TWI545681B - A substrate supporting device, a substrate transfer mechanism, a polarizing film bonding device, and a liquid crystal display device manufacturing system having the same - Google Patents

Description

基板支撐裝置、基板搬送機構、偏光膜貼合裝置及具有該裝置之液晶顯示裝置製造系統

本發明關於一種基板搬送機構及偏光膜貼合裝置中具有搬送手段的基板支撐裝置、偏光膜貼合裝置及具有該裝置之液晶顯示裝置製造系統。

過去，液晶顯示裝置被廣泛地製造。為了控制光線的穿透或遮斷，用於液晶顯示裝置的基板(液晶面板)通常會貼合有偏光膜。偏光膜會與該吸收軸呈垂直般貼合。

作為在基板上貼合偏光膜的方法可例如為Chip to Panel方式，其係對應基板尺寸將偏光膜切割後進行貼合。但是，該方式須針對基板一片片地貼合偏光膜，導致生產效率低的缺點。另一方面，作為其它方式則可例如為Roll to Panel方式，其係以輸送滾筒供給偏光膜而連續地貼合至基板。依該方法能以高生產效率進行貼合。

專利文獻1中的光學顯示裝置之製造系統揭露了一種作為Roll to Panel方式的範例。上述製造系統係在將光學薄膜(偏光膜)貼合至基板上方之後旋轉基板，再從下方貼合偏光膜。

專利文獻1：日本專利特許第4307510號公報(2009年8月5日公開)」。

但是，該習知裝置具有以下的問題。

首先，針對基板來貼合偏光膜之情況，為了避免灰塵 等異物混入貼合面中，通常會在無塵室中進行作業。接著，無塵室係經過空氣整流處理。為了抑制由於異物而導致良率的減少，則必須要在經降流式整流處理之狀態下來針對基板貼合偏光膜。

關於這點，專利文獻1的製造系統係針對基板自上方及下方貼合偏光膜的結構。但是，自偏光膜上方進行貼合之情況，則可能具有因偏光膜妨礙氣流(降流式)而使得流向基板之整流環境惡化的缺點。作為從偏光膜上方進行貼合的範例，第22(a)圖及第22(b)圖則顯示上貼型之製造系統中的氣流速度向量。在第22(a)圖及第22(b)圖中：A區域係設置有捲出偏光膜用之捲出部的區域；B區域主要是偏光膜通過的區域；C區域係設置有捲取從偏光膜所去除之剝離膜用的捲取部。

又，自HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾器40供給潔淨空氣。另外，第22(a)圖中，由於設置有能讓潔淨空氣通過之格柵41，氣流會經由格柵41朝垂直方向移動。另一方面，第22(b)圖中，由於未設置有格柵41，氣流在接觸第22(b)圖中最下部的地板之後，便會沿著地板移動。

第22(a)圖和第22(b)圖中，2F(2樓)部分設置有A區域~C區域，故偏光膜會妨礙來自HEPA過濾器40的潔淨空氣。因此，難以產生相對於通過2F部分之基板並朝向垂直方向的氣流。對此，會形成水平方向氣流向量較大(向量的密度較高)的狀態。換言之，係會形成整流環境惡化的狀態。

本發明有鑑於上述習知問題，其目的為提供一種不會妨礙整流環境的偏光膜貼合裝置以及具有該裝置之液晶顯示裝置製造系統。

申請專利範圍第1項所記載本發明(第1發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，該基板搬送機構具有：第一基板搬送機構，將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；及第二基板搬送機構，將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；且該第一基板搬送機構與該第二基板搬送機構係於同一方向搬送該基板，其中，該基板支撐裝置為具有藉由設置於連接至進行該基板反轉動作的基板反轉部之組件，讓進入至該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處的基板，並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。

申請專利範圍第2項所記載本發明(第2發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第1發明中，該第一基板搬送機構之端部係沿寬度方向上分割成複數個分割部份， 相鄰之分割部份之間處，形成有用於使構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及構成該第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入的複數個間隙；且該第二基板搬送機構之端部係沿搬送方向上分割成複數個分割部份，相鄰之分割部份之間，形成有用於使反轉後之構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及構成該第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入的複數個間隙。

