KR101743542B1 - 힌지 모듈을 사용하여 리드를 제어하기 위한 장치 - Google Patents

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Abstract

힌지 모듈 및 리드 개폐 모듈을 포함하는 장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 내부에 공간이 형성된 챔버, 상기 챔버의 상면을 일부 덮고 있는 상판, 및 상기 상판 이외의 부위에 형성되어 있는 개구부를 개폐할 수 있는 리드를 구비하는 장치는, 상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재; 상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재; 및 상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 가이드부재의 경로를 따른 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하여 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재; 를 포함하되, 상기 리드와 상기 상판은 힌지 모듈을 통해 회전 결합하며, 상기 힌지 모듈은 상기 상판 상에서 이동이 가능하게 결합된다.

Description

힌지 모듈을 사용하여 리드를 제어하기 위한 장치{APPARATUS FOR CONTROLLING LID BY USING HINGE MODULE}
본 발명은 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 리드에 대한 개폐를 용이하게 하는 리드 개폐 모듈 및 이 리드 개폐 모듈에 의해서 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드를 효과적으로 둔각의 회전각을 갖도록 개방시키는 힌지 모듈을 포함한 장치에 관한 것이다.
반도체(Semiconductor)는 가공공정에 사용되는 트랜스퍼 챔버의 내부 공간에는 로봇 아암이 배치하게 되는데, 이 로봇 아암을 수시로 정비하기 위해 사람 또는 장비가 드나들 수 있도록, 트랜스퍼 챔버에 개구부를 형성하고 이 개구부를 개폐하는 리드를 함께 설치하게 된다.
이러한 리드는 무게가 상당히 무겁고 크기가 커, 사용자가 직접 수동으로 개폐하기에는 한계가 있어 소정의 리드 개폐 장치를 사용하여 리드를 여닫는다.
종래에는 리드의 힌지부에 회전구동모듈을 설치하여, 이 회전구동모듈의 일련의 동작에 의해 리드를 개폐 시키는 방법을 주로 사용하였다. 회전구동모듈이란 기어박스, 감속기 및 센서 등을 리드의 힌지부에 설치하여 기어박스 및 감속기의 구동 또는 전달되는 회전력을 통해 리드를 개폐하는 모듈을 일컫는다.
하지만, 종래의 회전구동모듈을 이용하여 리드를 개폐하는 경우 여러 문제점이 발생하게 된다. 대표적으로 회전구동모듈은 강력한 감속기와 기어박스를 통해서 리드를 개폐하는 구조로서 그 가격이 비싸며, 또한, 회전구동모듈을 통해 리드를 개방하게 되면 모멘트에 의해서 발생되는 전단력 또는 리드의 하중 등이 완충 없이 커플링에 그대로 전달되어 기어의 마모를 유도하거나, 커플링의 볼트가 끊어지는 문제점이 발생할 수 있다. 여기서, 커플링의 볼트가 끊어질 때는, 이에 수반하여 커플링의 볼트가 미끄러지는 현상이 발생하는데, 이로 인해 리드개폐에 과정에 관여하는 Open/Close 센서의 포지션이 틀어져, 리드 폐의 차질이 생기는 문제점 등이 존재한다.
본 발명은 상기 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 비교적 단순한 구조로 이루어져 제조비용을 낮추어 원가를 절감하면서도, 리드에 의해서 여러 부속에 걸리는 강력한 하중 및 모멘트에 의해 발생하는 문제점을 효과적으로 해결할 수 있는 리드 개폐 모듈 및 이 리드 개폐 모듈에 의해 둔각의 회전각을 갖도록 리드를 개방시키는 새로운 구조의 힌지 모듈을 포함하는 장치를 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 내부에 공간이 형성된 챔버, 상기 챔버의 상면을 일부 덮고 있는 상판, 및 상기 상판 이외의 부위에 형성되어 있는 개구부를 개폐할 수 있는 리드를 구비하는 장치는, 상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재; 상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재; 및 상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 가이드부재의 경로를 따른 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하여 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재; 를 포함하되, 상기 리드와 상기 상판은 힌지 모듈을 통해 회전 결합하며, 상기 힌지 모듈은 상기 상판 상에서 이동이 가능하게 결합한다.
