 챔버 본체에 아암들을 커플링시키는 브라켓들을 포함한다. 복수의 샤프트들 및 기어 박스들은 아암들과 모터 사이에 커플링될 수 있다. 모터는, 덮개를 개방 및 폐쇄하기 위해 샤프트들을 회전시킬 수 있다. 덮개 포지션을 결정하기 위한 센서가 또한 개시된다.

Description

이송 챔버 덮개 도어 액츄에이터들{TRANSFER CHAMBER LID DOOR ACTUATORS}
[0001] 본 개시물의 실시예들은 일반적으로, 기판들을 프로세싱하기 위한 시스템에서 활용되는 이송 챔버에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본원에서 설명되는 실시예들은 이송 챔버 덮개 및 그와 연관된 액츄에이터들에 관한 것이다.
[0002] 유기 발광 다이오드들(OLED)은 정보를 디스플레이하기 위한 텔레비젼 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 등의 제조에 사용된다. 전형적인 OLED는 2개의 전극들 사이에 위치된 유기 재료의 층들을 포함할 수 있고, 그러한 층들은 전부, 개별적으로 에너자이징 가능한(energizable) 픽셀들을 갖는 매트릭스 디스플레이 패널을 형성하는 방식으로 기판 상에 증착된다. OLED는 일반적으로 2개의 유리 패널들 사이에 위치되고, 유리 패널들의 엣지들은 내부의 OLED를 캡슐화(encapsulate)하기 위해 밀봉된다.
[0003] 플랫 패널 기술의 시장의 수용에 관하여, 더 큰 디스플레이들에 대한 요구, 증가된 생산 및 더 낮은 제조 비용들은, 장비 제조업자들로 하여금, 플랫 패널 디스플레이 제조자들을 위해 더 큰 크기의 유리 기판들을 수용하는 새로운 시스템들을 개발하게 해왔다. 부가적으로, 다양한 시스템 컴포넌트들을 효율적으로 그리고 비용 효과적으로 유지하는 능력은 그러한 장비를 운영하는 것과 연관된 비용들을 개선하는 것을 도울 수 있다. 그러나, 대면적 기판들을 프로세싱하기 위한 그러한 대형 장비의 채택 때문에, 그러한 시스템들의 액세스 및 유지보수는 시간 소모적이고 어려워진다. 예를 들어, 세정 및 유지보수 액세스를 제공하도록 이송 챔버의 덮개를 제거하기 위해, 크레인이 요구된다. 크레인의 필요성은, 종종, 제조 설비를 구성할 수 있는 유연성을 제한하고, 그러한 유연성에 대한 부가적인 비용이다. 부가적으로, 장비의 증가된 크기는 크레인의 작동을 방해할 수 있다.
[0004] 따라서, 당업계에 필요한 것은 이송 챔버들을 위한 개선된 덮개들 및 액츄에이터 조립체들이다.
[0005] 일 실시예에서, 챔버 덮개 장치가 제공된다. 챔버 덮개 장치는 덮개 본체, 덮개 본체에 커플링된 하나 또는 그 초과의 아암들, 및 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들에 의해 하나 또는 그 초과의 아암들에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기어 박스들을 포함할 수 있다. 모터가 또한, 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들에 의해 하나 또는 그 초과의 기어 박스들에 커플링될 수 있다.
[0006] 다른 실시예에서, 이송 챔버 장치가 제공된다. 이송 챔버 장치는 내부에 용적을 정의하는 챔버 본체, 및 챔버 본체에 회전 가능하게 커플링된 덮개를 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 브레이스(brace) 부재들은 덮개에 인접하여 챔버 본체에 커플링될 수 있고, 하나 또는 그 초과의 아암들은 덮개 및 챔버 본체에 커플링될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 기어 박스들은 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들에 의해 하나 또는 그 초과의 아암들에 커플링될 수 있고, 모터는 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들에 의해 하나 또는 그 초과의 기어 박스들에 커플링될 수 있다.
