KR20090125433A - 로드락 챔버 - Google Patents

로드락 챔버 Download PDF

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Abstract

본 발명은 로드락 챔버에 관한 것으로 특히, 챔버와 커버의 접촉으로 인해 발생되는 파티클의 발생을 억제하도록, 챔버와 커버 사이에 댐퍼가 설치되어, 상기 챔버와 커버의 접촉을 방지할 수 있는 로드락 챔버에 관한 것이다.
로드락 챔버, 평판표시소자, 기판제조장치

Description

로드락 챔버{Loadlock chamber}
본 발명은 챔버와 커버 사이에 댐퍼가 설치되어, 상기 챔버와 커버의 접촉을 방지할 수 있는 로드락 챔버에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상기 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.
상기 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리 전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다.
상기 반송 챔버는 반송 로봇이 구비되어 있어, 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 한다.
상기 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판상에 막을 성 막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
상기 로드락 챔버에는 그 내부를 진공으로 형성하기 위한 진공 형성 장치(도면에 미도시)와, 다시 대기 분위기로 만들기 위한 대기압 형성 장치(도면에 미도시)가 구비되어 있다.
상기 로드락 챔버는 계속하여 대기압 분위기와 진공 분위기를 오가면서 기판의 반입과 반출을 담당하므로 이에 따른, 여러 가지 고장이 발생할 수 있다.
이에 상기 진공 형성 장치 및 대기압 형성 장치와 같은 내부 구성물의 유지 보수 및 교체를 할 때 그 내부를 개폐할 수 있도록 별도의 커버가 마련된다.
이때, 상기 진공 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버 내부가 저압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 상기 로드락 챔버 및 대면적 커버의 각 변 중심부가 상대적으로 취약하여 내부 방향으로 치우치는 현상이 발생 된다.
특히, 상기 커버가 상기 로드락 챔버의 상부에 결합 되는 방식을 취하고 있어 상기 커버와 상기 로드락 챔버와의 결합면 일단과 타단은 상기 커버의 하방을 향한 처짐에 의해 서로 크기가 다른 압력을 가하게 된다.
그리고, 상기 대기압 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버 내부가 고압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 상기 로드락 챔버 및 대면적 커버의 각 변 중심부가 상대적으로 취약하여 외부 방향으로 치우치는 현상이 발생 된다.
여기서, 상기 커버의 중심부가 하방으로 치우치면, 상기 로드락 챔버의 내측벽 상단 모서리부와 접촉하는 커버가 그 로드락 챔버의 내측벽 상단 모서리부를 가압하게 되어 파손되는 결과를 초래한다.
따라서, 상기 로드락 챔버의 파손된 조각(파티클:Particle)이 기판에 낙하하여, 기판의 공정불량이 발생하고, 공정 수율이 저하되면서, 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위한 것으로, 챔버와 커버간의 접촉이 발생 되지 않도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 청구항 1에 기재된 로드락 챔버는, 챔버와, 상기 챔버의 일측을 개폐하는 커버와, 상기 챔버와 상기 커버의 접촉을 방지하기 위해, 상기 챔버와 상기 커버 사이에 설치되는 댐퍼를 포함하여 이루어진다.
이러한 구성에 의하면, 커버의 변형이 발생 될 때 커버와 챔버가 접촉되지 않고, 커버와 댐퍼의 접촉만을 유도하므로 상기 커버의 하단과 챔버의 내측벽 상단 모서리가 접촉되는 것이 방지되어 금속성 파티클이 발생 되지 않는다.
또한, 본 발명의 청구항 2에 기재된 로드락 챔버는, 챔버와 댐퍼 사이에 설치되어, 상기 챔버와 상기 댐퍼 사이의 기밀을 위한 제1밀봉부재와, 댐퍼와 덮개 사이에 설치되어, 상기 댐퍼와 상기 덮개 사이의 기밀을 위한 제2밀봉부재를 포함하여 이루어진다.