본 발명에 따른 리드 개폐 모듈을 포함하는 장치는 제 1방향으로 이동하는 이동부재, 제1 상승방향으로 운동하는 연동부재 및 연동부재와 연동되며 리드를 개폐하기 위한 회전운동이 유도되는 회전부재를 통해 리드를 개폐함으로써, 종래 리드의 힌지부의 커플링, 감속기, 기어 및 센서 등에 직간접적으로 가해지는 모멘트에 의해 발생하는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.
또한, 단순한 구조로 이루어져 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 특수한 구조의 힌지 모듈을 포함함으로써, 리드 개폐 모듈에 의해 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드가 효과적으로 둔각의 회전각을 갖도록 개방될 수 있다.
한편, 여기에 명시적으로 언급되지 않은 효과라 하더라도, 본 발명의 기술적 특징에 의해 기대되는 이하의 명세서에 기재된 효과 및 그 잠정적인 효과는 본 발명의 명세서에 기재된 것과 같이 취급될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 외관을 보인 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 리드 개폐 모듈의 구성을 보인 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈의 동작에 따라 리드가 개방되어 가는 과정을 보인 사시도.
도 4는 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈의 동작에 따라 리드가 직각의 회전각을 갖도록 개방된 상태를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 힌지 모듈 및 리드 개폐 모듈을 포함하는 장치의 외관을 보인 사시도.
도 6은 도 5에 도시된 장치의 힌지 모듈의 구성을 보인 사시도.
도 7은 도 5에 도시된 장치의 트리거링 부재의 동작에 따라 힌지 모듈이 소정 방향으로 이동되어 가는 과정을 보인 사시도.
도 8는 도 7에 도시된 힌지 모듈의 이동에 따라, 직각의 회전각을 갖는 리드가 둔각 이상의 회전각을 갖도록 개방되어 가는 과정을 보인 측면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항 들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 힌지 모듈 및 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)의 외관을 보인 사시도이다.
본 발명의 장치(1000)는 내부 공간부에 기판 이송용 로봇 아암이 수용되는 반도체 제조공정용 트랜스퍼 챔버를 포함할 수 있으나, 본 발명이 이러한 챔버의 종류에 제한되는 것은 아니며, 개폐 가능한 리드를 포함하는 모든 종류의 장치에 적용될 수 있다. 본 발명의 챔버는 원기둥, 사각기둥, 육각기둥, 팔각기둥 형태로 구현될 수 있으나, 이러한 챔버의 형상은 사용자의 목적의 따라 얼마든지 변형될 수 있는 것은 자명하다.
상기 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명은 내부에 공간이 형성된 챔버(100), 챔버(100)의 개구부를 커버하는 리드(200), 및 리드(200)를 개폐하는 리드 개폐 모듈(300)을 포함하며, 상기 리드(200)는 챔버(100)의 상판(미도시)과 힌지 결합되어 절첩될 수 있고, 상기 챔버(100)의 상판은 리드(200)가 열려 있을 때 개구부를 형성하도록 구성되어 있다.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 리드(200)를 개폐하기 위한 리드 개폐 모듈(300)의 구성을 보인 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(100)의 측부 또는 리드(200)의 측부에는 리드 개폐 모듈(300)의 구성요소들이 위치할 수 있다.
리드 개폐 모듈(300)은 제1 플레이트(310), 가이드부재(320), 이동부재(330), 연동부재(340)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1 플레이트(310)는, 후술할 가이드부재(320), 이동부재(330) 등이 설치되기 위한 판일 수 있다.
또한, 가이드부재(320)는 제1 플레이트(310) 상에 직선, 곡선, 구부러진 모양 등의 소정 경로를 제공하도록 설치될 수 있다. 일례로, 가이드부재(320)는 리니어가이드로 구성될 수 있다.
또한, 이동부재(330)는 가이드부재(320)와 연동되며 가이드부재(320)의 경로를 따라 자유로운 이동이 가능할 수 있다. 예를 들어 상세히 설명하면, 가이드부재(320)가 레일로 이루어졌을 때, 이동부재(330)의 레일과 대향되어 연동되는 부분은 차륜 또는 슬라이더 등으로 구성될 수 있다.
