TW201801212A

TW201801212A - 基板檢查之搬送方法及裝置

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Publication number: TW201801212A
Application number: TW105120524A
Authority: TW
Inventors: 林漢聲; 紀証耀; 謝振盛; 黃景德
Original assignee: 萬潤科技股份有限公司
Priority date: 2016-06-29
Filing date: 2016-06-29
Publication date: 2018-01-01
Also published as: TWI609439B

Abstract

本發明提供一種基板檢查之搬送方法及裝置，包括：提供一第一搬送裝置以形成一輸送第一基板的第一傳送流路；提供一供料區，並在該供料區設置第一載料機構、第二載料機構，使一第一基板與一間隔件呈交互疊置於第一載料機構中；提供一第一移載機構經由一往復移載流路，自該供料區的第一載料機構提取第一基板置入第一傳送流路中，並將間隔件置於第二載料機構中；在該第一傳送流路經過的路徑上設一第一檢查機構，其以一第一取像鏡頭對自第一傳送流路移經的第一基板進行檢查。

Description

基板檢查之搬送方法及裝置

本發明係有關於一種搬送方法及裝置，尤指一種在一機台上進行對基板檢查時，使基板在供料與收集間進行搬送的基板檢查之搬送方法及裝置。

按，一般基板的加工製程通常需要進行品質檢查，這些檢查依製程別有不同的需求，但通常需藉助一搬送裝置來協助檢查得以自動化方式來進行；但有些基板由於相當精細，在搬送過程中容易被刮傷損壞，而導致形成不良品，故基板為避免刮傷，必須在基板外作保護措施，例如以整體在外部以包膜予以包覆，或在基板與基板間設置膜片或紙片等間隔件；另，有些檢查必須對基板(SubStrate)之正、反面進行檢查，有些是僅對基板作正面檢查；另有一些基板在作檢查時，基板本身直接被輸送，有些基板在作檢查時，基板必須被放置於一載盤中進行；有些基板會有刮傷避免的需求，有些基板則不怕刮傷，----諸如此類之基板檢查，先前技術中，通常採用一機台僅適用一種基板檢查需求或搬送方式，例如，該機台僅作一種必須對基板之正、反面進行檢查的檢查製程，或該機台僅作一種必須將基板放置於一載盤中進行檢查的檢查製程，或該機台僅作一種不會有刮傷避免的需求之基板檢查製程，換言之，先前技術常採用一種基板製程一個機台方式來配置產線。

先前技術中，以一種容易被刮傷的基板檢查為例，其必須進行表面的檢查，為求大量檢查，採自動化為必然趨勢，但用保護基板的間隔件將形成基板搬送的困擾與複雜，如何在進行表面檢查時兼顧基板在被搬送檢查時防止被刮傷，乃有賴於機構上有效而妥善之規劃基板搬送的方法及提供合適的裝置；另，採用一種基板製程一個機台方式來配置產線固然可以達到對單一基板產能效率的穩定控制，但每一基板的檢查製程通常會有一些必要的檢查設備會共同通用，例如用以進行檢查的CCD影像檢查裝置或機台骨架、電控系統、電腦----，如果每一不同基板的檢查製程都以個別機台實施，則僅在設備的購置成本及廠房積暫的空間即相當可觀；因此，提供一種在進行表面檢查時兼顧基板在被搬送檢查時防止被刮傷的搬送裝置，並提供在必要時可以整合不同基板檢查的需求，尋求在設備的整合共用上作有效規劃，以提高產能效率及降低成本、節省廠房空間，乃為值得研究的重要課題。

爰是，本發明的目的，在於提供一種可以在進行表面檢查時兼顧基板在被搬送檢查時防止被刮傷的基板檢查之搬送方法。

本發明的另一目的，在於提供一種可以使不同的基板檢查共同在一機台上分別進行的基板檢查之搬送方法。

本發明的又一目的，在於提供一種可以可以在進行表面檢查時兼顧基板在被搬送檢查時防止被刮傷的基板檢查之搬送裝置。

本發明的再一目的，在於提供一種可以使不同的基板檢查共同在一機台上分別進行的基板檢查之搬送裝置。

本發明的又再一目的，在於提供一種使用如所述基板檢查之搬送方法的裝置。

依據本發明目的之基板檢查之搬送方法，包括：提供一第一搬送裝置以形成一輸送第一基板的第一傳送流路；提供一供料區，並在該供料區設置第一載料機構、第二載料機構，使一第一基板與一間隔件呈交互疊置於第一載料機構中；提供一第一移載機構經由一往復移載流路，自該供料區的第一載料機構提取第一基板置入第一傳送流路中，並將間隔件置於第二載料機構中；在該第一傳送流路經過的路徑上設一第一檢查機構，其以一第一取像鏡頭對自第一傳送流路移經的第一基板進行檢查。

依據本發明另一目的之基板檢查之搬送方法，包括：提供一第一搬送裝置以形成一輸送第一基板的第一傳送流路；提供一供料區，並在該供料區設置第一載料機構、第二載料機構，使一第一基板與一間隔件呈交互疊置於第一載料機構中；提供一第一移載機構經由一往復移載流路，自該供料區的第一載料機構提取第一基板置入第一傳送流路中，並將間隔件置於第二載料機構中；提供一第二搬送裝置以形成一輸送第二基板的第二傳送流路；使第一傳送流路、第二傳送流路在同一機台上共構並在同一軸向上形成一平行的第一併匯流路，在該第一併匯流路經過的路徑上設一第一檢查機構，其以一第一取像鏡頭對自第一傳送流路移經的第一基板進行檢查。

