JP3080143U - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基板を載置したときに自重と基板の重量とによ
り垂れ下がることがないこと。 【解決手段】左側ハンド30及び右側ハンド31は、こ
れら左側ハンド30及び右側ハンド31の自重及びLC
D基板2の重量を受けて垂れ下がったときに水平状態に
なるように予め上方に反って加工した。
り垂れ下がることがないこと。 【解決手段】左側ハンド30及び右側ハンド31は、こ
れら左側ハンド30及び右側ハンド31の自重及びLC
D基板2の重量を受けて垂れ下がったときに水平状態に
なるように予め上方に反って加工した。
Description
【0001】
本考案は、各種基板例えば液晶ディスプレイ(LCD)やプラズマディスプレ イなどのフラットパネルディスプレイを搬送する基板搬送装置に関する。
【0002】
図7及び図8は液晶ディスプレイ(LCD)の基板検査装置及び基板搬送装置 の全体構成図であって、図7は正面図、図8は上方から見た構成図である。基板 検査装置1は製造過程にあるLCD基板2を検査する機能を有するものであり、 基板搬送装置3は未検査のLCD基板2を基板検査装置1に供給し、かつ検査済 みのLCD基板2を基板検査装置1から取り出すものとなっている。
【0003】 このうち基板搬送装置3は、未検査のLCD基板2及び検査済みのLCD基板 2をまとめて収納して運搬するためのカセット4を収容するカセットステーショ ン5と、LCD基板2を基板検査装置1とカセット4との間で搬送するための基 板搬送ロボット6とからなっている。なお、カセット4は、未検査のLCD基板 2を収納するカセット4aと、検査済みのLCD基板2を収納するカセット4b とからなっている。
【0004】 この基板搬送ロボット6は、ロボット胴体7と、このロボット胴体7を基板検 査装置1とカセットステーション5との間で横方向(矢印イ方向)に平行移動さ せる横移動機構8とを備えている。これらロボット胴体7と横移動機構8とは、 それぞれ連動し、未検査のLCD基板2を収納するカセット4aから未検査のL CD基板2を取り出して基板検査装置1の基板ステーション9上に載置し、検査 済みのLCD基板2を基板ステーション9から取り出してその検査済みLCD基 板2を検査済み基板を収納するカセット4bに差し入れるものとなっている。
【0005】 なお、横移動機構8は、基板検査装置1とカセットステーション5との間で横 方向に配置された一対の直動軸受け10と、この直動軸受け10に対して平行に 配置されたボールねじ11とからなっている。
【0006】 図9(a)(b)は基板搬送ロボット6の外観図である。ロボット胴体7には、昇降 可能なアーム台12が設けられている。このアーム台12には、左側搬送アーム 13と右側搬送アーム14とがそれぞれ回動自在に、左右対称に対(ツインアー ム)をなすように設けられている。
【0007】 左側搬送アーム13は、アーム台12に回転自在に設けられた第1アーム15 と、この第1アーム15に連結された第2アーム16と、この第2アーム16に 連結された左側ハンド17とから構成されている。
【0008】 又、右側搬送アーム14は、左側搬送アーム13と同様に、アーム台12に回 転自在に設けられた第1アーム18と、この第1アーム18に連結された第2ア ーム19と、この第2アーム19に連結された右側ハンド20とから構成されて いる。
【0009】 なお、アーム台12の内部には、左側と右側搬送アーム13,14をそれぞれ 前進(伸ばす動き)又は後退(縮める動き)させるための2つのアーム駆動モー タが設けられている。そして、左側と右側搬送アーム13,14は、それぞれ図 示しない歯付プーリ及び歯付ベルトによって伸ばす動き又は縮める動きをするよ うに構成されている。
【0010】 なお、図7ではロボット胴体7に左側搬送アーム13及び左側ハンド17のみ を示しているが、これは図示すると左側搬送アーム13と右側搬送アーム14と の動作が混乱するのを避けるためである。従って、以下の図面においても左側搬 送アーム13及び左側ハンド17のみを示す。
【0011】 このような構成の基板搬送ロボット6は、アーム台12が図示しない昇降モー タの駆動によって昇降することにより、図10に示すようにアーム台12から上 の左側搬送アーム13及び右側搬送アーム14が一体となって昇降する。
【0012】 又、基板搬送ロボット6は、図11に示すように横移動機構8の動作によって 基板検査装置1とカセットステーション5との間で横方向に平行移動する。
【0013】 又、基板搬送ロボット6は、LCD基板2の方向を転換するために図示しない 旋回モータの回転駆動によってアーム台12から上全体を図12に示すように一 体的に旋回運動する。
【0014】 又、基板搬送ロボット6は、LCD基板2をカセットステーション5のカセッ ト4a、4b、又は基板検査装置1の基板ステーション9に対して収納又は取り 出すために、図13に示すように図示しないアーム駆動モータの回転駆動により 伸ばす動き又は縮める動き(進退運動)を行う。
【0015】 このように構成された基板検査装置及び基板搬送装置でのLCD基板2の検査 の一連の動作について図7及び図8を参照して説明する。
