KR101353494B1

KR101353494B1 - 점검개구 개폐장치 및 이 장치를 갖춘 평판표시소자제조장치

Info

Publication number: KR101353494B1
Application number: KR1020070016679A
Authority: KR
Inventors: 손형규
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2007-02-16
Filing date: 2007-02-16
Publication date: 2014-01-22
Also published as: KR20080076568A

Abstract

본 발명은 챔버 안에서 기판이 파손되어 이를 제거하거나 내부구성물을 유지하고 보수하기 위한 점검개구(Inspection Aperture)가 챔버의 저면에 마련된 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

이와 같은 본 발명은 저면에 점검개구가 마련된 챔버와, 상기 챔버의 점검개구 측에 한쪽 단부가 회전 가능하도록 설치되어 이 점검개구를 개폐하는 하부도어 및 점검개구가 개폐되도록 이 하부도어를 회전시키는 도어 구동수단으로 구성된 점검개구 개폐장치를 포함하여 이루어진다.

이에 따르면, 본 발명은 그 구조가 단순하기 때문에 저가의 비용으로 용이하게 만들 수 있고, 아울러 점검개구를 간편하고 안전하며 신속하게 여닫을 수 있다는 이점이 있다.

개구, 기판, 도어, 로드 록 챔버, 모터, 실린더, 점검, 평판표시소자

Description

점검개구 개폐장치 및 이 장치를 갖춘 평판표시소자 제조장치{Apparatus for opening and closing inspection aperture, and manufacturing machine FPD having the same}

도 1은 일반적인 클러스터 타입의 로드 록 챔버가 도시된 구성도이다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 점검개구 개폐장치가 적용된 로드 록 챔버를 나타내는 구성도로서, 도 2는 점검개구가 폐쇄된 상태를 도시한 것이고, 도 3은 점검개구가 개방된 상태를 도시한 것이다.

도 4는 도 2의 Y 부분이 도시된 확대도이다.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 점검개구 개폐장치가 적용된 로드 록 챔버를 나타내는 구성도이다.

도 6은 도 5의 Z 부분을 뒤쪽에서 본 확대도로서, 회전 제한수단을 나타내는 것이다.

도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 점검개구 개폐장치가 적용된 로드 록 챔버를 나타내는 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>

12 : 하부챔버 14 : 하부챔버의 점검개구

16 : 상부챔버 18 : 상부챔버의 점검개구

20 : 구조물 30 : 상부챔버용 점검개구 개폐장치

32 : 상부도어 40 : 하부챔버용 점검개구 개폐장치

42 : 하부도어 44, 44A : 도어 구동수단

50 : 가이드 52 : 피니언

54 : 래크 60 : 회전 제한수단

62 : 래칫 휠 64 : 폴

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 특히 챔버 안에서 기판이 파손되어 이를 제거하거나 내부구성물을 유지하고 보수하기 위한 목적으로 챔버의 저면에 마련된 점검개구를 간편하고 안전하며 신속하게 여닫을 수 있도록 한 점검개구 개폐장치 및 이 장치를 갖춘 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체(Semiconductor)나 평판표시소자(Flat Panel Display)를 제조하는 장치 등에는 기판(웨이퍼；Wafer, 글라스；Glass 등)을 처리하기 위한 공간을 제공하는 챔버(Chamber)가 구비되고, 이 챔버의 한쪽에는 그 내부를 청소하거 나 내부구성물을 유지하고 보수하기 위한 점검개구(Inspection Aperture)가 마련되어 도어로 개폐된다. 이 같은 챔버, 점검개구 및 도어는 반도체 제조장치나 평판표시소자 제조장치 등에 모두 유사하게 적용되는 것으로, 이하에서는 위의 챔버, 점검개구, 도어 및 그 관련 사항 등에 대하여 이들이 평판표시소자 제조장치에 적용된 것을 중심으로 하여 살펴보기로 한다.

최근에 널리 보급되고 있는 평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다. 또 이러한 평판표시소자를 제조하기 위한 장치는 진공처리장치가 주로 사용되는데, 이것으로는 공정챔버(Process Chamber), 로드 록 챔버(Load Lock Chamber), 반송챔버(Transfer Chamber) 등이 있다.