이러한 구성에 의하면, 챔버 내부의 진공 상태를 확실하게 유지시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 청구항 3에 기재된 로드락 챔버에서, 댐퍼는 엔지니어링 플라스틱으로 이루어진다.
또한, 본 발명의 청구항 4에 기재된 로드락 챔버에서, 챔버의 일측에는 경사부가 형성되어 있다.
이러한 구성에 의하면, 커버와 댐퍼의 상단 모서리가 접촉되어 생기는 응력집중을 최소화할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 로드락 챔버에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 로드락 챔버에는, 챔버와 커버 사이에 엔지니어링 플라스틱계열의 댐퍼가 설치되어 상기 챔버와 상기 커버를 이격시키기 때문에, 상기 챔버와 커버가 접촉되지 않고, 커버와 댐퍼의 접촉을 유도하므로 상기 커버의 하단과 챔버의 내측벽 상단 모서리가 접촉되는 것이 방지되어, 금속성 파티클이 발생 되지 않아 공정 수율 향상 및 장비의 내구성이 향상되는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 로드락 챔버에서, 댐퍼는 커버를 챔버에서 분리시키기만 하면 손쉽게 점검할 수 있기 때문에, 상기 댐퍼의 파손 및 변형이 발생 되었을 경우 용이하게 교체할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 로드락 챔버에는, 챔버와 댐퍼사이의 기밀을 유지시키는 제1밀봉부재와, 커버와 댐퍼사이의 기밀을 유지시키는 제2밀봉부재가 형성되어 있어, 챔버 내부의 진공 상태를 확실하게 유지시킬 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 로드락 챔버에서, 댐퍼에는 경사부가 형성되어 있어, 챔버 내부의 진공 형성시 상기 커버가 하방으로 치우칠 때, 상기 커버와 댐퍼의 상단 모서리가 접촉되어 생기는 응력집중을 최소화하므로, 상기 커버의 움직임을 용이하게 하는 동시에 상기 커버 및 댐퍼의 내구성이 향상되는 이점이 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명 로드락 챔버의 측단면도이다.
도 2는 도 1 A부분의 확대도이다.
본 발명에서 챔버(210)는 하부판과, 상기 하부판의 둘레에 측벽이 둘러 쌓여있는 형태이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명은 챔버(210)의 내부가 중공 형성되어 공간(211)을 갖는다.
이때, 상기 챔버(210)의 좌,우 양측벽에는 상기 양측벽의 외부에서 내부를 관통하여 상기 공간(211)과 연통되도록, 기판이 반입되는 반입구(251)와 반출되는 반출구(252)가 형성되어 있다.
상기 반입구(251)와 반출구(252)는 게이트 밸브(253)에 의해 개폐된다.
상기 챔버(210)는 로드락 챔버이며, 상기 챔버(210) 내부의 하부판 중심부에는 기판이 적재되는 기판 적재대(254)가 구비된다.
상기 챔버(210)의 상부는 개방되어 있으며, 그 상부에는 개방된 상면을 개폐하는 커버(220)가 덮여진다.
상기 커버(220)는 챔버(210)의 면적과 동일하면서 적정두께를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
상기 챔버(210)의 측벽 상단(261)과 이와 맞닿는 커버(220)의 하단(271) 사이에는 댐퍼(230)가 설치되어, 상기 챔버(210)와 커버(220)를 이격시키므로 상기 챔버(210)와 커버(220)의 접촉을 방지한다.
상기 댐퍼(230)의 단면은 직사각형 형상인 것이 바람직하다.
상기 댐퍼(230)는 상기 챔버(210)의 측벽 상단(261)에 설치되는 것이 바람직하며, 그 위치는 상기 챔버(210)의 측벽 상단(261)과 상기 커버(220)의 하단(271) 접촉면 둘레를 따라 전체적으로 구비되거나 국부적으로 구비될 수 있다.
상기 댐퍼(230)를 챔버(210)와 커버(220)와의 접촉면에 국부적으로 구비시킬 경우에는 상기 챔버(210)의 내측벽 상단 모서리와 맞닿도록 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 댐퍼(230)는 상기 커버(220)의 하단에도 설치될 수 있다.
또한, 상기 댐퍼(230)는 상기 챔버(210)와 커버(220)의 접촉을 방지할 수 있 도록, 상기 챔버(210)와 커버(220)를 이격시키는 어떠한 위치에 설치될 수 있으므로 개별적으로 설치될 수도 있다.