또한, 이동부재(330)의 상측에는 연동부재(340)가 설치되며, 연동부재(340)는 소정의 조건에 따라 상승, 하강 동작을 수행한다. 이러한 상승, 하강 동작은 연동부재(340)를 구동하기 위한 모터 또는 실린더를 통해 이루어질 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈(300)의 동작에 따라 리드(200)가 개방되어 가는 과정을 보인 사시도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 연동부재(340)는 이동부재(330)와 결합되며 소정의 조건에 따라 상승, 하강 운동이 가능한 제1 동작유도부(341), 및 일단이 제1 동작유도부(341)와 연동되며 타단은 리드(200)를 개폐하기 위해 회전운동으로 전환하기 위한 회전부재(210)와 결합되는 제2 동작유도부(342)를 포함할 수 있다. 참고로, 회전부재(210)는 리드(200)의 소정 부위에 위치하며, 자세한 내용은 후술한다.
제1 동작유도부(341)는 내측에 수용 공간을 갖는 관 형태의 몸체부(341a), 및 관 형태의 몸체부(341a)에 수용되며 길이방향으로 이동이 가능한 높이변동부(341b)를 포함할 수 있다. 제1 동작유도부(341)의 구성에 의한 상기 상승, 하강 운동을 상세히 설명하면, 높이변동부(341b)는 소정 조건에 따라 관 형태의 몸체부(341a)의 길이방향을 따라서 상승, 하강 방향으로 자유자재로 운동할 수 있다.
상기 제1 동작유도부(341)와 상기 제2 동작유도부(342)의 연동은 결합부재(343)를 통해 이루어질 수 있다. 결합부재(343)에는 제1 동작유도부(341)의 단부 및 제2 동작유도부(342)의 단부를 삽입 고정하도록 관통 형성된 복수개의 삽입공(343a, 343b)이 형성될 수 있다.
상세하게는, 제1 동작유도부(341)의 높이변동부(341b)의 단부는 상기 결합부재(343)의 제1 삽입공(343a)에 삽입 고정되고, 제2 동작유도부(342)의 단부는 제2 삽입공(343b)에 삽입 고정될 수 있다.
따라서, 제2 동작유도부(342)는 제1 동작유도부(341)가 상승, 하강 운동을 하게 되었을 때, 제1 동작유도부(341)의 운동에 따라 상승, 하강 운동이 자연스럽게 유도되어 그 위치(가령, 높이 등)가 변화할 수 있다.
제2 동작유도부(342)의 타단부에는 회전결합부재(342a)가 설치되고, 이 회전결합부재(342a)는 리드(200)를 개폐하기 위해 연동부재(340)의 운동을 회전운동으로 전환하기 위한 회전부재(210)와 회전 결합될 수 있다.
상기 회전부재(210)는 외륜과 내륜 사이에 복수개의 볼이 인입된 베어링일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지는 않고 자유로운 회전운동을 일으킬 수 있는 것을 모두 사용할 수 있다.
상기 회전결합부재(342a)는 구형부재, 휠(Wheel) 등일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지는 않고 자유로운 회전운동을 일으키도록 하는 것을 모두 사용할 수 있다.
회전부재(210)는 이 회전부재(210)를 수용하며 일부분이 리드(200)와 결합되어 있는 리드결합부재(220)와 결합될 수 있다.
상기와 같이 구성한 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)의 리드 개폐 동작과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 3을 참조하여 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)의 리드(200) 개방 과정부터 설명한다.
먼저, 소정의 조건에 따라 제1 동작유도부(341)의 높이변동부(341b)는 몸체부(341a)로부터 길이방향으로 연장하는 상승 운동을 하게 된다.
이때, 높이변동부(341b)와 연동된 제2 동작유도부(342)는 높이변동부(341b)의 운동에 의해서 상승 운동이 자연스럽게 유도되어 전체적인 위치가 상승하게 된다.
다음으로, 상승 운동이 유도된 제2 동작유도부(342)는 상기와 같이 회전결합부재(342a), 회전부재(210) 및 리드결합부재(220) 등을 통해 리드(200)와 직간접적으로 연결되어 있어, 유도된 상승 운동을 통해 리드(200)를 들어올리게 된다.
제2 동작유도부(342)가 리드(200)를 들어올리는데, 구체적으로는 리드(200)의 일측은 고정된 상태이고 리드(200)의 타측은 들어올려지는 상태일 것이다. 이는 앞서 언급하였듯이 리드(200)의 일측이 챔버(100)의 상판과 힌지 결합되어 있기 때문이며, 이에 따라 리드(200)의 타측이 올라가면서 개방되기 시작한다. 구체적으로, 회전부재(210)는 제1 회전방향으로의 회전 운동이 유도되고, 리드(200)의 개방 운동의 영향을 받아 제1 방향으로의 위치의 이동이 유도된다.
