KR100908146B1

KR100908146B1 - 시일 부재, 감압 용기, 감압 처리 장치, 감압 용기의 시일기구, 및 감압 용기의 제조 방법

Info

Publication number: KR100908146B1
Application number: KR1020070041047A
Authority: KR
Inventors: 요우헤이 야마다
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2006-04-27
Filing date: 2007-04-27
Publication date: 2009-07-16
Also published as: TWI425554B; KR20070105927A; TW200807494A; CN101091894A; US8590902B2; CN100574857C; JP2007299785A; JP4926530B2; US20070257033A1

Abstract

복수의 판재를 접합하여 구성되는 진공 용기에 있어서, 모퉁이부의 기밀성을 충분히 확보할 수 있는 시일 기구를 제공한다.　

하우징(70)의 모퉁이부에 있어서는, 루프 형상부(80b)에 의해서, 접합부(JC)의 기밀성이 확보된다.　 루프 형상부(80b)를 고정하기 위한 보조 기구로서, 하우징(70)의 모퉁이부에 고정되고, 루프 형상부(80b)를 지지하는 지지 블록(91)과, 이 지지 블록(91)과 면접촉하여 이것을 고정하는 접촉면(92a)을 갖는 모퉁이부 누름 도구(92)를 사용한다.　

Description

시일 부재, 감압 용기, 감압 처리 장치, 감압 용기의 시일 기구, 및 감압 용기의 제조 방법 {SEAL MEMBER, DEPRESSURIZED CHAMBER, DEPRESSURIZING PROCESSING APPARATUS, SEAL MECHANISM OF DEPRESSURIZED CHAMBER, AND METHOD OF MANUFACTURING A DEPRESSURIZED CHAMBER}

도 1은 본 발명의 시일 기구를 적용 가능한 진공 처리 시스템을 개략적으로 도시하는 사시도.　

도 2는 도 1의 진공 처리 시스템의 수평 단면도.　

도 3은 제어부의 개략 구성을 도시하는 블록도.　

도 4는 반송실의 외관 구성을 도시하는 사시도.　

도 5는 하우징의 분해 사시도.　

도 6은 하우징 내부의 접합 구조를 도시하는 요부 사시도.　

도 7은 시일 부재의 전체 형상을 도시하는 사시도.　

도 8은 시일 부재의 루프 형상부를 도시하는 요부 확대도.　

도 9는 직선적인 접합부에 있어서의 시일 구조의 설명에 제공하는 요부 단면도.　

도 10은 모퉁이부에 있어서의 시일 구조의 설명에 제공하는 도면.　

도 11a 및 b는 지지 블록의 설명에 제공하는 도면으로, 도 11a 는 정면도, 도 11b는 도 11a의 XIIB-XIIB선을 따라 절취한 부분에 있어서의 단면도.　

도 12는 모퉁이부 누름 도구의 설명에 제공하는 도면으로, a는 정면도, b는 배면도.　

도 13은 지지 블록에 의해서 루프 형상부를 지지한 상태를 도시한 도면.　

도 14는 시일 상태에 있어서의 직선 형상부와 루프 형상부의 배치 상태를 설명하는 모식도.　

도 15는 루프 형상부의 별도의 구성예를 도시하는 도면.　

도 16은 루프 형상부의 또한 별도의 구성예를 도시하는 도면.　

본 발명은, 감압 용기(진공 용기도 포함한다.　 이하 동일한 의미이다)의 시일(seal) 기술에 관한 것으로, 예컨대 액정 표시 장치(LCD)나 플라즈마 디스플레이 등으로 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 글라스 기판 등에 대하여, 감압하에서 드라이 에칭이나 성막, 반송, 위치 정렬 등의 처리를 실시할 때에 사용되는 감압 용기의 시일 기술에 관한 것이다.　

종래, 진공 용기는, 대기압에 대한 내구성과 기밀성을 확보하는 관점에서, 원료 블록으로부터 기계 가공에 의해서 용기를 깎아 내는 방법이나, 판재를 용접이 나 납땜에 의해서 접합하는 방법에 의해서 제조되어 왔다.　 그러나, 기계에 의한 절삭 가공을 실행하는 경우에는, 재료로부터 용적의 상당분을 깎아 내기 때문에, 가공에 시간이 걸리고, 재료의 낭비도 많다고 하는 문제가 있었다.　 또한, 용접이나 납땜에 의한 방법에 있어서는, 입열(入熱)에 의한 변형을 제거하거나, 마무리 가공을 실행하거나 해야 하기 때문에, 제작 코스트가 증가한다는 문제가 있었다.　

그런데, 최근에는, 피처리 기판의 대형화에 따라 처리 챔버 자체의 사이즈도 대형화되고 있다.　 예컨대, FPD의 제조과정에서는, 긴 변의 길이가 2m을 넘는 직사각형의 대형 글라스 기판이 처리 챔버 내에 수용되어, 진공 상태에서 에칭이나 애싱, 성막 등의 처리가 실행된다.　 그리고, 진공상태에서 이러한 대형 글라스 기판의 처리를 실행하는 진공 용기에 있어서는, 알루미늄 등으로 이루어진 금속제 용기의 내부를 진공으로 한 상태로 대기압에 견딜 수 있을 만큼의 충분한 강성이 확보되어야만 한다.　

그 때문에, 종래의 기계 가공이나 용접 등에 의한 일체형 구조의 진공 용기로서는, 용기의 벽을 충분히 두텁게 해야 하기 때문에 중량의 증대를 동반하고, 대형 기계에 의한 가공이 필요해지기 때문에 제조 비용이 증대해 버린다는 문제가 발생하고 있었다.　 또한, 진공 용기가 소정의 사이즈를 초과하여 대형화하면, 그 운반에 법령상의 제약 때문에, 이송에 따르는 경비가 증대한다는 문제도 있었다.　

기계 가공이나 용접 이외의 가공 방법에 의해 진공 용기를 제작하는 기술로서, 예컨대 구조 볼트에 의해서 상자 형상으로 견고하게 접합된 복수의 판재와, 내측으로부터 각 판재의 접합선을 따라 연속적으로 마련된 시일 부재 및, 상기 시일 부재를 상기 접합선을 향해서 강압하여 기밀히 시일하기 위해서 체결 볼트에 의해 부착된 누름 도구를 이용하는 진공 용기가 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌1).　