여기에서 공정챔버는 진공분위기 하에서 플라즈마나 열에너지 등을 이용, 기판을 식각하는 등 기판을 처리하는 역할을 한다. 로드 록 챔버는 대기압과 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리할 기판을 받아 보관하거나 처리된 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다. 반송챔버는 그 안에 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 반송로봇이 갖추어져 있어 처리할 기판을 위의 로드 록 챔버로부터 공정챔버로 운반하거나 처리된 기판을 공정챔버로부터 로드 록 챔버로 운반하는 역할을 한다.

도 1은 설명한 바와 같은 챔버들 중 로드 록 챔버가 개략적으로 도시된 구성 도이다.

도시된 바와 같이, 로드 록 챔버는 저면에 점검개구(114)가 마련된 하부챔버(112), 이 하부챔버(112)를 지지하여 설치 면(바닥)으로부터 일정한 높이에 위치시키는 구조물(120), 하부챔버(112)의 상측에 적층되고 상면에 점검개구(118)가 마련된 상부챔버(116), 이 상부챔버(116) 및 하부챔버(112)의 점검개구(118)(114)를 각각 개폐하는 점검개구 개폐장치(130)(140)로 구성되는 바, 이는 그 챔버가 서로 적층되는 클러스터(Cluster) 타입의 로드 록 챔버이다.

여기에서 상부챔버용 점검개구 개폐장치(130)는 상부도어(132)와, 이 상부도어(132)를 상부챔버(116)에 체결시키는 체결수단(도시되지 않음)으로 구성된다. 하부챔버용 점검개구 개폐장치(140)는 하부도어(142)와, 이 하부도어(142)를 하부챔버(112)에 체결시키는 체결수단(도시되지 않음) 및 체결이 해제된 하부도어(142)를 승강시키는 도어 승강수단(144)으로 구성된다. 이 중에서 도어 승강수단(144)은 하부도어(142)를 지지하는 무빙 플레이트(Moving Plate)(146)와, 이 무빙 플레이트(146)를 승강시키는 실린더(Cylinder)(148)로 구성된다.

살펴본 바와 같은 로드 록 챔버는 챔버의 내부에서 기판이 파손되어 제거(청소)할 필요가 있을 경우나 내부구성물을 유지/보수할 필요가 있을 경우, 그 점검개구(114)(118)를 통하여 이를 실시할 수 있는 바, 상부챔버(116)의 점검개구(118)는 상부도어(132)를 체결하고 있는 체결수단의 체결을 해제한 후 별도의 크레인(Crane)을 이용, 상부도어(132)를 상부챔버(116)로부터 분리하면 개방된다. 이에 대하여, 하부챔버(112)의 점검개구(114)는 무빙 플레이트(146)가 상승되어 하부도어(142)를 떠받치도록 실린더(148)를 작동시킨 다음 하부도어(142)를 체결하고 있는 체결수단의 체결을 해제하고, 무빙 플레이트(146)를 하강, 하부도어(142)를 하부챔버(112)로부터 분리하면 개방된다.

그러나 설명한 바와 같은 로드 록 챔버는 그 하부챔버(112)의 점검개구(114)가 하부도어(142)로 폐쇄된 때 이 상태를 안정감 있도록 유지하기 위하여 하부도어(142)의 양쪽 모두를 하부챔버(112)에 체결시켜야 하였고, 때문에 하부도어(142)를 분리하거나 체결할 때 이에 상당하는 작업시간이 소요되는 문제점이 있었다.

또한 분리된 하부도어(142)의 경우, 무빙 플레이트(146)의 위에 단순히 놓여 있으므로 무빙 플레이트(146)나 실린더(148)에 충격이 가해지게 될 경우에 이 충격으로 하부도어(142)가 무빙 플레이트(146)에서 낙하되어 안전사고가 발생될 우려가 있었다. 물론 이는 실린더(148)의 고장으로 압력이 제거된 경우에도 동일하게 발생될 수 있는 문제점이기도 하다.

한편 분리된 하부도어(142)는 무빙 플레이트(146)가 떠받들고 있는 바, 이에 따라 반드시 무빙 플레이트(146) 등을 필요로 하므로 전반적으로 구조가 복잡한 편이었다.