이어서, 높이변동부(341b)가 보다 상승 운동을 진행하면, 상기 회전부재(210)가 제1 방향으로의 위치가 더 이동될 것이고, 연동부재(340)도 자연스럽게 제1 방향으로의 위치 이동이 더 유도되며, 이 연동부재(340)와 결합하고 있는 이동부재(330) 또한 제1 방향으로의 위치 이동이 더 유도되는데, 이때 이동부재(330)는 가이드부재(320)가 제공하는 경로를 따라 이동하게 되면서 리드(200)는 더욱 개방된다.
도 4는 도 2에 도시된 리드 개폐 모듈(300)의 동작을 따라 리드(200)가 직각의 회전각을 갖도록 개방된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 가이드부재(320)가 제공하는 경로의 길이에 따라 리드(200)가 개방되는 정도가 달라질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 리드(200)가 직각의 회전각을 갖도록 개방된 도면을 예시하였으나, 리드(200)는 가이드부재(320)가 제공하는 경로의 길이를 연장함으로써 직각 이상의 회전각을 갖도록 더 개방할 수도 있다. 이에 대해서는 보다 구체적으로 후술한다.
리드(200)의 폐쇄 과정은 제1 동작유도부(341)의 하강 운동을 통해 이루어지는데, 이 리드(200)의 폐쇄 과정은 상기 전술한 리드(200) 개방 과정의 역 과정이므로, 본 발명의 명세서에서는 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)에 의한 리드(200) 폐쇄 과정에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치(1000)를 도 5 내지 도 8를 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치(1000)는 상기 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)에 비해 달라진 부분을 위주로 설명하고, 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(1000)와 동일한 구성요소에 대해서는 그 구성에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 후술할 도 5 내지 도 8에 도시된 내용의 이해를 돕기 위하여, 도 1 내지 도 4의 도시된 리드 개폐 모듈(300)의 개방 동작에 따라 개방된 리드(200)의 대한 내용 및 시사점을 간략히 언급하고, 이어서 도 5에 도시된 장치(1000)의 구성에 관해 설명하고자 한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 리드 개폐 모듈(300)의 동작에 따라 리드(200)가 직각으로 개방되어 가는 과정이 도시되어 있다.
하지만 사용자의 작업의 종류에 따라, 리드(200)를 직각의 회전각을 갖도록 개방하는 것만으로도 충분한 작업공간을 확보할 수 있는 경우도 있고, 반면에 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드(200)만으로는 충분한 작업공간을 확보하지 못하는 경우도 있다.
따라서, 후자의 상황에 따라, 리드(200)를 필연히 직각 이상의 회전각을 갖도록 개방하는 경우가 발생할 수 있다.
여기서, 도 1 내지 도 4에 도시된 구성만으로, 직각 이상의 회전각을 갖도록 리드(200)를 개방하려면, 리드 개폐 모듈(300)의 일련의 개방 동작 과정에 의해 상승되어 있는 연동부재(340)(또는, 제1 동작유도부(341))를 하강시키는 방법으로 리드(200)를 더욱 개방하여야 한다.
구체적으로, 연동부재(340)의 제1 동작유도부(341)가 하강함으로써, 제1 동작유도부(341)와 움직임이 연동된 제2 동작유도부(342), 회전부재(210) 및 리드(200)의 하강이 유도되고, 이어서 이동부재(330)가 가이드부재(320) 의 경로에 따른 이동이 유도되면서 리드(200)가 더욱 개방될 수 있다. 여기서, 가이드부재(320)의 경로의 길이는 도 1 내지 도 4에 도시된 경로보다 더 길게 형성될 수 있다는 것은 자명하다.
하지만, 상기 구성에 의해 리드(200)을 더욱 개방하려고 하면, 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드(200)가, 직각 이상의 회전각을 갖도록 하는 방향으로의 변곡이 쉽사리 유도되지 않을 수 있다.
