JP2018004245A - 熱処理装置用のチャンバ、および、熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】熱処理装置用のチャンバについて、大型であっても製作にかかる手間をより少なくできるようにする。
【解決手段】熱処理装置１のチャンバ４は、被処理物を取り囲むための筒状の側壁１２と、側壁１２の一方の開口部１２ｂを塞ぐ端壁１３と、を有している。チャンバ４は、酸化珪素を主成分とする複数の部材（側壁１２，端壁１３，第１連結部材１４、第２連結部材１５が機械結合されて形成されている
【選択図】 図２

Description

本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための、熱処理装置のチャンバ、および熱処理装置に関する。

ガラス基板等の処理基板に熱処理を行うための、熱処理装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。熱処理装置の一例として、特許文献１に記載の熱処理装置は、熱処理容器を有している。この熱処理容器は、石英チューブである。

特開２０１０−１７７６５３号公報（［００１７］）

近年、処理基板の大型化に伴い、石英チューブのサイズも大型化する傾向にある。ここで、強度上の理由などにより、石英チューブに代えて金属製のチューブを用いることは困難である。したがって、よりサイズの大きな石英チューブが求められている。しかしながら、大型の石英チュ−ブを製作することは、難易度が高い。具体的には、上記の石英チューブは、単一部材である。このため、たとえば、石英チューブ制作時には、石英チューブの側壁と端壁とを別々に製作し、その後、これら大型の側壁と端壁とを溶接する作業が生じる。このような溶接作業は、手間がかかる。

本発明は、上記事情に鑑みることにより、熱処理装置用のチャンバについて、大型であっても製作にかかる手間をより少なくできるようにすることを目的とする。

（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置用のチャンバは、被処理物を取り囲むための筒状の側壁と、前記側壁の一方の開口部を塞ぐ端壁と、を備え、前記チャンバは、酸化珪素を主成分とする複数の部材が機械結合されて形成されており、前記複数の部材は、前記側壁を形成する複数の平板状部材を含み、複数の前記平板状部材は、全体として筒形状を構成するように配列されており、前記複数の部材は、梁状の連結部材を含み、前記梁状の連結部材は、複数の前記平板状部材同士を連結するように複数の前記平板状部材に架けられる。

なお、上記の「機械結合」とは、複数の部材が互いに別個の部材である（分離可能である）状態を維持された状態で、互いに結合されていることをいう。

この構成によると、チャンバは、酸化珪素を主成分とする部材によって形成されている。これにより、チャンバは、強度および耐熱性に優れ、高温環境下での使用に十分に耐えることができる。また、チャンバは、複数の部材が機械結合されて形成されている。この構成により、チャンバの制作時、複数の部材を溶接させるという、手間のかかる作業を可及的に少なくできる。このため、チャンバのサイズに拘わらず、チャンバの製作にかかる手間をより少なくできる。以上の次第で、本発明によると、熱処理装置用のチャンバについて、大型であっても製作にかかる手間をより少なくできる。さらに、複数の平板状部材を組み合わせることで、筒状の側壁を実現できる。また、複数の平板状部材は、たとえば、重ねられた状態で搬送され得る。このため、平板状部材の搬送作業、すなわち、側壁の搬送作業を容易に行うことができる。また、平面的な形状である平板状部材を組み合わせることで、立体的な形状である側壁を形成できる。よって、側壁の製造にかかる手間を、より少なくできる。さらに、複数の平板状部材は、梁状の連結部材によって互いに結合される。これにより、側壁の平板状部材が倒れることを防止できる。

（２）好ましくは、前記複数の部材の材質は、ガラス、石英、およびセラミックの少なくとも１つを含む。

この構成によると、強度および耐熱性に優れたチャンバを比較的容易に実現できる。

（３）好ましくは、前記複数の部材は、隣接する前記平板状部材同士を連結する柱状の連結部材をさらに含む。

（４）好ましくは、前記端壁は、前記側壁の一端に載せられている。

この構成によると、側壁の一端に端壁を載せるという簡易な作業で、側壁の一端を端壁で覆う構成を実現できる。

（５）好ましくは、前記端壁は、前記梁状の連結部材に載せられている。

（６）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、上記の熱処理装置用のチャンバと、前記チャンバ内の空間の気圧を前記チャンバ外の空間の気圧よりも高くするための気圧調整機構と、を備えている。

