JP2011243954A - 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の基板支持装置は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部67に連結した部材に配設され、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62の端部に進入する第1の支持部材661と第2の支持部材662との相対的移動によって、上記第1の支持部材661と第2の支持部材662との間に上記第1基板搬送機構から搬送された上記基板5が、挟着されることによって支持されるとともに、上記基板反転部67によって反転された上記第1の支持部材661と第2の支持部材662との間に挟着支持された上記基板5が、解除され、上記第2基板搬送機構62の端部に載置されるように構成されている。
【選択図】図4
Description
では、基板に対して、一枚ずつ偏光フィルムを貼合するため、生産効率が低いという欠点がある。一方、他の方式として、偏光フィルムをコンベアーロールに供給し、連続的に基板に貼合する所謂 roll to panel方式が挙げられる。当該方法によれば、高い生産効率
にて貼合が可能となる。
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構とを備える基板搬送機構において、
上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構の端部に進入する第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に上記第1基板搬送機構から搬送された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第2基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えている
ものである。
上記第1発明において、
上記第1基板搬送機構の端部が、幅方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に上記第1および第2の支持部材を構成する第1および第2の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第2基板搬送機構の端部が、搬送方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に反転した上記第1および第2の支持部材を構成する上記第1および第2の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されている
ものである。
上記第2発明において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた第1および第2の櫛状部材が、一部を支点として一定角度範囲において揺動するように構成されている
ものである。
上記第3発明において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1および第2の櫛状部材が、揺動駆動機構によって揺動駆動されるように構成されている
ものである。
上記第4発明において、
上記揺動駆動機構は、上記第1の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1の櫛状部材を揺動駆動する第1の揺動駆動機構と、第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第2の櫛状部材を揺動駆動される第2の揺動駆動機構とから成る
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。
ものである。
上記第4発明において、
上記揺動駆動機構は、揺動駆動源と、該揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第1の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1の櫛状部材に伝達して揺動駆動する第1クラッチ手段と、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第2の櫛状部材に伝達して揺動駆動する第2クラッチ手段とから成る
ものである。
上記第2発明において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1および第2の櫛状部材が、上下方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成されている
ものである。
上記第7発明において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1および第2の櫛状部材が、直線的駆動機構によって駆動され、往復動するように構成されている
ものである。
上記第8発明において、
前記直線的駆動機構が、電気的駆動装置の駆動力によって、上記第1および第2の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成されている
ものである。
上記第8発明において、
前記直線的駆動機構が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記第1および第2の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成されている
ものである。
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に第1の偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、
上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に第2の偏光フィルムを貼合する第2貼合部と、
上記第1基板搬送機構にて搬送され第1の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部を備えた基板支持装置とを含む偏光フィルムの貼合装置において、
上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構の端部に進入する第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に上記第1基板搬送機構から搬送された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に挟着されることによって支持された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第2基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えている
ものである。
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に第1の偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、
上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に第2の偏光フィルムを貼合する第2貼合部と、
上記第1基板搬送機構にて搬送され第1の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第2基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を含む偏光フィルムの貼合装置において、
上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部に連結した部材に配設され、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構の端部に進入する第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に上記第1基板搬送機構から搬送された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に挟着されることによって支持された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第2基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えている
ものである。
上記第12発明において、
上記反転機構が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えている
ものである。
上記第13発明において、
上記反転軸の前記傾きが、45°である
ものである。
本発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記課題を解決するために、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、上記第1基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第2基板搬送機構に配置する反転機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第2貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置であって、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、第1基板搬送機構における長辺または短辺が搬送方向に沿った基板を吸着して反転させ、第2基板搬送機構において短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にする反転機構を備え、上記反転機構は、基板を吸着する吸着部と、吸着部に連結した基板反転部を備え、上記基板反転部は反転軸に沿って回転することにより基板を反転させるものであり、上記反転軸は、下記(1)の面内に位置すると共に、下記(2)の垂直な位置にあることを特徴としている。
(1)第1基板搬送機構における基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線を基準として45°の傾きを有する直線を含み、上記基板と垂直な面内
(2)第1基板搬送機構における基板に対して垂直な位置
上記の発明によれば、第1貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合し、反転機構における基板反転部の反転軸に沿った回転によって、基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。その後、第2貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合することができる。すなわち、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な1動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第1基板搬送機構と第2基板搬送機構とが基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、L字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる。
良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。
(1)第1基板搬送機構における基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線を基準として45°の傾きを有する直線を含み、上記基板と垂直な面内
(2)第1基板搬送機構における基板に対して垂直な位置
それゆえ、上記反転機構によって基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。これにより、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な1動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第1基板搬送機構と第2基板搬送機構とは基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、L字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れるという効果をも奏する。