왜냐하면, 리드(200)가 직각의 회전각을 갖도록 개방되었을 때, 이를 직각 이상의 회전각을 갖도록 리드(200)를 움직이게 하는 직접적인 힘(또는 유도되는 힘)이 없으므로, 리드(200)가 쉽사리 직각 이상의 회전각을 갖도록 넘어가지 않는 것이다.
따라서, 본 발명에 따른 리드 개폐 모듈(300)을 통해 리드(200)를 직각 이상의 회전각(이하, 둔각)을 갖도록 개방 하기 위한 일련의 특수한 과정을 후술할 힌지 모듈(400)을 통해 구현하며, 이 힌지 모듈(400) 및 이 힌지 모듈(400)에 의한 리드(200) 개방 동작을 도 5 내지 도 8에 도시된 내용을 토대로 상세히 설명하고자 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 힌지 모듈(400) 및 리드 개폐 모듈(300)을 포함하는 장치(1000)의 외관을 보인 사시도이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치(1000)는 내부에 공간이 형성된 챔버(100), 챔버의 상면을 일부 덮고 있는 상판, 상판 이외의 부위에 형성되어 있는 개구부를 개폐할 수 있는 리드(200), 리드 개폐 모듈(300) 및 리드(200)와 상판을 회전 결합 시키는 힌지 모듈(400)을 포함한다.
리드 개폐 모듈(300)의 구성은 도 1 내지 도 4의 도시된 구성과 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 6은 도 5에 도시된 장치의 힌지 모듈(400)의 구성을 보인 사시도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 힌지 모듈(400)은 일측이 리드(200)와 결합하고 타측에 제1 핀홀(411)이 형성된 제1 브라켓(410) 및 일측이 상판에서 이동 가능하게 결합되고 타측에 제2 핀홀(421)이 형성된 제2 브라켓(420)을 포함한다.
또한, 제1 브라켓(410) 및 제2 브라켓(420)은, 제1 핀홀(411) 및 제2 핀홀(421)에 삽입되는 핀(430)을 통해 서로 회전 결합될 수 있다.
앞서 설명 했듯이, 제2 브라켓(420)은 상판 상에 이동 가능하게 결합되는데, 이는 제2 브라켓(420)의 하측에 슬라이더(440, 450)를 구비함으로써 이루어진다.
구체적으로, 제1 슬라이더(440)의 일측은 제2 브라켓(420)과 결합되고, 제2 슬라이더(450)의 일측 상에는 제1 슬라이더(440)가 슬라이딩할 수 있도록 결합되어 있고 타측은 상판에 고정 결합될 수 있다.
이렇듯 힌지 모듈(400)은 슬라이더(440, 450)를 통해 상판 상에서 자유롭게 이동이 가능하게 결합된다.
핀(430)은 제1 핀홀(411) 또는 제2 핀홀(421)에 삽입되었을 때, 유동이 가능하게 할 수 있다. 구체적으로, 핀(430)은 제1 핀홀(411) 또는 제2 핀홀(421)에 삽입되었을 때 수직방향으로의 자유도를 가질 수 있다. 핀(430)의 유동은 적어도 2가지 측면에 있어서 유리하다.
첫째, 연동부재(340)의 상승 작용에 의해 리드(200)가 들어올려지고, 리드(200)가 직각의 회전각을 갖도록 개방되었을 때, 연동부재(340)가 더욱 상승 운동을 하게 되면 연동부재(340)에 무리가 가해지게 된다. 이로 인해 연동부재(340)의 손상이 발생할 수 있다. 이때 핀(430)이 제1 핀홀(411) 또는 제2 핀홀(421) 내에서 유동을 갖도록 하게 된다면, 연동부재(340)의 추가적인 상승 운동을 하게 되더라도, 연동부재(340)에 가해지는 무리를 소정 완충하게 된다.
둘째, 후술할 트리거링 부재(500)에 의한 힌지 모듈(400)의 이동을 수월하게 한다. 이는 곧이어 후술할 트리거링 부재(500)에 의한 힌지 모듈(400)의 이동 과정을 설명할 때, 다시 언급하기로 한다.
도 7은 도 5에 도시된 장치의 트리거링 부재(500)의 동작에 따라 힌지 모듈(400)이 소정 방향으로 이동되어 가는 과정을 보인 사시도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 트리거링 부재(500)는 힌지 모듈(400)을 상판 상에서 소정 방향으로 이동하도록, 힌지 모듈(400)에 추가적인 힘을 가한다.