この構成によると、チャンバは、酸化珪素を主成分とする部材によって形成されている。これにより、チャンバは、強度および耐熱性に優れ、高温環境下での使用に十分に耐えることができる。また、チャンバは、複数の部材が機械結合されて形成されている。この構成により、チャンバの制作時、複数の部材を溶接させるという、手間のかかる作業を可及的に少なくできる。このため、チャンバのサイズに拘わらず、チャンバの製作にかかる手間をより少なくできる。以上の次第で、本発明によると、熱処理装置用のチャンバについて、大型であっても製作にかかる手間をより少なくできる。また、気圧調整機構は、チャンバ内の空間の気圧が、チャンバ外の空間の気圧よりも高くなるように動作する。これにより、チャンバの外部に存在する異物（パーティクル）がチャンバ内の空間に侵入することを抑制できる。したがって、仮に、組立式のチャンバの側壁と端壁の間などに隙間が生じていても、チャンバの外部の異物がチャンバ内の空間に侵入することを抑制できる。このため、上記異物が被処理物に付着することを、抑制できる。よって、本発明の熱処理措置によると、チャンバが単一部品として形成された場合と同様に、被処理物への異物付着に起因する、被処理物の不良発生を抑制できる。

本発明によると、熱処理装置用のチャンバについて、大型であっても製作にかかる手間をより少なくできる。

本発明の実施形態に係る熱処理装置の断面図である。 熱処理装置のチャンバの斜視図である。 チャンバの分解斜視図である。 チャンバの断面図であり、チャンバを上方から見た状態を示している。 図３の主要部の拡大図である。 変形例の主要部の断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、被処理物を熱処理するための熱処理装置として広く適用することができる。

図１は、本発明の実施形態に係る熱処理装置１の断面図であり、熱処理装置１を側方から見た状態を示している。図２は、熱処理装置１のチャンバ４の斜視図である。図３は、チャンバ４の分解斜視図である。図４は、チャンバ４の断面図であり、チャンバ４を上方から見た状態を示している。

図１を参照して、熱処理装置１は、被処理物１００の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。より具体的には、熱処理装置１は、被処理物１００に向けて加熱されたガスを供給することで、被処理物１００の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。

被処理物１００は、たとえば、ガラス基板または半導体基板などであり、本実施形態では、矩形の平板状に形成されている。

熱処理装置１は、ベース板２と、ヒータ３と、チャンバ４と、シール部材５，６と、ボート７と、昇降機構８と、ガス供給装置９と、を有している。

ベース板２は、ヒータ３およびチャンバ４を支持する部材として設けられている。ベース板２の中央には、貫通孔が形成されている。この貫通孔を上方から塞ぐようにして、ヒータ３が配置されている。

ヒータ３は、たとえば電熱ヒータであり、本実施形態では、６００℃程度まで気体を加熱することが可能に構成されている。ヒータ３は、全体として箱状に形成されており、下向きに開放された開口部３ａを有している。ヒータ３の開口部３ａは、ベース板２によって受けられている。ヒータ３に取り囲まれた空間に、チャンバ４が配置されている。

チャンバ４は、被処理物１００を熱処理するための処理室として構成されている。チャンバ４は、全体として箱状に形成されており、下向きに開放された開口部４ａを有している。チャンバ４の開口部４ａは、シール部材５と接触しており、このシール部材５を介してベース板２に受けられている。シール部材５は、耐熱性を有する環状部材であり、チャンバ４の開口部４ａとベース板２の上面との間を気密的にシールしている。チャンバ４内の空間４ｂは、ベース板２の貫通孔を通して、ベース板２の下方の空間に連続している。チャンバ４の詳細な構成は、後述する。熱処理装置１における熱処理動作時、チャンバ４内の空間４ｂには、被処理物１００が配置される。被処理物１００は、たとえば、垂直に立てられた状態で、ボート７に支持される。

ボート７は、被処理物１００をチャンバ４内に配置するために設けられている。ボート７は、たとえば、円板状に形成されており、中央に台座を有している。この台座に、複数の被処理物１００の下端部が固定される。各被処理物１００は、互いに平行に配列された状態で、台座に支持されている。ボート７の外周部の上面には、シール部材６が配置されている。シール部材６は、耐熱性を有する環状部材であり、ボート７の外周部の上面と、ベース板２の下面との間を気密的にシールしている。ボート７は、昇降機構８によって支持されており、昇降機構８の動作によって、被処理物１００とともに上下方向に変位可能である。ボート７には、ガス供給装置９が取り付けられている。