依據本發明又一目的之基板檢查之搬送裝置，包括：一第一搬送裝置，位於一機台台面上；一供料區，位於機台台面上第一搬送裝置一側；一收料區，位於機台台面另一側的第一搬送裝置之與供料區同側；該第一搬送裝置提供一第一傳送流路以搬送一第一基板由供料區到收料區；一第一移載機構，自該供料區中將第一基板移入第一搬送裝置中被搬送；一第二移載機構，自第一搬送裝置中將第一基板移出至收料區收集；一第一檢查機構，設於該機台台面上，設有一第一取像鏡頭對第一搬送裝置所搬送的第一基板進行檢查；該供料區設有第一載料機構、第二載料機構，第一載料機構中設有呈交互疊置的第一基板與間隔件。

依據本發明再一目的之基板檢查之搬送裝置，包括：一第一搬送裝置，該第一搬送裝置由二滑軌相隔間距組成的一第一軌道、二滑軌相隔間距組成的一第二軌道及一翻轉機構所形成；該供料區設有第一載料機構、第二載料機構，第一載料機構中設有呈交互疊置的第一基板與間隔件；一第一移載機構，自該供料區中將第一基板移入第一搬送裝置中被搬送；一第二移載機構，自第一搬送裝置中將第一基板移出至收料區收集；一第二搬送裝置，其由一固定式的第一軌架、一固定式的第二軌架及位於二者間的一活動軌架所組成；該第二搬送裝置提供一第二傳送流路以搬送一第二基板；第一搬送裝置與第二搬送裝置採下、上分設在同一軸向上，並形成直線位移的第一併匯流路；在第一併匯流路經過的路徑上方設有第一檢查機構，該第一檢查機構，設有一第一取像鏡頭對第一併匯流路所搬送的第一基板進行檢查。

依據本發明又再一目的之基板檢查之搬送裝置，包括：使用如所述基板檢查之搬送方法的裝置。

本發明實施例基板檢查之搬送方法及裝置，由於在該供料區設置第一載料機構、第二載料機構，使第一基板與一間隔件呈交互疊置於第一載料機構中，並以第一移載機構經由一往復移載流路，自該供料區的第一載料機構提取第一基板置入第一傳送流路中，並將間隔件置於第二載料機構中，另在該收料區設置第三載料機構使、第四載料機構、第五載料機構，使第五載料機構中置放間隔件，並使第二移載機構經由一往復移載流路，自該第一傳送流路提取經檢查為良品的第一基板置入收料區的第三載料機構中，並自第五載料機構中提取間隔件置入該第三載料機構中與第一基板呈交互疊置，自該第一傳送流路提取經檢查為不良品的第一基板則置入收料區的第四載料機構中，故在進行表面檢查時，可兼顧第一基板與間隔件之取放，使第一基板在被搬送檢查時避免被刮傷，在機構上可以有效而妥善規劃基板的第一基板與間隔件之搬送；另，在同一機台台面上以第一搬送裝置與第二搬送裝置採共構方式形成二段X軸向直線位移的平行第一併匯流路、第二併匯流路，使不同的第一基板、第二基板分別被以不同的第一傳送路、第二傳送流進行傳送檢查時，皆可共用相同的第一檢查機構，且被以不同的收料區、料盒收集，使機台的效能大幅提昇；且單一第一搬送裝置或第二搬送裝置的搬送，藉由翻轉機構、可活動位移的活動軌架，使不論進行必需正、反面或僅作正面檢查的第一基板、第二基板皆可進行，即使單獨的使用其中之一的第一搬送裝置或第二搬送裝置進行搬送及檢查，都可以達到對基板檢查的功能。

請參閱圖1、2，本發明實施例可用以在一機台上分別且可選擇性地進行第一基板S1正面之蝕刻線路檢查、反面之髒汙、傷痕…等缺陷檢查，或已植上晶片、銲上導線的第二基板S2正面之檢查，其中，該第二基板S2進行檢查時係置於一載盤O中受定位；另，為了保護第一基板S1之表面不受損害，在每一片第一基板S1在疊置時之上、下兩面皆有一矩形薄片狀或框狀的薄紙型間隔件S11附著保護。