트리거링 부재(500)는 힌지 모듈(400) 전체에 힘을 가하거나, 제2 브라켓(420)에 대해서만 힘을 가하거나, 제1 슬라이더(440) 또는 제2 슬라이더(450)에 대해서만 힘을 가하여, 힌지 모듈(400)을 상판 상에서 소정 방향으로 이동시킬 수 있으므로, 트리거링 부재(500)가 가압하고자 하는 대상은 특별히 한정하지 않는다.
도 8는 도 7에 도시된 힌지 모듈(400)의 이동에 따라, 직각의 회전각을 갖는 리드(200)가 둔각 이상의 회전각을 갖도록 개방되어 가는 과정을 보인 측면도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 리드(200) 개방 과정을 상세히 설명하기 위하여 도 8a, 도8b 및 도 8c로 분할 단계별로 설명하겠지만, 본 발명이 이러한 단계에 의해서 제한되는 것은 아니다.
먼저, 도 8a은 본 발명의 리드 개폐 모듈(300)을 통한 일련의 리드(200) 개방 동작을 통해 리드(200)가 직각의 회전각을 갖도록 개방 된 상태를 나타낸다.
이어서, 도 8b는 트리거링 부재(500)가 힌지 모듈(400)을 상판 상에서 소정 방향으로 이동하도록 힌지 모듈(400)에 힘을 가하는 과정을 나타낸다.
일 측면에서는, 트리거링 부재(500)는 리드(200)가 직각의 회전각을 갖도록 개방되었을 때, 힌지 모듈(400)에 소정의 힘을 가해 상기 힌지 모듈(400)을 이동하도록 하여, 상기 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드(200)가 둔각의 회전각을 갖도록 하게 한다고 말할 수 있다.
다른 측면에서는, 트리거링 부재(500)는 힌지 모듈(400)의 회전축을 가상으로 연장한 직선을 가정할 때, 연동부재(340)가 가이드부재(320)를 따라 슬라이딩 되다가 상기 직선상에 위치하면, 힌지 모듈(400)에 소정의 힘을 가해 힌지 모듈(400)을 이동하도록 하여, 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드(200)가 둔각의 회전각을 갖도록 하게 한다고도 말할 수 있다.
구체적으로, 트리거링 부재(500)는 공압실린더로 이루어져, 공압실린더의 작용에 의해 힌지 모듈(400)을 밀게 할 수도 있다. 힌지 모듈(400)은 그 일부분이 상판 상에서 이동이 가능하게 결합되었기 때문에, 힌지 모듈(400)은 트리거링 부재(500)의 가압으로 인해 상판 상에서 소정 방향으로 슬라이딩 이동하게 된다.
여기서, 힌지 모듈(400)의 핀(430)은 제1 핀홀(411) 또는 제2 핀홀(421) 내에서 유동 가능하게 결합되어 있는데, 연동부재(340)를 통해 리드(200)를 들어 올리면, 유동 가능하게 결합된 핀(430)이 수직방향으로 유동하게 되어 리드(200)가 살짝 들어올려지게 된다. 이 상태에서, 트리거링 부재(500)가 힌지 모듈(400)에 소정 힘을 가해 밀게 된다.
만약, 핀(430)이 제1 핀홀(411) 또는 제2 핀홀(421) 내에서 유동 가능하게 결합되지 않는 상태라면, 트리거링 부재(500)는 리드(200)의 전체 하중이 쏠려있는 힌지 모듈(400)을 밀어 이동시켜야 하므로, 많은 에너지를 소비하게 된다.
힌지 모듈(400)이 이동하게 되는 소정 방향은, 이동부재(330)가 리드(200)를 개방하도록 하기 위해 이동하는 방향(가이드부재의 경로를 따른 방향)을 제1 방향이라고 가정할 때, 이동부재(330)의 제1 방향의 반대 방향일 수 있다(때로는, 챔버의 개구부를 향하는 방향).
이때, 리드(200)와 연결된 연동부재(340)는 움직임이 고정된 상태이므로 연동부재는 움직이지 않고, 리드(200)의 힌지 모듈(400)과 연결된 일부분이 밀리게 되어, 리드(200)가 둔각의 회전각을 갖도록 제어된다.
