KR101685406B1 - 리드 개폐 모듈을 포함하는 장치 - Google Patents

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Abstract

리드 개폐 모듈을 포함하는 장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 내부에 공간이 형성된 챔버 및 상기 챔버의 개구부를 커버하는 리드를 구비하는 장치는, 상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재; 상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재; 및 상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 가이드부재의 경로를 따른 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하도록 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재;를 포함한다.

Description

리드 개폐 모듈을 포함하는 장치{APPARATUS INCLUDING LID OPENER}
본 발명은 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 리드에 대한 개폐를 용이하게 하는 리드 개폐 모듈을 포함한 장치에 관한 것이다.
반도체(Semiconductor)는 진공분위기 속에서 반도체 웨이퍼의 표면 처리 등의 여러 반도체 가공 공정을 거치게 된다.
웨이퍼 가공 과정은 보통 웨이퍼 식각, 웨이퍼 세정 등의 여러 과정을 포함할 수 있는데, 이러한 가공 과정은 보통 특정한 과정을 수행하는 독립된 프로세스 챔버(Process chamber)에서 행해지는 것이 보통이다.
프로세스 챔버에서 소정 가공 처리된 웨이퍼는 다음 가공처리를 진행하기 위해 또 다른 프로세스 챔버로 이송되어야 하는데, 이러한 일련의 웨이퍼 이송 과정은 로봇 아암이 구비된 트랜스퍼 챔버를 통해서 수행된다. 예를 들어 프로세스 챔버간의 허브 또는 중계소라고 쉽게 이해할 수 있다. 이 트랜스퍼 챔버는 일측이 프로세스 챔버와 연결되는 구조로 이루어진다.
언급했다시피, 트랜스퍼 챔버의 내부 공간에는 로봇 아암이 배치하게 되는데, 이 로봇 아암을 수시로 정비하기 위해 사람 또는 장비가 드나들 수 있도록 트랜스퍼 챔버에 개구부를 형성하고, 이 개구부를 커버하는 리드를 함께 설치하게 된다.
하지만, 보통 챔버에 사용되는 리드는 무게가 상당히 무겁고 크기가 커, 사용자가 직접 수동으로 개폐하기에는 한계가 있으므로, 소정의 개폐 장치를 이용하여 리드를 여는 것이 일반적이다.
종래에 리드를 개폐하는 방법으로는 첫째, 크레인을 이용하여 리드를 들어올리는 방식을 사용하거나, 둘째, 리드의 힌지부에 회전구동모듈을 설치하여 리드를 개폐 시키는 방식을 주로 사용하였다.
이들 중 회전구동모듈을 설치한 리드 개폐 방법은 기어박스, 감속기 및 센서 등을 리드의 힌지부에 설치하여 기어박스 및 감속기의 구동 또는 전달되는 회전력을 통해 리드를 개폐하는 과정을 통해 이루어진다.
하지만, 이러한 종래의 회전구동모듈을 이용하여 리드를 개폐하는 경우 여러 문제점이 발생하게 된다. 대표적으로 회전구동모듈은 강력한 감속기와 기어박스를 통해서 리드를 개폐하는 구조로서 그 가격이 굉장히 비싸며, 또한, 회전구동모듈을 통해 리드를 개방하게 되면 모멘트에 의해서 발생되는 전단력 또는 리드의 하중 등이 완충 없이 커플링에 그대로 전달되어 기어의 마모를 유도하거나, 커플링의 볼트가 끊어지는 문제점이 발생할 수 있다. 여기서, 커플링의 볼트가 끊어질 때는, 이에 수반하여 커플링의 볼트가 미끄러지는 현상이 발생하는데, 이로 인해 리드 개폐에 과정에 관여하는 Open/Close 센서의 포지션이 틀어져, 리드 개폐의 차질이 생기는 문제점 등이 존재한다.
한편, 반도체 가공 공정에 사용되는 장치는 무거운 중량의 리드와 연결되어 있고, 또한 장치의 내부는 진공상태로 유지되기 때문에 기압에 의한 압력이 상당하여, 챔버의 상판 또는 리드의 구조를 지지하기 위한 보강리브를 설치한다.