申請專利範圍第3項所記載本發明(第3發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第2發明中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係由以一端作為支點進行一定角度範圍內擺動的擺動組件所構成。

申請專利範圍第4項所記載本發明(第4發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第3發明中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係為藉由擺動驅動機構來擺動驅動的結構。

申請專利範圍第5項所記載本發明(第5發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第4發明中，該擺動驅動機構包含：第一擺動驅動機構，擺動驅動具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件；以及第二擺動驅動機構，擺動驅動具有構成該第二支撐組件之複數個突 出部的第二梳狀組件。

申請專利範圍第6項所記載本發明(第6發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第4發明中，該擺動驅動機構包含：擺動驅動源；第一離合機構，係將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件，來進行擺動驅動；以及第二離合機構，係將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，來進行擺動驅動。

申請專利範圍第7項所記載本發明(第7發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第2發明中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係為沿上下方向相對接近或遠離以改變其對向間距地進行往復移動的結構。

申請專利範圍第8項所記載本發明(第8發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第7發明中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係為藉由線性驅動機構來驅動以進行往復移動的結構。

申請專利範圍第9項所記載本發明(第9發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第8發明中，該線性驅動機構係為藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓該第一梳狀組件及第二梳狀組件相對地接近，藉以夾持並支撐該基板的 結構。

申請專利範圍第10項所記載本發明(第10發明)之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，在第8發明中，該線性驅動機構係藉由從驅動裝置所供給之流體壓力的作用進行吸附或夾持，來讓該第一梳狀組件及該第二梳狀組件相對地接近，以夾持及支撐該基板。

申請專利範圍第11項所記載本發明(第11發明)之用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，該偏光膜貼合裝置具有：第一基板搬送機構，將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之基板下方；第二基板搬送機構，將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第二貼合部，將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之基板下方；及基板支撐裝置，具有基板支撐部，以支撐在該第一基板搬送機構所搬送的基板，該基板貼合有該第一偏光膜；且該第一基板搬送機構與該第二基板搬送機構係於同一方向搬送該基板，其中，該基板支撐裝置為具有藉由設置於連接至進行該基板反轉動作的基板反轉部之組件，讓進入至該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間貼合有該第一偏光膜的基板，並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組 件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處貼合有該第一偏光膜的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。

申請專利範圍第12項所記載本發明(第12發明)之用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，該偏光膜貼合裝置具有：第一基板搬送機構，將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之基板下方；第二基板搬送機構，將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第二貼合部，將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之基板下方；及反轉機構，藉由連接至基板支撐部的基板反轉部之反轉動作，來將被支撐於該基板支撐部的基板反轉，以改變相對該基板的長邊或短邊之搬送方向的配置並設置於該第二基板搬送機構，且該基板支撐部支撐在該第一基板搬送機構所搬送的基板，該基板貼合有該第一偏光膜；且該第一基板搬送機構與該第二基板搬送機構係於同一方向搬送該基板，其中，該基板支撐裝置為具有藉由設置於連接至進行該基板反轉動作的反轉機構之基板反轉部的組件，讓進入至該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間貼合有該 第一偏光膜的基板，並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處貼合有該第一偏光膜的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。

申請專利範圍第13項所記載本發明(第13發明)之用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，在第12發明中，該反轉機構具有基板反轉部，繞著相對該基板之搬送方向呈傾斜而設置的反轉軸進行反轉。

申請專利範圍第14項所記載本發明(第14發明)之用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，在第13發明中，該反轉軸之傾角為45°。