【0016】 先ず、基板搬送ロボット6は、横移動機構8の動作によって未検査のLCD基 板2を収納するカセット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を取り 出すために左側搬送アーム13をカセット4aの方向へ伸ばし、そのLCD基板 2の下に左側ハンド17を入れる。
【0017】 次に、昇降モータの駆動によって左側ハンド17を少し上昇させ、LCD基板 2を左側ハンド17上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてLCD基板2をカ セット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
【0018】 次に、左側及び右側搬送アーム13,14を旋回モータの回転駆動によって1 80度旋回させるとともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横方向 に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド17並びに右側ハンド20の 高さ位置を基板検査装置1の基板ステーション9の高さ位置に合せる。
【0019】 基板搬送ロボット6が横移動して基板検査装置1の前方に位置決めされると、 この基板搬送ロボット6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を取り 出すために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLCD基板2の下に右側ハンド2 0を入れる。
【0020】 次に、昇降モータの駆動によって右側ハンド20を少し上昇させ、検査済みL CD基板2を右側ハンド20上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてそのLC D基板2を基板ステーション9上から取り出し、基板搬送ロボット6の上方まで 持ってくる。
【0021】 この検査済みLCD基板2の取り出しと差し違いに、基板搬送ロボット6は、 未検査のLCD基板2を持っている左側ハンド17を前進させ、そのLCD基板 2を基板ステーション9上に載置した後、何も載置しない状態で左側ハンド17 を後退させる。
【0022】 次に、基板搬送ロボット6は、180度旋回すると共に、横移動機構8の動作 によって検査済みのLCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、この カセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納させるために右側搬送アーム1 4を伸ばし、そのLCD基板2をカセット4b内に収納する。そして、右側搬送 アーム14を縮める。
【0023】 これ以降、上記LCD基板2の検査の一連の動作が繰り返される。
【0024】
年々、LCD基板2の大きさは、技術の進歩に伴って大きくなる傾向にある。 このLCD基板2が大きくなるに応じて重量も重くなるために、その大きさがあ る程度以上に大きいLCD基板2を左側ハンド17又は右側ハンド20で持ち上 げると、これら左側ハンド17又は右側ハンド20は、図14に示すように自重 とLCD基板2の重量とにより垂れ下がるようになる。
【0025】 一方、カセット4aでは、多数のLCD基板2を収納したいという要求を満足 するために、各LCD基板2を垂直方向の間隔lを出来るだけ狭くしている。
【0026】 このため、左側ハンド17又は右側ハンド20が自重とLCD基板2の重量と により垂れ下がった場合に、これら左側ハンド17又は右側ハンド20がカセッ ト4a内における持ち上げたLCD基板2の下側のLCD基板2に接触してしま う。
【0027】 このような事からカセット4a内で収納する各LCD基板2の間隔lを広くす れば左側ハンド17又は右側ハンド20とLCD基板2との接触は防止できるが 、多数のLCD基板2を収納したいという要求から実現は難しく、かつ左側ハン ド17及び右側ハンド20を補強すると、これらハンド17及び20が厚くなっ てカセット4a内の各LCD基板2間に左側ハンド17又は右側ハンド20を差 し込むことができなくなる。
【0028】 そこで本考案は、基板を載置したときに自重と基板の重量とにより垂れ下がる ことがないハンドを持った基板搬送装置を提供することを目的とする。
【0029】
請求項1記載による本考案は、基板をハンドに載せて搬送する基板搬送装置に おいて、前記ハンドは、前記基板を載せたときに水平状態になるように形成され たことを特徴とする基板搬送装置である。
【0030】 請求項2記載による本考案は、請求項1記載の基板搬送装置において、前記ハ ンドは、このハンドの自重及び前記基板の重量を受けて垂れ下がったときに水平 状態になるように予め上方に反って形成されていることを特徴とする。
【0031】 請求項3記載による本考案は、請求項1記載の基板搬送装置において、前記ハ ンドは、上方に反らせた形状に加工したことを特徴とする。
【0032】 請求項4記載による本考案は、請求項1記載の基板搬送装置において、前記ハ ンドは、それぞれ熱収縮率の異なる少なくとも2種類の材料を張り合わせ、高温 下で硬化させたことを特徴とする。
【0033】