[0007] 또 다른 실시예에서, 덮개를 리프팅하기 위한 장치가 제공된다. 장치는 복수의 제 1 브라켓들(brackets) 및 복수의 제 2 브라켓들에 커플링된 복수의 아암들을 포함할 수 있다. 복수의 제 1 샤프트들은 복수의 제 2 브라켓들을 통해 복수의 아암들에 커플링될 수 있고, 복수의 기어 박스들은 복수의 제 1 샤프트들에 커플링될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들은 복수의 기어 박스들에 커플링될 수 있고, 모터는 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들에 커플링될 수 있다.
[0008] 본 개시물의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된, 본 개시물의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있는데, 이러한 실시예들의 일부는 첨부된 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 첨부된 도면들은 단지 전형적인 실시예들을 도시하는 것이므로 본 개시물의 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 한다는 것이 주목되어야 하는데, 이는 본 개시물이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이다.
[0009] 도 1은 프로세싱 시스템의 이송 챔버의 개략적인 평면도를 예시한다.
[0010] 도 2는 이송 챔버의 평면도를 예시한다.
[0011] 도 3은 도 2의 이송 챔버의 측면도를 예시한다.
[0012] 도 4는 이송 챔버 덮개 및 액츄에이터 조립체의 부분적인 측면도를 예시한다.
[0013] 도 5는 도 4의 이송 챔버 덮개의 내부의 사시도를 예시한다.
[0014] 도 6은 인디케이터 핀(indicator pin) 및 센서의 측면도를 예시한다.
[0015] 이해를 용이하게 하기 위하여, 가능하면, 도면들에 공통되는 동일한 엘리먼트들을 나타내는데 동일한 참조번호들이 사용되었다. 일 실시예의 엘리먼트들 및 특징들이, 추가적인 언급 없이 다른 실시예들에 유리하게 통합될 수 있다는 점이 고려된다.
[0016] 본 개시물의 실시예들은, 덮개 및 액츄에이터 조립체를 갖는 이송 챔버에 관한 것이다. 덮개는 이송 챔버에 회전 가능하게 커플링될 수 있고, 액츄에이터 조립체는, 이송 챔버의 내부로의 액세스를 허용하기 위해 덮개를 개방 및 폐쇄할 수 있다. 액츄에이터 조립체는 일반적으로, 덮개 및 챔버 본체에 아암들을 커플링시키는 브라켓들을 포함한다. 복수의 샤프트들 및 기어 박스들은 아암들과 모터 사이에 커플링될 수 있다. 모터는, 덮개를 개방 및 폐쇄하기 위해 샤프트들을 회전시킬 수 있다. 덮개 포지션을 결정하기 위한 센서가 또한 개시된다.
[0017] 도 1은 프로세싱 시스템(100)의 이송 챔버(102)의 개략적인 평면도를 예시한다. 프로세싱 시스템(100)은 일반적으로, 디스플레이 유형의 기판들 상에 OLED 디바이스들을 제조하도록 구성될 수 있다. 이송 챔버(102)는 프로세싱 시스템(100) 내에서 중앙에 로케이팅될 수 있고, 복수의 프로세싱 챔버들(108)이 이송 챔버(102)에 커플링될 수 있다. 로드 록 챔버(104)가 또한, 이송 챔버(102)에 커플링될 수 있고, 로드 록 챔버(104)는 팩토리 인터페이스(factory interface; 106)에 작동 가능하게(operably) 커플링되도록 구성될 수 있다.
