KR20090069046A - 리드 개폐장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 리드(lid)를 신속, 안전하게 열어 챔버 본체(chamber body)로부터 분리할 수 있는 리드 개폐장치 및 방법에 관한 것으로, 구성요소로는 리드를 회전, 상하이동 및 횡으로 이동시키기 위한 각종의 기구 및 이들 기구의 작동을 제어하는 제어수단을 포함하고, 리드의 분리는 이 리드를 상승시킨 후 이동시키는 것과 동시에 회전시키는 순으로 진행되며, 이 진행과정에서 리드의 회전은 챔버 본체가 리드의 회전운동을 간섭함이 없도록 점차적으로 이루는 것을 특징으로 한다.

개폐장치, 리드, 제어, 챔버, 평판표시소자, 회전

Description

리드 개폐장치 및 방법{Apparatus and method for opening and closing lid}

본 발명은 챔버(chamber)의 챔버 본체(chamber body)를 덮고 있는 리드(lid)를 안전하고 신속하게 열어서 챔버 본체로부터 분리할 수 있도록 한 리드 개폐장치 및 방법에 관한 것이다.

웨이퍼(wafer)나 글라스(glass)와 같은 기판으로 반도체(semiconductor), 평판표시소자(flat panel display ; FPD) 등을 만드는 제조장비는 일반적으로 챔버를 포함하는데, 이 챔버는 내부의 수리나 점검 등을 용이하게 행할 수 있도록 챔버 본체(chamber body)와 리드(lid)로 분리되고, 이때의 분리는 리드 개폐장치에 의하여 이루어진다.

여기에서, 챔버 본체, 리드 및 리드 개폐장치는 반도체를 만드는 제조장비든 평판표시소자를 만드는 그것이든 모두 동일 또는 유시한 방식으로 적용되는 것이므로, 이하에서는 이 챔버 본체, 리드, 리드 개폐장치 및 이들과 관련한 사항에 대하여 이것들이 평판표시소자 제조장비에 적용된 것을 예로 들어 종래기술을 살펴보기 로 한다.

최근, 널리 보급되고 있는 평판표시소자의 종류로는 액정 디스플레이(liquid crystal display ; LCD), 플라즈마 표시장치(plasma display panel ; PDP), 유기발광 다이오드(organic light emitting diodes ; OLED) 등이 있다. 그리고 이들 평판표시소자를 제조하는 장비는 진공 상태에서 작업하는 타입이 주로 사용되는 바, 일반적으로 공정 챔버(process chamber), 로드 록 챔버(load lock chamber), 반송 챔버(transfer chamber) 등이 사용된다.

공정 챔버는 진공분위기 하에서 플라즈마 등을 이용, 기판을 식각하는 등 기판 표면에 소정의 처리를 하는 역할을 한다. 로드 록 챔버는 외부(즉, 기판 공급장비)로부터 처리되지 않은 기판을 받아 보관하고 처리된 기판을 외부로 내보내는 역할을 한다. 반송 챔버는 내부에 반송 로봇(transfer robot)이 설치되어 있는데, 이 반송 로봇에 의하여 처리할 기판은 로드 록 챔버로부터 공정 챔버로 운반하고 처리된 기판은 공정 챔버로부터 로드 록 챔버로 운반한다.

도 1은 위의 챔버들 중 공정 챔버가 도시된 사시도로서 이 도 1에 도시된 바와 같이, 공정 챔버는 챔버 본체(101) 및 이 챔버 본체(101)의 개방된 상부를 덮는 리드(102)로 분리되는 챔버와, 이 챔버의 챔버 본체(101)와 리드(102)의 한쪽 부분을 리드(102)의 상하회전이 가능하도록 연결하는 힌지 기구(hinge mechanism)(103) 와, 이 힌지 기구(103)를 중심으로 리드(102)를 회전시키는 실린더(cylinder)(104)로 구성된다.

여기에서, 힌지 기구(103)와 실린더(104)는 리드 개폐장치를 구성하는데, 이에 따르면, 챔버의 리드(102)는 실린더(104)의 피스톤 로드(piston rod)가 실린더 하우징(cylinder housing)의 길이를 따라 왕복운동을 하는 것에 의하여 회전하면서 열리고 닫힌다.