請參閱圖1〜4，本發明實施例之基板檢查之搬送方法及裝置可以圖中之基板檢查裝置實施例來說明，該裝置包括：一用於輸送第一基板S1的第一搬送裝置A以及用於輸送盛載第二基板S2的載盤O之第二搬送裝置B；該第一搬送裝置A、第二搬送裝置B二者共構在一機台台面T上，但可分別單獨使用以分別進行第一基板S1或盛載第二基板S2的載盤O搬送；該第一搬送裝置A提供一第一傳送流路由一位於機台台面T上第一搬送裝置A一側的一供料區C提供第一基板S1，並以X軸向經第一搬送裝置A進行搬送至機台台面T另一側的第一搬送裝置A與供料區同側的一收料區D收集，其中，供料區C中的第一基板S1以一第一移載機構所提供的往復移載流路移入第一搬送裝置A中被搬送，並以一第二移載機構F所提供的往復移載流路自第一搬送裝置A中移出至收料區D收集；供料區C設有在Y軸向相鄰併設的第一載料機構G1、第二載料機構G2，其中第一載料機構G1鄰靠第一搬送裝置A的第一軌道A1側，供疊置尚未分離間隔件S11之待檢查第一基板S1，第二載料機構G2遠離第一搬送裝置A供放置與第一基板S1分離後之間隔件S11；該收料區D中設有在Y軸向相鄰併設且依鄰靠第一搬送裝置A側由近而遠依序為第三、四、五載料機構G3、G4、G5，其中，第三載料機構G3供放置通過檢查之第一基板S1良品，該第四載料機構G4供放置未通過檢查之第一基板S1不良品，該第五載料機構G5供預置間隔件S11；該第二搬送裝置B提供一第二傳送流路由一固設於機台台面T一邊側的供料裝置H上可於一軌座H1上被驅動作Z軸向位移且內部層層疊置盛載第二基板S2之載盤O的料盒H2中提供載盤O，以X軸向經第二搬送裝置B進行搬送至固設於機台台面T另一邊側的收料裝置K上可於一軌座K1上被驅動作Z軸向位移的料盒K2中以層層疊置方式收集；第一搬送裝置A與第二搬送裝置B採下、上分設在同一X軸向上，第一傳送流路、第二傳送流路並形成二段X軸向直線位移且前後平行的第一併匯流路AB1、第二併匯流路AB2；在第一併匯流路AB1經過的路徑上方設有第一檢查機構L，其以一跨設於該第一併匯流路AB1上方的龍門式座架L1上所設的Y軸向軌座L2設置一Z軸向的固定座L3，並於固定座L3上設置由CCD鏡頭構成的一第一取像鏡頭L4，並在軌座L2一端驅動件L5驅動下使固定座L3可連動第一取像鏡頭L4作Y軸向位移，及固定座L3上方驅動件L6驅動下使第一取像鏡頭L4可在固定座L3上作Z軸向位移，以對自第一併匯流路AB1移經的第一基板S1或載盤O上盛載之第二基板S2之受檢查元件進行檢查；在所述第二併匯流路AB2經過的路徑上方設有一第二檢查機構M，其以一跨設於該第二併匯流路AB2上方的龍門式座架M1設置一Z軸向的固定座M2，並於固定座M2上設置由CCD鏡頭構成的一第二取像鏡頭M3，並在固定座M2上方驅動件M4驅動下使第二取像鏡頭M3可在固定座M2上作Z軸向位移，由於第二取像鏡頭M3僅在進行反面檢查時使用，故僅用於對自第二併匯流路AB2移經需要檢查反面的第一基板S1進行檢查；其中，由於第一基板S1之反面無線路檢查需求，僅需檢查髒汙、傷痕…等大範圍缺陷或反面線路不如正面線路精細，故第一取像鏡頭L4之取像解析度高於第二取像鏡頭M3，當第一基板S1或載盤O上被盛載的第二基板S2於第一併疊流路AB1以正面朝上被搬送時可獲清晰的檢查。

請參閱圖5、6，該第一搬送裝置A由二X軸向平行滑軌A11相隔間距組成的一第一軌道A1、二X軸向平行滑軌A21相隔間距組成的一第二軌道A2及一翻轉機構A3所形成；第一軌道A1、第二軌道A2等二段直線流路與翻轉機構A3所形成的翻轉流路共同以一直線排列組成所述第一傳送流路；第一軌道A1、第二軌道A2在保持一間距A4下以在同一X軸向對應設置，第一軌道A1上提供一設有一第一載台A12的第一移座A13可在其上受一驅動件A14驅動作X軸向滑動位移；第二軌道A2上提供一設有一第二載台A22的第二移座A23可在其上受一驅動件A24驅動作X軸向滑動位移；翻轉機構A3設有一翻轉框A31可受驅動在X軸向位移及翻轉，用於將第一移座A13的第一載台A12上所搬送正面朝上之第一基板S1提取，並搬送及在搬送中將基板S翻轉一百八十度後，以反面朝上轉置於第二移座A23的第二載台A22上；該翻轉框A31設有一長方形之框架A311，內設有一大於第一基板S1面積之長方形鏤空區間A312，該框架A311兩側長側邊分別各設有兩兩對向設置的複數個保持機構A313，每一個保持機構A313設有包括可受驅動上下開合之二夾爪A3131，並在二夾爪A3131前端相向之內側分別各設有保護塊A3132，其為軟撓性材質所構成，該二夾爪A3131並受一驅動件A314驅動使其可在Y軸向作前進或後退；該翻轉框A31以一Y軸向旋轉軸A315水平樞設在一Z軸向立置的支撐座A32上，支撐座A32與翻轉框A31的旋轉軸A315保持垂直關係，翻轉框A31的框體以旋轉軸A315的中心軸線為中心左右兩側對稱，並可受一驅動件A33驅動而使旋轉軸A315連動翻轉框A31以Y軸為中心由水平擺設狀態往復作一百八十度翻轉，支撐座A32立設於一軌座A34上，並受一驅動件A35驅動而使支撐座A32連動翻轉框A31可於X軸向位移。

請參閱圖 7〜8，該第一軌道A1上第一移座A13所設之第一載台A12台面呈矩形並於周緣凸設有呈長方形之一框緣A121，其配合基板S之大小並設有一支撐肋A122在該框緣A121之中間處，框緣A121上間隔設有複數個負壓吸嘴A123分設在框緣A121之兩側長側邊上，該負壓吸嘴A123略凸出於框緣A121之上表面，框緣A121兩側長側邊上分別各設有相隔間距之數個內凹狀鏤設的夾取區間A124；該第一移座A13設於第一載台A12下方並支撐第一載台A12，第一移座A13上設有一驅動件A131使第一載台A12能被驅動相對第一移座A13升起，該第一移座A13受驅動件A14驅動一螺桿A15，使該第一移座A13在第一軌道A1上作X軸向移動；該第二載台A22、第二移座A23與第一載台A12、第一移座A13具有相同之構造，其同理可推，茲不贅述；