[0018] 로드 록 챔버(104)는 진공 생성 장치(도시되지 않음)에 커플링될 수 있고, 이송 챔버(102) 내에서 유지되는 환경과 유사한 압력 환경을 생성한다. 작동 시에, 기판들은 팩토리 인터페이스(106)로부터 로드 록 챔버(104)로, 그리고 그런 후에, 이송 챔버(102)로 이송될 수 있다. 이송 챔버(102) 내의 로봇들은, 이송 챔버(102)에 커플링된 하나 또는 그 초과의 프로세싱 챔버들(108)로 그리고 그러한 챔버들로부터 기판들을 이송할 수 있다. 일 실시예에서, 이송 챔버(102)는 8각 형상(octagonal shaped)일 수 있다. 5개의 프로세싱 챔버들(108)이 도시되었지만, 더 많거나 더 적은 개수의 프로세싱 챔버(108)가 이송 챔버(102)에 커플링될 수 있음이 고려된다. 특정 실시예들에서, 마스크 챔버들(도시되지 않음)이 또한 이송 챔버(102)에 커플링될 수 있다.
[0019] 도 2는 이송 챔버(102)의 평면도를 예시한다. 이송 챔버(102)는 내부에 용적을 정의하는 챔버 본체(204)를 포함한다. 덮개(206)는 챔버 본체(204)에 회전 가능하게 커플링될 수 있다. 덮개(206)는 형상이 주로 직사각형일 수 있지만, 다른 형상들이 활용될 수 있음이 고려된다. 덮개(206)의 적어도 부분은 돔(dome) 형상일 수 있고(도 5와 관련하여 더 상세하게 도시됨), 덮개(206)의 구조적인 완결성(integrity)을 개선하기 위해, 거싯(gusset) 부재들(210)이 돔 부분에 커플링될 수 있다. 일 실시예에서, 덮개(206)는 알루미늄 재료로 제조될 수 있지만, 스테인리스 스틸과 같은 다른 재료가 또한 활용될 수 있음이 고려된다. 일반적으로, 챔버 본체(204) 및 덮개(206)의 제조를 위해 선택되는 재료는 동일한 재료일 수 있다.
[0020] 하나 또는 그 초과의 브레이스 부재들(208)이 또한 챔버 본체(204)에 커플링될 수 있다. 브레이스 부재들(208)은 덮개(206)에 인접하여 선형적으로(linearly) 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 브레이스 부재(208)는 덮개(206)의 어느 한쪽 측(side) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 브레이스 부재들(208)은 직사각형 형상의 덮개(206)의 긴 측들에 인접하여 배치될 수 있다. 브레이스 부재들(208)은, 특히 덮개(206)의 개방 및 폐쇄 동안의, 챔버 본체(204)의 구조적인 완결성을 개선하기 위해 구성될 수 있다. 일 실시예에서, 브레이스 부재들(208)은 알루미늄 재료로 형성될 수 있지만, 다른 적합한 재료들이 또한 활용될 수 있음이 고려된다.
[0021] 액츄에이터 조립체(202)는 챔버 본체(204)와 덮개(206) 사이에 커플링될 수 있다. 액츄에이터 조립체(202)는 일반적으로, 하나 또는 그 초과의 제 1 브라켓들(214), 하나 또는 그 초과의 아암들(212), 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들(220, 222), 하나 또는 그 초과의 기어 박스들(216), 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들(224), 및 모터(218)를 포함한다. 하나 또는 그 초과의 제 1 브라켓들(214)은 덮개(206)에 커플링될 수 있다. 제 1 브라켓들(214)은 스크류 또는 볼트들, 등과 같은 복수의 파스닝(fastening) 부재들일 수 있다. 제 1 브라켓들(214)은 또한 하나 또는 그 초과의 아암들(212)에 커플링될 수 있다. 아암들(212)은, 용접 등에 의해서와 같이, 임의의 적합한 장치에 의해서 제 1 브라켓들(214)에 체결될(fastened) 수 있다. 아암들(212)은 제 1 브라켓들(214)로부터, 도 4와 관련하여 더 상세하게 설명될 하나 또는 그 초과의 제 2 브라켓들(406)로 연장될 수 있다. 아암들(212)은 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들(220, 222)에 회전 가능하게 커플링될 수 있다. 제 1 샤프트들(220, 222)은 아암들(212)을 통해서 연장될 수 있고, 아암들(212)은 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들(220, 222)에 대해 회전할 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 샤프트들(220, 222)은, 제 1 샤프트들(220, 222)의 회전, 그리고 따라서 제 1 샤프트들(220, 222)의 중심선들을 중심으로 한 아암들(212)의 회전을 허용하도록 구성된 베어링들과 인터페이싱할 수 있다.