그러나 최근의 추세에 따르면, 설명한 바와 같이 오로지 실린더(104)의 힘에만 의존, 닫힌 리드(102)를 들어 올리면서 여는 리드 개폐장치는 리드(102)를 신속하고 안정감 있게 개폐하는 데에는 부적합하여 이에 대한 대책 마련이 시급하게 요구되고 있다.

즉, 최근의 추세는 기판의 대형화 요구에 따라 제조장비의 챔버 또한 급속도로 대형화되고 있고, 이에 의하여 리드(102)의 가로와 세로 길이가 3, 4m에 달하는가 하면 무게는 3, 4톤(ton)을 상회하고 있는데, 이 같이 대형인 데다 무거운 리드(102)를 열고 닫기 위해서는 실린더(104)로서 대용량의 그것이 요구되었던 것이고, 이 대용량 실린더를 사용한다 하더라도 작동의 신속성과 신뢰 등에 대한 불확실성, 리드(120)를 들어 올린 때의 불안정성 등 여전히 잔존하고 있어 챔버 내부의 수리, 점검 등이 어렵고 위험할 수밖에 없었던 것이다.

본 발명은 설명한 바와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 목적은 리드가 챔버 본체로부터 분리되도록 신속하고 안전하게 열어 챔버 내부를 수리하거나 점검하거나 할 수 있고, 또 이후 반대로 닫을 수 있는 리드 개폐장치 및 방법을 제공하는 데에 있다.

기재한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 리드 개폐장치는 챔버 본체의 개방된 상측을 덮는 리드를 회전 가능하게 지지하는 회전기구, 이 회전기구와 함께 상기 리드를 상하이동 가능하게 지지하는 승강기구, 이 승강기구 및 회전기구와 함께 상기 리드를 횡 방향으로의 이동이 가능하도록 지지하는 횡 이동기구, 이 횡 이동기구와 회전기구와 승강기구의 작동을 컨트롤하는 제어수단을 포함하고, 상기 제어수단은 상기 리드를 열 때 이 리드가 상승된 후 횡 방향으로 이동하는 것과 동시에 회전하도록 상기 승강기구, 횡 이동기구 그리고 회전기구의 작동을 컨트롤하되, 상기 챔버 본체가 상기 리드의 회전운동을 간섭하지 않는 범위 안에서 이 리드의 회전을 점차적으로 이루는 것을 특징으로 한다.

상기 횡 이동기구는 상기 리드를 열 때 이 리드 전체가 상기 챔버 본체 위로부터 벗어나 있게 위치시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 또, 상기 횡 이동기구는 상 기 리드를 열 때 이 리드를 적어도 일부 이동구간에서 내리막 이동시키도록 구성될 수 있다.

또는, 상기 횡 이동기구는 상기 챔버 본체를 사이에 두도록 배치된 한 쌍의 가이드 레일을 포함하고, 상기 한 쌍의 가이드 레일은 각각 상기 챔버 본체와 대향하는 고정 레일과, 상기 고정 레일에 이 고정 레일의 길이에 대하여 좌우 방향으로 접었다 폈다 할 수 있도록 연결되고 폈을 때 상기 챔버 본체를 지나서 있도록 위치되는 가동 레일로 구성될 수 있다.

여기에서, 상기 고정 레일과 가동 레일 중 적어도 어느 하나는 적어도 일부가 상기 리드가 열릴 때의 이동 방향으로 내리막 경사를 가지도록 마련될 수 있다.

상기 회전수단은 상기 리드를 열 때 이 리드의 이동 방향 측인 리드의 앞쪽 부분이 하측을 지나 뒤쪽 부분과 위치가 서로 바뀌어 있게 회전시킬 수 있도록 구성될 수 있다.

