KR101410880B1 - 링크구조를 활용한 도어 개폐장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 링크구조를 활용한 도어 개폐장치에 관한 것으로, 챔버의 상부에 구비되는 도어를 개폐하는 장치에 링크구조를 활용함으로써, 사용자가 적은 힘으로도 도어를 개폐할 수 있고, 도어의 개폐동작에 따른 위험성을 줄여 안전하게 도어를 여닫을 수 있도록, 챔버의 상부에 설치되어 상기 챔버를 개폐시키는 도어와, 상기 도어를 수동 또는 자동으로 개폐하기 위해 구동력을 제공하는 구동수단과, 일단이 상기 구동수단에 의해 회전하는 출력축에 힌지결합되고 타단은 제2 링크부재에 힌지결합되는 제1 링크부재와, 일단이 상기 제1 링크부재의 타단에 힌지결합되고 타단은 상기 도어에 힌지결합되는 제2 링크부재를 포함하며, 상기 구동수단의 구동력이 제공되면 상기 제1 링크부재와 제2 링크부재를 통해 상기 도어를 개폐하여 사용자가 적은 힘으로 도어를 개폐할 수 있는 효과가 있다.

Description

링크구조를 활용한 도어 개폐장치{A Door Opening/Closing Apparatus Using Link Structure}

본 발명은 링크구조를 활용한 도어 개폐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버의 상부에 구비되는 도어를 개폐하는 장치에 링크구조를 활용함으로써, 사용자가 적은 힘으로도 도어를 개폐할 수 있고, 도어의 개폐동작에 따른 위험성을 줄여 안전하게 도어를 여닫을 수 있는 도어 개폐장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼나 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하기 위한 각각의 공정들을 실시하기 위하여 특정조건이 형성된 공정챔버를 구비하는 공정설비가 구성된다.

상기 특정조건에는 여러 가지가 있으나 일차적으로 시행되는 조건은 상기 공정챔버에 설치된 도어의 개폐에 따른 기밀을 유지시켜 상기 공정챔버에서 가스가 누출되는 것을 방지하는 것이다.

특히, 작업자의 힘으로 개폐하기 어려운 큰 규모의 도어나, 기밀유지 및 개폐시의 충격을 방지하기 위해서는 상기 도어를 보다 안정적으로 개폐시켜야 하는데, 이와 관련된 종래 선행문헌으로 등록실용 제20-0415562호에는 무거운 프론트도어를 수동으로 개폐할 때, 프론트도어의 하중에 의해 사용자의 힘이 가중되고, 폐쇄동작이 원활치 않은 문제점을 해결하기 위하여, 도어의 무게를 충분히 지탱하여 동작시킴과 동시에 충분한 폐쇄력을 발휘할 수 있는 반도체 기판 제조용 공정설비의 도어 개폐장치가 개시되고 있다.

그러나, 이와 같은 선행문헌에서는 프론트도어에 고정된 고정아암과 유동아암을 힌지축을 중심으로 단순히 회전시켜 도어를 개폐하는 기술이었으므로, 핸들을 많이 회전시켜야 도어를 개폐할 수 있었고, 사용자의 힘을 덜어주는데 한계가 있었다.

도 1 및 도 2는 종래의 도어 개폐장치의 일예를 나타내는 도면으로서, 종래의 방식에서는 도어(10)를 개폐하기 위한 힌지부에 감속기가 구비된 기어 박스(12)가 구비되고, 상기 도어(10)를 수동으로 여닫기 위한 핸들(14)이 설치되어 상기 핸들(14)을 회전시켜 도어(10)를 90°이상 오픈하도록 설계되어 사용하였다.