[0022] 제 1 샤프트들(220, 222)은 또한 하나 또는 그 초과의 기어 박스들(216)에 커플링될 수 있다. 기어 박스들(216)은 브레이스들(208) 중 하나 및/또는 챔버 본체(204)에 커플링될 수 있다. 기어 박스들(216)은, 회전될 때, 제 1 샤프트들(220, 222)에 대한 회전력을 전달하는 복수의 기어들을 수납(house)할 수 있다. 기어 박스들은 또한 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들(224)에 커플링될 수 있다. 제 2 샤프트들(224)은, 제 2 샤프트들(224)을 회전시키도록 구성된 모터(218)에 커플링될 수 있다. 작동 시에, 모터(218)는 제 2 샤프트들(224)에 대한 회전력을 생성할 수 있다. 제 2 샤프트들(224)의 회전력은 기어 박스(216) 내에 수납된 복수의 기어들에게 전해질(translated) 수 있다. 기어들은 제 1 샤프트들(220, 222)에 대한 회전력을 추가로 전할 수 있다. 그러면, 제 1 샤프트들(220, 222)은, 요구되는 작동에 따라 덮개(206)로 하여금 개방 또는 폐쇄되게 하는 아암들(212)에게 회전력을 전할 수 있다.
[0023] 도 3은 도 2에 예시된 이송 챔버(102)의 측면도를 예시한다. 덮개(206)는 폐쇄된 포지션으로 도시된다. 덮개(206)의 돔-형 형상이 또한, 도 3에서 더 명확하게 예시된다. 폐쇄된 포지션의 덮개(206)는, 액츄에이터 조립체(202)에 의해, 도 4에 예시된 개방된 포지션으로 개방될 수 있다.
[0024] 도 4는, 덮개(206)가 개방 포지션에 있는 상태의, 덮개(206) 및 액츄에이터 조립체(202)의 부분적인 측면도를 예시한다. 액츄에이터 조립체(202)는, 덮개(206)를 폐쇄된 포지션(도 3에 도시됨)으로부터 개방 포지션으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 일 실시예에서, 개방 포지션의 덮개(206)는 폐쇄된 포지션으로부터 약 100° 내지 약 180°, 예컨대, 약 150° 회전할 수 있다. 덮개(206)는 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들(220, 222)에 의해 정의된 축을 중심으로 회전할 수 있다. 덮개의 폐쇄된 포지션에 수직한 포지션(position normal) 너머로 덮개(206)를 회전시키는 능력은 설비 크레인들로부터의 개선된 간극(clearance)을 제공한다. 따라서, 제조 설비 크레인들은, 덮개(206)가 개방된 포지션에 있을 때, 설비 주위를 자유롭게 이동할 수 있다.
[0025] 상기 참조된 하나 또는 그 초과의 제 2 브라켓들(406)은 챔버 본체(204) 및/또는 브레이스 부재(208)에 커플링될 수 있다. 제 1 샤프트들(220, 222)은, 아암들(212)이 제 1 샤프트들(220, 222)에 커플링될 수 있도록, 제 2 브라켓들(406)을 통해 연장될 수 있다. 일 실시예에서, 제 2 브라켓들(406)은 정지(stop) 부재(404)를 포함할 수 있다. 정지 부재(404)는 제 2 브라켓들(406)에 커플링될 수 있고, 아암들(212)과 접촉하도록 구성된 적어도 하나의 베벨형(beveled) 또는 챔퍼형(chamfered) 엣지를 가질 수 있다. 일 실시예에서, 정지 부재(404)는, 덮개(206)가 개방된 포지션에 있을 때 아암들(212)이 정지 부재(404)와 접촉하도록, 포지셔닝된다.