또는, 상기 회전기구는 상기 리드의 벽 중 대향하는 두 곳에 각각 구비된 축 부재와, 상기 축 부재를 각각 회전 가능하도록 지지하는 받침구조물을 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 횡 이동기구는 상기 받침구조물의 횡 방향 이동을 안내할 수 있도록 상기 챔버 본체를 사이에 두고 배치된 한 쌍의 가이드 레일을 포함할 수 있 다. 그리고 상기 승강수단은 상기 받침구조물과 가이드 레일 사이에 각각 적어도 하나씩 설치되어 상기 받침구조물을 승강시키는 실린더로 구성되고, 상기 횡 이동기구는 상기 실린더와 가이드 레일 사이에 각각 설치된 활주수단을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 활주기구는 래크 앤 피니언으로 구성되고, 상기 래크 앤 피니언의 래크는 상기 가이드 레일에 마련될 수 있다.

기재한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 리드 개폐방법은 닫혀 있는 리드를 여는 리드 개방과정과 열린 리드를 다시 닫혀 있도록 닫는 리드 폐쇄과정을 포함하고, 상기 리드 개방과정은 상기 리드를 챔버 본체로부터 들어 올리는 상승단계와, 상기 상승된 리드를 횡 방향으로 이동시키는 것과 동시에 회전시키되, 상기 챔버 본체가 상기 리드의 회전운동을 간섭하지 않는 범위 안에서 이 리드를 점차적으로 회전시키는 횡 이동 및 회전단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기에서, 상기 횡 이동 및 회전단계는 상기 리드를 적어도 일부 이동구간에서 내리막 이동시킬 수 있다. 그리고 상기 리드 폐쇄과정은 상기 리드 개방과정의 역순으로 진행될 수 있다.

본 발명은 수리나 점검 등을 목적으로 리드를 챔버 본체로부터 분리할 때 리드가 상승된 후 횡 방향으로 이동하는 것과 동시에 회전하여 열리기 때문에, 이 리드를 안전하게 열거나 반대로 닫을 수 있음은 물론이거니와 리드를 여닫는 데 소요 되는 시간을 단축할 수 있고, 더불어 리드를 회전시키는 데 필요한 공간을 줄일 수도 있다는 이점이 있다.

이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 리드 개폐장치 및 방법의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.

참고로, 본 발명에 따른 리드 개폐장치 및 방법의 실시예는 평판표시소자 제조장비의 하나인 공정 챔버에 적용된 것을 중심으로 살펴보기로 한다.

본 발명의 제1실시예에 따른 리드 개폐장치가 적용된 공정 챔버가 도 2 내지 도 4에 도시되어 있다. 그리고 이 본 발명의 제1실시예에 따른 리드 개폐장치의 작동과정이 도 5 내지 도 8에 도시되어 있다.

공정 챔버는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판의 처리를 위한 밀폐공간을 제공하는 것으로서 상측이 개방된 챔버 본체(12) 및 이 챔버 본체(12)의 개방된 상측을 덮는 리드(14)로 구성된 챔버(10), 이 챔버(10) 내부에 마주하고 있도록 각각 배치된 상부전극 어셈블리(upper electrode assembly)(20) 및 하부전극 어셈블리(lower electrode assembly)(30), 이 두 전극 어셈블리(20)(30) 중 하부전극 어셈블리(30)에 승강 가능하도록 설치된 복수 개의 리프트 핀(lift pin) 및 그 승강장치로 구성된 리프트 핀 모듈(lift pin module)(도시되지 않음), 챔버(10) 내부를 진공분위기 로 조성하기 위한 배기장치(도시되지 않음), 챔버(10)를 설치장소인 클린 룸(clean room)의 바닥으로부터 일정한 높이에 있도록 지지하는 탑재구조물(40), 챔버(10)의 리드(14)를 챔버 본체(12)로부터 분리되도록 열거나 반대로 다시 닫는 리드 개폐장치(50) 등으로 이루어진다.

챔버(10)는 그 내부에서 대면적의 기판이 처리되는 바, 이 기판의 형상인 직사각형과 상승하는 직육면체 형상으로 형성된다. 또, 그 챔버 본체(12)와 리드(14) 사이, 즉 접합면에는 리드(14)가 리드 개폐장치(50)에 의하여 닫힌 때 기밀성을 유지하기 위한 밀봉부재(16)가 개재된다.

