KR20130104139A - 글래스기판 회전 장치 - Google Patents

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KR20130104139A
KR20130104139A KR1020120025359A KR20120025359A KR20130104139A KR 20130104139 A KR20130104139 A KR 20130104139A KR 1020120025359 A KR1020120025359 A KR 1020120025359A KR 20120025359 A KR20120025359 A KR 20120025359A KR 20130104139 A KR20130104139 A KR 20130104139A
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Abstract

본 발명은 글래스기판이 수평으로 출입하도록 출입구가 마련되는 챔버; 챔버 내에 수평을 이루는 회전축을 중심으로 회전하도록 설치되고, 글래스기판이 내측으로 출입하도록 개구가 형성되는 플립본체; 플립본체를 회전시키도록 설치되는 회전구동부; 플립본체의 내측에 상하로 마주 보도록 각각 설치되고, 하측에 위치하는 어느 하나의 상면에 글래스기판이 로딩되어 안착되도록 하는 제 1 및 제 2 홀더; 및 플립본체의 상부와 하부에 각각 다수로 마련되고, 제 1 및 제 2 홀더를 각각 승강시킴으로써 제 1 및 제 2 홀더 중 어느 하나에 안착된 글래스기판을 다른 하나가 하강하여 그립핑하도록 하는 제 1 및 제 2 승강구동부를 포함하도록 한 글래스기판 회전 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 평판디스플레이의 제조에 사용되는 글래스기판을 안정적이면서 정확하게 그립핑하여 회전시킬 수 있도록 하고, 소형은 물론 대형의 글래스기판에도 쉽게 적용할 수 있으며, 글래스기판의 이송로봇의 포크에 대한 간섭을 방지하여 글래스기판의 안정적인 로딩 및 언로딩을 가능하도록 할 수 있다.

Description

글래스기판 회전 장치{APPARATUS FOR ROTATING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 글래스기판 회전 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판디스플레이의 제조에 사용되는 글래스기판을 안정적이면서 정확하게 그립핑하여 회전시킬 수 있도록 하기 위한 글래스기판 회전 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD)란 디스플레이 중에서 두께가 수㎝, 작게는 수㎜에 불과하고, 화면대각길이 1/4 이하의 두께를 갖는 편평한 박형의 디스플레이를 말한다.
이러한 평판디스플레이는 박형, 경량, 저소비 전력 등의 면에서 이점을 가지며, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diode), FED(Field Emission Display), 전자종이(Electronic Paper) 등이 있다.
한편, 평판디스플레이 제조 공정 중에서 평판디스플레이에 사용되기 위한 글래스기판을 뒤집을 필요가 있다. 예컨대, OLED 제작 공정 중에서 공정면이 위로 들어온 글래스기판을 증착을 위하여 뒤집어서 증착면이 아래로 되도록 하여 장비에 들어가도록 한다.
