JP2002076091A - 基板処理装置 - Google Patents

基板処理装置

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JP2002076091A JP2000253512A JP2000253512A JP2002076091A JP 2002076091 A JP2002076091 A JP 2002076091A JP 2000253512 A JP2000253512 A JP 2000253512A JP 2000253512 A JP2000253512 A JP 2000253512A JP 2002076091 A JP2002076091 A JP 2002076091A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲に接
続される処理チャンバ及びロードロックチャンバとから
なる基板処理装置において、処理チャンバ、ロードロッ
クチャンバの増設に要する費用の削減と時間の短縮を図
ることのできる基板処理装置を提供する。 【解決手段】 搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲
に接続される処理チャンバ及びロードロックチャンバと
からなる基板処理装置であって、前記処理チャンバ及び
ロードロックチャンバは、前記搬送チャンバの周囲に搬
送チャンバと同一環境に維持可能にして接続される増設
用接続部品を介して、前記搬送チャンバの周囲に接続さ
れることを特徴とする基板処理装置によって課題を解決
した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板処理装置に関
し、特に、搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲に接
続される処理チャンバ及びロードロックチャンバとから
なり、一個の搬送チャンバを用意しておくのみで、当該
搬送チャンバの周囲に接続される処理チャンバ、ロード
ロックチャンバの数を容易に増加できる基板処理装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲
に接続される処理チャンバ及びロードロックチャンバと
からなる従来の基板処理装置において、搬送チャンバの
周囲に接続される処理チャンバ、ロードロックチャンバ
の数を増加する場合の一例を図１（ａ）乃至図１（ｅ）
を用いて説明する。
【０００３】図１（ａ）に示すような既存構成（搬送チ
ャンバ１の周囲に、３基の処理チャンバ２と、１基のロ
ードロックチャンバ３が接続されている）に対して処理
チャンバ２を一基増設する場合、図１（ａ）図示の既存
構成では、搬送チャンバ１に増設する処理チャンバ２を
取り付けるスペース面が無い。
【０００４】そこで、図１（ａ）図示のような平面で見
て四角形の搬送チャンバ１から、図１（ｂ）図示のよう
な平面で見て五角形の搬送チャンバ１ａに取り換える必
要がある。このため、新たに、五角形の搬送チャンバ１
ａを製造すると共に、図１（ａ）図示の基板処理装置か
ら３基の処理チャンバ２、１基のロードロックチャンバ
３及び、搬送チャンバ１内の搬送用ロボット（不図示）
を取り外す。そして、この新たに準備された平面で見て
五角形の搬送チャンバ１ａの周囲に、追加する１基の処
理チャンバ２と、前記取り外した３基の処理チャンバ２
とからなる合計４基の処理チャンバ２と、１基のロード
ロックチャンバ３をそれぞれ取り付け、更に、前記取り
外した搬送用ロボット（不図示）を五角形の搬送チャン
バ１ａ内に取り付けて、ようやく、図１（ａ）図示の既
存構成に対する処理チャンバ２の一基の増設が完了する
（図１（ｂ））。
【０００５】図１（ａ）に示す既存構成に対して処理チ
ャンバ２を１基、ロードロックチャンバ３を１基増設す
る場合には、図１（ｃ）図示のような、平面で見て六角
形の搬送チャンバ１ｂを準備して、前記と同様の工程を
行う必要があり、図１（ａ）に示す既存構成に対して処
理チャンバ２を２基、ロードロックチャンバ３を１基増
設する場合には、図１（ｄ）図示のような、平面で見て
七角形の搬送チャンバ１ｃを、図１（ａ）に示す既存構
成に対して処理チャンバ２を３基、ロードロックチャン
バ３を１基増設する場合には、図１（ｅ）図示のよう
な、平面で見て八角形の搬送チャンバ１ｄを、それぞれ
準備して、前記と同様の工程を行う必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】搬送チャンバと当該搬