하지만, 보강리브를 챔버의 상판에 설치하게 되면, 리드 개폐 과정에서 리드와 보강리브 사이의 구조적 간섭이 생기는 문제점이 있다. 이를 위해 종래에는 힌지부의 위치를 전체적으로 높게 위치시키는 방법을 통해 문제점을 해결하였다. 하지만, 힌지부를 높게 위치시킨다고 하더라도, 높아진 힌지의 위치만큼 리드의 위치도 높아져, 리드가 개방되었을 때, 개방된 리드가 챔버의 개구부의 일부를 가려 구조적인 장애물을 형성하게 된다. 이에 따라 로봇 아암이 개구부를 통해 챔버의 내부로 진입할 때, 개방된 리드에 의해 진입이 방해되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 비교적 단순한 구조로 이루어져 제조비용을 낮추어 원가를 절감하면서도, 리드에 의해서 여러 부속에 걸리는 강력한 하중 및 모멘트에 의해 발생하는 문제점을 효과적으로 해결할 수 있는 새로운 구조의 리드 개폐 모듈 및 이 리드 개폐 모듈을 포함하는 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 내부에 공간이 형성된 챔버 및 상기 챔버의 개구부를 커버하는 리드를 구비하는 장치는, 상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재; 상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재; 및 상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하도록 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재; 를 포함한다.
본 발명에 따른 리드 개폐 모듈을 포함하는 장치는 제1 방향으로 이동하는 이동부재, 제1 상승방향으로 운동하는 연동부재 및 연동부재와 연동되며 리드를 개폐하기 위한 회전운동이 유도되는 회전부재를 통해 리드를 개폐함으로써, 종래 리드의 힌지부의 커플링, 감속기, 기어 및 센서 등에 직간접적으로 가해지는 모멘트에 의해 발생하는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.
또한, 단순한 구조로 이루어져 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 챔버의 상판 내측에 보강부재를 구비하여, 리드를 완전히 개방하였을 때에도 리드와 보강부재 사이의 간섭 없이도 효과적으로 상판의 구조를 보강할 수 있는 효과가 있다.
한편, 여기에 명시적으로 언급되지 않은 효과라 하더라도, 본 발명의 기술적 특징에 의해 기대되는 이하의 명세서에 기재된 효과 및 그 잠정적인 효과는 본 발명의 명세서에 기재된 것과 같이 취급될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 외관을 보인 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 리드 개폐 모듈의 구성을 보인 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈의 동작에 따라 리드가 개방되어 가는 과정을 보인 사시도.
도 4는 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈의 동작에 따라 리드가 완전히 개방된 상태를 나타낸 사시도.
도 5는 도 1에 도시된 장치의 측면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치의 리드 개폐 모듈의 구성을 보인 사시도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항 들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)를 상세히 설명한다.
본 발명의 바람직한 실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)의 외관을 보인 사시도이다.
본 발명의 장치(1000)는 내부 공간부에 기판 이송용 로봇 아암이 수용되는 반도체 제조공정용 트랜스퍼 챔버를 포함할 수 있으나, 본 발명이 이러한 챔버의 종류에 제한되는 것은 아니며, 개폐 가능한 리드를 포함하는 모든 종류의 장치에 적용될 수 있다. 본 발명의 챔버는 원기둥, 사각기둥, 육각기둥, 팔각기둥 형태로 구현될 수 있으나, 이러한 챔버의 형상은 사용자의 목적의 따라 얼마든지 변형될 수 있는 것은 자명하다.
상기 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명은 내부에 공간이 형성된 챔버(100), 챔버(100)의 개구부를 커버하는 리드(200), 및 리드(200)를 개폐하는 리드 개폐 모듈(300)을 포함하며, 상기 리드(200)는 챔버(100)의 상판과 힌지 결합되어 절첩될 수 있고, 상기 챔버(100)의 상판은 리드(200)가 열려 있을 때 개구부를 형성하도록 구성되어 있다.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 리드(200)를 개폐하기 위한 리드 개폐 모듈(300)의 구성을 보인 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(100)의 측부 또는 리드(200)의 측부에는 리드 개폐 모듈(300)의 구성요소들이 위치할 수 있다.
리드 개폐 모듈(300)은 제1 플레이트(310), 가이드부재(320), 이동부재(330), 연동부재(340)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1 플레이트(310)는, 후술할 가이드부재(320), 이동부재(330) 등이 설치되기 위한 판일 수 있다.