まず、フィルム搬送機構50について説明する。フィルム搬送機構50は、偏光フィルム(偏光板)を巻出してニップロール6・6aおよび16・16aまで搬送し、不要となった剥離フィルムを巻き取る役割を果たす。一方、貼合装置60はフィルム搬送機構50によって巻出された偏光フィルムを基板(液晶パネル)5に対して貼合する役割を果たすものである。
るため、第1巻出部1の原反の残量が少なくなった場合、第2巻出部1aに備えられた原反を第1巻出部1の原反に連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することが可能である。本構成により、生産効率を高めることができる。なお、上記巻出部および巻取部はそれぞれ複数備えられていればよく、3つ以上備えられていてももちろんよい。
状態にて行うことが可能である。
貼合装置60はフィルム搬送機構50の上部に備えられている。これにより、製造システム100の省スペース化を図ることができる。図示しないが、貼合装置60にはコンベアーロールを備える基板搬送機構が設置されており、これにより基板5が搬送方向へ搬送される(図10にて後述する第1基板搬送機構61・第2基板搬送機構62が基板搬送機構に該当する)。
基板支持装置66は、図4ないし図6に示されるようにコンベアーロール612を備える上記第1基板搬送機構61のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部およびコンベアーロール622を備える上記第2基板搬送機構61のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、ガタを考慮しても干渉しないように進入して、反転機構65の基板反転部67の反転動作に応じて第1および第2の基板支持部661、662が介挿して配置されるように構成されている基板搬送機構における基板支持装置に関するものである。
ものである。
上記基板支持部材のその他の態様について、以下説明する。
基板支持部としての吸着部66は、基板5の表面に吸着する部材である。吸着部66により基板5の表面は吸着部66に保持される。吸着部66としては、公知の吸着部を用いることができ、例えば、空気吸引方式の吸着部を用いる事ができる。
基板支持部は、基板5を支持する部材であり、載置した基板を挟持可能である。また、基板支持部は基板5を吸着する吸着手段を好ましい形態として備えている。吸着手段としては、公知のものを用いることができ、例えば、空気吸引方式の吸着手段を用いることができる。基板支持部はパイプ状のアームおよび吸着手段から構成されており、吸着手段にて吸引された空気がアーム中を通過する構成となっているが、アームおよび吸着手段の形状は当該構成に限定されるものではない。
反転機構65は、短辺または長辺が搬送方向に沿った基板5を、長辺または短辺が搬送方向に沿った状態であり、反転された状態に配置を変更するものである。図9(a)〜(c)は反転機構65によって基板5を反転させる過程を示す斜視図である。
さらに、好ましい形態として、製造システム100は、制御部70、洗浄部71、貼りずれ検査装置72および貼合異物自動検査装置73および仕分け搬送装置74を備えている。貼りずれ検査装置72、貼合異物自動検査装置73および仕分け搬送装置74は、貼合後の基板5、すなわち、液晶表示装置に対して検査等の処理を行うものである。
1a 第2巻出部
2 第1巻取部
2a 第2巻取部
3 ハーフカッター
4 ナイフエッジ
5・5' 基板
5a 偏光フィルム
5b 剥離フィルム
6・6a ニップロール(第1貼合部)
7・7a 欠点フィルム巻取ローラー
11 第1巻出部
11a 第2巻出部
12 第1巻取部
12a 第2巻取部
13 ハーフカッター
14 ナイフエッジ
16・16a ニップロール(第2貼合部)
17・17a 欠点フィルム巻取ローラー
40 HEPAフィルター
41 グレーチング
50 フィルム搬送機構
51 第1フィルム搬送機構
52 第2フィルム搬送機構
60 貼合装置(偏光フィルムの貼合装置)
61 第1基板搬送機構
62 第2基板搬送機構
65 反転機構
66 基板支持装置
661、662 基板支持部
663 駆動機構
67 基板反転部
68 回転軸部
70 制御部
71 洗浄部
72 検査装置
73 貼合異物自動検査装置
74 搬送装置
100 製造システム(液晶表示装置の製造システム)
165 インターフェイス部
166 入力部
167 表示部
168 記憶部
662 搬送通路
D1 搬送方向
D2 搬送方向
M 反転軸
Claims (14)
- 長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構とを備える基板搬送機構において、
上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構の端部に進入する第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に上記第1基板搬送機構から搬送された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第2基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項1において、
上記第1基板搬送機構の端部が、幅方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に上記第1および第2の支持部材を構成する第1および第2の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第2基板搬送機構の端部が、搬送方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に反転した上記第1および第2の支持部材を構成する上記第1および第2の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項2において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた第1および第2の櫛状部材が、一部を支点として一定角度範囲において揺動するように構成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項3において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1および第2の櫛状部材が、揺動駆動機構によって揺動駆動されるように構成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項4において、
上記揺動駆動機構は、上記第1の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1の櫛状部材を揺動駆動する第1の揺動駆動機構と、第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第2の櫛状部材を揺動駆動される第2の揺動駆動機構とから成る
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項4において、
上記揺動駆動機構は、揺動駆動源と、該揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第1の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1の櫛状部材に伝達して揺動駆動する第1クラッチ手段と、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第2の櫛状部材に伝達して揺動駆動する第2クラッチ手段とから成る
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項2において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1および第2の櫛状部材が、上下方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項7において、
上記第1および第2の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第1および第2の櫛状部材が、直線的駆動機構によって駆動され、往復動するように構成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項8において、
前記直線的駆動機構が、電気的駆動装置の駆動力によって、上記第1および第2の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における基板支持装置。 - 請求項8において、
前記直線的駆動機構が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記第1および第2の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成されている
ことを特徴とする基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置。 - 長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に第1の偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、
上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に第2の偏光フィルムを貼合する第2貼合部と、
上記第1基板搬送機構にて搬送され第1の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部を備えた基板支持機構とを含む偏光フィルムの貼合装置において、
上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構の端部に進入する第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に上記第1基板搬送機構から搬送された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に挟着されることによって支持された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第2基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持機構。 - 長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に第1の偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、
上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に第2の偏光フィルムを貼合する第2貼合部と、
上記第1基板搬送機構にて搬送され第1の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第2基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を含む偏光フィルムの貼合装置において、
上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部に連結した部材に配設され、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構の端部に進入する第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に上記第1基板搬送機構から搬送された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第1の支持部材と第2の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第1の支持部材と第2の支持部材との間に挟着されることによって支持された第1の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第2基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持機構。 - 請求項12において、
上記反転機構が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持機構。 - 請求項13において、
上記反転軸の前記傾きが、45°である
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持機構。
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