[0026] 핀 부재(402)가 또한, 아암들(212)에 커플링될 수 있다. 핀 부재(402)는 제 2 브라켓들(406)을 통해 연장될 수 있고, 덮개(206)가 개방 포지션에 있을 때 아암들(212)을 제 위치(in place)에 고정(lock)하도록 구성될 수 있다. 일 실시예에서, 핀 부재(402)는, 덮개(206)가 개방 포지션에 있을 때, 핀 부재(402)가, 제 2 브라켓들(406)에 형성된 홀(도시되지 않음)에 맞물릴(engage) 수 있도록, 스프링 로딩형(spring loaded)일 수 있다. 핀 부재(402)는 제 2 브라켓들의 홀을 통해 연장될 수 있고, 아암들(212)을 제 위치에 고정할 수 있다. 핀 부재들(402)은, 액츄에이터 조립체(202)가 덮개(206)를 폐쇄된 포지션으로 복귀시키는 것을 허용하도록, 선택적으로 맞물림 해제될(disengaged) 수 있다.
[0027] 인디케이터 핀 브라켓(408)이 또한, 덮개(206)에 커플링될 수 있다. 인디케이터 핀 브라켓(408)은, 스크류들, 볼트들/너트들, 및 용접, 등에 의해서와 같이, 다양한 커플링 장치에 의해서, 덮개(206)의 둘레(perimeter)에 체결될 수 있다. 인디케이터 핀 브라켓(408)은, 인디케이터 핀(608)(도 6 참고)이 센서 조립체(602)에 맞물릴 수 있도록, 덮개(206)의 둘레 너머로 연장될 수 있다.
[0028] 도 5는 덮개(206)의 내부의 사시도를 예시한다. 앞서 언급된 바와 같이, 덮개(206)는, 덮개(206)의 내부 표면(502)에 의해 정의될 수 있는 돔-형 부분을 포함할 수 있다. 일반적으로, 이송 챔버(102)는, 기판들의 이송 및 프로세싱 동안 진공 하에서 유지된다. 이로써, 덮개(206)는 고도의 진공을 구조적으로 견딜 수 있어야 한다. 복수의 트러스(truss) 부재들(504)이, 내부 표면(502)을 따라 덮개(206)의 내부에 걸칠(span) 수 있다. 트러스 부재들(504)은 직사각형 형상의 덮개(206)의 긴 측들 사이에서 연장될 수 있고, 트러스 부재(504)는 내부 표면(502)에 커플링되어 내부 표면(502)과 접촉할 수 있다. 일 실시예에서, 트러스 부재들(504)은 내부 표면(502)에 용접될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 홀들(506)이 트러스 부재(504)의 각각에 형성될 수 있다. 홀들(506)은 덮개(206)의 무게를 감소시킬 수 있고, 이는, 액츄에이터 조립체(202)에 의한 덮개(206)의 개선된 개방 및 폐쇄를 제공할 수 있다.
[0029] 도 6은 인디케이터 핀 브라켓(408) 및 센서 조립체(602)의 측면도를 예시한다. 앞서 언급된 바와 같이, 인디케이터 핀 브라켓(408)은 덮개(206)에 커플링되고, 덮개(206)의 둘레 너머로 연장된다. 결합(joint) 부재(606)가 인디케이터 핀 브라켓(408)에 커플링될 수 있고, 인디케이터 핀(608)이 결합 부재(606)로부터 연장될 수 있다. 일 실시예에서, 결합 부재(606)는, 인디케이터 핀(608)에 커플링된 스프링(도시되지 않음)을 수납할 수 있다.