[특허문헌 1]

일본 특허 공개 평성 제 9-209150호 공보(도 4 등)

상기 특허문헌 1의 진공 용기는, 판재와 시일 부재에 의해 구성되기 때문에, 설치 장소에서 조립이 가능하고, 운반시의 제약도 적다.　 또한, 종래의 기계 가공이나 용접 등에 의해서 진공 용기를 제작하는 경우에 비해서 저렴한 비용으로 실현할 수 있는 장점도 있다.　 그러나, 특허문헌1과 같이 판재를 조합하여 접합하는 구조의 진공 용기에서는, 용기 내부의 모퉁이에 있어서의 시일성을 확보하는 것이 어렵다고 하는 문제가 있었다.　

예컨대, 특허문헌 1에서는, 모퉁이부에 있어서의 3장의 판재의 접합 부분에, 판재의 접합선을 따르는 3 방향으로 서로 직각을 이루도록 절곡된 갈래 형상의 시일 부재를 사용하고 있다.　 그러나, 이러한 갈래 형상의 시일 부재는, 그 제조에 있어서 금으로 구성된 입체적인 거푸집을 필요로 하기 때문에, 비용의 증가를 피할 수 없다.　

또한, 특허문헌 1의 시일 기구에서는, 엘라스토머를 판재의 접합선에 대하여 일정한 힘으로 가압하는 것에 의해 시일성을 얻고 있다.　 그러나, 3장의 판재에 의해 형성되는 진공 챔버의 모퉁이부에서는, 상기 갈래 형상의 시일 부재를 충분히 가압하는 것이 곤란하며, 최악의 경우에는 진공 상태를 유지하기 어려울 수도 있다.　

따라서, 본 발명은, 복수의 판재를 접합함으로써 구성되는 진공 용기에 있어서, 모퉁이부의 기밀성을 충분히 확보할 수 있는 시일 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.　

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제 1 관점은, 복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기의 접합부를 그 내측으로부터 시일하는 시일 부재로서,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 구비한 시일 부재를 제공한다.　

또한, 본 발명의 제 2 관점은, 복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기의 접합부를 그 내측으로부터 시일하는 시일 부재로서,

직선적으로 형성된 상기 접합부를 시일하는 직선 형상부와,

상기 직선 형상부에 인접하여, 루프 형상으로 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 구비한 시일 부재를 제공한다.　

상기 제 2 관점에 있어서, 시일 상태에서, 상기 직선 형상부는 상기 감압 용 기의 모퉁이부 근방에서 상기 루프 형상부에 연결되어 배치되어 있어도 좋다.　 이 경우, 시일 상태에서, 인접하는 상기 직선 형상부에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부가 배치되는 것이 바람직하다.　 또한, 상기 직선 형상부와 상기 루프 형상부는 일체적으로 접속되는 것이 바람직하다.　

또한, 상기 제 1 및 제 2 관점에 있어서, 시일 상태에서, 상기 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 의한 접합선에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부가 배치되는 것이 바람직하다.　 또한, 상기 루프 형상부는, 둥근 링 형상 또는 다각 형상으로 형성되어 있어도 좋다.　 또한, 상기 루프 형상부는, 상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 해당 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면의 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구에 의해서 고정되어 있어도 좋다.　

본 발명의 제 3 관점은, 복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기의 접합부를 내측으로부터 시일하는 시일 부재로서,

상기 판재에 의해 형성된 접합선을 따라 직선적으로 배치된 직선 형상부가, 상기 감압 용기의 모퉁이부 근방에서 둔각으로 절곡되어, 상기 모퉁이부로부터 떨어진 위치에서, 다른 접합선을 따라 직선적으로 배치된 직선 형상부와 접속하고 있는 시일 부재를 제공한다.　

상기 제 3 관점에서, 상기 접합선을 따라 배치된 직선 형상부가, 상기 절곡한 부위에서 2개로 분기하고, 상기 모퉁이부로 집속하는 다른 2개의 접합선을 따라 배치된 2개의 직선 형상부 각각에 접속되어 있어도 좋다.　 이 경우, 상기 2개로 분기한 부위는, 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 감압용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 감압용기의 모퉁이부에 고정되는 지지블록과,
상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 2개로 분기한 부위를 고정하는 모퉁이부 누름 도구에 의해 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되어 있어도 좋다.　

본 발명의 제 4 관점은, 복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기로서,

복수의 상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 시일하는 직선 형상부와, 상기 직선 형상부에 인접하여 루프 형상으로 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 갖는 시일 부재와,

상기 시일 부재의 상기 직선 형상부를 고정하는 직선부 누름 도구와,

상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 시일 부재의 상기 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구를 구비한

시일 기구에 의해, 내측으로부터 시일되어 기밀히 형성된 감압 용기를 제공한다.　

상기 제 4 관점에 있어서, 상기 지지 블록에는, 상기 모퉁이부 누름 도구와 접촉하는 접촉면이 볼록 설치되어 있고, 그 주위에 상기 지지면이 형성되어 있어도 좋고, 혹은, 상기 모퉁이부 누름 도구에는 상기 지지 블록과 접촉하는 접촉면이 볼록 설치되어, 그 주위에 상기 루프 형상부를 가압하는 가압면이 형성되어 있어도 좋다.　

또한, 상기 지지 블록은 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 고정되어 있어도 좋다.　 또한, 상기 모퉁이부 누름 도구는 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 고정되어 있어도 좋다.　

또한, 상기 모퉁이부 누름 도구는 상기 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 의해 형성되는 접합선에 대향하는 위치에 상기 직선 형상부를 가압하는 가압면을 갖고 있어도 좋다.　

또한, 상기 지지 블록과 상기 모퉁이부 누름 도구는 서로 연결되어 위치 결정되어 있어도 좋다.　

본 발명의 제 5 관점은, 상기 제 4 관점의 감압 용기를 구비한, 감압 처리 장치를 제공한다.　

또한, 본 발명의 제 6 관점은, 복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기를 그 내측으로부터 시일하는 감압 용기의 시일 기구로서,

상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 시일하는 직선 형상부와, 상기 직선 형상부에 인접하여 루프 형상으로 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 해당 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 갖는 시일 부재와,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구를 구비한, 감압 용기의 시일 기구를 제공한다.　