본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 하부도어 를 승강식에서 회전식으로 여닫히도록 설치하고, 또 이 하부도어용 구동수단을 갖춤으로써, 해당 점검개구를 간편하고 안전하며 신속하게 개폐할 수 있는 점검개구 개폐장치 및 이 장치를 갖춘 평판표시소자 제조장치를 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 하부도어의 회전운동을 안내하는 가이드를 구비하되, 이 가이드에 하부도어의 회전운동을 선택적으로 제한하는 기능을 부여함으로써, 하부도어의 정확한 운동을 유도할 수 있고, 하부도어가 의도하지 않게 열려 안전사고가 발생되는 것을 예방할 수 있는 점검개구 개폐장치 및 이 장치를 갖춘 평판표시소자 제조장치를 제공하는 데 있다.

기재한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 점검개구 개폐장치는 챔버의 저면에 마련된 점검개구 측에 한쪽 단부가 회전 가능하도록 설치되어 이 점검개구를 개폐하는 하부도어와, 상기 점검개구가 개폐되도록 상기 하부도어를 회전시키는 도어 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한 이러한 본 발명의 점검개구 개폐장치는 상기 하부도어의 회전을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 가이드는 상기 하부도어 측에 설치된 피니언 및 이 피니언과 맞물린 래크를 포함하는 래크 앤 피니언 타입으로 구성될 수 있고, 조작에 따라 상기 하부도어가 열리도록 상기 피니언이 회전되는 것을 제한하는 회전 제한수단을 더 포함하여 구성될 수 있다.

상기 하부도어는 그 한쪽 단부와 챔버 사이의 간격이 벌어지면서 열리도록 설치될 수 있는 바, 회전중심이 그 한쪽 단부의 중심점 이외에 위치되도록 설치될 수 있다.

상기 도어 구동수단은 양쪽 단부가 상기 하부도어와 챔버를 지지하는 구조물에 각각 회전 가능하도록 연결된 실린더로 구성될 수 있다. 또는 상기 도어 구동수단은 상기 하부도어의 회전중심에 회전력을 전달할 수 있도록 설치된 모터로 구성될 수 있다.

기재한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 저면에 점검개구가 마련된 챔버와, 상기 챔버의 점검개구를 개폐하는 것으로서, 앞서 설명한 바와 같은 점검개구 개폐장치로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한 이러한 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 상기 챔버의 위에 적층되고 윗면에 점검개구가 마련된 챔버와, 상기 상부에 적층된 챔버의 점검개구를 개폐하는 상부도어를 더 포함하여 구성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 위와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다. 참고로, 본 발명의 실시예는 평판표시소자를 제조하는 장치 중 하나인 로드 록 챔버(Load Lock Chamber)에 적용된 것을 예로 들어 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 점검개구 개폐장치가 적용된 로드 록 챔버를 나타내는 구성도이다.

본 발명의 제1실시예에 따른 점검개구 개폐장치가 적용된 로드 록 챔버는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 서로가 적층되는 구조를 갖도록 배치되고 점검개구(Inspection Aperture)(18)(14)가 각각 마련된 상부챔버(16) 및 하부챔버(12), 이 상부챔버(16)와 하부챔버(12) 중에서 하부챔버(12)를 지지하여 하부챔버(12)를 설치 면(바닥)으로부터 상측으로 일정한 거리 떨어진 상태로 위치시키는 구조물(20), 상부챔버(16)와 하부챔버(12)의 점검개구(18)(14)를 각각 개폐시키기 위한 점검개구 개폐장치(30)(40) 등으로 이루어진다.

상부챔버(16)와 하부챔버(12)는 하부챔버(12)가 상대적으로 아래쪽에 위치되고 상부챔버(16)가 이 하부챔버(12)의 바로 위쪽에 위치되도록 적층되는 바, 둘 모두 그 마주보는 양측 벽체에 기판을 내부로 반입하거나 이와 반대로 반입된 기판을 반출하기 위한 출입구의 역할을 하는 게이트 슬릿(Gate Slit)(G2)(G1)이 각각 마련되어 게이트 밸브(Gate Valve)(V2)(V1)로 개폐되고, 그 내부에는 반입된 기판이 적재되는 적재대(4)(2)가 각각 구비된다. 한편 상부챔버(16)는 윗면에, 그리고 하부챔버(12)는 저면에 위의 점검개구(18)(14)가 각각 위치된다.