請參閱圖9〜10，該第一〜五載料機構G1〜G5構造相同，以第一載料機構G1為例，餘同理可推，包括：一載料架G11，包括一設有一鏤空區間G111之置放台G112，以及位於該置放台G112上之複數呈矩形圍設於該鏤空區間G111外並呈立設狀配置之限位柱G113所構成，各限位柱G113間所圍設的矩形內部區間可供置放疊置附著有間隔件S11的第一基板S1(或分離後之間隔件S11)；其中，圍設呈矩形的各限位柱G113中包括位於一側的活動限位柱G1131及位於其他三側的固定限位柱G1132，該活動限位柱G1131位於一可在滑軌G114上位移的滑座G115上，滑座G115上設有定位件G116可將滑座G115固抵定位，藉滑座G115可滑移使該側之活動限位柱G1131被連動外移或內移，而提供適應不同段規格的第一基板S1(或分離後之間隔件S11)尺寸的能力；在一對鏤空區間G111兩側的固定限位柱G1132上方設有感應元件G117，可藉發射訊號及接收訊號來感應物料是否取用畢；一座架G12，設於置放台G112下方，包括一鄰近置放台G112之座板G121及位於座板G121下方並與座板G121相隔間距的固定座G122，二者間以複數呈矩形圍設配置之立設狀支撐桿G123組構形成，固定座G122下方設有一驅動件G124，其驅動位於各支撐桿G123所圍設的內部區間中的一螺桿G125可作旋轉；座架G12一側的座板G121與固定座G122間設有一Z軸向的定位標規G126，定位標規G126上、下二定位處分別各設有一感應器G127；一昇降架G13，包括一位於該座架G12之座板G121上方之頂抵座G131，以及位於座架G12之座板G121下方且位於各支撐桿G123所圍設之內部區間中的底座G132，頂抵座G131與底座G132間以複數呈矩形圍設配置的立設狀支撐桿G133樞經座架G12之座板G121而組構形成；頂抵座G131並位於該載料架G11之置放台G112上鏤空區間G111中；底座G132一側設有一感應片G134隨底座G132位移而連動，並可在到定位時受座架G12一側定位標規G126上、下二感應器G127所感應；該螺桿G125螺經昇降架G13之底座G132，並以一端樞設於昇降架G13之頂抵座G131，另一端樞設於座架G12之固定座G122，螺桿G125被驅動件G124驅動旋轉時，可驅動昇降架G13以頂抵座G131上下位移於載料架G11中置放台G112之鏤空區間G111中，以頂推各限位柱G113間所圍設的內部區間中附著有間隔件S11的第一基板S1(或分離後之間隔件S11)。

請參閱圖3、11，用以將供料區C中的基板S1移入第一搬送裝置A中被搬送的第一移載機構E，與自第一搬送裝置A中移出至收料區D收集的第二移載機構F，二者機構相同，僅在設置位置上呈相向對應；茲以第一移載機構E之構造作說明：包括：設有相隔間距的第一、二取放臂E1、E2，該第一、二取放臂E1、E2設於一滑座E3上，該滑座E3受一驅動件E4驅動而在一座架E5的一軌座E6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂E1、E2於Y軸向同步進行移動，第一、二取放臂E1、E2下端分別各設有一矩形且受一驅動件E12驅動而可作Z軸向高度調整之吸座E11，該吸座E11下方設有圍設於矩形周緣的複數個吸嘴E111，其中，第一取放臂E1用以取放第一基板S1，其吸嘴E111呈圓形吸附面，第二取放臂E2用以取放間隔件S11，其吸嘴E111呈細長狀吸附面。

請參閱圖1、11〜13，該第二搬送裝置B由一固定式的第一軌架B1、一固定式的第二軌架B2及位於二者間的一活動軌架B3所組成；該二固定式的第一軌架B1、第二軌架B2在X軸向對應設置並於其間裕留一銜接區間B4，活動軌架B3設於一呈Y軸向位於該銜接區間B4的軌座B31之滑座B32上，並藉驅動件(圖未示)之驅動使活動軌架B3可以在軌座B31上由Y軸向移入該銜接區間B4中接續在二固定式的第一軌架B1、第二軌架B2之間，或自該銜接區間B4移出停置於二固定式的第一軌架B1、第二軌架B2旁側；第一、二軌架B1、B2及活動軌架B3均設有相隔間距的二平行側架B5，並於兩側架B5內側各設有一流道皮帶B6受一皮帶驅動件B7驅動；第一、二軌架B1、B2所形成的二段直線流路及活動軌架B3上的流道皮帶B6所形成的可移動對接的直線流路串接組成所述第二傳送流路，使盛載第二基板S2之載盤O可於該第二傳送流路被輸送。