종래의 글래스기판을 뒤집기 위한 회전장치로는 대한민국 특허청에 출원된 특허공개 제2005-0017266호의 "진공챔버에서 평판디스플레이를 회전시키는 장치 및 방법"이 개시된 바 있는데, 이는 반도체가공작업중 진공챔버 내부에서 평판디스플레이를 뒤집는 장치에 있어서, 진공챔버 내부에 배치된 평판디스플레이의 양측에 배치되고, 평판디스플레이(1)의 측연부를 맞무는 다수의 측면그리퍼가 평판디스플레이 측연부를 따라 배치되어 연결대를 통해 연결되어 있는 측면 그리핑수단; 진공챔버 내부에 배치된 평판 디스플레이의 양측연부 상하에 각각 배치되고, 평판디스플레이의 상연부와 하연부를 맞무는 다수의 상하 그리퍼가 평판디스플레이의 길이를 따라 배치되어 연결대를 통해 연결되어 있는 상하 그리핑수단; 상기 진공챔버 내부의 평판디스플레이 전방에 배치되는 짧은 길이의 원통형 회전체; 상기 원통형 회전체와 동축으로 배치되고 회전체에 연결되며, 진공챔버의 외부까지 뻗는 제1 회전축; 상기 회전체와 상기 양쪽 측면그리핑수단의 연결대를 피봇 가능하게 연결하여, 회전체의 회전에 따라 양쪽 측면그리핑수단을 동시에 벌리거나 좁힐 수 있는 2개의 제1 링크; 상기 회전체와 상기 상하 그리핑수단의 연결대를 피봇 가능하게 연결하여, 회전체의 회전에 따라 상하 그리핑수단을 동시에 벌리거나 좁힐 수 있는 2개의 제2 링크; 상기 회전체 전방으로 진공챔버 내부에 평판디스플레이의 폭방향으로 배치된 기다란 지지대; 상기 지지대의 전면 양측에 장착되어, 측면 그리핑수단의 연결대를 측방향으로 안내하기 위한 제1 선형가이드; 상기 지지대의 전면 양측에 장착되어, 상하 그리핑수단의 연결대를 수직으로 안내하기 위한 제2 선형가이드; 및 상기 지지대에 장착되고, 진공챔버를 관통해 외부로 연장되며, 상기 회전축과 동축으로 회전축 외부에 배치되는 제2 회전축을 포함하고, 상기 제1 회전축을 적당한 각도로 회전시키면, 회전체에 피봇 가능하게 연결된 제1 및 제2 링크에 의해 측면 그리핑수단과 상하 그리핑수단이 좁혀져 평판디스플레이를 양측면과 상하부에서 고정 및 얼라인하고, 이 상태에서 제2 회전축(38)을 회전시키면 평판디스플레이 전체가 고정되고 안정된 상태로 원하는 각도로 회전시키도록 한다.
그러나, 이와 같은 종래의 기술에 따른 평판디스플레이의 회전장치는, 제1 회전축의 회전력을 제1 및 제2 링크를 통해서 연결대에 정확하게 전달하는 것이 쉽지 않으며, 이로 인해 연결대에 의한 평판디스플레이의 그립핑이 정확하게 이루어지는데 한계가 있고, 취급의 주위를 요하는 평탄디스플레이가 그립핑 과정에서 파손될 수 있는 문제점을 가지고 있었다.
또한, 평판디스플레이의 양쪽 끝단에 대한 그립핑으로 인해 대형 평판디스플레이에 적용하는데 한계를 가지고, 평판디스플레이의 로딩 및 언로딩을 위한 이송로봇의 포크 진입에 대한 구조적인 고려가 없다는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 평판디스플레이의 제조에 사용되는 글래스기판을 안정적이면서 정확하게 그립핑하여 회전시킬 수 있도록 하고, 소형은 물론 대형의 글래스기판에도 쉽게 적용할 수 있으며, 글래스기판의 이송로봇의 포크에 대한 간섭을 방지하여 글래스기판의 안정적인 로딩 및 언로딩을 가능하도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 글래스기판을 회전하기 위한 장치에 있어서, 글래스기판이 수평으로 출입하도록 출입구가 마련되는 챔버; 상기 챔버 내에 수평을 이루는 회전축을 중심으로 회전하도록 설치되고, 글래스기판이 내측으로 출입하도록 개구가 형성되는 플립본체; 상기 플립본체를 회전시키도록 설치되는 회전구동부; 상기 플립본체의 내측에 상하로 마주 보도록 각각 설치되고, 하측에 위치하는 어느 하나의 상면에 글래스기판이 로딩되어 안착되도록 하는 제 1 및 제 2 홀더; 및 상기 플립본체의 상부와 하부에 각각 다수로 마련되고, 상기 제 1 및 제 2 홀더를 각각 승강시킴으로써 상기 제 1 및 제 2 홀더 중 어느 하나에 안착된 글래스기판을 다른 하나가 하강하여 그립핑하도록 하는 제 1 및 제 2 승강구동부를 포함하는 글래스기판 회전 장치가 제공된다.