送チャンバの周囲に接続される処理チャンバ及びロード
ロックチャンバとからなる従来の基板処理装置におい
て、処理チャンバやロードロックチャンバを増設する場
合に、前記のように、処理チャンバやロードロックチャ
ンバ増設用のスペース面が搬送チャンバの周囲にないと
きには、処理チャンバやロードロックチャンバ増設のた
めに搬送チャンバの形を変えなければならず、搬送チャ
ンバ１の製造・取り換えが必要となる。結果として、増
設される可能性のある処理チャンバやロードロックチャ
ンバの数に応じて形の異なる搬送チャンバ１をそれぞれ
用意しておかなければならない。
【０００７】また、処理チャンバ２、ロードロックチャ
ンバ３の増設のたびごとに、前記のように、処理チャン
バ２、ロードロックチャンバ３そして、搬送用ロボット
の変更組換えなど、基板処理装置全体を取り換えなけれ
ばならないために、多くの費用と時間が必要であった。
【０００８】この発明は、上記の問題点を改善するため
になされたもので、搬送チャンバと当該搬送チャンバの
周囲に接続される処理チャンバ及びロードロックチャン
バとからなる基板処理装置において、処理チャンバ及び
ロードロックチャンバの増設が必要になった際に、チャ
ンバ増設に要する費用削減と時間短縮を図ることのでき
る基板処理装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、統一された
一つの形状の搬送チャンバのみを用い、当該搬送チャン
バの周囲への処理チャンバ及びロードロックチャンバの
接続は、搬送チャンバと同一環境に維持可能にして搬送
チャンバの周囲に接続される増設用接続部品を介して行
えるようにすることによって前記課題を解決したもので
ある。
【００１０】すなわち、この発明が提案する基板処理装
置は、搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲に接続さ
れる処理チャンバ及びロードロックチャンバとからなる
基板処理装置であって、前記処理チャンバ及びロードロ
ックチャンバは、前記搬送チャンバの周囲に搬送チャン
バと同一環境に維持可能にして接続される増設用接続部
品を介して、前記搬送チャンバの周囲に接続されること
を特徴とするものである。
【００１１】本発明の基板処理装置においては、処理チ
ャンバ及びロードロックチャンバは、搬送チャンバの周
囲に搬送チャンバと同一環境に維持可能にして接続され
る増設用接続部品を介して、搬送チャンバの周囲に接続
されるので、処理チャンバやロードロックチャンバの増
設が必要になった場合でも、既存構成の搬送チャンバを
一貫して使用し続けることができる。
【００１２】すなわち、既存構成の基板処理装置から必
要最小限の数の処理チャンバあるいはロードロックチャ
ンバを取り外し、このように処理チャンバあるいはロー
ドロックチャンバが取り外された既存構成の搬送チャン
バの面に、増設用接続部品を取り付け、この増設用接続
部品に前記取り外した処理チャンバあるいはロードロッ
クチャンバと、増設すべき処理チャンバあるいはロード
ロックチャンバを取り付けることによって所望の台数の
処理チャンバあるいはロードロックチャンバの増設が可
能になる。
【００１３】したがって、処理チャンバあるいはロード
ロックチャンバを増設する場合であっても、既存構成の
搬送チャンバを使用し続けることができ、なおかつ、増
設にあたっては、必要最小限の数の処理チャンバあるい
はロードロックチャンバの既存構成の搬送チャンバから
の取り外しを行うだけで、他の処理チャンバやロードロ
ックチャンバ、搬送用ロボットは取り外し、取り付けを
行う必要がなく、処理チャンバやロードロックチャンバ
の増設に要する時間と費用を大幅に削減することが可能
になるのである。
【００１４】前記本発明の基板処理装置において、増設
用接続部品は、前記搬送チャンバの処理チャンバ又はロ
ードロックチャンバが接続される側の面を底辺とし、当
該増設用接続部品を介して前記搬送チャンバの周囲に接
続される処理チャンバ又はロードロックチャンバが接続
される側の面を斜辺とする三角形状を有するものが使用
される。
【００１５】これは、既存構成の搬送チャンバ内に取り
付けられている基板搬送用ロボットによって、搬送チャ
ンバから増設用接続部品を介して増設された処理チャン
バ内に基板を搬送できるようにするために要求される条
件である。
【００１６】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の好ましい
