JP2004342933A - ウエハハンド - Google Patents
ウエハハンド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004342933A JP2004342933A JP2003139352A JP2003139352A JP2004342933A JP 2004342933 A JP2004342933 A JP 2004342933A JP 2003139352 A JP2003139352 A JP 2003139352A JP 2003139352 A JP2003139352 A JP 2003139352A JP 2004342933 A JP2004342933 A JP 2004342933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- base
- wafer hand
- mounting plate
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】搬送装置の先端部に取り付けられたウエハハンドの位置調整を簡単に行うことが出来る装置を安価に提供する。
【解決手段】ウエハハンドのベース部に複数本の調整ボルト３を配設した取付プレート２を取り付け、取付プレート２に配設された調整ボルト３は先端部がベースに当接するように取り付け、調整ボルト３の取付プレート２からの突出量を調整することにより、取付プレート２に対するベースの取り付け角度が調整可能な装置構成とした。
【選択図】図１
【解決手段】ウエハハンドのベース部に複数本の調整ボルト３を配設した取付プレート２を取り付け、取付プレート２に配設された調整ボルト３は先端部がベースに当接するように取り付け、調整ボルト３の取付プレート２からの突出量を調整することにより、取付プレート２に対するベースの取り付け角度が調整可能な装置構成とした。
【選択図】図１
Description
【発明の属する分野】
本発明は、搬送装置に取り付けられ、複数のウエハが収納されたウエハカセット内よりウエハの取り出し又は収納を行う為に使用されるウエハハンドに関するものである。
【従来の技術】
ウエハ搬送に使用される搬送装置には、旋回動作を行う複数アームの組み合わせによって構成される図３に示すような搬送用ロボットが多く使用されている。
ウエハハンドは、アームの旋回動作に連動して旋回を行う旋回軸の端面部に取り付け使用されるが、従来方法の場合、アーム先端部に直接ウエハハンドを固定する方式であるため、ウエハハンドがウエハカセット内に収納されているウエハに対して傾いていると、ウエハハンドのフォーク部がウエハカセット内に侵入する際にウエハに干渉し、ウエハを破損させていた。
このため、アーム先端部にウエハハンドを固定する際、アーム先端の取り付け部とウエハハンドの間にライナを入れる等の処置を行い、ウエハハンドがウエハカセット内に収納されたウエハに干渉しないようにする為の位置調整を行わなければならず、ウエハハンドの固定や再調整を行う際に非常に多くの工数を必要ととするため問題となっていた。
上記の問題を解消する方法として特開平９−２１３７６８号公報の様な方法が公知技術として知られいるが、把持装置の装置構成が複雑になることにより設備費が増加し問題となっていた。
【特許文献１】特開平９−２１３７６８号公報
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、搬送装置の先端部に取り付けられたウエハハンドの位置調整を簡単に行うことが出来る装置を安価に提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記した課題を解決するための手段として、ウエハハンドのベースに複数本の調整ボルトを配設した取付プレートを取り付ける。該取付プレートに配設された調整ボルトは先端部がベースに当接するように取り付けられ、該調整ボルトの取付プレートからの突出量を調整することにより、取付プレートに対するベースの取り付け角度の調整を可能とした。
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図２に示すように本実施例は、フォーク６と可動爪を動作させる駆動源である流体圧シリンダ５が取り付けられたベース１と複数本の調整ボルト３を配設した取付プレート２より構成される。
ベース１上面にシリンダ５と取付プレート２が取り付けられており、該シリンダ５内には流体圧によって進退動作を行うピストンが収容されている。ピストンにはマグネットが取り付けられており、シリンダ５側面に形成したセンサー挿入溝１４に挿入されたセンサー１０によってピストンの位置検出が可能となっている。
流体圧によって進退動作を行うピストンロッド先端部には、ワーク押さえブロック７が固定され、該ワーク押さえブロック７には、ウエハを把持する為の受け皿９が配設されたセンターフォーク１３とサイドフォーク８に取り付けられている。
ベース１に取り付けられた取付プレート２には、搬送装置へ固定するための取付用の貫通穴１１と複数個のネジ穴が設けられ、該ネジ穴には複数本の調整ボルト３が先端部をベース１に当接させた状態で取り付けられる。
シリンダ５や取付プレート２が取り付けられるベース１の下面にはフォーク６が固定され、該フォーク６の先端部には受け皿９が設けられている。
次に角度調整機構について説明を行う。
角度調整機構はベース１に取り付けられた取付プレート２と、該取付プレート２に設けられた複数のネジ穴に取り付けられた調整ボルト３によって構成される。調整ボルト３は取付プレート２に進退可能に取り付けられており、進退動作を行うことによって取付プレート２からの突出量の調整が可能となっており、調整ボルト３の突出量を調整することによりベース１と取付プレート２間の取付角度を任意に調整することが出来る。
本実施例は取付プレートに調整ボルトを配置した装置構成のものについて記したが、本発明は上記装置構成に限定されるもので無く、ベースに調整ボルトを配置した場合においても同様の効果を得る事が出来る。
【発明の効果】