ガス供給装置９は、チャンバ４の内部に熱処理のためのガスを供給するように構成されている。ガス供給装置９は、本発明の「気圧調整装置」の一例である。ガス供給装置９は、ガス管１０と、ポンプ１１とを有している。ガス管１０は、ボート７を貫通しており、ガス管１０の一端は、チャンバ４内の空間４ｂに開放されている。ポンプ１１は、図示しないガスタンクからのガスを、ガス管１０を通してチャンバ４内の空間４ｂへ供給する。これにより、チャンバ４内の空間４ｂが僅かながら加圧（微加圧）される。よって、チャンバ４内の空間４ｂの気圧は、チャンバ４外の気圧よりも高くされる。

熱処理装置１における熱処理時の動作としては、まず、被処理物１００が、ボート７に支持された状態でチャンバ４内の空間４ｂに配置される。次に、ガス供給装置９がガスを空間４ｂ内に供給しつつ、ヒータ３による加熱動作が行われる。これにより、チャンバ４内の空間４ｂが加熱され、被処理物１００の熱処理が行われる。

次に、チャンバ４の詳細な構成を説明する。図１〜図４を参照して、チャンバ４は、酸化珪素（ＳｉＯ_２）を主成分とする複数の部材が機械的に結合されて形成されている。

具体的には、チャンバ４は、側壁１２と、端壁１３と、第１連結部材１４と、第２連結部材１５と、を有している。

本実施形態では、チャンバ４の各部材（側壁１２、端壁１３、第１連結部材１４、第２連結部材１５）は、全て、石英製の材料である。なお、チャンバ４の各部材の材質は、石英に限らず、ガラスでもよいし、セラミックでもよい。このように、チャンバ４は、たとえば、ガラス、石英、および、セラミックの少なくとも１つを含んでいればよい。

側壁１２は、被処理物１００を取り囲むために設けられており、全体として筒状に形成されている。本実施形態では、側壁１２は、全体として、多角形形状（八角形形状）に形成されている。側壁１２は、複数の被処理物１００を収容可能な大きさに形成されている。

側壁１２は、複数（本実施形態では、８つ）の平板状部材１６（１６ａ〜１６ｈ）を有している。なお、複数の平板状部材１６ａ〜１６ｈを総称する場合は、単に平板状部材１６という。

各平板状部材１６は、矩形の平板状に形成されている。各平板状部材１６の厚みは、たとえば、数ｍｍ程度である。平板状部材１６は、互いに重ねられた状態で搬送され得る。各平板状部材１６の縁部は、機械加工によって整形されている。平板状部材１６は、全体として筒状となるように配列されている。具体的には、隣り合う２つの平板状部材１６が、平面視において互いに傾斜した状態で配置されている。隣り合う２つの平板状部材１６は、第１連結部材１４によって互いに連結されている。

図５は、図３の主要部の拡大図である。図３〜図５を参照して、本実施形態では、第１連結部材１４の数は、平板状部材１６の数と同じである。第１連結部材１４は、隣り合う２つの平板状部材１６間に配置されている。

各第１連結部材１４は、上下に細長く延びる柱部材であり、本実施形態では、四角柱状に形成されている。各第１連結部材１４は、一対の溝部１４ａ，１４ｂを有している。

溝部１４ａ，１４ｂは、隣接する２つの平板状部材１６を連結する部分として設けられている。溝部１４ａ，１４ｂは、第１連結部材１４の一対の側面に形成されており、第１連結部材１４の上端から下端まで延びている。平面視において、溝部１４ａ，１４ｂは、互いに傾斜する向きに形成されている。溝部１４ａ，１４ｂは、対応する平板状部材１６の一縁部と嵌合している。これにより、隣接する２つの平板状部材１６は、第１連結部材１４を介して連結されている。各第１連結部材１４の上面には、凸部１４ｃが形成されている。この凸部１４ｃは、端壁１３の後述する貫通孔に嵌め込まれる突起として設けられている。上記の構成により、複数の平板状部材１６は、柱状の第１連結部材１４によって側壁１２の周方向に沿って順次連結され、多角形状（筒状）の閉じた側面を形成する。