実施例について説明する。
【００１７】図２（ａ）は、本発明の基板処理装置の基
本構造を示す平面図であり、処理チャンバやロードロッ
クチャンバが、図２（ｂ）〜図２（ｅ）のように増設さ
れていく際にも統一的に使用される搬送チャンバ１の周
囲に、３基の処理チャンバ２ａ、１２ａ、２２ａと、１
基のロードロックチャンバ３ａが接続されている。
【００１８】本発明の基板処理装置において、図２
（ａ）図示の基本構造に対する１基の処理チャンバの増
設は、例えば、以下のように行われる。
【００１９】まず、処理チャンバ２ａを搬送チャンバ１
から取り外す。
【００２０】次いで、この処理チャンバ２ａが取り外さ
れた搬送チャンバ１の面に増設用接続部品４ａの底辺側
の面を、ネジどめ等により、真空状態を維持可能にして
取り付ける。
【００２１】次に、増設用接続部品４ａの頂辺側の面
に、前記で取り外した処理チャンバ２ａと、増設する処
理チャンバ２ｂをそれぞれゲートバルブ５、５（図３）
を介して接続し、１基の処理チャンバの増設を完了する
（図２（ｂ））。
【００２２】また、図２（ａ）図示の基本構造に対する
１基の処理チャンバと、１基のロードロックチャンバの
増設は、例えば、以下のように行われる。
【００２３】まず、処理チャンバ２ａ、ロードロックチ
ャンバ３ａを搬送チャンバ１から取り外す。
【００２４】次いで、この処理チャンバ２ａ、ロードロ
ックチャンバ３ａが取り外された搬送チャンバ１の面
に、増設用接続部品４ａ、４ｃの底辺側の面を、ネジど
め等により、搬送チャンバと同一環境に維持可能にして
取り付ける。
【００２５】次に、増設用接続部品４ａの頂辺側の面
に、前記で取り外した処理チャンバ２ａと、増設する処
理チャンバ２ｂをそれぞれゲートバルブ５、５を介して
接続し、増設用接続部品４ｃの頂辺側の面に、前記で取
り外したロードロックチャンバ３ａと、増設するロード
ロックチャンバ３ｂをそれぞれゲートバルブ５、５を介
して接続し、処理チャンバ、ロードロックチャンバの１
基ずつの増設が完了する（図２（ｃ））。
【００２６】前記と同様の工程を行って図２（ｄ）図示
の状態にすれば、図２（ａ）図示の基本構造に対して、
処理チャンバを２基、ロードロックチャンバを１基増設
することができ、同様の工程を行って図２（ｅ）図示の
状態にすれば、図２（ａ）図示の基本構造に対して、処
理チャンバを３基、ロードロックチャンバを１基増設す
ることができる。
【００２７】したがって、いずれの増設工程において
も、基本構造の搬送チャンバ１以外の新たな形状の搬送
チャンバを別途準備する必要はなく、しかも、基本構造
において搬送チャンバ１に取り付けられていた搬送ロボ
ット６（図３）は、取り付けられたままの状態で、一連
の増設工程を行うことができる。
【００２８】更に、処理チャンバ、ロードロックチャン
バの増設にあたって、必要最小限の数の処理チャンバ、
ロードロックチャンバのみを基本構造の搬送チャンバ１
から取り外し（他のチャンバは搬送チャンバ１に接続し
続けたまま）、この取り外しが行われた搬送チャンバ１
の面に増設用接続部品を接続し、必要な数の処理チャン
バ、ロードロックチャンバを当該増設用接続部品に接続
すればよいので、処理チャンバやロードロックチャンバ
の増設に要する時間と費用の大幅な削減が可能になる。
【００２９】ここで、増設用接続部品４ａの搬送チャン
バ１の面への取り付けは、ネジどめ等により、真空状態
を維持可能にして行われているので、増設用接続部品４
ａと搬送チャンバ１とは、同一環境に維持可能にされて
いる。すなわち、増設用接続部品４ａの搬送チャンバ１
の面への取り付けは、ゲートバルブを用いずに行うこと
ができ、増設用接続部品４ａ内の真空は、搬送チャンバ
１内を真空にすることにより行われる。
【００３０】また、図３図示のように、基本構造の搬送
チャンバ１内に一貫して取り付けられている搬送用ロボ
ット６によって、搬送チャンバ１内から増設用接続部品
４ａを介して、増設工程完了後の処理チャンバ２ａ、２
ｂ内へ基板７、７をそれぞれ搬送可能とするために、増
設用接続部品４ａは、搬送チャンバ１の処理チャンバ又
はロードロックチャンバが接続される側の面を底辺と
し、この増設用接続部品４ａを介して搬送チャンバ１の
周囲に接続される処理チャンバ又はロードロックチャン
バが接続される側の面を斜辺とする三角形状に形成され
ていることが望ましい。
【００３１】なお、増設される処理チャンバ２ｂ、ロー
ドロックチャンバ３ｂ等は、この三角形状の増設用接続
