KR100856588B1 - 기판 반송 장치 및 기판 지지체 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서,공통의 픽(pick) 베이스에 연결된 복수의 픽을 구비하여 기판을 지지하는 기판 지지체와,상기 기판 지지체를 지지하는 반송 암과,상기 반송 암을 구동하는 구동부를 구비하고,상기 픽은 수평 방향에 대해 상기 픽이 이루는 각도를 조절가능한 고정 수단을 이용하여 상기 픽 베이스에 연결되고,상기 픽의 선단부(先端部)가 그 기단부(基端部)를 초과하는 높이에 위치하도록 상기 픽을 경사시킨 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항에 있어서,복수의 상기 픽을 각각 독립한 각도로 경사시킨 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 픽에 기판을 탑재하고, 또한 상기 반송 암을 최대한 진출시킨 상태에 서, 기판이 대략 수평이 되는 각도로 상기 픽을 경사시킨 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서,공통의 픽 베이스에 연결된 복수의 픽을 구비하여 기판을 지지하는 기판 지지체와,상기 기판 지지체를 지지하는 반송 암과,상기 반송 암을 구동하는 구동부를 구비하고,상기 픽은 수평 방향에 대해 상기 픽이 이루는 각도를 조절 가능한 고정 수단을 이용하여 상기 픽 베이스에 연결되고,상기 픽의 선단부가 그 기단부를 초과하는 높이에 위치하도록 상기 픽을 그 기단부 근방에 있어서 절곡시킨 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 4 항에 있어서,복수의 상기 픽을 각각 독립한 각도로 절곡시킨 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 픽에 기판을 탑재하고, 또한 상기 반송 암을 최대한 진출시킨 상태에서, 기판이 대략 수평이 되는 각도로 상기 픽을 절곡시킨 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 삭제
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 고정 수단은 상기 픽의 기단부와 계합(係合)하고, 상기 픽에 대해 반대 방향의 힘을 가하여 고정 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 고정 수단은 상기 픽의 기단부와 계합하고, 상기 픽을 연직 방향으로 당기는 나사못과 연직 방향으로 미는 나사못으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 기판 지지체의 상기 픽 베이스는 상기 반송 암을 이동가능한 슬라이드 부재에 부착되어 있는 동시에, 그 부착 각도를 임의로 조절가능한 부착 각도 조절 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 픽에는 그 폭 방향으로 돌출 형성된 지지축이 마련되어 있고, 상기 지지축을 받침점으로 하여 상기 픽을 회동시킴으로써 그 부착 각도가 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 지지축을 유감(遊嵌) 가능하며, 또한 그 내경을 조절 가능한 관통 구멍을 갖는 각도 조절용 부재를 더 구비하고,상기 관통 구멍에 상기 지지축을 삽입한 상태에서 그 관통 구멍의 내경을 축 소시킴으로써, 상기 픽의 부착 각도가 미세조정되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 반송 암은 진공 챔버 내에 수용되고,상기 구동부는 적어도 그 하부가 상기 진공 챔버의 외부에 노출하여 배치되어 있고, 또한 그 하부에 있어서 상기 진공 챔버를 탑재하는 지지 프레임에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 진공 챔버의 바닥판에는 개구부가 형성되어 있고,상기 구동부는 그 상부가 상기 개구부 내에 삽입되고, 또한 그 개구부와의 사이는 밀봉 부재에 의해 여유를 갖게 한 상태에서 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 기판은 대형 유리 기판인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 기판 반송 장치에 있어서 기판을 지지하는 기판 지지체로서,공통의 픽 베이스에 연결된 복수의 픽을 구비하여 이루어지며, 상기 픽의 선단부가 그 기단부를 초과하는 높이에 위치하도록 복수의 상기 픽을 각각 독리한 각도로 경사시킨 것을 특징으로 하는 기판 지지체.
- 삭제
- 기판 반송 장치에 있어서 기판을 지지하는 기판 지지체로서,공통의 픽 베이스에 연결된 복수의 픽을 구비하여 이루어지며, 상기 픽의 선단부가 그 기단부를 초과하는 높이에 위치하도록 복수의 상기 픽을 각각 독립한 각도로 절곡시킨 것을 특징으로 하는 기판 지지체.
- 삭제
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