第２連結部材１５は、２つの平板状部材１６ａ，１６ｅを連結する梁状の部材として設けられており、これらの平板状部材１６ａ，１６ｅに架けられる。

本実施形態では、第２連結部材１５は、２つ設けられている。各第２連結部材１５は、互いに平行に並ぶ２つの平板状部材１６ａ，１６ｅ同士を連結している。

各第２連結部材１５は、梁部１５ａと、一対の端部１５ｂ，１５ｃとを有している。

梁部１５ａは、細長い棒状に形成されており、本実施形態では、四角柱状に形成されている。梁部１５ａは、互いに平行に並ぶ２つの平板状部材１６ａ，１６ｅの上端部間に配置されている。梁部１５ａに、一対の端部１５ｂ，１５ｃが形成されている。

一対の端部１５ｂ，１５ｃは、対応する平板状部材１６ａ，１６ｅに結合される部分として設けられている。一対の端部１５ｂ，１５ｃは、それぞれ、ブロック状に形成されている。一対の端部１５ｂ，１５ｃは、それぞれ、対応する平板状部材１６ａ，１６ｅの上端部に結合されている。

具体的には、平板状部材１６ａの上端部には、溝部１８ａ，１８ａが形成され、平板状部材１６ｅの上端部には、溝部１８ｂ，１８ｂが形成されている。溝部１８ａ，１８ａは、第２連結部材１５の一方の端部１５ｂ，１５ｂに対応して形成されている。各溝部１８ａ，１８ａは、たとえば、側面視で矩形に形成された溝である。溝部１８ａ，１８ａに、一方の端部１５ｂ，１５ｂが嵌め込まれている。一方の端部１５ｂ，１５ｂの下面には、それぞれ、窪み部１５ｄが形成されている。この窪み部１５ｄは、対応する溝部１８ａ，１８ａの底部に受けられている。なお、各第２連結部材１５の他方の端部１５ｃと平板状部材１６ｅの対応する溝部１８ｂとの機械的な結合の態様についても上記と同様であるので、説明を省略する。

上記の構成により、第１連結部材１４の上面の高さと、第２連結部材１５の上面の高さと、平板状部材１６（１６ａ〜１６ｈ）の上端部の高さと、が揃えられている。各第２連結部材１５の一対の端部１５ｂ，１５ｃの上面には、凸部１５ｅがたとえば２つ形成されている。この凸部１５ｅは、端壁１３の後述する貫通孔に嵌め込まれる突起として設けられている。

図２、図３および図５を参照して、端壁１３は、側壁１２の上部の開口部１２ａを塞ぐ部分として設けられている。端壁１３は、全体として平板状に形成されており、側壁１２の上端に載せられる。平面視において、端壁１３の形状は、側壁１２の形状に対応している。具体的には、本実施形態では、端壁１３は、八角形形状に形成されている。本実施形態では、端壁１３の厚みは、側壁１２の厚みと同じに設定されている。

端壁１３は、複数（本実施形態では、３つ）の平板状部材１９（１９ａ〜１９ｃ）を有している。なお、平板状部材１９ａ〜１９ｃを総称していう場合は、単に平板状部材１９という。

平板状部材１９ｂは、矩形の平板状に形成されている。平板状部材１９ａ，１９ｃは、概ね台形状に形成されている。平板状部材１９ａ，１９ｂ，１９ｃの順に、これら平板状部材１９が配置されており、これにより、全体として八角形形状の端壁１３が形成されている。平板状部材１９ａ〜１９ｃは、互いに重ねられた状態で搬送され得る。各平板状部材１９ａ〜１９ｃの縁部は、機械加工によって整形されている。

端壁１３の平板状部材１９には、第１連結部材１４の凸部１４ｃに嵌合する貫通孔と、第２連結部材１５の凸部１５ｅに嵌合する貫通孔と、が形成されている。端壁１３の平板状部材１９のこれらの貫通孔に、対応する凸部１４ｃ，１５ｅが嵌め込まれる。また、端壁１３の平板状部材１９が、側壁１２の平板状部材１６、第１連結部材１４、および第２連結部材１５に受けられる。