상기 제 1 및 제 2 홀더는, 상기 글래스기판의 다크 존 중에서 에지 부분과 에지 이외의 부분에 각각 접촉되기 위한 제 1 및 제 2 지지부가 서로 마주보는 면마다 돌출되도록 형성될 수 있다.
상기 제 1 및 제 2 홀더 중 어느 하나는, 원심력에 의한 글래스기판의 이탈을 방지하도록 글래스기판의 에지가 걸리기 위한 걸림부가 양쪽 끝단에 돌출되도록 형성될 수 있다.
상기 제 1 또는 제 2 홀더는, 상기 글래스기판이 안착되는 면에 글래스기판의 이송로봇의 포크가 진입하기 위한 포크진입홈이 형성될 수 있다.
상기 제 1 및 제 2 승강구동부는, 상기 플립본체의 상부와 하부에 세로방향과 가로방향으로 배열되도록 각각 고정되고, 수직되게 설치되는 피스톤로드가 상기 제 1 홀더의 상면과 상기 제 2 홀더의 저면에 각각 고정되며, 상기 피스톤로드를 감싸도록 벨로우즈가 설치되고, 상기 회전축에 마련된 피드스루를 통해서 설치되는 에어공급케이블로부터 공급되는 공압에 의해 동작하는 공압실린더일 수 있다.
본 발명에 따른 글래스기판 회전 장치에 의하면, 평판디스플레이의 제조에 사용되는 글래스기판을 안정적이면서 정확하게 그립핑하여 회전시킬 수 있도록 하고, 소형은 물론 대형의 글래스기판에도 쉽게 적용할 수 있으며, 글래스기판의 이송로봇의 포크에 대한 간섭을 방지하여 글래스기판의 안정적인 로딩 및 언로딩을 가능하도록 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치를 도시한 정면도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치를 도시한 측면도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치의 글래스기판 지지를 설명하기 위한 평면도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해 되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치를 도시한 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치를 도시한 측면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스기판 회전 장치(100)는 챔버(110)와, 플립본체(120)와, 회전구동부(130)와, 제 1 및 제 2 홀더(140,150)와, 제 1 및 제 2 승강구동부(160,170)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 글래스기판(1)이 수평으로 출입하도록 출입구(111)가 일측에 마련되는데, 출입구(111)의 개폐를 위하여 실린더나 모터의 구동에 의해 왕복 이동하는 게이트 등과 같은 도어(112)가 출입구(111)측에 슬라이딩 가능하게 설치될 수 있으며, 출입구(111)의 폐쇄에 의해 외부와 차단된 챔버(110) 내부에서 글래스기판(1)의 뒤집는 과정을 수행할 수 있도록 하고, 공정에서 요구되는 바에 따라 진공 환경을 제공하기 위한 구조를 가질 수 있다.
플립본체(120)는 챔버(110) 내에 수평을 이루는 회전축(113)을 중심으로 회전하도록 설치되고, 글래스기판(1)이 내측으로 출입하도록 일측 또는 양측 개구(121)가 형성되며, 챔버(110)의 내측으로 관통하도록 설치되는 회전축(113)이 양측에 고정된다. 이때, 회전축(113)의 일단은 베어링 등의 부재를 매개로 하여 챔버(110) 외측으로 돌출되어 회전구동부(130)에 연결되고, 회전축(113)이 타단은 챔버(110) 내에 설치되는 지지대(114)에 베어링 등의 부재를 매개로 하여 회전 가능하게 설치될 수 있다.