請參閱圖1、14、15，本發明實施例在進行第一基板S1檢查時，採用第一搬送裝置A所提供的第一傳送流路並配合如圖所示之各機構來執行，包括：一置料步驟，(請同時參閱圖16)，第一移載機構E中滑座E3受驅動而在座架E5的軌座E6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂E1、E2於Y軸向同步進行移動至遠離供料區C兩個載料機構G的旁側，以使操作人員可將間隔件S11、待檢查第一基板S1交互疊置的物料置入供料區C的第一載料機構G1中；同時將整疊的間隔件S11置於收料區D中的第五載料機構G5中；一入料步驟(請同時參閱圖17)，第一移載機構E中滑座E3受驅動而在座架E5的軌座E6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂E1、E2於Y軸向同步進行移動至供料區C的第一載料機構G1、第二載料機構G2上方，使第一、二取放臂E1、E2的吸座E11同步下移，並以第一取放臂E1的吸座E11吸附第一載料機構G1中的第一基板S1，然後第一、二取放臂E1、E2的吸座E11同步上移，第一移載機構E中滑座E3受驅動而在座架E5的軌座E6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂E1、E2於Y軸向同步進行移動至分別位於第一搬送裝置A中第一軌道A1的第一載台A12上方及第一載料機構G1上方(請同時參閱圖18)，然後第一、二取放臂E1、E2的吸座E11同步下移，使第一取放臂E1將第一基板S1置於第一搬送裝置A中第一軌道A1的第一載台A12上被吸附，及使第二取放臂E2對下方第一載料機構G1中原第一基板S1下方的間隔件S11進行吸附；然後第一、二取放臂E1、E2的吸座E11同步上移，使已置於第一載台A12上的第一基板S1由滑軌A11所提供的第一傳送流路以X軸向進行搬送，而第一移載機構E中滑座E3則受驅動而在座架E5的軌座E6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂E1、E2於Y軸向同步進行移動至供料區C的第一載料機構G1、第二載料機構G2上方(請同時參閱圖17)，並在下一次進行入料步驟時，第一取放臂E1繼續進行對第一載料機構G1進行吸附提取，而第二取放臂E2則將前述吸附的間隔件S11置入第二載料機構G2中存放；一正面檢查步驟，第一載台A12盛載第一基板S1在抵達第一檢查機構L下方時被定位，第一載台A12被驅動連動其上的第一基板S1上移，使第一基板S1正面被第一取像鏡頭L4進行檢查取像，完成後第一載台A12被驅動連動其上的第一基板S1下移回位並續被傳送至下一定位；一翻轉搬送步驟(請同時參閱圖6)，翻轉機構A3的翻轉框A31被驅動位移至第一載台A12上方呈水平狀態，第一載台A12被驅動連動其上的第一基板S1上移，使第一基板S1移入翻轉框A31的鏤空區間A312被框套於各保持機構A313間，並使兩側各保持機構A313被驅動前移以設有保護塊A3132的二夾爪A3131夾持第一基板S1周緣，並在夾持後使翻轉機構A3的翻轉框A31進行翻轉一百八十度令第一基板S1反面朝上，並被驅動位移至第二軌道A2上的第二載台A22上方水平狀態，第二載台A22被驅動上移並吸附翻轉框A31中第一基板S1後，各保持機構A313的二夾爪A3131鬆放並被驅動後移，然後第二載台A22吸附第一基板S1下移並移並在第二軌道A2上移至下一定位；一反面檢查步驟，第二載台A22盛載第一基板S1在抵達第二檢查機構M下方時被定位，第二載台A22被驅動連動其上的第一基板S1上移，使第一基板S1反面被第二取像鏡頭M3進行檢查取像，完成後第二載台A22被驅動連動其上的第一基板S1下移回位並續被傳送至下一定位；一提取收集步驟，第二移載機構F自第一搬送裝置A中第二軌道A2的第二載台A22提取並移出已完成反面檢查的第一基板S1至收料區D中收集；第二移載機構F的操作係使滑座F3受驅動件F4驅動而在座架F5的軌座F6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂F1、F2於Y軸向同步進行移動至分別位於第一搬送裝置A中第二軌道A2的第二載台A22上方及第三載料機構G3上方(請同時參閱圖19)，然後第一、二取放臂F1、F2的吸座F11同步下移，使第一取放臂F1將第一載台A12上的第一基板S1吸附，然後第一、二取放臂F1、F2的吸座F11同步上移，當該第一基板S1為通過檢查的良品時，滑座F3受驅動而在座架F5的軌座F6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂F1、F2於Y軸向同步進行移動至分別位於第三載料機構G3、第四載料機構G4上方(請同時參閱圖20)，使第一、二取放臂F1、F2的吸座F11同步下移，第一取放臂F1將下方吸附的第一基板S1置於第三載料機構G3中，然後滑座F3受驅動而在座架F5的軌座F6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂F1、F2於Y軸向同步進行移動至分別位於第四載料機構G5、第五載料機構G4上方(請同時參閱圖21)，使第一、二取放臂F1、F2的吸座E11同步下移，令第二取放臂F2的吸座F11吸附第五載料機構G5中間隔件S11；若前述第一取放臂F1的吸座F11所吸附者為被檢出為不良品的第一基板S1，則第一、二取放臂F1、F2的吸座E11將越過前述對應第三載料機構G3、第四載料機構G4上方的程序，直接位移至第四載料機構G5、第五載料機構G4上方，並由第一取放臂F1的吸座F11置入下方對應的第四載料機構G4；然後使第一、二取放臂F1、F2的吸座F11同步上移，而在下一提取收集步驟中滑座F3受驅動而在座架F5的軌座F6上進行Y軸向移動，並連動第一、二取放臂F1、F2於Y軸向同步進行移動至分別位於第一搬送裝置A中第二軌道A2的第二載台A22上方及第三載料機構G3上方(請同時參閱圖19)時，第二取放臂F2則將前述吸附的間隔件S11置入第三載料機構G3中已置放的第一基板S1上方。

