KR20070036961A - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 상태와 대기압 상태가 순환되는 내부를 개폐할 수 있도록 기밀이 유지된 상태로 커버가 구비되는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 챔버; 상기 챔버의 일측을 개폐하는 커버; 상기 챔버와 상기 커버의 접촉부분 일측에 부분 삽입된 상태로 설치되는 기밀유지부재; 상기 챔버와 상기 커버의 접촉부분 타측에 부분 삽입된 상태로 설치되는 댐퍼(Damper); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 로드락 챔버, 커버, 기밀유지부재, 댐퍼(Damper), 접촉, 파손

Description

평판표시소자 제조장치{FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING MACHINE}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치를 도시한 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치를 도시한 측단면도이다.
도 3은 상기 평판표시소자 제조장치의 일 실시예에 따른 댐퍼를 부분 도시한 사시도이다.
도 4는 상기 평판표시소자 제조장치의 다른 실시예에 따른 댐퍼를 부분 도시한 사시도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 챔버 112 : 커버
114 : 기밀유지부재 120, 120' : 댐퍼(Damper)
120a : 오링
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 상태와 대기압 상태가 순환되는 내부를 개폐할 수 있도록 기밀이 유지된 상태로 커버 가 구비되는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상기 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.
여기서, 상기 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리 전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하고, 상기 반송 챔버는 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 반송하기 위한 반송 로봇이 구비되어 있어서 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상기 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 각각 한다.
여기서, 상기 로드락 챔버는 계속하여 대기압 분위기와 진공 분위기를 오가면서 기판의 반입과 반출을 담당하므로 그 내부를 진공으로 형성하기 위한 진공 형성 장치와, 다시 대기 분위기로 만들기 위한 대기압 형성 장치가 쉴 틈 없이 작동하다 보면 여러 가지 고장이 발생할 수 있다.
이에 상기 진공 형성 장치 및 대기압 형성 장치와 같은 내부 구성물의 유지 보수 및 교체를 할 때 그 내부를 개폐할 수 있도록 별도의 커버가 마련된다.
이와 같은 종래의 평판표시소자 제조장치중 로드락 챔버는 도 1에 도시된 바와 같이 내부가 중공 형성된 상부는 개구되고 그 개구된 상면에 기밀이 유지된 상 태로 커버(12)가 안착된다.
여기서, 상기 로드락 챔버(10)와 커버(12)와의 접촉면 둘레에는 기밀을 유지시키는 오링(O-ring)인 기밀유지부재(14)가 개재된다.
한편, 상기 로드락 챔버(10)는 그 내부에 진공 상태로 변환시키는 진공 형성 장치(도면에 미도시)와 대기압 상태로 변환시키는 대기압 형성 장치(도면에 미도시)가 구비되는데 이러한 장치들 및 기판 적재대의 유지 보수를 위하여 개폐할 수 있는 커버(12)가 마련되며, 상기 기판(도면에 미도시)이 대면적화됨에 따라 이와 같은 로드락 챔버(10) 및 커버(12) 또한 면적이 커지게 된다.
이때, 상기 진공 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버(10) 내부가 저압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 상기 로드락 챔버(10) 및 대면적 커버(12)의 각 변 중심부가 상대적으로 취약하여 내부 방향으로 치우치는 현상이 발생되며, 특히, 상기 커버(12)가 상기 로드락 챔버(10)의 상부에 결합되는 방식을 취하고 있어 상기 커버(12)와 상기 로드락 챔버(10)와의 결합면 일단과 타단은 상기 커버(12)의 하방을 향한 처짐에 의해 서로 크기가 다른 압력을 가하게 된다.
그리고 상기 대기압 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버(10) 내부가 고압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 상기 로드락 챔버(10) 및 대면적 커버(12)의 각 변 중심부가 상대적으로 취약하여 외부 방향으로 치우치는 현상이 발생된다.