참고로, 챔버(10)는 도시된 바는 없으나, 그 내부에 기판을 반입하거나 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구의 역할을 하는 게이트 슬릿(gate slit)이 한쪽 벽에 좌우로 길게 형성되는데, 이 게이트 슬릿은 게이드 밸브(gate valve)에 의하여 개폐된다.

두 전극 어셈블리(20)(30) 중 상부전극 어셈블리(20)는 도시된 바는 없으나, 챔버(10) 내부에 반입된 기판을 처리하는 데에 요구되는 공정 가스(process gas)를 분출하는 샤워 헤드(shower head)를 포함한다.

하부전극 어셈블리(30)는 그 위에 반입된 기판이 놓여 기판 탑재대로서의 역할도 하는 바, 이러한 점 때문에 이를 스테이지라고도 한다. 물론, 이 하부전극 어셈블리(30) 위에 놓이는 기판은 리프트 핀에 의하여 들어 올리어지거나 내려놓아진 다.

리드 개폐장치(50)는, 리드(14)를 열고자 하는 경우에는 이 리드(14) 전체를 챔버 본체(12) 위로부터 완전히 벗어나 있도록 위치시키고, 이와 반대로 열려 있는 리드(14)를 닫고자 하는 경우에는 리드(14)가 챔버 본체(12)의 개방된 부분을 완전하게 덮고 있도록 위치시키는 것으로, 구성요소로는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 리드(14)를 회전시키는 회전기구(60), 리드(14)를 상하 방향으로 이동시키는 승강기구(70), 리드(14)를 횡 방향(도 3의 P-Q 방향)으로 이동시키는 횡 이동기구(80), 나열한 회전기구(60), 승강기구(70) 및 횡 이동기구(80)의 작동을 제어하는 제어수단(90) 등으로 이루어진다.

회전기구(60)는 2개의 축 부재(61)와, 이 축 부재(61)를 각각 회전 가능하도록 지지하는 받침구조물(62)과, 두 축 부재(61) 중 적어도 어느 하나를 회전시키는 축 회전수단을 포함한다.

축 부재(61)는 리드(14)의 대향하는 두 벽의 가운데에 각각 고정되어 있도록 구비되는데, 구체적으로는 횡 이동기구(80)에 의한 리드(14)의 이동 방향을 기준으로 그 좌우에 서로 정면으로 마주 보고 있도록 각각 배치되고, 외측으로 일정한 길이 돌출된 형태를 가진다.

받침구조물(62)은 리드(14)를 사이에 두고 있도록 배치되는 바, 축 부재(61)의 지지를 위한 베어링(bearing)(62b)을 가진다.

축 회전수단은 모터(motor)(63) 그리고 이 모터(63)의 회전력을 축 부재(61)에 전하는 동력전달장치로 구성되는데, 동력전달장치는 구동 기어(Drive gear)(64)와 종동 기어(Driven gear)(65)로 구성된 기어 전동장치(gearing)일 수 있다. 그리고 나아가서는, 구동 기어(64)는 모터(63)의 축에 설치된 웜(worm)이고, 종동 기어(65)는 축 부재(61)에 이 구동 기어(64)인 웜과 이[齒]가 서로 맞물려 있도록 설치된 웜 휠(worm wheel)일 수 있다.

참고로, 여기서의 모터(63)는 정/역회전이 가능한 타입으로서 구체적으로 도시되어 있지는 않으나, 받침구조물(62)에 지지되어 있도록 설치된다.

위와 같은 구성을 가지는 회전기구(60)에 의하면, 리드(14)는 동력전달장치, 축 부재(61) 등을 매개로 모터(63)의 회전력을 전달받아 축 부재(61)를 회전중심으로 하여 회전하게 된다.