또한, 가이드부재(320)는 제1 플레이트(310) 상에 직선, 곡선, 구부러진 모양 등의 소정 경로를 제공하도록 설치될 수 있다. 일례로, 가이드부재(320)는 리니어가이드로 구성될 수 있다.
또한, 이동부재(330)는 가이드부재(320)와 연동되며 가이드부재(320)의 경로를 따라 자유로운 이동이 가능할 수 있다. 예를 들어 상세히 설명하면, 가이드부재(320)가 레일로 이루어졌을 때, 이동부재(330)의 레일과 대향되어 연동되는 부분은 차륜 또는 슬라이더 등으로 구성될 수 있다.
또한, 이동부재(330)의 상측에는 연동부재(340)가 설치되며, 연동부재(340)는 소정의 조건에 따라 상승, 하강 동작을 수행한다. 이러한 상승, 하강 동작은 연동부재(340)를 구동하기 위한 모터 또는 실린더를 통해 이루어질 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈(300)의 동작에 따라 리드(200)가 개방되어 가는 과정을 보인 사시도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 연동부재(340)는 이동부재(330)와 결합되며 소정의 조건에 따라 상승, 하강 운동이 가능한 제1 동작유도부(341), 및 일단이 제1 동작유도부(341)와 연동되며 타단은 리드(200)를 개폐하기 위해 회전운동으로 전환하기 위한 회전부재(210)와 결합되는 제2 동작유도부(342)를 포함할 수 있다. 참고로, 회전부재(210)는 리드(200)의 소정 부위에 위치하며, 자세한 내용은 후술한다.
제1 동작유도부(341)는 내측에 수용 공간을 갖는 관 형태의 몸체부(341a), 및 관 형태의 몸체부(341a)에 수용되며 길이방향으로 이동이 가능한 높이변동부(341b)를 포함할 수 있다. 제1 동작유도부(341)의 구성에 의한 상기 상승, 하강 운동을 상세히 설명하면, 높이변동부(341b)는 소정 조건에 따라 관 형태의 몸체부(341a)의 길이방향을 따라서 상승, 하강 방향으로 자유자재로 운동할 수 있다.
상기 제1 동작유도부(341)와 상기 제2 동작유도부(342)의 연동은 결합부재(343)를 통해 이루어질 수 있다. 결합부재(343)에는 제1 동작유도부(341)의 단부 및 제2 동작유도부(342)의 단부를 삽입 고정하도록 관통 형성된 복수개의 삽입공(343a, 343b)이 형성될 수 있다.
상세하게는, 제1 동작유도부(341)의 높이변동부(341b)의 단부는 상기 결합부재(343)의 제1 삽입공(343a)에 삽입 고정되고, 제2 동작유도부(342)의 단부는 제2 삽입공(343b)에 삽입 고정될 수 있다.
따라서, 제2 동작유도부(342)는 제1 동작유도부(341)가 상승, 하강 운동을 하게 되었을 때, 제1 동작유도부(341)의 운동에 따라 상승, 하강 운동이 자연스럽게 유도되어 그 위치(가령, 높이 등)가 변화할 수 있다.
제2 동작유도부(342)의 타단부에는 회전결합부재(342a)가 설치되고, 이 회전결합부재(342a)는 리드(200)를 개폐하기 위해 연동부재(340)의 운동을 회전운동으로 전환하기 위한 회전부재(210)와 회전 결합될 수 있다.
상기 회전부재(210)는 외륜과 내륜 사이에 복수개의 볼이 인입된 베어링일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지는 않고 자유로운 회전운동을 일으킬 수 있는 것을 모두 사용할 수 있다.
상기 회전결합부재(342a)는 구형부재, 휠(Wheel) 등일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지는 않고 자유로운 회전운동을 일으키도록 하는 것을 모두 사용할 수 있다.
회전부재(210)는 이 회전부재(210)를 수용하며 일부분이 리드(200)와 결합되어 있는 리드결합부재(220)와 결합될 수 있다.
상기와 같이 구성한 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)의 리드 개폐 동작과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 3을 참조하여 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)의 리드(200) 개방 과정부터 설명한다.
먼저, 소정의 조건에 따라 제1 동작유도부(341)의 높이변동부(341b)는 몸체부(341a)로부터 길이방향으로 연장하는 상승 운동을 하게 된다.