여기서, 상기 커버(12)의 중심부가 상방으로 치우치는 상태에는 그 다지 위험하진 않지만 그 커버(12)의 중심부가 하방으로 치우치면 상기 로드락 챔버(10)의 내측벽 상단 모서리부와 접촉하는 커버(12)가 그 로드락 챔버(10)의 내측벽 상단 모서리부를 가압하게 되어 초반에는 크랙(Creak)이 발생되지만 차후에 응력이 집중되어 파손되는 결과를 초래하며 상기 로드락 챔버(10)의 파손된 조각이 기판에 낙하하는 등의 파티클(Particle) 이슈를 불러 일으키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 미세 파티클 발생에 의한 기판의 공정불량이 다량으로 발생하여 공정 수율이 저하되는 것을 방지하기 위해 상기 챔버 내부의 진공 형성시 챔버의 내측벽 모서리부가 접촉하여 파손되는 것을 방지할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 챔버; 상기 챔버의 일측을 개폐하는 커버; 상기 챔버와 상기 커버의 접촉부분 일측에 부분 삽입된 상태로 설치되는 기밀유지부재; 상기 챔버와 상기 커버의 접촉부분 타측에 부분 삽입된 상태로 설치되는 댐퍼(Damper); 를 포함하여 이루어짐으로써, 상기 챔버와 커버와의 접촉면에 댐퍼를 구비하여 펌핑시 그 커버가 하방으로 치우칠 때 그 치우치는 부위가 챔버의 내측벽 상단을 가압하여 파손되는 것을 방지하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 상기 댐퍼는, 상기 기밀유지부재의 안쪽인 챔버의 상면 내측 가장자리부에 구비됨으로써, 하방으로 치우치는 커버와 챔버의 내측면 모서리 부가 직접 접촉하는 것을 방지하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 상기 댐퍼는, 상기 커버와 챔버와의 접촉면 둘레를 따라 전체적으로 구비되거나 상기 커버와 챔버와의 접촉면에 국부적으로 구비됨으로써, 상기 커버와 챔버의 내측벽 모서리부와의 접촉을 방지할 때 접촉면 전체에 댐퍼를 구비하거나, 댐퍼의 사용을 줄여 국부적으로 접촉을 방지함에 따라 제조 단가를 하강시키므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 2에 도시된 바와 같이 내부가 중공 형성되되 그 양측벽에 형성되어 기판이 반입되는 반입구와 반출되는 반출구가 게이트 밸브에 의해 개폐되며 그 상부가 개구되고 그 상면에 기밀이 유지된 상태로 커버(112)가 마련되는 챔버(110)이며, 상기 커버(112)는 상부 챔버(110)의 면적과 동일하면서 적정 두께를 갖는다.
여기서, 상기 챔버(110)는 로드락 챔버이며, 상기 챔버(110) 하측 중심부에는 기판(도면에 미도시)이 적재되는 기판 적재대가 각각 구비된다.
그리고 상기 챔버(110)의 상면 내측 가장자리부와 외측 가장자리부에 적정 깊이로 홈이 형성되고 그 홈에 각각 댐퍼(120)와 기밀유지부재(114)가 상기 홈에서 부터 적정 높이만큼 돌출되도록 삽입된다.
즉, 상기 댐퍼(120)는 상기 챔버(110) 상면 내측 홈에 삽입되고 기밀유지부재(114)는 챔버(110) 상면 외측 홈에 삽입된다.
여기서, 상기 댐퍼(120)는 기밀유지부재(114)의 높이보다 더 낮게 구비되어 챔버(110)의 진공 상태 유지시 방해가 되면 안된다.
한편, 상기 댐퍼(120)를 기밀유지부재(114) 보다 안쪽에 구비시키는 이유는 상기 챔버(110)의 내부 펌핑시 상기 커버(112)가 하방으로 처지면서 챔버(110) 내측벽 상단 모서리부에 접촉되고 가압하여 그 모서리부가 파손되는 것을 방지하기 위함이다.