これにより、端壁１３は、第１連結部材１４、第２連結部材１５、および、側壁１２の平板状部材１６と機械的に結合される。上記の構成により、側壁１２と端壁１３とで囲まれた空間が、チャンバ４内の空間４ｂとなる。

チャンバ４の各部材（側壁１２、端壁１３、第１連結部材１４、第２連結部材１５）間には、特にシール機構を設けられていない。このため、チャンバ４の外部の空間に浮遊するパーティクルなどが、たとえば、平板状部材１６と第１連結部材１４との間、または、平板状部材１６と端壁１３との間から侵入する可能性が考えられる。しかしながら、図１に示すガス供給装置９によって、チャンバ４内の空間４ｂの気圧がチャンバ４の外部の気圧よりも高く設定されている。これにより、チャンバ４の各部材間にシール構造が設けられていなくても、チャンバ４内の空間４ｂへのパーティクルの侵入は抑制される。

上記の構成を有するチャンバ４は、搬送時には、分解された状態となる。チャンバ４の搬送時には、側壁１２の各平板状部材１６および端壁１３の各平板状部材１９は、たとえば、重ね合わされた状態で搬送される。そして、作業員がチャンバ４を組み立てる際、作業員は、まず、第１連結部材１４を用いて、隣接する２つの平板状部材１６同士を互いに結合する。これにより、側壁１２が完成する。次に、作業員は、側壁１２の互いに平行な２つの平板状部材１６ａ，１６ｅ間に、第２連結部材１５を架け渡す。これにより、側壁１２の各平板状部材１６が倒れることを防止する。次に、作業員は、端壁１３を側壁１２の上端に設置する。端壁１３は、第１連結部材１４、第２連結部材１５および平板状部材１６に受けられることで、撓みを抑制される。これにより、チャンバ４が完成する。

以上説明したように、本実施形態にかかる熱処理装置１によると、チャンバ４は、酸化珪素を主成分とする部材（側壁１２、端壁１３、第１連結部材１４、および、第２連結部材１５）によって形成されている。これにより、チャンバ４は、強度および耐熱性に優れ、高温環境下での使用に十分に耐えることができる。また、チャンバ４は、複数の部材（側壁１２、端壁１３、第１連結部材１４、および、第２連結部材１５）が機械結合されて形成されている。この構成により、チャンバ４の制作時、複数の部材を溶接させるという、手間のかかる作業を可及的に少なくできる。このため、チャンバ４のサイズに拘わらず、チャンバ４の製作にかかる手間をより少なくできる。以上の次第で、熱処理装置１のチャンバ４について、大型であっても製作にかかる手間をより少なくできる。

ここで、溶接などによって複数の部材が一体化された従来の石英製の大型チャンバについて説明すると、このようなチャンバであれば、制作時に工具などが石英に接触しやすく、石英チャンバに破損が生じ易い。また、従来の大型チャンバは、搬送される際に、分解できず、接触などに起因する破損を生じないように慎重に扱われる必要があり、取り扱いが難しい。また、大型チャンバは、製造コストが高くなる。

これに対し、本実施形態にかかるチャンバ４によると、チャンバ４の制作時には、チャンバ４の個々の部品（側壁１２、端壁１３、第１連結部材１４、第２連結部材１５）が別個に形成される。このため、チャンバ４の制作時に工具などが接触するおそれを少なくでき、その結果、チャンバ４に破損が生じ難い。また、チャンバ４の搬送時には、上記個々の部品を別々に搬送することができる。よって、チャンバ４の搬送時に、上記個々の部品が工具などと接触して破損することを、容易に抑制できる。よって、チャンバ４の取り扱いが容易である。また、チャンバ４の上記個々の部品を溶接などによって一体化する必要がなく、チャンバ４の製造コストをより低くできる。

また、熱処理装置１によると、チャンバ４の材質は、ガラス、石英、およびセラミックの少なくとも１つ（本実施形態では、石英）を含む。この構成によると、強度および耐熱性に優れたチャンバを比較的容易に実現できる。

また、熱処理装置１によると、複数の平板状部材１６（１６ａ〜１６ｈ）を組み合わせることで、筒状の側壁１２を実現できる。また、各平板状部材１６ａ〜１６ｈは、たとえば、重ねられた状態で搬送され得る。このため、平板状部材１６の搬送作業、すなわち、側壁１２の搬送作業を容易に行うことができる。また、平面的な形状である平板状部材１６を組み合わせることで、立体的な形状である側壁１２を形成できる。よって、側壁１２の製造にかかる手間を、より少なくできる。