部品４ａ等の頂辺部分に接続されるので、増設される処
理チャンバ２ｂ、ロードロックチャンバ３ｂ等の大きさ
は、増設用接続部品４ａの頂辺部分の大きさに規制され
ることになる。したがって、これを考慮して、あらかじ
め、定められた大きさ、形状からなる搬送チャンバ１、
増設用接続部品４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、処理チャンバ
２ａ、２ｂ、１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ、ロード
ロックチャンバ３ａ、３ｂを準備しておけばよいことに
なる。
【００３２】以上、添付図面を参照して本発明の好まし
い実施例を説明したが、本発明はかかる実施例に限定さ
れるものでなく、特許請求の範囲の記載から把握される
技術的範囲において種々の形態に変更可能である。
【００３３】
【発明の効果】この発明によれば、搬送チャンバと当該
搬送チャンバの周囲に接続される処理チャンバ及びロー
ドロックチャンバとからなる基板処理装置において、処
理チャンバ及びロードロックチャンバを増設する際に、
新たな形状の搬送チャンバを別途に準備する必要がな
く、また増設にあたって、搬送チャンバから取り外し等
を行わねばならないチャンバの数を必要最小限におさえ
ることができるので、チャンバ増設に要する費用の削減
と時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の基板処理装置における搬送チャンバの周
囲へのチャンバの増設状態を説明する平面図であって、
（ａ）は基本構造の状態の平面図、（ｂ）はチャンバが
１基増設された状態の平面図、（ｃ）はチャンバが２基
増設された状態の平面図、（ｄ）はチャンバが３基増設
された状態の平面図、（ｅ）はチャンバが４基増設され
た状態の平面図である。
【図２】本発明の基板処理装置における搬送チャンバの
周囲へのチャンバの増設状態を説明する平面図であっ
て、（ａ）は基本構造の状態の平面図、（ｂ）はチャン
バが１基増設された状態の平面図、（ｃ）はチャンバが
２基増設された状態の平面図、（ｄ）はチャンバが３基
増設された状態の平面図、（ｅ）はチャンバが４基増設
された状態の平面図である。
【図３】本発明の基板処理装置における基板の搬送状態
を説明する斜視図である。
【符号の説明】
１ 搬送チャンバ １ａ１、１ｂ、１ｃ、１ｄ 搬送チャンバ ２ 処理チャンバ ２ａ、２ｂ 処理チャンバ １２ａ、１２ｂ 処理チャンバ ２２ａ、２２ｂ 処理チャンバ ３ ロードロックチャンバ ３ａ、３ｂ ロードロックチャンバ ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ 増設用接続部品 ５ ゲートバルブ ６ 搬送用ロボット ７ ウェハ（基板）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小口 俊明 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 (72)発明者 高橋 信行 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 DA01 KA01 4K030 GA12 KA08 5F031 CA02 MA04 MA06 MA09 NA05 NA07 5F045 BB08 DQ17 EB08 GB15

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲
    に接続される処理チャンバ及びロードロックチャンバと
    からなる基板処理装置であって、前記処理チャンバ及び
    ロードロックチャンバは、前記搬送チャンバの周囲に搬
    送チャンバと同一環境に維持可能にして接続される増設
    用接続部品を介して、前記搬送チャンバの周囲に接続さ
    れることを特徴とする基板処理装置。
  2. 【請求項２】 増設用接続部品は、前記搬送チャンバの
    処理チャンバ又はロードロックチャンバが接続される側
    の面を底辺とし、当該増設用接続部品を介して前記搬送
    チャンバの周囲に接続される処理チャンバ又はロードロ
    ックチャンバが接続される側の面を斜辺とする三角形状
    を有することを特徴とする請求項１記載の基板処理装
    置。
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