회전구동부(130)는 플립본체(120)를 회전시키도록 설치되는데, 일례로, 챔버(110)의 외측에 고정되는 모터(131)와, 모터(131)의 회전력을 회전축(113)에 전달하도록 하는 동력전달부재, 예컨대 벨트(132)를 포함할 수 있다. 여기서, 벨트(132)는 모터(131)의 회전축과 플립본체(120)에 고정된 회전축(113)에 각각 마련되는 풀리에 설치될 수 있고, 일례로 타이밍벨트가 사용될 수 있다. 또한, 벨트(132)를 대신하여 다수의 기어로 이루어진 기어어셈블리를 통해서 모터(131)의 회전력을 회전축(113)으로 전달할 수 있다. 또한, 글래스기판(1)을 정확하게 180도 회전시키기 위하여, 모터(131)가 스텝핑 모터 등과 같이 회전각 제어가 가능한 방식을 가지거나, 엔코더를 통한 회전각이 제어될 수 있으며, 나아가서 대형의 글래스기판(1)을 정확한 위치로 돌리기 위하여 인덱스를 사용할 수도 있다. 또한, 제 1 및 제 2 홀더(140,150)의 회전 자세를 정확하게 판단하기 위하여 챔버(110) 내측에는 플립본체(120)의 자세를 감지하기 위한 감지센서들이 설치될 수 있고, 이러한 감지센서로부터 출력되는 감지신호를 수신받은 제어부가 회전구동부(130)를 제어할 수 있다.
제 1 및 제 2 홀더(140,150)는 플립본체(120)의 내측에 상하로 마주 보고서 이격되도록 제 1 및 제 2 승강구동부(160,170)에 의해 각각 설치되고, 하측에 위치하는 어느 하나의 상면에 글래스기판(1)이 로딩되어 안착되도록 한다. 여기서, 제 1 및 제 2 홀더(140,150)는 글래스기판(1)의 뒤집기를 위하여 플립본체(120)가 회전시 그 상하위치가 서로 전환되는 부재로서, 어느 하나만에 뒤집기 위해 로딩된 글래스기판(1)이 안착될 수 있고, 모두에 글래스기판(1)이 각각 안착되도록 할 수도 있다.
제 1 및 제 2 홀더(140,150)는 도 3에 도시된 바와 같이, 글래스기판(1)의 다크 존(dark zone; 1a) 중에서 에지 부분과 에지 이외의 부분에 각각 접촉되기 위한 제 1 지지부(141,151) 및 제 2 지지부(142,152)가 서로 마주보는 면마다 돌출되도록 형성된다. 여기서, 다크 존(1a)은 글래스기판(1) 표면에 보호 마스크가 부착되는 위치일 수 있고, 글래스기판(1)이 평판디스플레이로 제조시 가장자리에 해당하는 위치일 수 있다. 따라서, 제 1 지지부(141,151)와 제 2 지지부(142,152)는 글래스기판(1)마다 달리 마련되는 다크존(1a)의 위치에 상응하도록 제 1 및 제 2 홀더(140,150)의 마주 보는 면에서 다양한 위치에 형성될 수 있고, 본 실시예에서처럼 각각이 비연속적으로 다수개 형성될 수 있을 뿐만 아니라, 서로 연결되도록 형성될 수 있다.
제 1 및 제 2 홀더(140,150) 중 어느 하나, 예컨대 제 2 홀더(150)에는 원심력에 의한 글래스기판(1)의 이탈을 방지하도록 글래스기판(1)의 에지가 걸리기 위한 걸림부(153)가 양쪽 끝단에 돌출되도록 형성될 수 있다. 예컨대 걸림부(153)는 제 2 홀더(150)에서 회전축(113)을 중심으로 그 양쪽 끝단에 위치하도록 형성될 수 있고, 그 끝단마다 다수로 형성될 수 있다.
제 1 또는 제 2 홀더(140,150)는 글래스기판(1)이 안착되는 면에 글래스기판(1)의 이송로봇의 포크가 진입하기 위한 포크진입홈(143,154)이 형성될 수 있다. 이러한 포크진입홈(143,154)은 본 실시예에서처럼 제 1 및 제 2 홀더(140,150) 모두에서 서로 마주보는 면 각각에 글래스기판(1)의 로딩 및 언로딩 방향을 따라 형성될 수 있으며, 각각이 단일로 형성되거나 본 실시예에서처럼 2개로 형성될 수 있다.
