KR100993611B1 - 오링 파손방지 기능을 가지는 액정표시장치 제조 장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 봉인소재의 가압 팽창에 따른 손상을 최소할 수 있는 구조를 적용한 제조장비에 관한 것으로서, 오링이 안착되는 오링홀과; 상기 형성된 오링홀과 연결되고 상기 오링홀을 중심으로 방사형으로 연장되어 형성되는 오링버퍼홀이 형성된 액정표시장치 제조 장비에 관한 것이다.

이는 오링이 안착되는 홀에 부가적인 공간을 부가하여 팽창되는 오링의 일부 부피를 수용하여 줌으로써 오링의 파손을 방지하고 이에 따른 유비보수비용의 절감 및 생산성 향상의 장점을 가진다.

Description

오링 파손방지 기능을 가지는 액정표시장치 제조 장비{Apparatus for LCD manufacturing}

도 1a 및 1b는 각각 종래의 액정표시장치 제조 장비에 형성된 오링홀을 도시한 단면도 및 평면도

도 2는 오링의 팽창에 의해 발생되는 오링 파손의 문제점을 설명하는 도면

도 3은 본 발명에 따른 오링 파손방지 기능이 부가된 액정표시장치 제조장비의 오링홀 형성 구조를 보여주는 평면도

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>

20 : 오링홀 25 : 오링버퍼홀

26 : 연결 모서리 30 : 오링

본 발명은 액정표시장치 제조장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 봉인소 재의 가압 팽창에 따른 손상을 최소할 수 있는 구조를 적용한 제조장비에 관한 것이다.

액정표시장치를 제조하기 위한 제조 장비들은 대부분 고진공 분위기에서 소정의 공정을 진행할 수 있도록 밀폐된 다수의 챔버설비를 구비한다. 구체적으로, 상기 챔버 설비는 다수의 반응챔버(process chamber)와, 로드락 챔버(load lock chamber)와, 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)를 구비하고 있으며, 특히 근래에는 단시간에 다량의 기판을 처리할 수 있도록 이들의 직접적인 처리공정을 수행하는 공정 챔버와, 상기 기판을 저장하고 이를 공정 챔버로 이송 또는 회송하는 이송 챔버(transfer module)를 포함하는 복합형 장치로서 클러스터(cluster)가 사용된다. 이러한 클러스터의 공정챔버에는 플라즈마 화학기상증착장치(PECVD)나 건식 식각장치(Dry Etcher) 등의 공정챔버가 포함된다.

그런데 상기와 같은 다수의 제조 장비들은 외부공기와 차단된 환경을 제공하기 위해 도 1a의 단면도와 도 1b의 평면도와 같이, 장비 부품(1)(2)의 연결 부위에 오-링홀(11)을 형성하고 오-링(o-ring)(10)을 삽입하고 있다. 상기 오-링은 고무 또는 연성의 합성수지가 대부분으로써, 장비 결합에 따른 소정 압력에도 유동적인 형태변형을 통해 파손을 방지하도록 하고 있다.

그러나, 장비 결합에 따른 압력이 높아지거나 또는 장비의 히팅(heating)이 발생할 경우 상기 오-링(10)의 팽창 정도가 더욱 활성화되어 결국 도 2와 같이, 원형을 유지하지 못하고 파손되는 경우가 발생하여 장비 유지비용의 증가 및 생산성 저하의 원인이 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 장비 부품간 삽입되는 오-링의 팽창에 대비한 버퍼 공간을 마련하여 오링의 파손을 방지하여 장비 유지비용의 절감과 생산성을 증대시킬 수 있는 구조를 적용한 제조 장비를 제시하는데 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 오링이 안착되는 오링홀과; 상기 형성된 오링홀과 연결되고 상기 오링홀을 중심으로 방사형으로 연장되어 형성되는 오링버퍼홀이 형성된 액정표시장치 제조 장비를 제안한다.

또한 본 발명은, 챔버와; 상기 챔버와 결합되는 챔버커버와; 상기 챔버 또는 챔버커버에 형성되며 오링이 안착되는 오링홀과; 상기 오링홀과 연결되고 상기 오링홀을 중심으로 방사형으로 연장되어 형성되는 오링버퍼홀을 포함하는 액정표시장치 제조장비를 제안한다.

이때 상기 오링홀과 오링버퍼홀이 연결되는 부분의 모서리는 곡면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 오링버퍼홀은 하나의 오링홀에 다수개 형성되는 것을 특징으로 한다.

아울러 상기 오링버퍼홀의 지름은 상기 오링홀의 지름보다 작은 것을 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 액정표시장치 제조장비에서 제안하는 오링 파손 방지를 위한 오링홀 구조를 평면 도시한 도면으로서, 오링(30)이 안착되는 오링홀(20)과, 상기 형성된 오링홀(20)과 연결되고 상기 오링홀(20)을 중심으로 방사형(放射形)으로 연장되어 형성되는 오링버퍼홀(25)을 형상을 도시하고 있다.

이때 상기 오링홀(20)과 오링버퍼홀(25)이 연결되는 부분의 모서리(26)는 오링의 파손을 방지하고 팽창되는 오링(30)이 오링버퍼홀(25) 내부로 원활하게 진입할 수 있도록 곡면으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한 오링 버퍼홀(25)은 하나의 오링홀(20)에 있어서 다수개가 구성될 수 있으며, 상기 오링버퍼홀(25)의 폭(B)은 오링 전체가 이동되는 현상을 방지하기 위해 상기 오링홀(20)의 폭(A)보다 작게 형성하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 설명한 본 발명에 따른 오링 파손방지 기능을 가지는 액정표시장치 제조 장비는, 오링이 안착되는 홀에 부가적인 공간을 부가하여 팽창되는 오링의 일부 부피를 수용하여 줌으로써 오링의 파손을 방지하고 이에 따른 유비보수비용의 절감 및 생산성 향상의 장점을 가진다.

Claims (8)

1. 오링이 안착되는 오링홀과;

   상기 오링홀과 연결되고 상기 오링홀을 중심으로 방사형으로 연장되어 형성되는 오링버퍼홀

   이 형성된 액정표시장치 제조 장비
2. 청구항 제 1 항에 있어서,

   상기 오링홀과 오링버퍼홀이 연결되는 부분의 모서리는 곡면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 장비
3. 청구항 제 1 항에 있어서,

   상기 오링버퍼홀은 하나의 오링홀에 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 장비
4. 청구항 제 1 항에 있어서,

   상기 오링버퍼홀의 폭은 상기 오링홀의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 액 정표시장치 제조 장비
5. 챔버와;

   상기 챔버와 결합되는 챔버커버와;

   상기 챔버 또는 챔버커버에 형성되며 오링이 안착되는 오링홀과;

   상기 오링홀과 연결되고 상기 오링홀을 중심으로 방사형으로 연장되어 형성되는 오링버퍼홀

   을 포함하는 액정표시장치 제조장비
6. 청구항 제 5 항에 있어서,

   상기 오링홀과 오링버퍼홀이 연결되는 부분의 모서리는 곡면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 장비
7. 청구항 제 5 항에 있어서,

   상기 오링버퍼홀은 하나의 오링홀에 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 장비
8. 청구항 제 5 항에 있어서,

   상기 오링버퍼홀의 폭은 상기 오링홀의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 장비

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