JP2007294997A - 真空チャンバー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る真空チャンバー1は、基板搬送ロボットが設置される枠状のチャンバー本体2と、チャンバー本体2の少なくとも一側面部に配置された多角形状の側面枠3a,3bとからなり、チャンバー本体2と側面枠3a,3bとが相互に分割自在に組み立てられている。この構成により、真空チャンバーを組み立てた後において、ユーザーの要求等に応じて別の多角形状の側面枠に容易に取り替えて真空チャンバーの形状を変更することができ、ユーザーの要求仕様にフレキシブルに対応することが可能となる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る真空チャンバーを示す斜視図、図2は、その分解斜視図である。本実施の形態における真空チャンバーは、例えば6つの処理室を有するマルチチャンバー(多室)型枚葉式スパッタ成膜装置(以下、成膜装置という)の中央部に設けた基板搬送ロボットを有する搬送室として用いることができる。
実施の形態1では、長方形状のチャンバー本体2を中心(コア)として、その両側に3角形状の側面枠3a,3bをボルト留めで接合して6角形状の真空チャンバーを組み立てる構造であったが、本実施の形態では、図3に示すように、実施の形態1で使用した長方形状のチャンバー本体2を中心(コア)とし、その両側に長方形状の側面枠12a,12bをボルト留めで接合して、正方形状の真空チャンバー13を組み立てる構造である。長方形状の側面枠12a,12bを使用した以外は実施の形態1と同様であり、重複する説明は省略する。
実施の形態2では、長方形状のチャンバー本体2を中心(コア)として、その両側に長方形状の側面枠12a,12bをボルト留めで接合して4角形状の真空チャンバーを組み立てる構造であったが、本実施の形態では、図4に示すように、実施の形態2で得られた正方形状の真空チャンバー13の各側面に3角形状の側面枠14a,14b,14c,14dをボルト留めで接合して、8角形状の真空チャンバー15を組み立てる構造である。
上述した各実施の形態では長方形状のチャンバー本体2を中心(コア)とした構成であったが、本実施の形態では、図5に示すように、台形状の4角形のチャンバー本体2aを中心(コア)として、その一つの長辺に3角形状の側面枠16をボルト留めで接合して5角形状の真空チャンバー17を組み立てる構造である。
本実施の形態では、図6に示すように、台形状の4角形のチャンバー本体2bを中心(コア)として、一方の長辺に台形状の4角形(チャンバー本体2bよりも小さい形状)の側面枠18をボルト留めで接合し、他方の短辺に3角形状の側面枠19をボルト留めで接合して7角形状の真空チャンバー20を組み立てる構造である。
本実施の形態では、図7に示すように、正方形状の4角形のチャンバー本体2cを中心(コア)として、その各側面に3角形状の側面枠21a,21b,21c,21dをボルト留めで接合して8角形状の真空チャンバー22を組み立てる構造である。
2,2a,2b,2c チャンバー本体
3a,3b,12a,12b,14a,14b,14c,14d,16,18,19,21a,21b,21c,21d 側面枠
5,8 上板
6 基板搬送ロボット
7,9 底板
Claims (3)
- 基板搬送ロボットを備えた真空チャンバーにおいて、
前記基板搬送ロボットが設置される枠状のチャンバー本体と、
前記チャンバー本体の少なくとも一側面部に配置された多角形状の側面枠とからなり、
前記チャンバー本体と前記側面枠とが相互に分割自在に組み立てられてなる
ことを特徴とする真空チャンバー。 - 当該真空チャンバーの上面および下面に接合される上板および底板をそれぞれ有し、前記上板および前記底板が前記チャンバー本体側と前記側面枠側とに相互に分割されている
ことを特徴とする請求項1に記載の真空チャンバー。 - 前記チャンバー本体と、前記側面枠と、前記上板と、前記底板とが、それぞれボルト留めによって組み立てられている
ことを特徴とする請求項1に記載の真空チャンバー。
Priority Applications (1)
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JP2007178469A JP2007294997A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 真空チャンバー |
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Publications (1)
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JP2007294997A true JP2007294997A (ja) | 2007-11-08 |
Family
ID=38765212
Family Applications (1)
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JP2007178469A Pending JP2007294997A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 真空チャンバー |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2007
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100525 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A02 | Decision of refusal |
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