상기 댐퍼(120)는 챔버(110)와 커버(112)와의 접촉면에 그 접촉면 둘레를 따라 구비되거나 국부적으로 구비될 수 있다. 여기서, 상기 댐퍼(120)를 챔버(110)와 커버(112)와의 접촉면에 국부적으로 구비시킬 경우 모서리부마다 구비하거나 모서리를 제외한 변 부분에 구비할 수 있으며 이에 한정하지 않고 다양한 변경 실시가 가능하다.
그리고 상기 댐퍼(120)는 도 3에 도시된 바와 같이 내부에 일반적인 오링(120a)이 구비되고 상기 오링(120a)의 외부에 상기 오링(120a)보다 경질인 엔지니어링 튜브(Engineering Tube)가 감싸도록 구비되어 커버(112)
또한, 다른 실시예에 따른 상기 댐퍼(120')는 도 4에 도시된 바와 같이 길이 방향으로 연장되는 블록 형상의 엔지니어링 플라스틱(Engineering Plastic)으로도 구비될 수 있다.
여기서, 상기 엔지니어링 플라스틱은 불소수지(Polytetra Fluoro Ethylene : PTFE)이거나 비닐 리덴(Polyvinylidene Fluoride : PVDF) 등으로 구비된다.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치인 챔버 상면에 그 내부를 개폐할 수 있도록 접촉되는 커버는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 챔버(110)의 상면과 접촉된 상태에서 그 외측 접촉면에 기밀유지부재(114)가 개재되고 내측 접촉면에 댐퍼(120)가 개재되어 상기 챔버(110) 내부 펌핑시 커버(112)가 그 중심부를 기점으로 하방을 향해 처지면서 상기 커버(112)가 그 커버(112)와 접하는 챔버(110)의 내측벽 상단 모서리부를 가압하게 된다.
이때, 상기 커버(112)와 챔버(110)의 내측벽 상단 모서리부 사이에 개재된 댐퍼(120)가 상기 커버(112)와 상기 챔버(110)의 내측벽 상단 모서리부가 직접 접촉되는 것을 방지하여 상기 챔버(110)의 내측벽 상단 모서리부가 파손되는 것을 방지한다.
즉, 상기 댐퍼(120) 중 오링(120a)의 외주면을 상기 오링(120a)보다 경질인 엔지니어링 튜브가 감싸도록 구비되어 상기 커버(112)가 챔버(110)의 상면에 안착됨에 따라 상기 챔버(110) 내부를 펌핑할 때 그 사이에 개재된 기밀유지부재(114)에 압력이 가해진 상태로 가장자리부가 서로 밀착되지만 댐퍼(120)의 외주면에 구비된 경질의 엔지니어링 튜브에 의해 변형을 감소시켜 상기 커버(112)가 챔버(110)에 밀착되지 않고 미세량 이격된 상태로 구비된다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 챔버 상면에 안착되는 커버의 접촉면에 기밀유지부재와 댐퍼(Damper)를 구비하여 상기 커버가 하방으로 처지더라도 챔버 내벽 상단에 접촉되는 것을 방지함에 따라 파티클 발생을 최소화하고 상기 커버의 변형을 최소화하며 공정 수율 향상 및 장비의 내구성이 향상시키는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 일측을 개폐하는 커버;
    상기 챔버와 상기 커버의 접촉부분 일측에 부분 삽입된 상태로 설치되는 기밀유지부재;
    상기 챔버와 상기 커버의 접촉부분 타측에 부분 삽입된 상태로 설치되는 댐퍼(Damper); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 챔버는,
    로드락 챔버인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 댐퍼는,
    상기 기밀유지부재의 안쪽인 챔버의 상면 내측 가장자리부에 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 댐퍼는,
    상기 커버와 챔버와의 접촉면 둘레를 따라 전체적으로 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 댐퍼는,
    상기 커버와 챔버와의 접촉면에 국부적으로 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 댐퍼는,
    오링보다 경질인 엔지니어링 튜브(Engineering Tube)가 오링의 외부를 감싸도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 댐퍼는,
    블록 형상의 엔지니어링 플라스틱(Engineering Plastic)으로 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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