상기 챔버(210)의 내측에 위치하는 상기 댐퍼(230)의 상단 모서리에는, 그 모서리를 잘라낸 경사부(231)가 형성되어 있다.
상기 경사부(231)는 상기 챔버(210) 내부의 진공 형성시 상기 커버(220)가 하방으로 치우칠 때, 상기 커버(220)와 댐퍼(230)의 상단 모서리가 접촉되어 생기는 응력집중을 최소화하므로, 상기 커버(220)의 움직임을 용이하게 하는 동시에 상기 커버(220) 및 댐퍼(230)의 내구성을 향상시키는 역할을 한다.
위와 같은 구성에 의하면, 상기 챔버(210)의 내부가 진공 또는 대기압 상태로 변환되는 과정에 있어서 상기 커버(220)가 하방으로 치우치더라도, 상기 댐퍼(230)가 상기 챔버(210)의 내측벽 상단 모서리와 맞닿도록 배치되어 생기는 공간(212)에 의하여, 상기 커버(220)와 챔버(210)의 접촉이 방지되고, 상기 커버(220)와 댐퍼(230)의 접촉만을 유도한다.
따라서, 상기 댐퍼(230)에 의해, 상기 커버(220)의 하단과 챔버(210)의 내측벽 상단 모서리가 접촉되는 것이 방지되어 금속성 파티클이 발생 되지 않기 때문에, 공정 수율 향상 및 장비의 내구성이 향상된다.
또한, 상기 댐퍼(230)는 상기 커버(220)를 챔버(210)에서 분리시키기만 하면 손쉽게 점검할 수 있기 때문에, 상기 댐퍼(230)의 파손 및 변형이 발생 되었을 경 우 용이하게 교체할 수 있다.
상기 챔버(210)의 측벽에는, 상기 측벽의 상단에서 하부로 파인 제1홈(243)이 형성되어 있고, 상기 제1홈(243)에는 제1밀봉부재(241)가 삽입된다.
한편, 상기 커버(220)에는 상기 커버(220)의 하단에서 상부로 파인 제2홈(244)이 형성되어 있고, 상기 제2홈(244)에는 제2밀봉부재(242)가 삽입된다.
상기 제1밀봉부재(241)와 제2밀봉부재(242)는 'O링'으로 형성하는 것이 바람직하다.
따라서, 상기 제1밀봉부재(241)는 상기 챔버(210)와 댐퍼(230) 사이의 기밀을 유지시키고, 상기 제2밀봉부재(242)는 상기 커버(220)와 댐퍼(230) 사이의 기밀을 유지시키기 때문에, 상기 챔버(210) 내부의 진공 상태를 확실하게 유지시킬 수 있다.
상기 댐퍼(230)는 엔지니어링 플라스틱으로 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 엔지니어링 플라스틱은 불소수지(Polytetra Fluoro Ethylene : PTFE)이거나 비닐 리덴(PolyvinylideneFluoride : PVDF) 등으로 구비된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 로드락 챔버는 특히, LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에서 사용되는 것이 적합하다.
도 1은 본 발명 로드락 챔버의 측단면도.
도 2는 도 1 A부분의 확대도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
210 : 챔버 211 : 공간 212 : 공간
220 : 커버 230 : 댐퍼 231 : 경사부
241 : 제1밀봉부재 242 : 제2밀봉부재 243 : 제1홈
244 : 제2홈 251 : 반입구 252 : 반출부
253 : 밸브 254 : 적재대

Claims (4)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 일측을 개폐하는 커버;
    상기 챔버와 상기 커버의 접촉을 방지하기 위해,
    상기 챔버와 상기 커버 사이에는 댐퍼가 설치되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버와 상기 댐퍼 사이에 설치되어, 상기 챔버와 상기 댐퍼 사이의 기밀을 위한 제1밀봉부재;
    상기 댐퍼와 상기 덮개 사이에 설치되어, 상기 댐퍼와 상기 덮개 사이의 기밀을 위한 제2밀봉부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 댐퍼는 엔지니어링 플라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
  4. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 댐퍼의 일측에는 경사부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
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