[0030] 차단(block) 부재(604)가 챔버 본체(204)에 커플링될 수 있고, 센서 조립체(602)가 차단 부재(604)에 커플링될 수 있다. 차단 부재는, 인디케이터 핀(608)을 수용하기 위해 센서 조립체(602)를 포지셔닝하도록 구성될 수 있다. 센서 조립체(602)는, 덮개(206)에 대한 인디케이터 핀(608)의 포지션을 나타내는 메트릭(metric)을 감지하도록 구성되는, 근접 센서와 같은 센서(610)를 포함할 수 있다. 도 6에 예시된 바와 같이, 덮개(206)는 폐쇄된 포지션에 로케이팅되고, 인디케이터 핀(608)은 완전히 센서(610) 내에 배치된다. 인디케이터 핀(608)이 센서(610)에 맞물리면, 신호가 이송 챔버 제어 장치로 전송될 수 있다. 신호는, 진공 작동을 착수하도록 덮개(206)가 적절하게 포지셔닝되었다는 표시를 제공할 수 있다. 덮개(206)가 액츄에이터 조립체(202)에 의해 리프팅되는 경우, 인디케이터 핀(608)은 센서(610)로부터 멀리 이동할 수 있다. 또한, 폐쇄된 포지션으로부터 덮개(206)가 약간 변위되는 양이, 센서(610)에 의해 검출될 수 있다. 이로써, 센서 조립체(602)는, 덮개(206)가 진공 작동을 위한 바람직한 포지션에 있다는 것을 나타내는 신호를 이송 챔버 제어 장치에 제공할 수 있다.
[0031] 요약하면, 이송 챔버 액츄에이터 조립체는 이송 챔버 덮개의 개방 및 폐쇄를 효율적인 방식으로 가능하게 할 수 있다. 덮개는, 이송 챔버에 대한 유지보수 액세스를 허용하도록 개방되고 폐쇄될 수 있다. 덮개는 크레인의 더 효과적인 사용을 허용하는 포지션으로 개방될 수 있다. 이로써, 챔버 유휴 시간이 감소될 수 있고, 이는, 이송 챔버가 활용되는 프로세싱 시스템의 처리량의 개선에 기여할 수 있다.
[0032] 전술한 내용은 본 개시물의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시물의 다른 그리고 추가적인 실시예들이, 본 개시물의 기본 범위로부터 벗어나지 않고, 안출될 수 있으며, 본 개시물의 범위는 이하의 청구항들에 의해서 결정된다.
100 프로세싱 시스템
102 챔버
104 로드 록 챔버
106 팩토리 인터페이스
108 프로세싱 챔버
202 액츄에이터 조립체
204 챔버 본체
206 덮개
208 브레이스 부재
210 거싯 부재들
212 아암들
214 제 1 브라켓들
216 기어 박스
218 모터
220 제 1 샤프트들
222 제 1 샤프트들
224 제 2 샤프트들
402 핀 부재
404 정지 부재
406 제 2 브라켓들
408 인디케이터 핀 브라켓
502 내부 표면
504 트러스 부재
506 홀들
602 센서 조립체
604 차단 부재
606 결합 부재
608 인디케이터 핀
610 센서

Claims (20)

  1. 챔버 덮개 장치로서,
    덮개 본체;
    상기 덮개 본체에 커플링된 하나 또는 그 초과의 아암들;
    상기 하나 또는 그 초과의 아암들을 통해 배치된 하나 또는 그 초과의 핀 부재들;
    하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들에 의해 상기 하나 또는 그 초과의 아암들에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기어 박스들; 및
    하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들에 의해 상기 하나 또는 그 초과의 기어 박스들에 커플링된 모터를 포함하는,
    챔버 덮개 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 덮개 본체는 직사각형 형상의 돔(dome)-형 구조인,
    챔버 덮개 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    하나 또는 그 초과의 거싯(gusset) 부재들이 상기 덮개 본체에 커플링되고, 상기 돔-형 구조를 구조적으로 보강하도록 구성되는,
    챔버 덮개 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 덮개 본체는 알루미늄 재료를 포함하는,
    챔버 덮개 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    하나 또는 그 초과의 브라켓들은 상기 하나 또는 그 초과의 아암들을 상기 덮개 본체에 커플링시키는,
    챔버 덮개 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들은, 상기 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들에 대한 상기 하나 또는 그 초과의 아암들의 회전을 허용하도록 구성된 베어링 조립체를 포함하는,
    챔버 덮개 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기어 박스들은, 상기 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들과 상기 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들 사이에 회전력을 전하도록 구성된 복수의 기어들을 포함하는,
    챔버 덮개 장치.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 덮개 본체의 둘레(perimeter)에 커플링된 인디케이터(indicator) 핀 브라켓을 더 포함하는,
    챔버 덮개 장치.