트리거링 부재(500)가 힌지 모듈(400)을 가압할 때에는, 이동부재(330)가 고정되도록 제어할 수 있다. 만약 트리거링 부재(500)가 힌지 모듈(400)을 가압할 때 이동부재(330)의 움직임이 고정되지 않은 상태라면, 이동부재(330)는 트리거링 부재(500)의 가압에 의해 힌지 모듈(400)과 함께 이동하게 될 수 있어, 리드(200)의 개방 과정이 수월히 이루어지지 않을 수 있다.
도 8c는 도 8b의 과정을 통해 둔각의 회전각으로 제어된 리드(200)가 연동부재(340)의 하강 동작에 의해 리드(200)가 더욱 개방되어 감을 나타낸 것이다.
구체적으로, 연동부재(340)가 하강하면, 회전부재(210)의 회전운동이 유도되게 되고, 이동부재(330)는 가이드부재(320)의 경로에 따른 이동이 이루어지게 되면서 리드(200)가 더욱 개방된다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
1000: 장치
100: 챔버
200: 리드
210: 회전부재 220: 리드결합부재
300: 리드 개폐 모듈
310: 제1 플레이트 320: 가이드부재
330: 이동부재 340: 연동부재
341: 제1 동작유도부 342: 제2 동작유도부
343: 결합부재
400: 힌지 모듈
410: 제1 브라켓 411: 제1 핀홀
420: 제2 브라켓 421: 제2 핀홀
430: 핀
500: 트리거링 부재

Claims (8)

  1. 내부에 공간이 형성된 챔버, 상기 챔버의 상면을 일부 덮고 있는 상판, 및 상기 상판 이외의 부위에 형성되어 있는 개구부를 개폐할 수 있는 리드를 구비하는 장치에 있어서,
    상기 챔버의 측부 또는 상기 리드의 측부에 위치하는 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트에 위치하여 경로를 제공하는 가이드부재;
    상기 가이드부재의 경로를 따라 이동이 가능한 이동부재; 및
    상승, 하강 동작이 가능하며, 상기 상승, 하강 동작을 통해 상기 이동부재의 상기 가이드부재의 경로를 따른 이동을 유도하고, 상기 상승, 하강 동작을 회전운동으로 전환하여 상기 리드를 개폐하도록 하는 연동부재; 를 포함하되,
    상기 리드와 상기 상판은 힌지 모듈을 통해 회전 결합하며,
    상기 힌지 모듈은 상기 상판 상에서 이동이 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 힌지 모듈의 이동 방향은,
    상기 이동부재가 상기 리드를 열기 위해 이동하는 방향을 제1 방향이라고 가정할 때, 상기 제1 방향의 반대 방향인 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 힌지 모듈을 이동하도록 하는 트리거링 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 트리거링 부재는,
    상기 리드가 직각의 회전각을 갖도록 개방되었을 때,
    상기 힌지 모듈에 소정의 힘을 가해 상기 힌지 모듈을 이동하도록 하여, 상기 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드가 둔각의 회전각을 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 트리거링 부재는,
    상기 힌지 모듈의 회전축을 가상으로 연장한 직선을 가정할 때,
    상기 연동부재가 상기 가이드부재를 따라 슬라이딩 되다가 상기 직선상에 위치하면, 상기 힌지 모듈에 소정의 힘을 가해 상기 힌지 모듈을 이동하도록 하여, 직각의 회전각을 갖도록 개방된 리드가 둔각의 회전각을 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 트리거링 부재가 상기 힌지 모듈을 이동하도록 할 때,
    상기 이동부재가 고정되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 힌지 모듈은,
    일측이 리드와 결합하고 타측에 제1 핀홀이 형성된 제1 브라켓; 및 일측이 상기 상판에서 이동 가능하게 결합되고 타측에 제2 핀홀이 형성된 제2 브라켓; 을 포함하며,
    상기 제1 브라켓 및 상기 제2 브라켓은,
    상기 제1 핀홀 및 상기 제2 핀홀에 삽입되는 핀; 을 통해 회전 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 핀은,
    상기 제1 핀홀 또는 상기 제2 핀홀에 삽입되었을 때, 유동이 가능한 것을 특징으로 하는 장치.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102015485B1 (ko) * 2019-02-18 2019-08-28 주식회사 윈텍 오엘이디 제조 챔버 장비용 오토 리드 장치

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