승강기구(70)는 받침구조물(62)의 하측에 각각 적어도 하나씩 배치된 실린더로, 이 실린더는 그 피스톤 로드가 실린더 하우징의 길이를 따라 왕복 운동함에 따라 받침구조물(62)의 상하이동이 이루어지도록 피스톤 로드가 받침구조물(62)을 지지하고, 또 실린더 하우징이 그 하측에 설치되는 횡 이동기구(80)에 의하여 지지된 다. 물론, 승강기구(70)가 받침구조물(62)을 승강시키면, 축 부재(61)에 의하여 받침구조물(62)과 리드(14)가 결합되어 있으므로 리드(14) 또한 승강된다.

참고로, 닫힌 리드(14)를 승강기구(70)가 상승시키는 높이는 10~15㎜인 것이 바람직하다.

횡 이동기구(80)는 승강기구(70)의 아래에 일정한 간격을 두고 있는 것과 동시에 챔버 본체(12)를 사이에 두고 위치하도록 이 챔버 본체(12)의 벽에 설치된 한 쌍의 기초구조물(81), 이 기초구조물(81) 위에 서로 평행하도록 횡 방향을 따라 각각 설치된 가이드 레일(guide rail)(82), 이 가이드 레일(82)과 승강기구(70) 사이에 각각 설치되어 승강기구(70)가 가이드 레일(82)을 따라 이동하는 것이 가능하도록 이동성을 부여하는 활주수단, 이 활주수단의 활주에 필요한 동력을 제공하는 구동수단(86), 즉 적어도 하나의 모터를 포함한다.

가이드 레일(guide rail)(82)은 챔버 본체(12)와 대향하고 있도록 위치된 고정 레일(82f)과, 이 고정 레일(82f)로부터 닫힌 리드(14)를 열 때의 횡 방향(도 3의 P 방향)으로 연장된 가동 레일(82m)로 구성된다.

여기에서, 가동 레일(82m)은 힌지 기구에 의하여 고정 레일(82f)에 이 고정 레일(82f)의 길이에 대하여 좌우 방향으로 접었다 폈다 할 수 있도록 연결되는 바, 폈을 때 챔버 본체(12)를 지나서 있는 길이를 가진다.

활주수단은 가이드 레일(82)의 상측 전반에 걸쳐 마련된 래크(rack)(83), 이 래크(83)와 맞물리고 이 같이 맞물린 상태로 서로 이격되도록 배치된 복수 개의 피니언(pinion)(84), 이 피니언(84)을 회전 가능하도록 지지함과 동시에 위에 승강기구(70)가 지지된 상태로 설치된 기어 하우징(gear housing)(85)으로 구성된다.

여기에서, 복수 개의 피니언(84) 중 적어도 어느 하나는 구동수단(86)으로부터 동력을 제공받아 회전한다.

한편, 래크(83)와 피니언(84) 대신에 복수 개의 롤러(roller)나 휠(wheel)을 적용하는 것도 가능하겠다.

위와 같은 횡 이동수단(80)에 따르면, 리드(14)는 승강기구(70), 받침구조물(62), 축 부재(61) 등을 매개로 하여 구동수단(86)의 동력으로 래크(83)를 따라 이동하는 피니언(84)의 힘을 전달받아 함께 이동하게 된다.

제어수단(90)은 리드(14)를 열 때 이 리드(14)가 상승된 후 횡 방향으로 이동하는 것과 동시에 회전하도록 회전기구(50), 승강기구(60) 및 횡 이동기구(70)의 작동을 제어하는데, 특히나 회전기구(50)의 제어는 챔버 본체(12)가 리드(14)의 회전운동을 간섭하지 않도록 이 리드(14)를 이동되는 거리에 따라 점차적으로 회전시킨다. 즉, 리드(14)를 횡 방향으로의 이동 완료 이후 회전시키는 것이 아니라 리드(14)를 횡 방향으로 이동시킴에 따라 점차적으로 회전공간이 확보되면 그때마다 챔버 본체(12)와 간섭이 없는 범위 이내에서 회전시키는 것이다.

이와 같은 제어수단(90)은 그 구성요소로서 표적물(91), 레이저(laser)를 이용하는 거리 측정기(92), 컨트롤러(controller)(93)를 포함할 수 있다.

