JP2009302106A - チャンバ及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも一つの側面2b、2cを開放した直方体状の本体2と、本体2の開放された側面2b、2cに着脱自在に取り付けられた側板3a、3bとを具備し、本体2は角筒形状を有し、該角筒の端部が側面2b、2cに対応する。また、本体2は、開閉自在の上蓋8を有する。また、側板3a、3bは本体2内部に向かって窪みを持つ箱形の部材である。
【選択図】図1
Description
図1Aはこの発明の第1の実施形態に係るチャンバを処理チャンバに適応させた一例を示す斜視図、図1Bは図1Aに示す処理チャンバの分解斜視図である。
図3Aはこの発明の第2の実施形態に係るチャンバを処理チャンバに適応させた一例を示す斜視図、図3Bは図3Aに示すチャンバの分解斜視図である。
図7はこの発明の第3の実施形態に係るチャンバを処理チャンバに適応させた一例を示す分解斜視図、図8はこの発明の第3の実施形態に係るチャンバの他例を示す分解斜視図である。
図9Aはこの発明の第4の実施形態に係るチャンバを処理チャンバに適応させた一例を示す水平断面図、図9Bは図9Aに示す9B−9B線に示す断面図、図9Cは図9Aに示す9C−9C線に示す断面図である。
Claims (10)
- 少なくとも一つの側面を開放した直方体状の本体と、
前記本体の開放された側面に着脱自在に取り付けられた側板と、
を具備することを特徴とするチャンバ。 - 前記本体は角筒形状を有し、該角筒の端部が前記側面に対応することを特徴とする請求項1に記載のチャンバ。
- 前記本体は、開閉自在の上蓋を有することを特徴とする請求項1に記載のチャンバ。
- 前記側板は前記本体内部に向かって窪みを持つ箱形の部材であることを特徴とする請求項1乃至請求項3いずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記本体の開放された側面と前記側板の間に前記本体の開口形状に合致した開口を持つスペーサが存在することを特徴とする請求項1乃至請求項4に記載のチャンバ。
- 前記側板が、前記本体にヒンジを介して開閉自在に取り付けられることを特徴とする請求項1乃至請求項5いずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記側板にリブが取り付けられ、前記側板の肉厚が、前記本体の側壁の肉厚よりも薄いことを特徴とする請求項1乃至請求項6いずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記本体の幅、高さ、奥行きがそれぞれ輸送サイズの限界以内に収まり、前記側板が取り付けられた本体の、側板取り付け方向に沿った幅が、輸送サイズの限界を超えることを特徴とする請求項1乃至請求項7いずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記被処理体の平面形状が矩形であり、前記矩形の最も短い辺の長さが2800mm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項8いずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記請求項1乃至請求項9いずれか一項に記載のチャンバを、被処理体に処理を行う処理室に使用したことを特徴とする処理装置。
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