또한, 본 발명의 제 7 관점은, 복수의 판재를 접합하여 하우징을 조립하는 공정과,

상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 시일하는 직선 형상부와, 루프 형상으로, 상기 직선 형상부에 인접하여 배치되는 루프 형상부를 갖는 시일 부재를 이용하고, 상기 하우징의 내측에 있어서, 상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 상기 직선 형상부에 의해 시일하고, 상기 판재에 의해 형성되는 모퉁이부의 주위를 상기 루프 형상부에 의해서 시일하는 공정과,
상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,
상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구에 의해 상기 루프 형상부를 고정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는

감압 용기의 제조 방법을 제공한다.　

상기 제 7 관점에 있어서, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 상기 루프 형상부를 압접함으로써 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 것이 바람직하다.　 또한, 인접하는 상기 직선 형상부에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부를 배치하는 것이 바람직하다.　 또한, 상기 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 의한 접합선에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부를 배치하는 것이 바람직하다.　　 또한, 상기 시일 부재로서, 상기 직선 형상부와 상기 루프 형상부가 일체적으로 접속된 시일 부재를 이용하는 것이 바람직하다.　

삭제

이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 설명한다.　 여기서는, 본 발명의 시일 기구를 적용 가능한 진공 처리 시스템을 예로 들어 설명을 한다.　 도 1은 본 발명의 1 실시형태에 따른 진공 챔버를 구비한 진공 처리 시스템(1)을 개략적으로 도시하는 사시도이고, 도 2는 그 내부를 개략적으로 도시하는 수평 단면도이다.　 이 진공 처리 시스템(1)은, 예컨대 FPD용 글라스 기판(이하, 간단히「기판」이라고 적는다)(S)에 대하여 플라즈마 처리를 실행하기 위한 멀티 챔버 타입의 진공 처리 시스템으로서 구성되어 있다.　 여기서, FPD로서는, 액정 디스플레이(LCD), 발광다이오드(LED) 디스플레이, 전기 루미네선스(Electro Luminescence; EL) 디스프레이, 형광 표시관(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 예시된다.　

진공 처리 시스템(1)에 있어서는, 중앙부에 반송실(20)과 로드 로크(load lock)실(30)이 연결되어 설치 되어 있다.　 또한 반송실(20)의 주위에는, 기판(S)에 대하여 에칭 등의 플라즈마 처리를 실행하는 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)가 배치되어 있다.　 이들 반송실(20), 로드 로크실(30), 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)는, 모두 진공 챔버로서 구성되어 있다.　 반송실(20)과 로드 로크실(30) 의 사이, 반송실(20)과 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)의 사이, 및 로드 로크실(30)과 외측 대기 분위기를 연이어 통하는 개구부에는, 이들 사이를 기밀히 시일하고, 또한 개폐 가능하게 구성된 게이트 밸브(22)가 각각 그 사이에 삽입되어 있다.

로드 로크실(30)의 외측에는, 2개의 카세트 인덱서(cassette indexer)(41)가 마련되어 있고, 그 위에 각각 기판(S)을 수용하는 카세트(40)가 탑재되어 있다.　 이들 카세트(40)의 한쪽에는, 예컨대 미처리 기판을 수용하고, 다른 쪽에는 처리된 기판을 수용할 수 있다.　 이들 카세트(40)는, 승강 기구(42)에 의해 승강이 가능하게 되어 있다.　

이들 2개의 카세트(40) 사이에는, 지지대(44) 상에 반송 기구(43)가 마련되어 있고, 이 반송 기구(43)는 상하 2단으로 마련된 픽(45, 46), 및 이들을 일체적으로 앞뒤로의 구동 및 회전 가능하게 지지하는 베이스(47)를 구비하고 있다.　

상기 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)는, 그 내부 공간이 소정의 감압 분위기 예컨대 진공 상태로 유지되는 것이 가능하고, 그 내부에서 플라즈마 처리, 예컨대 에칭 처리나 애싱 처리가 실행된다.　 본 실시형태에서는, 3개의 프로세스 챔버를 갖고 있기 때문에, 예컨대 그 중 2개의 프로세스 챔버를 에칭 처리실로서 구성하고, 나머지 하나의 프로세스 챔버를 애싱 처리실로서 구성하거나, 3개의 프로세스 챔버 모두를, 동일한 처리를 실행하는 에칭 처리실이나 애싱 처리실로서 구성할 수 있다.　 또한, 프로세스 챔버의 수는 3개에 한하지 않고, 4개 이상이더라도 좋다.　

반송실(20)은, 진공 처리실인 프로세스 챔버(10a∼10c)와 동일한, 소정의 감 압 분위기로 유지하는 것이 가능하고, 그 안에는, 도 2에 도시하는 바와 같이 상하 2단의 슬라이드 픽(513, 523)(상단만 도시)을 구비한 반송 장치(50)가 배치되어 있다.　 그리고, 이 반송 장치(50)에 의해, 로드 로크실(30) 및 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이에서 기판(S)이 반송된다.　

로드 로크실(30)은, 각 프로세스 챔버(10) 및 반송실(20)과 동일하게 소정의 감압 분위기로 유지되는 것이 가능하다.　 또한, 로드 로크실(30)은, 대기 분위기에 있는 카세트(40)와 감압 분위기의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이에서 기판(S)을 주고받기 위한 것이므로, 그 내부는 대기 분위기와 감압 분위기를 되풀이하게된다. 따라서, 최대한 그 내부 용적은 작게 구성되어 있다.　 로드 로크실(30)에는 기판 수용부(31)가 상하 2단으로 마련되어 있고(도 2에서는 상단만 도시), 각 기판 수용부(31)에는, 기판(S)을 지지하는 복수의 버퍼(32)가 마련되고, 이들 버퍼(32)의 사이에는, 슬라이드 픽(513, 523)의 클리어런스 홀(clearance hole)(32a)이 형성되어 있다.　 또한, 로드 로크실(30)내에는, 직사각형 형상의 기판(S)의 서로 대각선으로 마주보는 모서리 부근에 접촉하여 위치 정렬을 실행하는 포지셔너(33)가 마련되어 있다.　

진공 처리 시스템(1)의 각 구성부는, 제어부(60)에 접속되어 제어되는 구성으로 되어있다(도 1에서는 도시를 생략).　 제어부(60)의 개요를 도 3에 나타낸다.　 제어부(60)는, CPU를 구비한 프로세스 컨트롤러(61)를 구비하고, 이 프로세스 컨트롤러(61)에는, 공정 관리자가 진공 처리 시스템(1)을 관리하기 위해서 커맨드의 입력 조작 등을 실행하는 키보드나, 진공 처리 시스템(1)의 가동 상황을 가시화하여 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스(62)가 접속되어 있다.　