以上説明したようにウエハハンドに位置調整機構を設けたことにより、一度搬送装置から取り外さないと調整する事が出来ない従来方式と異なり、搬送装置に取り付けたままの状態で位置調整する事が可能となり、搬送装置に固定する時や位置調整を再度行う際に、必要とする工数を大幅に削減する事が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の装置の平面図
【図２】同装置の側面図
【図３】搬送用ロボットに取り付けた状態の平面図
【図４】搬送用ロボットに取り付けた状態の側面図
【符号の説明】
１ ベース
２ 取付プレート
３ 調整ボルト
４ 固定ボルト
５ シリンダ
６ フォーク
７ ワーク押さえブロック
８ サイドフォーク
９ 受け皿
１０ センサー
１１ 貫通穴
１２ 搬送用ロボット
１３ センターフォーク
１４ センサー挿入溝
本発明は、搬送装置に取り付けられ、複数のウエハが収納されたウエハカセット内よりウエハの取り出し又は収納を行う為に使用されるウエハハンドに関するものである。
【従来の技術】
ウエハ搬送に使用される搬送装置には、旋回動作を行う複数アームの組み合わせによって構成される図３に示すような搬送用ロボットが多く使用されている。
ウエハハンドは、アームの旋回動作に連動して旋回を行う旋回軸の端面部に取り付け使用されるが、従来方法の場合、アーム先端部に直接ウエハハンドを固定する方式であるため、ウエハハンドがウエハカセット内に収納されているウエハに対して傾いていると、ウエハハンドのフォーク部がウエハカセット内に侵入する際にウエハに干渉し、ウエハを破損させていた。
このため、アーム先端部にウエハハンドを固定する際、アーム先端の取り付け部とウエハハンドの間にライナを入れる等の処置を行い、ウエハハンドがウエハカセット内に収納されたウエハに干渉しないようにする為の位置調整を行わなければならず、ウエハハンドの固定や再調整を行う際に非常に多くの工数を必要ととするため問題となっていた。
上記の問題を解消する方法として特開平９−２１３７６８号公報の様な方法が公知技術として知られいるが、把持装置の装置構成が複雑になることにより設備費が増加し問題となっていた。
【特許文献１】特開平９−２１３７６８号公報
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、搬送装置の先端部に取り付けられたウエハハンドの位置調整を簡単に行うことが出来る装置を安価に提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記した課題を解決するための手段として、ウエハハンドのベースに複数本の調整ボルトを配設した取付プレートを取り付ける。該取付プレートに配設された調整ボルトは先端部がベースに当接するように取り付けられ、該調整ボルトの取付プレートからの突出量を調整することにより、取付プレートに対するベースの取り付け角度の調整を可能とした。
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図２に示すように本実施例は、フォーク６と可動爪を動作させる駆動源である流体圧シリンダ５が取り付けられたベース１と複数本の調整ボルト３を配設した取付プレート２より構成される。
ベース１上面にシリンダ５と取付プレート２が取り付けられており、該シリンダ５内には流体圧によって進退動作を行うピストンが収容されている。ピストンにはマグネットが取り付けられており、シリンダ５側面に形成したセンサー挿入溝１４に挿入されたセンサー１０によってピストンの位置検出が可能となっている。
流体圧によって進退動作を行うピストンロッド先端部には、ワーク押さえブロック７が固定され、該ワーク押さえブロック７には、ウエハを把持する為の受け皿９が配設されたセンターフォーク１３とサイドフォーク８に取り付けられている。
ベース１に取り付けられた取付プレート２には、搬送装置へ固定するための取付用の貫通穴１１と複数個のネジ穴が設けられ、該ネジ穴には複数本の調整ボルト３が先端部をベース１に当接させた状態で取り付けられる。
シリンダ５や取付プレート２が取り付けられるベース１の下面にはフォーク６が固定され、該フォーク６の先端部には受け皿９が設けられている。
次に角度調整機構について説明を行う。
角度調整機構はベース１に取り付けられた取付プレート２と、該取付プレート２に設けられた複数のネジ穴に取り付けられた調整ボルト３によって構成される。調整ボルト３は取付プレート２に進退可能に取り付けられており、進退動作を行うことによって取付プレート２からの突出量の調整が可能となっており、調整ボルト３の突出量を調整することによりベース１と取付プレート２間の取付角度を任意に調整することが出来る。
本実施例は取付プレートに調整ボルトを配置した装置構成のものについて記したが、本発明は上記装置構成に限定されるもので無く、ベースに調整ボルトを配置した場合においても同様の効果を得る事が出来る。
【発明の効果】
以上説明したようにウエハハンドに位置調整機構を設けたことにより、一度搬送装置から取り外さないと調整する事が出来ない従来方式と異なり、搬送装置に取り付けたままの状態で位置調整する事が可能となり、搬送装置に固定する時や位置調整を再度行う際に、必要とする工数を大幅に削減する事が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の装置の平面図
【図２】同装置の側面図
【図３】搬送用ロボットに取り付けた状態の平面図
【図４】搬送用ロボットに取り付けた状態の側面図
【符号の説明】
１ ベース
２ 取付プレート
３ 調整ボルト
４ 固定ボルト
５ シリンダ
６ フォーク
７ ワーク押さえブロック
８ サイドフォーク
９ 受け皿
１０ センサー
１１ 貫通穴
１２ 搬送用ロボット
１３ センターフォーク
１４ センサー挿入溝
Claims (1)