이때, 높이변동부(341b)와 연동된 제2 동작유도부(342)는 높이변동부(341b)의 운동에 의해서 상승 운동이 자연스럽게 유도되어 전체적인 위치가 상승하게 된다.
다음으로, 상승 운동이 유도된 제2 동작유도부(342)는 상기와 같이 회전결합부재(342a), 회전부재(210) 및 리드결합부재(220) 등을 통해 리드(200)와 직간접적으로 연결되어 있어, 유도된 상승 운동을 통해 리드(200)를 들어올리게 된다.
제2 동작유도부(342)가 리드(200)를 들어올리는데, 구체적으로는 리드(200)의 일측은 고정된 상태이고 리드(200)의 타측은 들어올려지는 상태일 것이다. 이는 앞서 언급하였듯이 리드(200)의 일측이 챔버(100)의 상판과 힌지 결합되어 있기 때문이며, 이에 따라 리드(200)의 타측이 올라가면서 개방되기 시작한다. 구체적으로, 회전부재(210)는 제1 회전방향으로의 회전 운동이 유도되고, 리드(200)의 개방 운동의 영향을 받아 제1 방향으로의 위치의 이동이 유도된다.
이어서, 높이변동부(341b)가 보다 상승 운동을 진행하면, 상기 회전부재(210)가 제1 방향으로의 위치가 더 이동될 것이고, 연동부재(340)도 자연스럽게 제1 방향으로의 위치 이동이 더 유도되며, 이 연동부재(340)와 결합하고 있는 이동부재(330) 또한 제1 방향으로의 위치 이동이 더 유도되는데, 이때 이동부재(330)는 가이드부재(320)가 제공하는 경로를 따라 이동하게 되면서 리드(200)는 더욱 개방된다.
도 4는 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈(300)의 동작을 따라 리드(200)가 완전히 개방된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 가이드부재(320)가 제공하는 경로의 길이에 따라 리드(200)가 개방되는 정도가 달라질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 리드(200)가 90도의 내각을 갖도록 개방된 도면을 예시하였으나, 리드(200)는 가이드부재(320)가 제공하는 경로의 길이를 연장함으로써 90도 이상의 내각을 갖도록 더 개방할 수도 있다.
리드(200)의 폐쇄 과정은 제1 동작유도부(341)의 하강 운동을 통해 이루어지는데, 이 리드(200)의 폐쇄 과정은 상기 전술한 리드(200) 개방 과정의 역 과정이므로, 본 발명의 명세서에서는 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)에 의한 리드(200) 폐쇄 과정에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5는 도 1에 도시된 장치(1000)의 측면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 챔버(100)의 상판의 상면 및 하면에 적어도 하나 이상의 보강부재(230)를 더 구비할 수 있다. 보강부재(230)는 바람직하게 보강 리브일 수 있다.
구체적으로, 챔버(100)의 상판의 상측에 구비된 제1 보강부재(230a)는 리드(200)의 개폐 동작과정에서 리드(200)와의 간섭이 없이 개방되도록 비교적 낮게 설치될 수 있다.
여기서, 제1 보강부재(230a)만으로는 장치(1000)의 구조를 제대로 보강할 수 없기 때문에, 본 발명은 따른 장치(1000)는 챔버(100)의 상판의 하측에 제2 보강부재(230b)를 더 구비하여 보강력을 더욱 강화할 수 있다.
또한, 챔버(100)의 상판의 하측에 구비되는 제2 보강부재(230b)는, 챔버(100)의 내측벽과 더 결합될 수 있다. 제2 보강부재(230b)가 챔버(100)의 내측벽과 더 결합하게 되는 경우에는, 챔버(100)의 상판의 두께를 얇게 설정하더라도 챔버(100)의 상판의 강성을 효과적으로 상승시킬 수 있다.
제1 보강부재(230a) 및 제2 보강부재(230b)는 용접, 볼트결합을 통해 챔버(100)의 상판에 각각 따로 설치할 수도 있으나, 하나의 보강부재(230)를 챔버(100)의 상판에 관통 결합시킬 수도 있다.