또한, 제어부(60)는, 진공 처리 시스템(1)에서 실행되는 각종 처리를 프로세스 컨트롤러(61)의 제어에 의해 실현하기 위한 제어 프로그램(소프트웨어)이나 처리 조건 데이터 등이 기록된 레시피가 저장된 기억부(63)를 갖고 있고, 이 기억부(63)는 프로세스 컨트롤러(61)에 접속되어 있다.　

그리고, 필요에 따라서, 유저 인터페이스(62)로부터의 지시 등으로 임의의 레시피를 기억부(63)로부터 불러내어 프로세스 컨트롤러(61)로 실행시킴으로써, 프로세스 컨트롤러(61)의 제어하에서, 진공 처리 시스템(1)에서의 원하는 처리가 실행된다.　

상기 제어 프로그램이나 처리 조건 데이터 등의 레시피는, 컴퓨터 판독이 가능한 기억 매체, 예컨대 CD-ROM, 하드 디스크, 플렉시블 디스크, 플래쉬 메모리 등에 저장된 상태인 것을 이용하거나, 혹은, 다른 장치로부터, 예컨대 전용 회선을 통해 수시로 전송시킨 것을 온라인상에서 이용하거나 하는 것도 가능하다.　

다음으로, 이상과 같이 구성된 진공 처리 시스템(1)의 동작에 대하여 설명한다.　

우선, 반송 기구(43)의 2장의 픽(45, 46)을 진퇴 구동시키고, 미처리 기판을 수용한 한쪽의 카세트(40)로부터 로드 로크실(30)의 상하 2단인 기판 수용부(31)에 2장의 기판(S)을 1장씩 반입한다.　

픽(45, 46)이 퇴피한 후, 로드 로크실(30)의 대기 측의 게이트 밸브(22)를 닫는다.　 그 후, 로드 로크실(30)내를 배기하여, 내부를 소정의 진공도까지 감압한 다.　 진공 배기 종료 후, 포지셔너(33)에 의해 기판(S)을 가압하는 것에 의해 기판(S)의 위치 정렬을 실행한다.　

이상과 같이 위치가 정렬된 후, 반송실(20)과 로드 로크실(30) 사이의 게이트 밸브(22)를 열어서, 반송실(20)내의 반송 장치(50)에 의해 로드 로크실(30)의 기판 수용부(31)에 수용된 기판(S)을 받아들인다.　 그리고, 반송 장치(50)의 슬라이드 픽(513 또는 523)에 의해, 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 중 어느 것인가에 기판(S)을 반입한다.　 그리고, 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)에서 에칭 등의 소정의 처리가 실시된 기판(S)은, 반송 장치(50)에 의해 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)로부터 반출된다.　 그리고, 기판(S)은, 상기와는 반대의 경로로 로드 로크실(30)을 지나, 반송기구(43)에 의해 카세트(40)에 수용된다.　 이때, 기판(S)을 본래의 카세트(40)로 되돌려도 좋고, 다른 쪽의 카세트(40)에 수용하도록 해도 좋다.　

다음으로, 본 발명의 시일 부재 및 이것을 이용한 시일 기구에 대하여 설명을 한다.　 반송실(20), 로드 로크실(30) 및 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)를 구성하는 진공 용기는, 각각 내부를 진공 상태로 유지할 수 있도록, 시일 부재를 이용하여 시일되어 있다.　 여기서는, 반송실(20)에 있어서의 시일 기구를 예로 들어 설명을 한다.　

도 4는, 반송실(20)의 외관 구성을 도시하는 사시도이고, 도 5는 그 분해 사시도이다.　 또한, 반송 장치(50) 등의 내부의 기구는 도시를 생략하고 있다.　 반송실(20)은, 하우징(70)과 천장판(71)을 주요한 구성으로서 구비한 진공 용기이다.　 하우징(70)은, 6장의 판재를 접합하는 것에 의해 구성되어 있다.　 즉, 하우징(70) 은, 상판(70a), 이 상판(70a)에 대향하고, 또한 평행히 배치되는 바닥판(70b), 및 이들 상판(70a)과 바닥판(70b)에 접합되는 4장의 측판(70c, 70d, 70e, 70f)으로 이루어진다.　 하우징(70)을 구성하는 각 판재는, 예컨대 나사나 볼트 등의 고정 수단(101)에 의해 접합되어, 일체가 됨으로써 그 내부에 기판(S)을 반송하는 반송 공간이 형성되어 있다.　

상판(70a)은, 도시한 바와 같이 중앙에 개구(72)를 갖고 있다.　 그리고, 천장판(71)을 예컨대 크레인 등을 이용하여 상승시킨 상태에서, 이 개구(72)를 통해서 반송실(20)의 내부에 배치된 반송 장치(50)의 메인터넌스 등을 실행할 수 있게 되어 있다.　 또한, 상판(70a)의 개구(72)의 주위에는, 도시하지 않는 좁은 구멍, 내에 O 링 등의 시일 부재(73)가 설치되어 있다.　 그리고, 천장판(71)을 나사나 볼트 등의 고정 수단(102)으로 하우징(70)에 가고정한 상태로, 반송실(20)의 내부를 감압하는 것에 의해, 진공 용기로서의 충분한 기밀성을 확보할 수 있도록 되어 있다.　 또한, 도시는 생략하지만, 바닥판(70b)에도, 반송 기구(50)(도 2 참조)를 설치하기 위한 개구가 형성되어 있다.　 또한, 부호(201, 202)는 고정 수단(101, 102)에 의해 각 판재를 고정할 때의 나사 구멍이다.　

4장의 측판(70c, 70d, 70e, 70f) 각각에는, 기판(S)을 반출입하기 위한 반송용 개구가 마련되어 있다.　 하우징(70)의 짧은 변측의 측판(70c)에 형성된 반송용 개구(74a, 74b)는, 반송실 (20)과 로드 로크실(30)의 버퍼(32)(도 1 및 도 2 참조) 사이에서 기판(S)이 반출입 가능한 위치에 형성되어 있다.　 또한, 하우징(70)의 다른 3변에 위치하는 측판(70d∼70f)에 형성된 반송용 개구(75)는, 진공 처리실인 프 로세스 챔버(10a∼10c)의 사이에서 기판(S)을 반출입할 때에 이용된다.　

이상의 각 반송용 개구(74a, 74b, 75)에는, 각각 게이트 밸브(22)가 장착되고(도 l 참조), 각 게이트 밸브(22)를 거쳐서 인접 배치되는 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 및 로드 로크실(30)의 사이에서 기판(S)의 전달이 실행된다.　