また、熱処理装置１によると、複数の平板状部材１６ａ，１６ｅは、梁状の第２連結部材１５によって互いに結合される。これにより、側壁１２の平板状部材１６が倒れることを防止できる。

また、熱処理装置１によると、端壁１３は、平板状に形成されており、側壁１２の上端に載せられている。この構成によると、側壁１２の上端に平板状の端壁１３を載せるという簡易な作業で、側壁１２の上端を端壁１３で覆う構成を実現できる。

また、熱処理装置１によると、ガス供給装置９は、チャンバ４内の空間４ｂの気圧が、チャンバ４外の空間の気圧よりも高くなるように動作する。これにより、チャンバ４の外部に存在する異物（パーティクル）がチャンバ４内の空間４ｂに侵入することを抑制できる。したがって、仮に、組立式のチャンバの側壁１２と端壁１３の間などに隙間が生じていても、チャンバ４の外部の異物がチャンバ４の内部の空間に侵入することを抑制できる。このため、上記異物が被処理物１００に付着することを、抑制できる。よって、チャンバ４が単一部品として形成された場合と同様に、被処理物１００への異物付着に起因する、被処理物１００の不良発生を抑制できる。

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られるものではない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。

（１）上記実施形態では、チャンバ４の下方に配置されたガス供給装置９によって、チャンバ４内の空間４ｂの気体が加圧される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、柱状の第１連結部材１４と側壁１２の平板状部材１６との間に、窒素などの不活性ガスを導入する構成が用いられてもよい。不活性ガスをチャンバ４内の空間４ｂに導入する構成であれば、低酸素濃度のプロセスに本発明を適用することができる。

（２）また、上述の実施形態では、平面視において側壁１２が八角形形状である形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、側壁１２は、平面視において四角形形状であってもよい。この場合、図６に示すように、第１連結部材１４の溝部１４ａ，１４ｂは、平面視において互いに直交するように形成される。この場合、平板状部材１６は４枚用いられ、端壁１３は、矩形に形成される。

本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための、熱処理装置用のチャンバ、および、熱処理装置として、広く適用することができる。

１ 熱処理装置
４ チャンバ
９ ガス供給装置（気圧調整機構）
１２ 側壁（複数の部材）
１３ 端壁（複数の部材）
１４ 第１連結部材（複数の部材）
１５ 第２連結部材（複数の部材）
１６ 平板状部材
１００ 被処理物

Claims (6)

1. 熱処理装置用のチャンバであって、
   被処理物を取り囲むための筒状の側壁と、
   前記側壁の一方の開口部を塞ぐ端壁と、を備え、
   前記チャンバは、酸化珪素を主成分とする複数の部材が機械結合されて形成されており、
   前記複数の部材は、前記側壁を形成する複数の平板状部材を含み、
   複数の前記平板状部材は、全体として筒形状を構成するように配列されており、
   前記複数の部材は、梁状の連結部材を含み、
   前記梁状の連結部材は、複数の前記平板状部材同士を連結するように複数の前記平板状部材に架けられることを特徴とする、熱処理装置用のチャンバ。
2. 請求項１に記載の熱処理装置用のチャンバであって、
   前記複数の部材の材質は、ガラス、石英、およびセラミックの少なくとも１つを含むことを特徴とする、熱処理装置用のチャンバ。
3. 請求項１または請求項２に記載の熱処理装置用のチャンバであって、
   前記複数の部材は、隣接する前記平板状部材同士を連結する柱状の連結部材をさらに含むことを特徴とする、熱処理装置用のチャンバ。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の熱処理装置用のチャンバであって、
   前記端壁は、前記側壁の一端に載せられていることを特徴とする、熱処理装置用のチャンバ。
5. 請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の熱処理用のチャンバであって、
   前記端壁は、前記梁状の連結部材に載せられていることを特徴とする、熱処理装置用のチャンバ。
6. 請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の熱処理装置用のチャンバと、
   前記チャンバ内の空間の気圧を前記チャンバ外の空間の気圧よりも高くするための気圧調整機構と、
   を備えていることを特徴とする、熱処理装置。

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