참고로, 제어수단(90)은, 열려 있는 리드(14)를 닫을 때는 리드(14)를 열 때의 역순으로 진행되어 닫히도록 회전기구(50), 승강기구(60) 및 횡 이동기구(70)의 작동을 제어한다.

표적물(91)은 어느 한 고정 레일(82f)의 양 끝 부분 중 가동 레일(82m)의 반대편 그것에 배치되는 반사체일 수 있다.

거리 측정기(92)는 레이저를 발생하는 장치, 광 검출기, 계수기 등으로 이루어질 수 있는데, 이는 표적물(91)과 마주하고 있도록 기어 하우징(85)에 설치된다. 그리고 표적물(91)을 향하여 레이저를 발사, 이 레이저가 표적물(91)에서 반사되어 되돌아오는 시간을 측정하는 방식으로 거리를 계산한다.

컨트롤러(controller)(93)는 거리 측정기(92)로부터 측정값을 입력받아 이에 따른 제어신호를 출력하는 바, 리드(14)를 열 때에는 승강기구(70)를 작동시켜 리드(14)를 승강시킨 후,(도 6 참조) 횡 이동기구(80)의 구동수단(86)을 작동시켜 리드(14)를 이동시키고, 이와 같이 리드(14)가 이동함에 따라 거리 측정기(92)로부터 입력되는 측정값에 변화가 있게 되면 회전수단(60)의 모터(63)를 작동시켜 리드(14)를 서서히 회전시킨다.(도 7a 내지 도 7c 참조) 이때, 컨트롤러(93)는 입력 되는 측정값에 따라 사전에 설정하여 놓은 각도로 리드(14)가 회전되도록 제어할 수도 있다. 또는, 센서(sensor)에 해당하는 표적물(91)과 거리 측정기(92) 없이 사전에 설정하여 놓은 값에 따라 회전기구(60)를 비롯하여 승강기구(70)와 횡 이동기구(80)의 작동을 제어하도록 구성된 것을 적용할 수도 있다.

이와 같은 컨트롤러(93)는 위처럼 리드(14)를 열 때 이 열 때의 횡 방향(도 3의 P 방향)에 해당하는 리드(14)의 앞쪽이 하측을 지나 뒤쪽과 위치가 서로 위치가 바뀌도록 약 180도 회전되면 횡 방향 이동과 함께 회전을 정지시킨다.(도 8 참조) 물론, 앞서 설명한 바와 같이, 리드(14)를 닫을 때에는 열 때의 역순으로 제어한다.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 리드 개폐장치가 적용된 공정 챔버를 개략적으로 나타내는 구성도로서 이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 리드 개폐장치는 본 발명의 제1실시예에 따른 리드 개폐장치와 비교하여 볼 때 기타 구성 및 그 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 가이드 레일(82-1)의 구성만이 다소 상이하다.

즉, 가이드 레일(82-1)은 그 적어도 일부가 리드(14)를 열릴 때의 이동 방향으로 일정한 각도 내리막 경사를 가지도록 마련되는데, 이 구성에 따르면 리드(14)를 여는 데 필요한 공간을 줄일 수 있다.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 도 면에 의하여 한정되지 않는다. 따라서 본 발명은 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.

도 1은 일반적인 공정 챔버가 도시된 구성도이다.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 리드 개폐장치가 적용된 공정 챔버를 나타내는 구성도이다.

도 3은 도 2를 옆에서 본 상태를 나타내는 도면이다.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 리드 개폐장치가 적용된 공정 챔버를 나타내는 사시도이다.