반송실(20)의 천장판(71)과, 하우징(70)을 구성하는 6장의 판재는, 예컨대 알루미늄, 스테인레스강 등의 금속 재료에 의해 구성할 수 있다.　

반송실(20)의 조립은, 이하의 순서로 실행할 수 있다.　 우선, 상판(70a), 바닥판(70b), 측판(70c∼70f)을 나사나 볼트 등의 고정 수단(101)에 의해 접합하여 하우징(70)을 형성한다.　 이 때, 각 판재를 접합하는 순서는 상관하지 않는다.　 다음으로, 본 발명의 1실시형태에 따른 시일 기구에 의해 각 판재의 접합부를 하우징(70)의 내측으로부터 시일하여, 진공 상태에 견딜 수 있는 기밀성을 확보한다.　 이 시일 기구에 대해서는 후에 상술한다.　

다음으로, 하우징(70)에 반송 기구(50) 등의 내부 기재나 게이트 밸브(22)를 설치한 후, 천장판(71)을 하우징(70)의 상부에 배치하고, O 링 등의 시일 부재(73)를 천장판(71)의 하면에 접촉시킨다.　 그리고, 천장판(71)을 하우징(70)에 나사나 볼트 등의 고정 수단(102)으로 가고정한다.　 이 상태에서 도시하지 않는 배기 장치에 의해 반송실(20)의 내부를 감압 배기하는 것에 의해, 시일 부재(73)가 천장판(71)의 하면에 압접되어, 기밀성을 확보한 상태로 내부를 진공 상태로 유지할 수 있다.　

또한, 천장판(71) 및 하우징(70)을 구성하는 각 판재(상판(70a), 바닥 판(70b), 측판(70c∼70f))를 접합할 때에는, 나사나 볼트에 한하지 않고 임의의 고정 수단을 채용할 수 있다.　

도 6은, 반송실(20) 내부의 접합부의 시일 기구를 도시하는 요부 사시도이다.　 또한, 도 7은, 이 실시형태에 이용하는 시일 부재(80)의 전체 구성을 도시하는 사시도이며, 도 8은 그 요부 확대도이다.　 본 실시형태에 있어서의 시일 기구에서는, 하우징(70) 내측의 접합부에 대응한 형상의 시일 부재(80)와, 이 시일 부재(80)를 고정하기 위한 보조 기구(후술하는 직선부 누름 도구(90), 지지 블록(91), 모퉁이부 누름 도구(92))를 사용한다.　

하우징(70)의 내측 접합부에는, 2장의 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부(JL)와, 하우징(70)의 모퉁이를 구성하는 3장의 판재에 의해 형성되는 입체적인 접합부(JC)가 존재한다.　

전자로서는, 예컨대 도 6에 있어서의 바닥판(70b)과 측판(70f)의 접합부(JL), 또는 측판(70e)과 측판(70f)의 접합부(JL) 등이 해당 한다.　 이 경우, 각 접합부(JL)의 접합선은, 직선 형상으로 형성된다.　 후자로서는, 예컨대, 도 6에 있어서의 하우징(70)의 모퉁이부에 형성되는 바닥판(70b)과 측판(70e)과 측판(70f)의 접합부(JC) 등이 해당 한다.　 이 경우, 3개의 접합선은 하우징(70)의 모퉁이부에서 서로 직각으로 교차한다.　 또한, 여기서는 대표적으로 3장의 판재(바닥판(70b), 측판(70e, 70f))의 접합부만을 나타내고 있지만, 하우징(70)을 구성하는 다른 판재의 접합부도 동일하게 접합부(JL) 및 접합부(JC)를 형성하고 있다.　

이 때문에, 본 실시형태에서는, 시일 부재(80)로서, 도 7에 예시하는 바와 같이, 직선 형상부(80a)와 루프 형상부(80b)를 갖는 시일 부재(80)를 이용한다.　 도 7에 있어서의 직선 형상부(80a)는, 하우징(70)의 내측에 형성된 각 판재(상판(70a), 바닥판(70b), 측판(70c∼70f))의 직선적인 접합부(JL)의 접합선에 대응하여 마련되어 있다.　 또한, 8개의 루프 형상부(80b)는, 하우징(70)의 8곳의 모퉁이부(접합부(JC))에 대응하여 마련되어 있다.　

하우징(70)을 시일한 상태에 있어서는, 직선적인 접합부(JL)에서의 1개의 접합선을 따라 배치된 직선 형상부(80a)가, 하우징(70)의 모퉁이부 근방에서 둔각 예컨대 120°∼150°의 각도로 절곡하고, 모퉁이부로부터 약간 떨어진 위치에서, 다른 직선적인 접합부(JL)에서의 접합선을 따라 배치된 직선 형상부(80a)와 접속하고 있다.　 보다 구체적으로는, 1개의 직선 형상부(80a)는, 절곡한 부위에서 2개로 분기하고, 모퉁이부로 집속하는 다른 2개의 접합선을 따라 배치된 2개의 직선 형상부(80a) 각각에 접속하는 것에 의해, 루프 형상부(80b)를 형성하고 있다.　

이 시일 부재(80)는, 예컨대 직경 2∼10mm 정도의 끈 형상의 엘라스토머에 의해 구성되어 있다.　

시일 부재(80)의 재질로서는, 통상의 O 링과 동일하게, 예컨대 바이톤(상 품 명; 뒤퐁에 대표되는 불소계 고무나, 부틸계 고무, 실리콘 등의 엘라스토머를 사용할 수 있다.　

도 6에 도시하는 바와 같이 2장의 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부(JL)는, 직선 형상부(80a)에 의해 시일되어 있다.　 직선 형상부(80a)는, 예컨대 바닥판(70b)과 측벽(70f)에 의해 형성되는 접합부(JL)의 접합선을 따라 배치되어, 보조 기구에 의해 고정된다.　 구체적으로는, 예컨대 도 9에 도시하는 바와 같이 직선 형상부(80a)는, 횡단면의 형상이 L 자형을 한 직선부 누름 도구(90)에 의해 접합선에 가압된 상태로 고정된다.　 여기서, 단면에서 보았을 때 L 자형을 한 직선부 누름 도구(90)의 외측의 각부는 그 모서리를 잘라내어 새로운 평면이 생기도록 가공되어 있고, 시일 부재(80)의 직선 형상부(80a)에 접촉하여 확실히 가압할 수 있도록 평탄한 가압면(90a)이 직선적으로 형성되어 있다.　 이 가압면(90a)으로 직선 형상부(80a)를 하우징(70)의 내측의 접합선을 향해서 가압하면서, 나사나 볼트 등의 고정 수단(103)에 의해 직선부 누름 도구(90)를 하우징(70)의 내면에 고정한다.　 이렇게 하여, 하우징(70)에 있어서의 직선적인 접합부(JL)를 확실히 시일할 수 있다.　