구조물(20)은 하부챔버(12)의 저면 가장자리에 일정한 간격을 두고 배치되어 하부챔버(12)를 떠받치는 형태로 지지하는 다수 개의 다리(22)와, 이 다수 개의 다 리(22) 하단이 각각 견고하게 고정되는 베이스 플레이트(Base Plate)(24)로 구성된다.

상부챔버용 점검개구 개폐장치(30)는 상부챔버(16)의 윗면에 상부챔버(16)의 점검개구(18)가 차폐되도록 얹히어진 상부도어(32)와, 이 상부도어(32)를 상부챔버(16)에 견고히 체결시켜 상부도어(32)를 구속하는 체결수단(도시되지 않음)으로 구성된다.

하부챔버용 점검개구 개폐장치(40)는 하부챔버(12)의 점검개구(14)를 개폐하는 하부도어(42), 하부도어(42)가 닫히어 해당 점검개구(14)가 폐쇄된 때 하부도어(42)를 하부챔버(12)에 체결시키기 위한 체결수단(도시되지 않음) 및 하부챔버(12)의 점검개구(14)가 개폐되도록 하부도어(42)를 작동(열림/닫힘)시키는 도어 구동수단(44)으로 구성된다.

도 4는 도 2의 Y 부분을 나타내는 확대도이다.

하부도어(42)는 회전식 도어로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 한쪽 끝 부분이 샤프트(Shaft)(S)에 의하여 하부챔버(12)의 점검개구(14) 측(하부챔버의 저면)에 상하회전 가능하도록 설치된다. 또한 이 하부도어(42)는 그 회전 가능하도록 설치된 한쪽 끝 부분과 하부챔버(12)의 저면 사이의 간격이 조금씩 벌어지면서 열리도록 설치된다. 이에 따르면, 하부도어(42)는 열릴 때 일정한 거리 하강되고 이 반대 로 닫힐 때 상승된다.

여기에서 하부도어(42)가 여닫힐 때 승강되는 것은 하부도어(42)의 회전중심(샤프트)이 하부도어(42)에서 회전 가능하도록 설치된 한쪽 끝 부분의 중심점 이외에, 바람직하게는 바로 아래쪽에 위치되도록 설치(편심설치)된 것에 의하여 가능하게 된다. 물론 이러한 방식이 아닌 링크(Link)를 이용, 이 링크의 양쪽 끝 부분을 하부챔버(12)의 하부도어(42) 설치 부분 및 하부도어(42)의 한쪽 끝 부분에 각각 핀(Pin) 이음으로 연결하는 방식도 적용 가능하겠다.

한편 이렇게 하부도어(42)를 승강되도록 설치하는 이유는, 하부챔버(12)에서 하부도어(42)가 닫힌 때 이 하부도어(42)와 맞닿는 부분에는 기밀을 유지하기 위하여 패킹(Packing), 즉 오링(O-ring)(S1)이 설치되는데, 만약 하부도어(42)가 승강됨이 없이 여닫힌다면 닫힐 때 패킹이 하부도어(42)에 의하여 한쪽(도 4에서 Q 방향)으로 밀리면서 손상되므로 이를 방지하기 위해서다.

참고로, 도 4에서 도면부호 D1은 하부도어(42)의 회전중심과 한쪽 끝 부분의 중심점 간의 거리, 즉 편심거리를 나타낸다.

도어 구동수단(44)은 실린더 하우징(Cylinder Housing)(44s)과 피스톤(Piston)(도시되지 않음)과 피스톤 로드(Piston Rod)(44r)를 포함하는 공압식 실린더로 구성되는 바, 이 실린더는 그 양쪽 끝 부분이 베이스 플레이트(24)와 하부도어(42)에 각각 회전 가능하도록 연결된 상태로 설치된다.