제 1 및 제 2 승강구동부(160,170)는 플립본체(120)의 상부와 하부에 각각 다수로 마련되고, 제 1 및 제 2 홀더(140,150)를 각각 승강시킴으로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 홀더(140,150) 중 어느 하나에 안착된 글래스기판(1)을 다른 하나가 하강하여 그립핑하도록 한다.
제 1 및 제 2 승강구동부(160,170)는 각각 다수, 예컨대 6개로 이루어짐으로써 플립본체(120)의 상부와 하부에 세로방향과 가로방향으로 2차원적으로 배열되도록 각각 고정되고, 수직되게 설치되는 피스톤로드(161,171)가 제 1 홀더(140)의 상면과 제 2 홀더(150)의 저면에 각각 고정됨으로써 제 1 및 제 2 홀더(140,150)의 설치를 가능하도록 하며, 피스톤로드(161,171)를 감싸도록 주름을 가진 벨로우즈(162,172)가 설치됨으로써 피스톤로드(161,171)의 왕복운동을 허용하면서도 피스톤로드(161,171)로부터 발생되는 파티클 등의 유출을 차단하도록 하고, 회전축(113)에 마련된 피드스루(feed through; 181)를 통해서 설치되는 에어공급케이블(182)로부터 공급되는 공압에 의해 각각 동작하는 공압실린더일 수 있다. 여기서, 피드스루(181)는 외부의 공압공급부로부터 에어공급케이블(182)를 통해서 공급되는 공압을 회전체인 플립본체(120)에 설치된 제 1 및 제 2 승강구동부(160,170) 각각으로 안정적으로 공급하기 위한 연결유로를 각각 제공하도록, 로터리조인트(rotary joint) 등의 회전관 이음을 가질 수 있다.
또한, 제 1 및 제 2 승강구동부(160,170)는 본 실시예에서처럼 공압실린더뿐만 아니라, 유압실린더가 사용될 수 있고, 또 다른 예로서, 플립본체(120)의 상부와 하부에 각각 설치되는 모터의 회전력을 직선운동으로 전환하는 운동전환부재, 예컨대 피니언과 래크, 또는 볼베어링과 리드스크루 등을 통해서 제 1 및 제 2 홀더(140,150)에 전달하도록 구성됨으로써 모터에 의해 제 1 및 제 2 홀더(140,150)가 수직방향으로 승강하도록 할 수 있으며, 이 경우 일례로, 래크나 리드스크루가 모터의 회전력에 의해 직선 운동하도록 제 1 및 제 2 홀더(140,150)에 각각 설치될 수 있으며, 이 밖에도 다양한 방식에 의해 모터의 회전력에 의해 제 1 또는 제 2 홀더(140,150)를 승강시킬 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 글래스기판 회전 장치의 작용을 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이송로봇의 포크 상에 놓여지는 글래스기판(1)이 이송로봇의 동작에 의해 챔버(110)의 출입구(111) 및 플립본체(120)의 개구(121)를 통해서 홀더, 예컨대 제 2 홀더(150) 상에 안착되면, 도 4에 도시된 바와 같이, 승강구동부, 예컨대 제 1 승강구동부(160)의 동작에 의해 제 1 홀더(140)를 하강시켜서 제 2 홀더(150) 상에 위치한 글래스기판(1)을 지지하도록 한다.
글래스기판(1)이 제 1 및 제 2 홀더(140,150) 사이에 그립핑되면, 회전구동부(130)의 구동에 의해 회전축(113)을 중심으로 플립본체(120)를 180도로 회전시킴으로써 글래스기판(1)을 뒤집도록 한다.