(1)以下、本考案の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。なお 、図7及び図9と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0034】 図1は基板搬送装置の構成図であり、図2(a)(b)は基板搬送ロボット6の外観 図である。この基板搬送ロボット6は、ロボット胴体7と、このロボット胴体7 を基板検査装置1とカセットステーション5との間で横方向に平行移動させる横 移動機構8とを備えている。ロボット胴体7には、昇降可能なアーム台12が設 けられている。このアーム台12には、左側搬送アーム13と右側搬送アーム1 4とがそれぞれ回動自在に、左右対称に対(ツインアーム)をなすように設けら れている。
【0035】 なお、図1ではロボット胴体7に左側搬送アーム13のみを示しているが、こ れは図示すると左側搬送アーム13と右側搬送アーム14との動作が混乱するの を避けるためである。
【0036】 左側搬送アーム13は、アーム台12に回転自在に設けられた第1アーム15 と、この第1アーム15に連結された第2のアーム16と、この第2のアーム1 6に連結された左側ハンド30とから構成されている。
【0037】 又、右側搬送アーム14は、左側搬送アーム13と同様に、アーム台12に回 転自在に設けられた第1アーム18と、この第1アーム18に連結された第2の アーム19と、この第2のアーム19に連結された右側ハンド31とから構成さ れている。
【0038】 左側ハンド30及び右側ハンド31は、LCD基板2を載せたときに水平状態 になる、すなわちこれら左側ハンド30及び右側ハンド31の自重及びLCD基 板2の重量を受けて垂れ下がったときに水平状態になるように予め上方に反って 形成されている。図3(a)(b)はかかる左側ハンド30及び右側ハンド31の構成 図であって、同図(a)は正面図、同図(b)は側面図である。これら左側ハンド30 及び右側ハンド31は、その先端になる程次第に上方に反らせた形状に加工され ている。この反り量fは、左側ハンド30及び右側ハンド31の材料の持つ弾性 係数に応じて、LCD基板2を載せたときに、自重及びLCD基板2の重量を受 けたときの垂れ下がりを丁度打ち消す量となっている。
【0039】 このような反りを持つ左側ハンド30、右側ハンド31の加工方法は、反り量 fに形成された金型を用意し、この金型に左側ハンド30、右側ハンド31を製 作するための部材を挟んで長時間高温で保持する。これにより、反りを持った状 態で歪みが除去されて、その金型の形状に形成された左側ハンド30、右側ハン ド31が製作される。
【0040】 次に、上記左側ハンド30及び上記右側ハンド31を用いた基板検査装置及び 基板搬送装置でのLCD基板2の検査の一連の動作について説明する。
【0041】 先ず、基板搬送ロボット6は、横移動機構8の動作によって未検査のLCD基 板2を収納するカセット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を取り 出すために左側搬送アーム13をカセット4aの方向へ伸ばし、図4に示すよう に左側ハンド30をLCD基板2の下に入れる。なお、このとき、左側ハンド3 0が上方に反っていても、この左側ハンド30は、カセット4a内に収納されて いる左側ハンド30の上方側と下方側との各LCD基板2に接触することはない 。
【0042】 次に、昇降モータの駆動によって左側ハンド30を少し上昇させ、LCD基板 2を左側ハンド30上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてLCD基板2をカ セット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
【0043】 このとき、左側ハンド30は、この左側ハンド30の自重及びLCD基板2の 重量を受けて垂れ下るが、図5に示すように垂れ下がりを丁度打ち消すように水 平状態になる。
【0044】 次に、左側及び右側搬送アーム13,14を旋回モータの回転駆動によって1 80度旋回させるとともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横方向 に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド30並びに右側ハンド31の 高さ位置を基板検査装置1の基板ステーション9の高さ位置に合せる。
【0045】 基板搬送ロボット6が横移動して基板検査装置1の前方に位置決めされると、 この基板搬送ロボット6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を取り 出すために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLCD基板2の下に右側ハンド3 1を入れる。
【0046】 次に、昇降モータの駆動によって右側ハンド31を少し上昇させ、検査済みL CD基板2を右側ハンド31上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてそのLC D基板2を基板ステーション9上から取り出し、基板搬送ロボット6の上方まで 持ってくる。
【0047】 このとき、右側ハンド31は、この右側ハンド31の自重及び検査済みLCD 基板2の重量を受けて垂れ下るが、上記図5にのと同様に、垂れ下がりを丁度打 ち消すように水平状態になる。