그러나, 도어(10) 전체를 들어올리기 위해서는 기어 박스(12)의 핸들(14)을 많이 회전하여야 하며, 도어(10) 전체를 기어 박스(12)만을 이용하여 들어올리기에는 사용자의 힘이 많이 들뿐 아니라, 도어 개폐동작에 따른 위험성이 높은 단점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 챔버의 상부에 구비된 도어를 사용자가 적은 힘으로 개폐할 수 있고, 도어 개폐동작에 따른 위험성을 줄여 안전한 도어 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 챔버의 상부에 설치되어 상기 챔버를 개폐시키는 도어와, 상기 도어를 수동 또는 자동으로 개폐하기 위해 구동력을 제공하는 구동수단과, 일단이 상기 구동수단에 의해 회전하는 출력축에 힌지결합되고 타단은 제2 링크부재에 힌지결합되는 제1 링크부재와, 일단이 상기 제1 링크부재의 타단에 힌지결합되고 타단은 상기 도어에 힌지결합되는 제2 링크부재를 포함하며, 상기 구동수단의 구동력이 제공되면 상기 제1 링크부재와 제2 링크부재를 통해 상기 도어를 개폐하는 것을 특징으로 하는 링크구조를 활용한 도어 개폐장치가 제공된다.

본 발명에서, 상기 구동수단의 구동축에 연결된 감속기가 구비된 기어박스가 더 구비되고, 상기 제1 링크부재의 일단은 상기 기어박스의 출력축에 힌지결합될 수 있다.

또한, 상기 구동수단은 사용자가 수동으로 도어를 개폐하기 위한 핸들로 구성되거나, 사용자가 자동으로 도어를 개폐하기 위한 모터로 구성될 수 있다.

본 발명에서, 상기 챔버와 도어의 상면에는 소정 높이의 보강리브가 설치될 수 있다.

이 경우, 상기 구동수단은 상기 보강리브의 상부에 위치하도록 설치될 수 있다.

한편, 본 발명에서 상기 제1 링크부재는 상기 도어의 폐쇄상태에서 0°또는 마이너스(-) 각도로 위치하도록 설치될 수 있다.

또한, 상기 제1 링크부재의 길이가 제2 링크부재의 길이보다 길게 이루어지는 것이 바람직하다.

한편, 상기 챔버는 기판을 반입 및 반출하여 공정챔버로 이송하기 위한 이송챔버일 수 있으며, 기판의 증착공정이 진행되는 공정챔버인 것도 무방하다.

상기와 같은 본 발명의 도어 개폐장치는 2절의 링크부재를 사용함으로써, 사용자가 적은 힘으로 도어를 개폐할 수 있고, 도어 개폐에 따른 위험성을 크게 줄여 안전한 도어 개폐장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 도어 개폐장치의 일예를 나타내는 사시도로서, 도어가 폐쇄된 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 종래의 도어 개폐장치의 일예를 나타내는 사시도로서, 도어가 개방된 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 도어 개폐장치를 도시한 사시도로서, 도어가 폐쇄된 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에서의 요부를 나타낸 측면도이다.
도 5는 본 발명의 도어 개폐장치를 도시한 사시도로서, 도어가 개방된 상태를 도시한 사시도이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 도어 개폐장치를 도시한 사시도로서, 도어가 폐쇄된 상태를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에서의 요부를 나타낸 측면도이다.

본 발명의 도어 개폐장치는 챔버(20)를 개폐시키는 도어(10)와, 상기 도어(10)를 개폐하기 위한 구동력을 제공하는 구동수단과, 상기 구동수단에 의해 제공되는 구동력으로 상기 도어(10)를 개폐하기 위한 제1 링크부재(120)와, 제2 링크부재(130)를 포함하여 구성된다.

상기 도어(10)는 상기 챔버(20)에 일측면이 힌지고정되어 힌지고정된 일측면을 중심으로 회동하여 상기 챔버(20)를 개폐시키며, 본 발명에서는 상기 도어(10)가 챔버(20)의 상부에 구비되는 것을 일실시예로 들어 설명한다.

상기 챔버(20)는 기판을 반입 및 반출하여 공정챔버로 이송시키는 이송챔버 일 수 있다. 그러나, 본 발명의 챔버(20)는 이에 한정되지 않으며, 공정이 진행되는 공정챔버에도 본 발명의 도어 개폐장치가 적용될 수 있음은 물론이다.

한편, 상기 구동수단은 상기 도어(10)를 개폐하기 위한 구동력을 제공하는 것으로, 수동 또는 자동으로 도어(10)를 개폐할 수 있는 구성을 모두 포함할 수 있다.