또한, 도 6에서는 도시를 생략하고 있지만, 측판(70e 과 70f)의 접합부(JL)에 대해서도 직선부 누름 도구(90)가 설치된다.　 또한, 도 6에 있어서의 부호(203)는, 직선부 누름 도구(90)를 나사나 볼트 등의 고정 수단(103)에 의해 고정할 때의 나사 구멍이며, 직선부 누름 도구(90)의 부호(90b)는, 그 때에 고정 수단(103)이 삽입되는 구멍부이다.　

상기한 바와 같이, 하우징(70)의 모퉁이부에 있어서는, 루프 형상부(80b)에 의해서, 접합부(JC)의 기밀성이 확보된다.　 이 때, 도 10에 도시하는 바와 같이 루프 형상부(80b)를 고정하기 위한 보조 기구로서, 하우징(70)의 모퉁이부에 고정되고, 루프 형상부(80b)를 지지하는 지지 블록(91)과, 이 지지 블록(91) 사이에서 루프 형상부(80b)를 고정하는 모퉁이부 누름 도구(92)를 사용한다.　 또한, 도 6에 있 어서의 부호(204)는, 모퉁이부 누름 도구(92)를 나사나 볼트 등의 고정 수단(104)에 의해 고정할 때의 나사 구멍이다.　

지지 블록(91)은, 도 10 및 도 11(a), (b)에 도시하는 바와 같이, 대략 정사면체에 가까운 삼각뿔형을 하고 있고, 하우징(70)의 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재에 각각 접촉하는 3개의 접촉면(91a, 91b, 91c)을 갖고 있다(도 10에 있어서 접촉면(91a)만을 도시한다).　 그리고, 삼각추의 정점을 이루는 하나의 각부(A)가, 접합부(JC)를 이루는 하우징(70)의 모퉁이부에 끼워지도록 배치된다.　

지지 블록(91)은, 접합부(JC)를 형성하는 3장의 판재(예컨대 도 6에서는, 바닥판(70b)과 측판(70e, 70f))에 임의의 고정수단에 의해서 고정된다.　

또한, 지지 블록(91)에는, 모퉁이부 누름 도구(92)와 접촉하는 볼록 형상부(91d)가 삼각형 형상으로 볼록 설치되어 있다.　 이 볼록 형상부(91d)의 주위에는, 삼각형의 루프 형상부(80b)에 대응한 크기로 루프 형상부(80b)를 지지하는 지지면(91e)이 형성되어 있다.　 그리고, 루프 형상부(80b)의 삼각형의 테두리 안에 볼록 형상부(91d)를 끼워 넣어 루프 형상부(80b)를 설치한다.　

모퉁이부 누름 도구(92)의 외관 형상을 도 12(a), (b)에 나타낸다.　 모퉁이부 누름 도구(92)는, 정육면체로부터 하나의 각을 깎아낸 것과 같은 형상을 하고 있다.　 모퉁이부 누름 도구(92)에는, 상기 지지 블록(91)의 볼록 형상부(91d)에 접촉하여, 이것을 가압 고정하는 접촉면(92a)이 형성되어 있다.　

또한, 도시는 생략했지만, 지지 블록(91)의 볼록 형상부(91d)를 볼록 설치하지 않고 평면으로 하고, 그 대신에 모퉁이부 누름 도구(92)의 접촉면(92a)을 볼록 설치하여, 그 주위에 루프 형상부(80b)를 고정하는 가압면을 형성해도 좋다.　

또한, 모퉁이부 누름 도구(92)는, 하우징(70)의 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재에 접촉하는 접촉면(92b∼92d)을 구비하고 있다.　 그리고, 모퉁이부 누름 도구(92)는, 접촉면(92b∼92d)에서, 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재의 모퉁이부 근방의 벽에 예컨대 나사나 볼트 등의 고정 수단(104)에 의해서 고정된다.　

또한, 모퉁이부 누름 도구(92)에는, 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재에 의해 형성되는 3개의 접합선에 각각 대응하는 위치에, 상기 직선 형상부(80a)를 강압하는 가압면(92e, 92f, 92g)이 형성되어 있다.　

또한, 모퉁이부 누름 도구(92)에는, 관통 구멍(92h)이 형성되어 있고, 이 관통 구멍(92h)을 거쳐서 지지 블록(91)의 구멍부(91f)에 나사 등의 고정 수단(106)을 이용하여 위치 결정하여 고정할 수 있도록 구성되어 있다.　 즉, 관통 구멍(92h)과 구멍부(91f)는, 지지 블록(91)과 모퉁이부 누름 도구(92)를 위치 결정하는 위치 결정 기능을 갖고 있다.　 또한, 부호(92i)는, 모퉁이부 누름 도구(92)를 고정 수단(104)에 의해 고정할 때의 구멍부이다.　

상기 보조 기구(직선부 누름 도구(90), 지지 블록(91), 모퉁이부 누름 도구(92))의 재질로서는, 천장판(71)이나 하우징(70)을 구성하는 6장의 판재와 동일하게, 예컨대 알루미늄, 스테인레스, 철강 재료 등의 금속 재료를 사용할 수 있다.　 또한, 직선부 누름 도구(90) 및 모퉁이부 누름 도구(92)는, 시일 부재(80)를 접합선에 가압 고정하여 시일 성능을 발휘시키는 기능에 부가하여, 하우징(70)을 구성하는 각 판재의 접합 구조를 내부에서부터 보강하는 보강재로서의 기능도 갖고 있다.　