- 搬送装置に取り付けられ、ウエハカセット内に収納されたウエハをカセットより搬出又は搬入をするのに使用されるウエハハンドにおいて、ウエハハンドのベース又は取付プレートのいずれか一方に、進退動作可能に取り付けられた複数本の調整ボルトによって、ウエハハンドの取り付け角度の調整を可能とした事を特長とするウエハハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003139352A JP2004342933A (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | ウエハハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003139352A JP2004342933A (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | ウエハハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004342933A true JP2004342933A (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=33528469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003139352A Pending JP2004342933A (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | ウエハハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004342933A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007208235A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板支持体 |
| CN106346458A (zh) * | 2015-07-13 | 2017-01-25 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
-
2003
- 2003-05-16 JP JP2003139352A patent/JP2004342933A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007208235A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板支持体 |
| TWI397495B (zh) * | 2006-01-06 | 2013-06-01 | Tokyo Electron Ltd | A substrate transfer device and a substrate support |
| CN106346458A (zh) * | 2015-07-13 | 2017-01-25 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| CN106346458B (zh) * | 2015-07-13 | 2021-05-28 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI758477B (zh) | 工件夾持裝置 | |
| EP1344713A3 (en) | Clamping locator | |
| EP1098167A3 (en) | Jig for use in measuring mounting accuracy of mounting device and method of measuring mounting accuracy of mounting device | |
| JP2009241227A (ja) | ワーク取付システムおよびワーク取付方法 | |
| US20150190929A1 (en) | Grasping method by grasping apparatus | |
| JP2007253249A (ja) | 吸着装置及びこの吸着装置を用いた吸着方法 | |
| TW200936895A (en) | Piston position detecting device of fluid pressure cylinder | |
| JP2010179420A (ja) | 産業用ロボット | |
| JP2009125821A (ja) | クランプ装置 | |
| US8468908B2 (en) | Industrial robot | |
| JP2007185862A (ja) | スタンプ装置 | |
| JP2004342933A (ja) | ウエハハンド | |
| JP2007311382A (ja) | テープフィーダ | |
| JP2006210447A (ja) | 電子部品挟持装置 | |
| JP2009184051A (ja) | ピンクランプ装置とロボットアーム | |
| CN113458767A (zh) | 拧紧装置 | |
| JP2008087119A (ja) | 把持装置 | |
| JP5354342B2 (ja) | マーキングトルクレンチ | |
| JP2008021734A5 (ja) | ||
| JP2009196080A (ja) | ワン・フィンガー・グリッパー装置 | |
| JP3699632B2 (ja) | ワーク位置決め装置 | |
| JP2007118115A (ja) | ワーク把持装置 | |
| JP2010188442A (ja) | 締付装置 | |
| JPH0577118A (ja) | ボルトまたはナツト等の供給締付け方法およびその装置 | |
| JP7457122B2 (ja) | ロボットハンド及びコネクタ付きハーネスの把持方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060509 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060608 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080521 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080610 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081104 |