즉, 상기 구동수단은 도어(10)를 사용자가 수동으로 개폐하기 위한 핸들(114)로 구성될 수 있으며, 상기 도어(10)를 자동으로 개폐할 수 있는 구동력을 제공하는 모터(도시안함)로 이루어질 수도 있다.

본 발명의 실시예에서는 사용자가 수동으로 회전시켜 도어(10)를 개폐할 수 있는 핸들(114)이 설치된 것을 도시하였다.

상기 구동수단이 모터로 이루어지는 경우, 상기 모터는 정역방향으로 회전가능해야 함은 물론이며, 모터의 구동 및 회전속도 등을 제어하기 위한 제어수단이 별도로 구성될 수 있다.

한편, 상기 핸들(114)은 그 중앙부에 구동축(114a)이 설치되며, 상기 구동축(114a)에는 감속기(도시안함)가 연결되어 출력축(122)을 통해 핸들(114)의 회전력이 전달된다. 상기 감속기는 기어박스(112) 내부에 설치된다.

상기 출력축(122)에 상기 제1 링크부재(120)는 일단이 힌지결합된다.

또한, 상기 제1 링크부재(120)의 타단에는 상기 제2 링크부재(130)의 일단이 힌지결합되고, 제2 링크부재(130)의 타단은 상기 도어(10)에 힌지결합된다.

이와 같이, 본 발명의 도어 개폐장치는 상기 핸들(114)을 회전시키면 그 구동력이 상기 제1 링크부재(120)와 제2 링크부재(130)를 통해 상기 도어(10)에 전달되어 상기 도어(10)를 개폐하는 구성이다.

여기서, 본 발명의 도어 개폐장치는 대면적 기판을 다루기 위한 대형 챔버에 적용될 수 있고, 이 경우, 상기 챔버(20)와 도어(10)의 상면에는 소정 높이의 보강리브(32)(34)가 설치될 수 있다.

상기 보강리브(32)(34)는 챔버(20) 또는 도어(10)의 변형 등을 방지하기 위해 설치되며, 소정의 높이를 가지는 판부재가 격자 형태로 설치되어 이루어질 수 있다.

이와 같이 상기 챔버(20)에 보강리브(34)가 설치되는 경우, 상기 기어박스(112)는 상기 보강리브(34)의 상부에 설치된다. 따라서, 상기 핸들(114)은 도어(10) 보다 소정 높이만큼 상부에 위치하게 된다.

본 발명에서 상기 제1 링크부재(120)와 제2 링크부재(130)를 통해 도어(10)를 개폐시킬 때 상기 제1 링크부재(120)는 0°또는 마이너스(-) 각도로 위치하는 것이 바람직하다.

즉, 상기 도어(10)의 폐쇄 상태에서, 상기 제1 링크부재(120)가 이루는 각도(θ)는 도 4에서 보는 바와 같이, 도어(10)의 상면이 이루는 선을 중심으로 마이너스 각도를 가질 수 있으며, 바람직하게는 0°또는 마이너스 각도를 갖도록 설치된다.

이와 같이, 상기 제1 링크부재(120)가 소정 만큼의 마이너스 각도로 위치한 상태에서 상기 핸들(114)를 회전시킬 때 사용자의 힘을 최소화할 수 있으며, 적은 힘으로도 도어(10)의 개방을 용이하게 한다.

또한, 상기 도어(10)의 개방 시 도어(10)의 각도가 90°이상으로 개방되어 안전한 상태를 유지하기 위해서는, 상기 제1 링크부재(120)와 제2 링크부재(130)의 길이를 달리 설정하는 것이 좋다.

즉, 제1 링크부재(120)의 길이가 제2 링크부재(130)의 길이보다 길게 이루어지는 것이 바람직하다. 이와 같은 경우, 상기 도어(10)의 개방이 완료되면, 도어(10)의 각도가 90°이상으로 개방되어 개방된 상태를 안전하게 유지할 수 있다.

도 5는 본 발명의 도어 개폐장치를 도시한 사시도로서, 도어가 개방된 상태를 도시한 사시도이다.