도 13은, 하우징(70)의 모퉁이부에 지지 블록(91) 및 시일 부재(80)를 배치한 상태를 그린 것이다.　 이 도 13에 도시하는 바와 같이, 루프 형상부(80b)는, 삼각형의 루프를 구성하는 각 변이, 모퉁이부 근방에서 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재(예컨대, 바닥판(70b)과 측판(70e, 70f))의 내벽면에 각각 접촉하도록 배치된다.　 바꾸어 말하면, 루프 형상부(80b)는, 지지 블록(91)에 의해서 지지되는 것에 의해, 하우징(70)의 모퉁이부 근방에서 접합부(JC)를 주회<둘레를 돎>하듯이 각 판재의 내벽면에 접촉된다.　 그리고, 루프 형상부(80b)는, 접합부(JC)를 형성하는 3장의 상기 판재의 내벽면에, 지지면(91e)과 모퉁이부 누름 도구(92)에 의해 가압된 상태로 고정된다.　 이에 의해, 접합부(JC)를 그 주위에서 시일할 수 있다.　

또한, 시일 상태에서는, 어긋나도록 직교하는 각도로 배치된 3개의 직선 형상부(80a)가 하우징(70)의 모퉁이부 근방에서 각각 루프 형상부(80b)에 연결되어 배치된다.　 그리고, 도 14에 모식적으로 도시하는 바와 같이 지지 블록(91)은, 시일 상태에서, 직선 형상부(80a)에 대하여 루프 형상부(80b)가 이루는 각도(θ)가 90°를 넘는 둔각 예컨대 120°∼150°가 되도록 루프 형상부(80b)를 지지한다.　 이 각도(θ)는, 지지 블록(91)의 지지면(91e)과, 직선 형상부(80a)에 의해서 시일되는 하우징(70)의 접합선이 이루는 각도이기도 하다.　 따라서, 지지 블록(91)에 의해 지지된 루프 형상부(80b)는, 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재에 의한 3개의 접합선에 대해서도, 각각 90°을 넘는 각도(θ)로 배치되게 된다.　

전술한 종래 기술과 같이, 시일 부재를 하우징(70)의 모퉁이부에 직접 설치 하고자 하면, 3 방향으로 갈라진 구조의 시일 부재를 사용해야 하여, 그 교점 부분에서, 예컨대 직각으로, 절곡시키지 않으면 모퉁이부의 접합부(JC)를 시일할 수가 없었다.　 그러나, 절곡시킨 시일 부재를 충분한 압력으로 접합선에 가압하는 것은 쉽지 않아서, 모퉁이부의 접합부(JC)에 있어서의 시일 성능이 저하하여 리크(leak)가 발생하고, 진공 용기로서의 신뢰성을 손상할 우려가 있었다.　

이 때문에 본 실시형태에서는, 시일 부재(80)에 루프 형상부(80b)를 마련함과 함께, 지지 블록(91)을 설치하는 구성으로 하였다.　 이에 의해, 모퉁이부의 접합부(JC)를 직접 시일하는 것이 아니라, 모퉁이부를 둘러싸듯이 그 근방에서 모퉁이부를 구성하는 판재에 루프 형상부(80b)를 접촉시켜서 시일할 수 있다.　

또한 시일 부재(80)의 루프 형상부(80b)를 지지 블록(91)에 의해서 지지하는 것에 의해, 루프 형상부(80b)와 직선 형상부(80a)가 이루는 각도(θ)를, 90°를 넘는 둔각으로 형성할 수 있다.　 따라서 시일 부재(80)에 의한 시일 성능의 저하가 일어나기 어렵고, 진공 용기에 필요한 시일 성능을 확보할 수 있다.　

또한, 상기 시일 구조를 채용하는 것에 의해, 판재를 접합하는 조립 구조에 있어서도, 기밀성에 우수한 진공 용기를 제작하는 것이 쉬워진다.　 따라서, 설치장소에서 접합하는 조립식의 진공 용기로서, 종래의 일체형 진공 용기에 비교하여 소재 비용, 가공 비용 등의 제작 비용를 삭감할 수 있을 뿐 아니라, 운송 비용도 저감할 수 있다.　

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 여러가지의 변형이 가능하다.　 예컨대, 피처리체로서는, FPD 용의 글라스 기판에 한정되지 않고, 반도 체 웨이퍼이더라도 좋다.　

또한, 루프 형상부(80b)에 있어서의 루프(테두리)의 형상은, 삼각형 형상에 한하지 않고, 예컨대 도 15에 도시하는 바와 같은 둥근 링 형상으로 형성해도 좋다.　 또한, 예컨대 도 16에 도시하는 바와 같은 6각형 등의 다각 형상으로 형성해도 좋다.　

또한, 상기 실시형태에서는, 감압 용기를 형성하는 하우징(70)으로서 평면에서 보았을 때 직사각형의 6면체를 예로 들었지만, 판재를 접합하여 예컨대 8면체나 10면체 등의 형상의 감압 용기를 제작하는 경우에도 본 발명의 시일 기구를 적용할 수 있다.　 또한, 감압 용기는, 도 4에 예시하는 바와 같은 하우징(70)과 천장판(71)을 갖는 것에 한정되지 않는다.　 예컨대 하부 용기와 이것에 대향 배치되는 상부 용기에 의해서 하나의 챔버가 구성되고, 상부 용기를 승강, 슬라이드 회전시키는 것에 의해 챔버를 개폐시키는 구조의 감압 용기에 있어서, 상기 상부 용기 및 하부 용기를 판재의 접합에 의해서 제작하는 경우에도, 본 발명의 시일 기구를 적용할 수 있다.　

또한, 상기 실시형태에서는, 반송 챔버(20)를 예로 들어 설명했지만, 감압 용기라면 특별히 제한없이 본 발명의 기술 사상을 적용하는 것이 가능하다.　 예컨대 진공 예비실인 로드 로크실(30)이나, 진공 처리실인 프로세스 챔버(10a∼10c)에도 동일한 시일 기구를 채용할 수 있다.　

본 발명은, 예컨대 FPD용 글라스 기판 등의 기판에 대하여, 그 반송이나 에칭 등의 각종 처리를 실행할 때에 사용되는 감압 용기를 제조할 때에 적합하게 이 용 가능하다.　

본 발명의 시일 부재는, 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 모퉁이부를 형성하는 3장의 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 구비한 구성을 가지기 때문에, 시일 부재를 90° 이하로 절곡시키지 않고서도 모퉁이부를 확실히 밀봉할 수 있다.　 이 모퉁이부의 시일성이 우수한 시일 부재를 이용하는 것에 의해, 복수의 판재를 접합한 조립구조의 감압 용기에 있어서, 그 기밀성을 각별히 향상시킬 수 있게 된다.　