설명한 바와 같은 제1실시예는 평상시 하부도어(42)가 닫혀 있고 체결수단으로 체결된 상태를 유지하는 바,(도 2 참조) 이와 같은 상태에서 하부도어(42)를 체결하고 있는 체결수단의 체결을 해제한 후 피스톤 로드(44r)가 실린더 하우징(44s)에 진입하도록 작동시켜 실린더의 전체 길이가 짧아지도록 하면 하부도어(42)가 샤프트(S)를 중심으로 하여 회전되면서 열리게 되고, 이에 따라 하부챔버(12)의 점검개구(14)가 개방된다.(도 3 참조)

이상, 도 2 및 도 3에서 설명되지 않은 도면부호 S2는 상부도어(32)가 닫힌 때 상부챔버(16)의 기밀을 유지하기 위한 오링이다. 이점쇄선으로 표현된 도면부호 44A는 도어 구동수단(44)을 실린더가 아닌 모터로 구성할 수 있음을 나타낸 것으로서, 이 모터는 그 회전력을 하부도어(42)의 회전중심에 직접 또는 동력 전달장치를 매개로 하여 전달할 수 있도록 설치되며, 이렇게 설치된 경우에 실린더는 불필요하므로 제거된 상태로 구성된다.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 점검개구 개폐장치가 적용된 로드 록 챔버를 나타내는 구성도이고, 도 6은 도 5의 Z 부분을 뒤쪽에서 본 확대도이다.

본 발명의 제2실시예는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제1실시예와 비교하여 볼 때 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 하부도어(42)가 정확히 회전운동을 하도록 유도함과 아울러 회전운동 시 요동을 방지하기 위한 가이드(Guide)(50)와, 하부도어(42)가 의도하지 않게 열리게 되는 것을 방지하기 위한 회전 제한수단(60)을 갖추었다는 점만이 상이하다.

가이드(50)는 래크 앤 피니언(Rack And Pinion) 타입으로 구성되는 것으로서, 자세하게는 판상의 브래킷(Bracket)(B)에 의하여 하부도어(42) 측에 회전 가능하도록 설치되어 하부도어(42)와 함께 샤프트(도 4에서 도면부호 S)를 중심으로 하여 회전되는 피니언(Pinion)(52)과, 이러한 피니언(52)과 이[齒]가 서로 맞물리도록 베이스 플레이트(24) 측에 설치된 래크(Rack)(54)로 구성된다. 물론 이는 하부도어(42)와의 간섭 등으로 인하여 하부도어(42)의 회전운동을 방해함이 없도록 위치된다.

도 6에 도시된 바와 같이, 회전 제한수단(60)은 외주면에 이[齒]가 갖추어진 래칫 휠(Ratchet Wheel)(62)과 멈춤쇠인 폴(Pawl)(64)로 구성된다. 래칫 휠(62)은 브래킷(B)에 이 브래킷(B)을 사이에 두고 피니언(52)과 동심을 갖도록 배치되는 한편 피니언(52)과 함께 동일한 방향으로 회전되도록 설치된다. 폴(64)은 래칫 휠(62)의 이[齒]에 걸려서 이 래칫 휠(62)이 일정한 방향으로는 회전하지만 반대로는 회전되지 못하도록 하는 것으로서, 래칫 휠(62)의 바깥쪽에 위치되는 한편 회전 가능하도록 브래킷(B)에 설치된다. 이때 중요한 것은 하부도어(42)가 열릴 때 피니언(52)이 회전되는 방향으로 래칫 휠(62)이 회전되지 못하도록 하여야 하는데, 래칫 휠(62)의 이[齒] 모양과 폴(64)의 위치는 이것이 가능하도록 형성되고 배치된다.

설명한 바와 같은 회전 제한수단(60)은 그 폴(64)이 래칫 휠(62)의 이[齒]에 걸리도록 조작하면 하부도어(42)가 열리도록 피니언(52)이 회전될 수 없는 바, 일례로 하부도어(42)를 열은 상태에서 이처럼 폴(64)을 래칫 휠(62)의 이[齒]에 걸면 실린더 고장으로 압력이 제거되더라도 하부도어(42)는 더 이상 열리지 않는다.

한편 폴(64)을 래칫 휠(62)의 이[齒]에 걸은 상태에서 하부도어(42)를 열고자 하는 경우에는 폴(64)을 회전시켜 이 폴(64)이 래칫 휠(62)의 이[齒]에 걸린 상태를 해제한 뒤 실린더를 조작하면 된다.