도 5 내지 도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 리드 개폐장치의 작동을 순차적으로 표현한 도면이다.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 리드 개폐장치가 적용된 공정 챔버를 개략적으로 나타내는 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>

12 : 챔버 본체 14 : 리드

60 : 회전기구 61 : 축 부재

62 : 받침구조물 70 : 승강기구

80 : 횡 이동기구 90 : 제어수단

82 : 가이드 레일 82f : 고정 레일

82m : 가동 레일 83 : 래크

84 : 피니언

Claims (13)

1. 챔버 본체의 개방된 상측을 덮는 리드를 회전 가능하게 지지하는 회전기구, 이 회전기구와 함께 상기 리드를 상하이동 가능하게 지지하는 승강기구, 이 승강기구 및 회전기구와 함께 상기 리드를 횡 방향으로의 이동이 가능하도록 지지하는 횡 이동기구, 이 횡 이동기구와 회전기구와 승강기구의 작동을 컨트롤하는 제어수단을 포함하고,

   상기 제어수단은 상기 리드를 열 때 이 리드가 상승된 후 횡 방향으로 이동하는 것과 동시에 회전하도록 상기 승강기구, 횡 이동기구 그리고 회전기구의 작동을 컨트롤하되, 상기 챔버 본체가 상기 리드의 회전운동을 간섭하지 않는 범위 안에서 이 리드의 회전을 점차적으로 이루는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 횡 이동기구는 상기 리드를 열 때 이 리드 전체가 상기 챔버 본체 위로부터 벗어나 있게 위치시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

   상기 횡 이동기구는 상기 리드를 열 때 이 리드를 적어도 일부 이동구간에서 내리막 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 회전기구는,

   상기 리드의 벽 중 대향하는 두 곳에 각각 구비된 축 부재와;

   상기 축 부재를 각각 회전 가능하도록 지지하는 받침구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
5. 청구항 4에 있어서,

   상기 횡 이동기구는 상기 받침구조물의 횡 방향 이동을 안내할 수 있도록 상기 챔버 본체를 사이에 두고 배치된 한 쌍의 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
6. 청구항 5에 있어서,

   상기 승강수단은 상기 받침구조물과 가이드 레일 사이에 각각 적어도 하나씩 설치되어 상기 받침구조물을 승강시키는 실린더로 구성되고,

   상기 횡 이동기구는 상기 실린더와 가이드 레일 사이에 각각 설치된 활주수 단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
7. 청구항 6에 있어서,

   상기 활주기구는 래크 앤 피니언으로 구성되고,

   상기 래크 앤 피니언의 래크는 상기 가이드 레일에 마련된 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 횡 이동기구는 상기 챔버 본체를 사이에 두도록 배치된 한 쌍의 가이드 레일을 포함하고,

   상기 한 쌍의 가이드 레일은 각각,

   상기 챔버 본체와 대향하는 고정 레일과;

   상기 고정 레일에 이 고정 레일의 길이에 대하여 좌우 방향으로 접었다 폈다 할 수 있도록 연결되고 폈을 때 상기 챔버 본체를 지나서 있도록 위치되는 가동 레일로 구성된 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 고정 레일과 가동 레일 중 적어도 어느 하나는 적어도 일부가 상기 리드가 열릴 때의 이동 방향으로 내리막 경사를 가지도록 마련된 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
10. 청구항 1에 있어서,

    상기 회전수단은 상기 리드를 열 때 이 리드의 이동 방향 측인 리드의 앞쪽 부분이 하측을 지나 뒤쪽 부분과 위치가 서로 바뀌어 있도록 회전시키는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
11. 닫혀 있는 리드를 여는 리드 개방과정과 열린 리드를 다시 닫혀 있도록 닫는 리드 폐쇄과정을 포함하고,

    상기 리드 개방과정은,

    상기 리드를 챔버 본체로부터 들어 올리는 상승단계와;

    상기 상승된 리드를 횡 방향으로 이동시키는 것과 동시에 회전시키되, 상기 챔버 본체가 상기 리드의 회전운동을 간섭하지 않는 범위 안에서 이 리드를 점차적으로 회전시키는 횡 이동 및 회전단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐방법.
12. 청구항 11에 있어서,

    상기 횡 이동 및 회전단계는 상기 리드를 적어도 일부 이동구간에서 내리막 이동시키는 것을 특징으로 하는 리드 개폐방법.
13. 청구항 11 또는 청구항 12에 있어서,

    상기 리드 폐쇄과정은 상기 리드 개방과정의 역순으로 진행되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐방법.

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