따라서, 본 발명의 시일 부재를 이용하는 것에 의해, 시일성이 확보된 조립 구조의 감압 용기를 제조할 수 있기 때문에, 기계 가공이나 용접 등에 의한 접합 방법으로는 한계가 있었던 감압 용기의 대형화에 대한 대응도 가능하다.　

Claims

복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기의 접합부를 그 내측으로부터 시일하는 시일 부재에 있어서,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 구비한

시일 부재.　
복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기의 접합부를 그 내측으로부터 시일하는 시일 부재에 있어서,

직선적으로 형성된 상기 접합부를 시일하는 직선 형상부와,

상기 직선 형상부에 인접하여, 루프 형상으로 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 구비한

시일 부재.　
제 2 항에 있어서,

시일 상태에서, 상기 직선 형상부는 상기 감압 용기의 모퉁이부 근방에서 상기 루프 형상부에 연결되어 배치되는

시일 부재.　
제 3 항에 있어서,

시일 상태에서, 인접하는 상기 직선 형상부에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부가 배치되는

시일 부재.　
제 2 항에 있어서,

상기 직선 형상부와 상기 루프 형상부가 일체적으로 접속되어 있는

시일 부재.　
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

시일 상태에서, 상기 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 의한 접합선에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부가 배치되는

시일 부재.　
삭제
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 루프 형상부는,

상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 해당 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구에 의해서 고정되는

시일 부재.　
복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기의 접합부를 내측으로부터 시일하는 시일 부재에 있어서,

상기 판재에 의해 형성된 접합선을 따라 직선적으로 배치된 직선 형상부가 상기 감압 용기의 모퉁이부 근방에서 둔각으로 절곡되어, 상기 모퉁이부로부터 떨 어진 위치에서 다른 접합선을 따라 직선적으로 배치된 직선 형상부와 접속하고 있는

시일 부재.
제 9 항에 있어서,

상기 접합선을 따라 배치된 직선 형상부가 상기 절곡한 부위에서 2개로 분기하여, 상기 모퉁이부로 집속하는 다른 2개의 접합선을 따라 배치된 2개의 직선 형상부의 각각에 접속되어 있는

시일 부재.　
제 10 항에 있어서,

상기 2개로 분기한 부위는, 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고,

상기 감압용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 감압용기의 모퉁이부에 고정되는 지지블록과,

상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 2개로 분기한 부위를 고정하는 모퉁이부 누름 도구에 의해 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는

시일 부재.
복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기에 있어서,

복수의 상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 시일하는 직선 형상부와, 상기 직선 형상부에 인접하여 루프 형상으로 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고, 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 갖는 시일 부재와,

상기 시일 부재의 상기 직선 형상부를 고정하는 직선부 누름 도구와,

상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 시일 부재의 상기 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구를 구비한

시일 기구에 의해, 내측으로부터 시일되어 기밀히 형성된

감압 용기.　
제 12 항에 있어서,

상기 지지 블록에는, 상기 모퉁이부 누름 도구와 접촉하는 접촉면이 볼록 설치되어 있고, 그 주위에 상기 지지면이 형성되어 있는

감압 용기.　
제 12 항에 있어서,

상기 모퉁이부 누름 도구에는 상기 지지 블록과 접촉하는 접촉면이 볼록 설치되고, 그 주위에 상기 루프 형상부를 가압하는 가압면이 형성되어 있는

감압 용기.　
제 12 항에 있어서,

상기 지지 블록은, 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 고정되어 있는

감압 용기.　
제 12 항에 있어서,

상기 모퉁이부 누름 도구는, 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 고정되어 있는

감압 용기.
제 12 항에 있어서,

상기 모퉁이부 누름 도구는, 상기 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 의해 형 성되는 접합선에 대향하는 위치에 상기 직선 형상부를 가압하는 가압면을 갖는

감압 용기.　
제 12 항에 있어서,

상기 지지 블록과 상기 모퉁이부 누름 도구는, 서로 연결되어 위치 결정되어 있는

감압 용기.　
제 12 항에 기재된 감압 용기를 구비한

감압 처리 장치.　
복수의 판재를 접합하여 구성되는 감압 용기를 그 내측으로부터 시일하는 감압 용기의 시일 기구에 있어서,

상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 시일하는 직선 형상부와, 상기 직선 형상부에 인접하여 루프 형상으로 상기 감압 용기의 모퉁이부를 둘러싸듯이 배치되고 해당 상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 압접되는 것에 의해 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는 루프 형상부를 갖는 시일 부재와,

상기 시일 부재의 상기 직선 형상부를 고정하는 직선부 누름 도구와,

상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 시일 부재의 상기 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구를 구비한

감압 용기의 시일 기구.　
감압용기의 제조방법에 있어서,

복수의 판재를 접합하여 하우징을 조립하는 공정과,

상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 시일하는 직선 형상부와, 루프 형상으로, 상기 직선 형상부에 인접하여 배치되는 루프 형상부를 갖는 시일 부재를 이용하고, 상기 하우징의 내측에 있어서, 상기 판재에 의해 형성되는 직선적인 접합부를 상기 직선 형상부에 의해 시일하고, 상기 판재에 의해 형성되는 모퉁이부의 주위를 상기 루프 형상부에 의해서 시일하는 공정과,

상기 감압 용기의 모퉁이부에 고정되어, 상기 루프 형상부를 지지하는 지지면을 갖는 지지 블록과,

상기 감압 용기의 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 접합되어, 상기 지지 블록의 지지면 사이에 상기 루프 형상부를 고정하는 모퉁이부 누름 도구에 의해 상기 루프 형상부를 고정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는

감압용기의 제조 방법.
제 21 항에 있어서,

상기 모퉁이부를 형성하는 복수의 상기 판재의 내벽면에 상기 루프 형상부를 압접함으로써 상기 모퉁이부의 주위를 시일하는

감압 용기의 제조 방법.　
제 21 항에 있어서,

인접하는 상기 직선 형상부에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가 둔각이 되도록 상기 루프 형상부를 배치하는

감압 용기의 제조 방법.　
제 21 항 또는 제 22 항에 있어서,

상기 모퉁이부를 형성하는 상기 판재에 의한 접합선에 대하여 상기 루프 형상부가 이루는 각도가, 둔각이 되도록 상기 루프 형상부를 배치하는

감압 용기의 제조 방법.　
삭제
제 21 항에 있어서,

상기 시일 부재로서, 상기 직선 형상부와 상기 루프 형상부가 일체적으로 접속된 시일 부재를 이용하는

감압 용기의 제조 방법.