請參閱圖2、22、23，本發明實施例在進行以載盤O盛載第二基板S2的檢查時，採用第二搬送裝置B所提供的第二傳送流路並配合如圖所示之各機構來執行，包括：一入料步驟，盛載第二基板S2的載盤O由供料裝置H上的料盒H2中被移入第二搬送裝置B之第一軌架B1二平行側架B5內側所設的流道皮帶B6上，並在流道皮帶B6所提供的第二傳送流路上被傳送；一正面檢查步驟，盛載第二基板S2的載盤O在抵達第一檢查機構L下方時被定位，配合第二搬送裝置A中第一軌道A1上的第一載台A12也被驅動位移至載盤O下方定位，使第一載台A12被驅動上移以吸附並連動載盤O上移，使第二基板S2正面被第一取像鏡頭L4進行檢查取像，完成後第一載台A12被驅動連動其上的第二基板S2下移回位，使盛載第二基板S2的載盤O落置於第二搬送裝置B之流道皮帶B6上並續被傳送；一輸出收集步驟，完成正面檢查步驟的盛載第二基板S2的載盤O不論檢查結果為良品或不良品，機台之電腦系統將僅記錄該特定載盤O上第二基板S2的檢查結果，而使盛載第二基板S2的載盤O在傳送中通過已移入銜接區間B4上方與第一軌架B1、第二軌架B2連貫接設的活動軌架B3，並直接再經第二軌架B2被傳送至收料裝置K的料盒K2中以層層疊置方式被收集。

本發明實施例基板檢查之搬送方法及裝置，由於在該供料區C設置第一載料機構G1、第二載料機構G2，使第一基板S1與一間隔件S11呈交互疊置於第一載料機構G1中，並以第一移載機構E經由一往復移載流路，自該供料區C的第一載料機構G1提取第一基板S1置入第一傳送流路中，並將間隔件S11置於第二載料機構G2中，另在該收料區設置第三載料機構使G3、第四載料機構G4、第五載料機構G5，使第五載料機構G5中置放間隔件S11，並使第二移載機構F經由一往復移載流路，自該第一傳送流路提取經檢查為良品的第一基板S1置入收料區D的第三載料機構G3中，並自第五載料機構G5中提取間隔件S11置入該第三載料機構G3中與第一基板S1呈交互疊置，自該第一傳送流路提取經檢查為不良品的第一基板S1則置入收料區D的第四載料機構G4中，故在進行表面檢查時，可兼顧第一基板S1與間隔件S11之取放，使第一基板S1在被搬送檢查時避免被刮傷，在機構上可以有效而妥善規劃基板的第一基板S1與間隔件S11之搬送；另，在同一機台台面T上以第一搬送裝置A與第二搬送裝置B採共構方式形成二段X軸向直線位移的平行第一併匯流路AB1、第二併匯流路AB2，使不同的第一基板S1、第二基板S2分別被以不同的第一傳送路、第二傳送流進行傳送檢查時，皆可共用相同的第一檢查機構L，且被以不同的收料區D、料盒K收集，使機台的效能大幅提昇；且單一第一搬送裝置A或第二搬送裝置B的搬送，藉由翻轉機構A3、可活動位移的活動軌架B3，使不論進行必需正、反面或僅作正面檢查的第一基板S1、第二基板S2皆可進行，即使單獨的使用其中之一的第一搬送裝置A或第二搬送裝置B進行搬送及檢查，都可以達到對基板檢查的功能。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