【0048】 この検査済みLCD基板2の取り出しと差し違いに、基板搬送ロボット6は、 未検査のLCD基板2を持っている左側ハンド30を前進させ、そのLCD基板 2を基板ステーション9上に載置した後、何も載置しない状態で左側ハンド30 を後退させる。
【0049】 次に、基板搬送ロボット6は、180度旋回すると共に、横移動機構8の動作 によって検査済みのLCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、この カセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納させるために右側搬送アーム1 4を伸ばし、そのLCD基板2をカセット4b内に収納する。そして、右側搬送 アーム14を縮める。
【0050】 これ以降、上記LCD基板2の検査の一連の動作が繰り返される。
【0051】 このように上記第1の実施の形態においては、左側ハンド30及び右側ハンド 31を、これら左側ハンド30及び右側ハンド31の自重及びLCD基板2の重 量を受けて垂れ下がったときに水平状態になるように予め上方に反って加工した ので、これら左側ハンド30及び右側ハンド31は、LCD基板2を載置したと きに、これら左側ハンド30及び右側ハンド31の自重とLCD基板2の重量と により垂れ下がることがない。
【0052】 従って、LCD基板2の大きさが大きくなってその重量が重くなっても、左側 ハンド30又は右側ハンド31が垂れ下がってカセット4a内における持ち上げ たLCD基板2の下側のLCD基板2に接触することはなく、かつ左側ハンド3 2又は右側ハンド33の厚みを大きくすることなく、カセット4a内における各 LCD基板2を水平方向に収納する間隔lを狭くでき、多数のLCD基板2をカ セット4a内に収納できる。
【0053】 又、これら左側ハンド30及び右側ハンド31は、反り量fに形成された金型 を用意し、この金型に左側ハンド30、右側ハンド31を製作するための部材を 挟んで長時間高温で保持することによって製作するので、この加工方法であれば 、左側ハンド30及び右側ハンド31の量産性に優れたものとなる。
【0054】 (2)次に、本考案の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。なお 、図1及び図2と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0055】 この基板搬送装置は、上記図1及び図2における左側ハンド30と右側ハンド 31とを、図5に示す左側ハンド32と右側ハンド33とに代えたものである。 これら左側ハンド32と右側ハンド33とは、それぞれ熱収縮率の異なる少なく とも2種類の材料34、35を熱硬化性接着材などにより張り合わせ、高温下で 硬化させて製作したものである。これら2種類の材料34、35を張り合わせ、 真直な状態で高温に保って接着硬化させると、接着完了後に常温に戻すと、各材 料34、35の熱収縮率の違いから左側ハンド32と右側ハンド33とが反り量 fに反った状態に形成される。
【0056】 なお、2種類の材料34、35の張り合わせは、熱硬化性接着材により接着に 限定されず、例えば焼結等の高温下で接合させる方法でもよい。
【0057】 このように上記第2の実施の形態においては、それぞれ熱収縮率の異なる少な くとも2種類の材料34、35を熱硬化性接着材などにより張り合わせ、高温下 で硬化させて製作した左側ハンド32と右側ハンド33とを用いて基板検査装置 及び基板搬送装置でのLCD基板2の検査の一連の動作を行っても、上記第1の 実施の形態と同様に、これら左側ハンド32及び右側ハンド33は、LCD基板 2を載置したときに、これら左側ハンド32及び右側ハンド33の自重とLCD 基板2の重量とにより垂れ下がることがない。
【0058】 従って、LCD基板2の大きさが大きくなってその重量が重くなっても、左側 ハンド32又は右側ハンド33が垂れ下がってカセット4a内における持ち上げ たLCD基板2の下側のLCD基板2に接触することはなく、かつ左側ハンド3 2又は右側ハンド33の厚みを大きくすることなく、カセット4a内における各 LCD基板2を水平方向に収納する間隔lを狭くでき、多数のLCD基板2をカ セット4a内に収納できる。
【0059】 又、左側ハンド32及び右側ハンド33は、それぞれ熱収縮率の異なる少なく とも2種類の材料34、35を熱硬化性接着材などにより張り合わせ、高温下で 硬化させて製作するので、接合時の温度を変えることで、様々に反り方の左側ハ ンド32及び右側ハンド33を任意に製作できる。
【0060】 なお、本考案は、上記第1及び第2の実施の形態に限定されるものでなく次の 通りに変形してもよい。
【0061】 例えば、上記第1及び第2の実施の形態では、ハンドを基板検査装置及び基板 搬送装置でのLCD基板2の検査の一連の動作に適用した場合について説明した が、他の基板、例えばウエハ等の装置にも適用できる。
【0062】
以上詳記したように本考案によれば、基板を載置したときに自重と基板の重量 とにより垂れ下がることがないハンドを持った基板搬送装置を提供できる。
【図1】本考案に係わる基板搬送装置の第1の実施の形
態を示す構成図。
態を示す構成図。
【図2】本考案に係わる基板搬送装置の第1の実施の形
態における基板搬送ロボットの外観図。
態における基板搬送ロボットの外観図。
【図3】本考案に係わる基板搬送装置の第1の実施の形