도 5에서 보는 바와 같이, 본 발명의 도어 개폐장치는 상기 핸들(114)을 회전시키면 핸들(114)의 구동축(114a)이 연결된 감속기에 의해 상기 출력축(122)이 회전하게 되고, 상기 출력축(122)에 힌지결합된 제1 링크부재(120)가 회동하면서 제2 링크부재(130)를 회동시켜 상기 도어(10)를 개방시킨다.

이와 같이 제1 링크부재(120)와 제2 링크부재(130)의 2절 링크를 구비한 도어 개폐장치는 사용자가 적은 힘으로 도어(10)를 개폐할 수 있고, 도어 개폐에 따른 위험성을 크게 줄여 안전사고의 위험을 크게 줄일 수 있는 효과가 있다.

상기 도어(10)의 폐쇄 시에는 상기 핸들(114)을 반대방향으로 회전시키며, 핸들(114)의 구동축(114a)이 연결된 감속기에 의해 상기 출력축(122)이 반대방향으로 회전하게 되어, 상기 출력축(122)에 힌지결합된 제1 링크부재(120)가 회동하면서 제2 링크부재(130)를 회동시켜 상기 도어(10)를 폐쇄시킨다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

10 : 도어 20 : 챔버
32, 34 : 보강리브 112 : 기어박스
114 : 핸들 114a : 구동축
120 : 제1 링크부재 122 : 출력축
130 : 제2 링크부재

Claims (10)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 챔버의 상부에 설치되어 상기 챔버를 개폐시키는 도어;
   상기 도어를 수동 또는 자동으로 개폐하기 위해 구동력을 제공하는 구동수단;
   일단이 상기 구동수단에 의해 회전하는 출력축에 힌지결합되고 타단은 제2 링크부재에 힌지결합되는 제1 링크부재; 및
   일단이 상기 제1 링크부재의 타단에 힌지결합되고 타단은 상기 도어에 힌지결합되는 제2 링크부재;
   를 포함하며,
   상기 구동수단의 구동력이 제공되면 상기 제1 링크부재와 제2 링크부재를 통해 상기 도어를 개폐하고,
   상기 챔버와 도어의 상면에는 소정 높이의 보강리브가 설치되는 것을 특징으로 하는 링크구조를 활용한 도어 개폐장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 구동수단은 상기 보강리브의 상부에 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 링크구조를 활용한 도어 개폐장치.
7. 챔버의 상부에 설치되어 상기 챔버를 개폐시키는 도어;
   상기 도어를 수동 또는 자동으로 개폐하기 위해 구동력을 제공하는 구동수단;
   일단이 상기 구동수단에 의해 회전하는 출력축에 힌지결합되고 타단은 제2 링크부재에 힌지결합되는 제1 링크부재; 및
   일단이 상기 제1 링크부재의 타단에 힌지결합되고 타단은 상기 도어에 힌지결합되는 제2 링크부재;
   를 포함하며,
   상기 구동수단의 구동력이 제공되면 상기 제1 링크부재와 제2 링크부재를 통해 상기 도어를 개폐하고,
   상기 제1 링크부재는 상기 도어의 폐쇄상태에서 0°또는 마이너스(-) 각도로 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 링크구조를 활용한 도어 개폐장치.
8. 챔버의 상부에 설치되어 상기 챔버를 개폐시키는 도어;
   상기 도어를 수동 또는 자동으로 개폐하기 위해 구동력을 제공하는 구동수단;
   일단이 상기 구동수단에 의해 회전하는 출력축에 힌지결합되고 타단은 제2 링크부재에 힌지결합되는 제1 링크부재; 및
   일단이 상기 제1 링크부재의 타단에 힌지결합되고 타단은 상기 도어에 힌지결합되는 제2 링크부재;
   를 포함하며,
   상기 구동수단의 구동력이 제공되면 상기 제1 링크부재와 제2 링크부재를 통해 상기 도어를 개폐하고,
   상기 제1 링크부재의 길이가 제2 링크부재의 길이보다 길게 이루어지는 것을 특징으로 하는 링크구조를 활용한 도어 개폐장치.
   
9. 삭제
10. 삭제

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