A‧‧‧第一搬送裝置
A1‧‧‧第一軌道
A11‧‧‧滑軌
A12‧‧‧第一載台
A121‧‧‧框緣
A122‧‧‧支撐肋
A123‧‧‧負壓吸嘴
A124‧‧‧夾取區間
A13‧‧‧第一移座
A131‧‧‧驅動件
A14‧‧‧驅動件
A15‧‧‧螺桿
A2‧‧‧第二軌道
A21‧‧‧滑軌
A22‧‧‧第二載台
A23‧‧‧第二移座
A24‧‧‧驅動件
A3‧‧‧翻轉機構
A31‧‧‧翻轉框
A311‧‧‧框架
A312‧‧‧鏤空區間
A313‧‧‧保持機構
A3131‧‧‧夾爪
A3132‧‧‧保護塊
A314‧‧‧驅動件
A315‧‧‧旋轉軸
A32‧‧‧支撐座
A33‧‧‧驅動件
A34‧‧‧軌座
A35‧‧‧驅動件
A4‧‧‧間距
B‧‧‧第二搬送裝置
B1‧‧‧第一軌架
B2‧‧‧第二軌架
B3‧‧‧活動軌架
B31‧‧‧軌座
B32‧‧‧滑座
B4‧‧‧銜接區間
B5‧‧‧側架
B6‧‧‧流道皮帶
B7‧‧‧皮帶驅動件
AB1‧‧‧第一併匯流路
AB2‧‧‧第二併匯流路
C‧‧‧供料區
D‧‧‧收料區
E‧‧‧第一移載機構
E1‧‧‧第一取放臂
E11‧‧‧吸座
E12‧‧‧驅動件
E2‧‧‧第二取放臂
E3‧‧‧滑座
E4‧‧‧驅動件
E5‧‧‧座架
E6‧‧‧軌座
F‧‧‧第二移載機構
F1‧‧‧第一取放臂
F11‧‧‧吸座
F2‧‧‧第二取放臂
G1‧‧‧第一載料機構
G11‧‧‧載料架
G111‧‧‧鏤空區間
G112‧‧‧置放台
G113‧‧‧限位柱
G1131‧‧‧活動限位柱
G1132‧‧‧固定限位柱
G114‧‧‧滑軌
G115‧‧‧滑座
G116‧‧‧定位件
G117‧‧‧感應元件
G12‧‧‧座架
G121‧‧‧座板
G122‧‧‧固定座
G123‧‧‧支撐桿
G124‧‧‧驅動件
G125‧‧‧螺桿
G126‧‧‧定位標規
G127‧‧‧感應器
G13‧‧‧昇降架
G131‧‧‧頂抵座
G132‧‧‧底座
G133‧‧‧支撐桿
G134‧‧‧感應片
G2‧‧‧第二載料機構
G3‧‧‧第三載料機構
G4‧‧‧第四載料機構
G5‧‧‧第五載料機構
H‧‧‧供料裝置
H1‧‧‧軌座
H2‧‧‧料盒
K‧‧‧收料裝置
K1‧‧‧軌座
K2‧‧‧料盒
L‧‧‧第一檢查機構
L1‧‧‧座架
L2‧‧‧軌座
L3‧‧‧固定座
L4‧‧‧第一取像鏡頭
L5‧‧‧驅動件
L6‧‧‧驅動件
M‧‧‧第二檢查機構
M1‧‧‧座架
M2‧‧‧固定座
M3‧‧‧第二取像鏡頭
M4‧‧‧驅動件
O‧‧‧載盤
S1‧‧‧第一基板
S2‧‧‧第二基板
S11‧‧‧間隔件
T‧‧‧機台台面

圖1係本發明實施例中第一基板與不同間隔件配置之立體示意圖。圖2係本發明實施例中第二基板盛載於載盤之立體示意圖。圖3係本發明實施例中各機構配置在一機台台面上之立體示意圖。圖4係本發明實施例中各機構配置在一機台台面上之俯視示意圖。圖5係本發明實施例中第一搬送裝置之機構立體示意圖。圖6係本發明實施例第一搬送裝置中翻轉框之立體示意圖。。圖7係本發明實施例第一搬送裝置中第一載台之立體示意圖。圖8係本發明實施例第一搬送裝置中第一載台之側面示意圖。圖9係本發明實施例中用以裝載第一基板之載料機構立體示意圖。圖10係本發明實施例中用以裝載第一基板之載料機構仰視之立體示意圖。圖11係本發明實施例中移載機構之立體示意圖。圖12係本發明實施例中第二搬送裝置之立體示意圖。圖13係本發明實施例第二搬送裝置中活動軌架銜接於第一軌架與第二軌架間之立體示意圖。圖14係本發明實施例中採用第一搬送裝置提供之第一傳送流路進行搬送時所配合的相關機構之立體示意圖。圖15係本發明實施例中採用第一搬送裝置提供之第一傳送流路進行搬送時所配合的相關機構之俯視示意圖。圖16係本發明實施例中移載機構於供料區中各載料機構間搬送之示意圖(一)。圖17係本發明實施例中移載機構於供料區中各載料機構間搬送之示意圖(二)。圖18係本發明實施例中移載機構於供料區中各載料機構間搬送之示意圖(三)。圖19係本發明實施例中移載機構於收料區中各載料機構間搬送之示意圖(一)。圖20係本發明實施例中移載機構於收料區中各載料機構間搬送之示意圖(二)。圖21係本發明實施例中移載機構於收料區中各載料機構間搬送之示意圖(三)。圖22係本發明實施例中採用第二搬送裝置提供之第二傳送流路進行搬送時所配合的相關機構之立體示意圖。圖23係本發明實施例中採用第二搬送裝置提供之第二傳送流路進行搬送時所配合的相關機構之俯視示意圖。