이러한 제1 보강부재(230a) 및 제2 보강부재의(230b)의 구성에 따른 본 발명에 의한 장치는, 리드(200) 개방 과정에서 리드(200)와 제1 보강부재(230a) 간의 구조적 간섭이 발생하는 것을 해결하고, 또한, 안정적으로 장치(1000)의 구조를 보강할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)를 도 6을 참조하여 상세히 설명한다. 먼저, 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치(1000)는 상기 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)에 비해 달라진 부분을 설명하고, 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)와 동일한 구성요소에 대해서는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치(1000)의 리드 개폐 모듈(300)의 구성을 보인 사시도이다.
잠시 도 1 내지 도 5를 참조로 한 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)를 언급하면, 장치(1000)의 이동부재(330)는 연동부재(340)의 상승 운동 등에 따라 이동이 유도되고, 유도된 힘에 따라 이동부재(330)가 가이드부재(320)의 경로를 따라 이동하게 되는 자유 이동 방식이다.
여기서, 이동부재(330)가 자유 이동 방식으로 이동하게 되는 경우에는, 이동부재(330)와 가이드부재(320)의 연결부위에서 소정의 마찰력이 발생할 수 있어, 이동부재(330)의 이동이 소폭 제한될 수 있다.
따라서, 도 6에 도시된 바와 같이 리드 개폐 모듈(300)은 제1 플레이트(310)에 위치하고 이동부재(330)를 가이드부재(320)의 경로를 따른 방향으로 운동하도록 추가적으로 힘을 제공하는 이동유도부재(350)를 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 이동유도부재(350)는 구동력을 전달하는 실린더 등을 포함할 수 있다.
또한, 이동유도부재(350)는, 이동부재(330)의 측부에 연동되어, 본 발명의 일련의 리드 개방 과정 중 이동부재(330)가 가이드부재(320)의 경로를 따라 이동 시, 이동부재(330)에 소정의 힘을 전달함으로써, 이동부재(330)가 가이드부재(320)의 경로를 따라 더욱 원활히 이동하도록 유도한다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
1000: 장치 100: 챔버
200: 리드
210: 회전부재 220: 리드결합부재
230: 보강부재
300: 리드 개폐 모듈 310: 제1 플레이트
320: 가이드부재 330: 이동부재
340: 연동부재 341: 제1 동작유도부
342: 제2 동작유도부 343: 결합부재
350: 이동유도부재

Claims (10)

  1. 내부에 공간이 형성된 챔버 및 상기 챔버의 개구부를 커버하는 리드를 구비하는 장치에 있어서,
    상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재;
    상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재; 및
    상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 가이드부재의 경로를 따른 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하도록 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재; 를 포함하며,
    상기 연동부재는,
    상기 이동부재에 결합되며 길이방향으로 연장, 축소가 가능한 제1 동작유도부;
    일단이 상기 제1 동작유도부와 연동되며, 타단은 상기 리드를 개폐하기 위해 상기 회전운동으로 전환하기 위한 회전부재와 결합되는 제2 동작유도부; 및
    상기 제1 동작유도부와 상기 제2 동작유도부를 연동시키며, 상기 제1 동작유도부 및 상기 제2 동작유도부의 단부가 삽입 고정되는 삽입공이 형성된 결합부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 동작유도부는,
    내측에 수용 공간을 갖는 관 형태의 몸체부; 및
    상기 몸체부에 수용되며 상기 길이방향으로 이동이 가능한 높이변동부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 회전부재는 상기 회전부재를 수용하는 리드결합부재를 통해 상기 리드에 결합하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 동작유도부의 상기 길이방향의 연장, 축소는 실린더 방식 또는 모터 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 내부에 공간이 형성된 챔버 및 상기 챔버의 개구부를 커버하는 리드를 구비하는 장치에 있어서,
    상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재;
    상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재;
    상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 가이드부재의 경로를 따른 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하도록 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재; 및
    상기 제1 플레이트에 위치하고, 상기 이동부재를 상기 가이드부재의 경로를 따른 방향으로 운동하도록 추가적으로 힘을 제공하는 이동유도부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이동유도부재는 실린더를 포함하며, 상기 이동부재에 소정의 힘을 전달하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 챔버를 커버하는 상판은 상기 개구부를 형성하고, 상기 개구부를 상기 리드가 커버하며, 상기 챔버를 커버하는 상판의 상측 및 하측에는 적어도 하나 이상의 보강부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상판의 하측에 구비되는 보강부재는, 상기 챔버의 내측벽과 더 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
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