글래스기판(1)에 대한 뒤집기를 마치면, 상부에 위치하는 홀더, 예컨대 상하 위치가 전환된 제 2 홀더(150)가 제 2 승강구동부(170)의 동작에 의해 상승하고, 이송로봇의 포크가 제 1 홀더(140)의 포크집입홈(143)을 통해서 진입하여 글래스기판(1)을 외측으로 언로딩시키게 된다.
이와 같이, 본 발명의 글래스기판 회전 장치에 의하면, 평판디스플레이의 제조에 사용되는 글래스기판을 안정적이면서 정확하게 그립핑하여 회전시킬 수 있도록 하고, 소형은 물론 대형의 글래스기판에도 쉽게 적용할 수 있으며, 글래스기판의 이송로봇의 포크에 대한 간섭을 방지하여 글래스기판의 안정적인 로딩 및 언로딩을 가능하도록 한다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1 : 글래스기판 1a : 다크 존
110 : 챔버 111 : 출입구
112 : 도어 113 : 회전축
114 : 지지대 120 : 플립본체
121 : 개구 130 : 회전구동부
131 : 모터 132 : 벨트
140 : 제 1 홀더 141 : 제 1 지지부
142 : 제 2 지지부 143 : 포크진입홈
150 : 제 2 홀더 151 : 제 1 지지부
152 : 제 2 지지부 153 : 걸림부
154 : 포크진입홈 160 : 제 1 승강구동부(공압실린더)
161 : 피스톤로드 162 : 벨로우즈
170 : 제 2 승강구동부(공압실린더) 171 : 피스톤로드
172 : 벨로우즈 181 : 피드스루
182 : 에어공급케이블

Claims (5)

  1. 글래스기판을 회전하기 위한 장치에 있어서,
    글래스기판이 수평으로 출입하도록 출입구가 마련되는 챔버;
    상기 챔버 내에 수평을 이루는 회전축을 중심으로 회전하도록 설치되고, 글래스기판이 내측으로 출입하도록 개구가 형성되는 플립본체;
    상기 플립본체를 회전시키도록 설치되는 회전구동부;
    상기 플립본체의 내측에 상하로 마주 보도록 각각 설치되고, 하측에 위치하는 어느 하나의 상면에 글래스기판이 로딩되어 안착되도록 하는 제 1 및 제 2 홀더; 및
    상기 플립본체의 상부와 하부에 각각 다수로 마련되고, 상기 제 1 및 제 2 홀더를 각각 승강시킴으로써 상기 제 1 및 제 2 홀더 중 어느 하나에 안착된 글래스기판을 다른 하나가 하강하여 그립핑하도록 하는 제 1 및 제 2 승강구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스기판 회전 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 홀더는,
    상기 글래스기판의 다크 존 중에서 에지 부분과 에지 이외의 부분에 각각 접촉되기 위한 제 1 및 제 2 지지부가 서로 마주보는 면마다 돌출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스기판 회전 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 홀더 중 어느 하나는,
    원심력에 의한 글래스기판의 이탈을 방지하도록 글래스기판의 에지가 걸리기 위한 걸림부가 양쪽 끝단에 돌출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스기판 회전 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 또는 제 2 홀더는,
    상기 글래스기판이 안착되는 면에 글래스기판의 이송로봇의 포크가 진입하기 위한 포크진입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스기판 회전 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 승강구동부는,
    상기 플립본체의 상부와 하부에 세로방향과 가로방향으로 배열되도록 각각 고정되고, 수직되게 설치되는 피스톤로드가 상기 제 1 홀더의 상면과 상기 제 2 홀더의 저면에 각각 고정되며, 상기 피스톤로드를 감싸도록 벨로우즈가 설치되고, 상기 회전축에 마련된 피드스루를 통해서 설치되는 에어공급케이블로부터 공급되는 공압에 의해 동작하는 공압실린더인 것을 특징으로 하는 글래스기판 회전 장치.
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