A‧‧‧第一搬送裝置

A1‧‧‧第一軌道

A11‧‧‧滑軌

A2‧‧‧第二軌道

A21‧‧‧滑軌

A22‧‧‧第二載台

A312‧‧‧鏤空區間

A313‧‧‧保持機構

C‧‧‧供料區

D‧‧‧收料區

L4‧‧‧第一取像鏡頭

M3‧‧‧第二取像鏡頭

Claims

一種基板檢查之搬送方法，包括：提供一第一搬送裝置以形成一輸送第一基板的第一傳送流路；提供一供料區，並在該供料區設置第一載料機構、第二載料機構，使一第一基板與一間隔件呈交互疊置於第一載料機構中；提供一第一移載機構經由一往復移載流路，自該供料區的第一載料機構提取第一基板置入第一傳送流路中，並將間隔件置於第二載料機構中；在該第一傳送流路經過的路徑上設一第一檢查機構，其以一第一取像鏡頭對自第一傳送流路移經的第一基板進行檢查。
一種基板檢查之搬送方法，包括：提供一第一搬送裝置以形成一輸送第一基板的第一傳送流路；提供一供料區，並在該供料區設置第一載料機構、第二載料機構，使一第一基板與一間隔件呈交互疊置於第一載料機構中；提供一第一移載機構經由一往復移載流路，自該供料區的第一載料機構提取第一基板置入第一傳送流路中，並將間隔件置於第二載料機構中；提供一第二搬送裝置以形成一輸送第二基板的第二傳送流路；使第一傳送流路、第二傳送流路在同一機台上共構並在同一軸向上形成一平行的第一併匯流路，在該第一併匯流路經過的路徑上設一第一檢查機構，其以一第一取像鏡頭對自第一傳送流路移經的第一基板進行檢查。
如申請專利範圍第1或2項所述基板檢查之搬送方法，其中，該完成檢查的第一基板被送至一收料區，並在該收料區設置第三載料機構、第四載料機構、第五載料機構，使第五載料機構中置放間隔件；提供一第二移載機構經由一往復移載流路，自該第一傳送流路提取經檢查為良品的第一基板置入收料區的第三載料機構中，並自第五載料機構中提取間隔件置入該第三載料機構中與第一基板呈交互疊置；自該第一傳送流路提取經檢查為不良品的第一基板則置入收料區的第四載料機構中。
如申請專利範圍第1或2項所述基板檢查之搬送方法，其中，該第一傳送流路由二段直線流路與一翻轉流路共同以一直線排列組成。
如申請專利範圍第1或2項所述基板檢查之搬送方法，其中，該第一傳送流路經過的路徑上設有第二檢查機構，其以一第二取像鏡頭對自第一傳送流路移經的第一基板進行檢查。
一種基板檢查之搬送裝置，包括：一第一搬送裝置，位於一機台台面上；一供料區，位於機台台面上第一搬送裝置一側；一收料區，位於機台台面另一側的第一搬送裝置之與供料區同側；該第一搬送裝置提供一第一傳送流路以搬送一第一基板由供料區到收料區；一第一移載機構，自該供料區中將第一基板移入第一搬送裝置中被搬送；一第二移載機構，自第一搬送裝置中將第一基板移出至收料區收集；一第一檢查機構，設於該機台台面上，設有一第一取像鏡頭對第一搬送裝置所搬送的第一基板進行檢查；該供料區設有第一載料機構、第二載料機構，第一載料機構中設有呈交互疊置的第一基板與間隔件。
一基板檢查之搬送裝置，包括，一第一搬送裝置，該第一搬送裝置由二滑軌相隔間距組成的一第一軌道、二滑軌相隔間距組成的一第二軌道及一翻轉機構所形成；該供料區設有第一載料機構、第二載料機構，第一載料機構中設有呈交互疊置的第一基板與間隔件；一第一移載機構，自該供料區中將第一基板移入第一搬送裝置中被搬送；一第二移載機構，自第一搬送裝置中將第一基板移出至收料區收集；一第二搬送裝置，其由一固定式的第一軌架、一固定式的第二軌架及位於二者間的一活動軌架所組成；該第二搬送裝置提供一第二傳送流路以搬送一第二基板；第一搬送裝置與第二搬送裝置採下、上分設在同一軸向上，並形成直線位移的第一併匯流路；在第一併匯流路經過的路徑上方設有第一檢查機構，該第一檢查機構，設有一第一取像鏡頭對第一併匯流路所搬送的第一基板進行檢查。
如申請專利範圍第6或7項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該收料區設有第三載料機構、第四載料機構、第五載料機構，其中，該第三載料機構供放置經檢查為良品的第一基板，該第四載料機構供放置經檢查為不良品的第一基板，該第五載料機構中置放間隔件。
如申請專利範圍第8項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該第一〜五載料機構其中之一，包括：一載料架，包括一設有一鏤空區間之置放台，以及位於該置放台上之複數呈矩形圍設於該鏤空區間外並呈立設狀配置之限位柱所構成；一座架，設於置放台下方，包括一鄰近置放台之座板及位於座板下方並與座板相隔間距的固定座，二者間以複數之立設狀支撐桿組構形成；一昇降架，包括一頂抵座以及一底座，頂抵座與底座間以複數立設狀支撐桿而組構形成；頂抵座並位於該載料架之置放台上鏤空區間中；昇降架被驅動可以頂抵座上下位移於載料架中置放台之鏤空區間中。
如申請專利範圍第6或7項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該第一移載機構包括：一滑座，該滑座受一驅動件驅動而在一座架的一軌座上進行移動，並連動設有相隔間距的第一、二取放臂同步進行移動，第一、二取放臂下端分別各設有一受一驅動件驅動而可作高度調整之吸座，該吸座設有複數個吸嘴。
如申請專利範圍第6項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該第一搬送裝置由二滑軌相隔間距組成的一第一軌道、二滑軌相隔間距組成的一第二軌道及一翻轉機構所形成。
如申請專利範圍第7或11項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該第一軌道上設有一第一載台可在其上受驅動作滑動位移。
如申請專利範圍第7或11項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該第二軌道上設有一第二載台可在其上受驅動作滑動位移。
如申請專利範圍第7或11項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該翻轉機構設有一翻轉框，該翻轉框設有一框架，內設有一大於第一基板面積之鏤空區間，該框架設有複數個保持機構。
如申請專利範圍第14項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該每一個保持機構設有包括可受驅動上下開合之二夾爪，該二夾爪並受一驅動件驅動使其可作前進或後退。
如申請專利範圍第6或7項所述基板檢查之搬送裝置，其中，該機台台面上設有一第二檢查機構，其設有一第二取像鏡頭對第一搬送裝置所搬送的第一基板進行檢查。
一種基板檢查裝置，包括：使用如申請專利範圍第1至5項所述基板檢查方法之裝置。