본 발명의 제3실시예는 제1실시예와 비교하여 볼 때 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 데 대하여, 도 7에 도시된 바와 같이, 하부도어(42)가 쌍여닫이 타입으로 구성된다는 점과 실린더가 2개 구비된다는 점만이 상이하다. 즉 제1실시예는 하부도어(42)가 외여닫이 타입인 것에 대하여, 제3실시예는 2개의 도어가 좌우대칭으로 마주하여 가운데서 좌우 바깥으로 열리도록 구성된 것이다. 그리고 실린더의 경우에는 도어가 2개이므로 이를 각각 회전시키기 위하여 2개가 구비된 것이다.

참고로, 이러한 제3실시예에도 제2실시예의 가이드(50)와 회전 제한수단(60)이 갖추어질 수 있음을 밝혀둔다.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않는 바, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 당업자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)에 의하여 다양한 변형이 이루어질 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이 구성되는 본 발명은, 하부도어의 한쪽 끝 부분이 하부챔버의 점검개구 측에 회전 가능하도록 설치되고, 하부도어가 도어 구동수단에 의하여 회전되기 때문에 종래 승강식의 하부도어에 비하여 점검개구를 간편하고 안전하며 신속하게 여닫을 수 있다는 이점이 있다.

아울러 하부도어가 닫힌 때에 체결수단을 이용, 하부도어의 다른 쪽 끝 부분만을 하부챔버에 체결하는 것만으로도 하부도어를 안정감 있게 구속할 수 있으므로 하부도어와 하부챔버 간 체결 및 그 해제를 간편히 할 수 있다는 이점이 있다.

또 하부도어의 회전을 안내하는 가이드를 갖추고 있기 때문에 하부도어의 부정확 또는 불안정한 운동을 방지할 수 있고, 선택적으로 하부도어가 열리도록 회전되는 것을 제한하는 회전 제한수단을 갖추고 있기 때문에 도어 구동수단의 고장 또는 오작동 등에 의하여 하부도어가 의도하지 않게 열리어 인사사고로 이어지게 되는 것을 방지할 수 있다는 이점이 있다.

또한 하부도어의 경우, 열릴 때 일정한 거리 하강되고 이 반대로 닫힐 때 상승되므로 기밀을 유지하는 오링이 손상되는 것을 방지할 수 있다는 이점이 있다.

Claims

챔버의 저면에 마련된 점검개구 측에 한쪽 단부가 회전 가능하도록 설치되어 상기 점검개구를 개폐하는 하부도어와;

상기 점검개구가 개폐되도록 상기 하부도어를 회전시키는 도어 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 1에 있어서,

상기 점검개구 개폐장치는 상기 하부도어의 회전을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 2에 있어서,

상기 가이드는 상기 하부도어 측에 설치된 피니언 및 이 피니언과 맞물린 래크를 포함하는 래크 앤 피니언 타입으로 구성된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 3에 있어서,

상기 가이드는 조작에 따라 상기 하부도어가 열리도록 상기 피니언이 회전되는 것을 제한하는 회전 제한수단을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 1에 있어서,

상기 하부도어는 그 한쪽 단부와 챔버 사이의 간격이 벌어지면서 열리도록 설치된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 5에 있어서,

상기 하부도어는 회전중심이 그 한쪽 단부의 중심점 이외에 위치되도록 설치된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 1에 있어서,

상기 도어 구동수단은 양쪽 단부가 상기 하부도어와 챔버를 지지하는 구조물에 각각 회전 가능하도록 연결된 실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
청구항 1에 있어서,

상기 도어 구동수단은 상기 하부도어의 회전중심에 회전력을 전달할 수 있도록 설치된 모터로 구성된 것을 특징으로 하는 점검개구 개폐장치.
저면에 점검개구가 마련된 챔버와;

상기 챔버의 점검개구를 개폐하는 것으로서, 청구항 1 내지 청구항 8 중에서 어느 하나에 기재된 점검개구 개폐장치로 구성된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
청구항 9에 있어서,

상기 평판표시소자 제조장치는 상기 챔버의 위에 적층되고 윗면에 점검개구가 마련된 챔버와;

상기 위에 적층되고 윗면에 점검개구가 마련된 챔버의 점검개구를 개폐하는 상부도어를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.