態における基板搬送ロボットの左側ハンド及び右側ハン
ドの構成図。
態における基板搬送ロボットの左側ハンド及び右側ハン
ドの構成図。
【図4】本考案に係わる基板搬送装置の第1の実施の形
態における基板搬送ロボットの左側ハンドをカセットに
差し込んだ状態を示す図。
態における基板搬送ロボットの左側ハンドをカセットに
差し込んだ状態を示す図。
【図5】本考案に係わる基板搬送装置の第1の実施の形
態における基板搬送ロボットの左側ハンドでLCD基板
を持った状態を示す図。
態における基板搬送ロボットの左側ハンドでLCD基板
を持った状態を示す図。
【図6】本考案に係わる基板搬送装置の第2の実施の形
態における基板搬送ロボットの左側ハンド及び右側ハン
ドの構成図。
態における基板搬送ロボットの左側ハンド及び右側ハン
ドの構成図。
【図7】従来におけるLCDの基板検査装置及び基板搬
送装置を正面から見た全体構成図。
送装置を正面から見た全体構成図。
【図8】従来におけるLCDの基板検査装置及び基板搬
送装置を上方から見た構成図。
送装置を上方から見た構成図。
【図9】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボット
の構成図。
の構成図。
【図10】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの昇降動作を示す図。
トの昇降動作を示す図。
【図11】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの横移動を示す図。
トの横移動を示す図。
【図12】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの旋回運動を示す図。
トの旋回運動を示す図。
【図13】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの伸ばす動き及び縮める動きを示す図。
トの伸ばす動き及び縮める動きを示す図。
【図14】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トにおける左側ハンド又は右側ハンドの垂れ下がり状態
を示す図。
トにおける左側ハンド又は右側ハンドの垂れ下がり状態
を示す図。
1:基板検査装置 2:LCD基板 3:基板搬送装置 4(4a,4b):カセット 5:カセットステーション 6:基板搬送ロボット 7:ロボット胴体 8:横移動機構 9:基板ステーション 10:直動軸受け 11:ボールねじ 12:アーム台 13:左側搬送アーム 14:右側搬送アーム 15,18:第1アーム 16,19:第2アーム 18:第1アーム 30,32:左側ハンド 31,33:右側ハンド 34,35:材料
Claims (4)
- 【請求項1】 基板をハンドに載せて搬送する基板搬送
装置において、 前記ハンドは、前記基板を載せたときに水平状態になる
ように形成されたことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項2】 前記ハンドは、このハンドの自重及び前
記基板の重量を受けて垂れ下がったときに水平状態にな
るように予め上方に反って形成されていることを特徴と
する請求項1記載の基板搬送装置。 - 【請求項3】 前記ハンドは、上方に反らせた形状に加
工したことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。 - 【請求項4】 前記ハンドは、それぞれ熱収縮率の異な
る少なくとも2種類の材料を張り合わせ、高温下で硬化
させたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001001199U JP3080143U (ja) | 2001-03-08 | 2001-03-08 | 基板搬送装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=43212991
Family Applications (1)
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JP (1) | JP3080143U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004066379A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置 |
JP2007208235A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板支持体 |
KR101417987B1 (ko) * | 2006-02-08 | 2014-07-09 | 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 | 열처리 화로용 로보트 암 장치 |
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2001
- 2001-03-08 JP JP2001001199U patent/JP3080143U/ja not_active Expired - Fee Related
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