  10. 이송 챔버 장치로서,
    내부에 용적을 정의하는 챔버 본체;
    상기 챔버 본체에 회전 가능하게 커플링된 덮개;
    상기 덮개에 인접하여 상기 챔버 본체에 커플링된 하나 또는 그 초과의 브레이스(brace) 부재들;
    상기 덮개 및 상기 챔버 본체에 커플링된 하나 또는 그 초과의 아암들;
    상기 하나 또는 그 초과의 아암들을 통해 배치된 하나 또는 그 초과의 핀 부재들;
    하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들에 의해 상기 하나 또는 그 초과의 아암들에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기어 박스들; 및
    하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들에 의해 상기 하나 또는 그 초과의 기어 박스들에 커플링된 모터를 포함하는,
    이송 챔버 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 덮개는, 알루미늄 재료를 포함하는, 직사각형 형상의 돔-형 구조인,
    이송 챔버 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    하나 또는 그 초과의 제 1 브라켓들은 상기 하나 또는 그 초과의 아암들을 상기 덮개에 커플링시키는,
    이송 챔버 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    하나 또는 그 초과의 제 2 브라켓들은 상기 하나 또는 그 초과의 아암들을 상기 챔버 본체에 커플링시키는,
    이송 챔버 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 아암들은, 상기 하나 또는 그 초과의 브레이스 부재들 중 적어도 하나에 걸쳐, 상기 하나 또는 그 초과의 제 2 브라켓들로부터 상기 하나 또는 그 초과의 제 1 브라켓들로 연장되는,
    이송 챔버 장치.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 챔버 본체에 커플링된 센서를 더 포함하는,
    이송 챔버 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 덮개 본체의 둘레에 커플링된 인디케이터 핀을 더 포함하고, 상기 인디케이터 핀은 상기 센서와 인터페이싱하고 접촉하도록 구성되는,
    이송 챔버 장치.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기어 박스들은, 상기 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들과 상기 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들 사이에 회전력을 전하도록 구성된 복수의 기어들을 포함하는,
    이송 챔버 장치.
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 덮개는, 상기 챔버 본체와 접촉하는 제 1 포지션으로부터, 상기 제 1 포지션으로부터 150°인 제 2 포지션으로 회전하도록 구성되는,
    이송 챔버 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 제 1 샤프트들은 상기 덮개의 회전축을 정의하는,
    이송 챔버 장치.
  20. 덮개를 리프팅하기 위한 장치로서,
    복수의 제 1 브라켓들 및 복수의 제 2 브라켓들에 커플링된 복수의 아암들;
    상기 복수의 아암들을 통해 배치된 복수의 핀 부재들;
    상기 복수의 제 2 브라켓들을 통해 상기 복수의 아암들에 커플링된 복수의 제 1 샤프트들;
    상기 복수의 제 1 샤프트들에 커플링된 복수의 기어 박스들;
    상기 복수의 기어 박스들에 커플링된 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들; 및
    상기 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들에 커플링된 모터를 포함하고,
    상기 모터는 상기 하나 또는 그 초과의 제 2 샤프트들을 회전시키도록 구성되는,
    덮개를 리프팅하기 위한 장치.
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