申請專利範圍第15項所記載本發明(第15發明)之基板搬送機構，具有將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構，其中，該基板搬送機構係包含：基板支撐裝置，係具有可支撐搬送於該第一基板搬送機構之該基板用的基板支撐組件、及作用於該基板支撐組件以使得該基板支撐組件形成基板支撐狀態用的驅動控制機構；以及反轉機構，係具有至少一個基板反轉部，設置在搬送方向相互偏距而平行的該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之間，並連接至該基板支撐組件，藉由繞著一反轉軸進行反轉，該反轉軸係相對該第一基板搬送機構 及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜而設置，該基板反轉部於反轉該基板的同時，改變相對搬送方向的基板之配置。

申請專利範圍第16項所記載本發明(第16發明)之偏光膜貼合裝置，具有將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、及將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部，其中該偏光膜貼合裝置係包含：基板支撐裝置，係具有可用於支撐搬送於該第一基板搬送機構之貼合有第一偏光膜之該基板的基板支撐組件、及作用於該基板支撐組件以使得該基板支撐組件形成基板支撐狀態的驅動控制機構；以及反轉機構，係具有至少一個基板反轉部，設置在搬送方向相互偏距而平行的該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之間處，連接至該基板支撐組件，藉由繞著相對該基板搬送機構及該基板搬送機構之搬送方向呈傾斜而設置的一反轉軸進行反轉，該反轉軸係相對該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜而設置，該基板反轉部於反轉該基板的同時，改變相對搬送方向的基板之配置。

申請專利範圍第17項所記載本發明(第17發明)之偏光膜貼合裝置，在第16發明中，該反轉軸係設置成相對於該 第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向而傾斜呈40°的角度。

申請專利範圍第18項所記載本發明(第18發明)之偏光膜貼合裝置，在第16發明中，設置迴轉軸構造於該基板反轉部，藉由沿著設置有該迴轉軸構造的軸之第一部分的反轉軸反轉而進行該基板的反轉，藉由繞著該迴轉軸構造的軸迴轉之第二部分的迴轉，改變相對該基板之搬送方向的配置。

申請專利範圍第19項所記載本發明(第19發明)之偏光膜貼合裝置，在第16發明至第18發明任一項中，該基板支撐組件由至少二個支撐組件所構成，利用該驅動控制機構之驅動控制來讓至少一個支撐組件進行相對移動，藉由將貼合有第一偏光膜之該基板呈夾持狀態而支撐於至少二個支撐組件之間。

申請專利範圍第20項所記載本發明(第20發明)之偏光膜貼合裝置，在第19發明中，該基板支撐裝置係具有相隔一間隙而對向地設置於該第一基板搬送機構之下游端部及該第二基板搬送機構之上游端部處的第一搬送手段及第二搬送手段，其中，第一搬送手段係針對從該第一基板搬送機構之下游端部處搬送而來之貼合有第一偏光膜的該基板來進行搬送，第二搬送手段則係從該基板支撐裝置將反轉後之貼合有該第一偏光膜的該基板搬送至該第二基板搬送機構之上游端部。

申請專利範圍第21項所記載本發明(第21發明)之偏光 膜貼合裝置，在第19發明中，於該基板支撐裝置中之上述至少二個支撐組件係由具有複數個突出部之梳狀組件所構成，該複數個突出部能進入至該第一基板搬送機構下游端部之寬度方向上所分割成複數部份的複數個分割部、及該第二基板搬送機構上游端部之搬送方向上分割成複數部份的複數個分割部之間所形成的複數個間隙處。

申請專利範圍第22項所記載本發明(第22發明)之偏光膜貼合裝置，在第16發明至第18發明任一項中，該基板支撐組件係由一個支撐組件所構成，能讓搬送至該第一基板搬送機構下游端部處之貼合有該第一偏光膜的該基板表面形成附著狀態而加以支撐，並於反轉後將被反轉之貼合有該第一偏光膜的該基板從上方載置於該第二基板搬送機構上游端部。

申請專利範圍第23項所記載本發明(第23發明)之偏光膜貼合裝置，在第20發明中，該基板支撐裝置內之搬送貼合有該第一偏光膜之該基板用的第一搬送手段及第二搬送手段係由第一搬送滾筒及第二搬送滾筒所構成，第一搬送滾筒及第二搬送滾筒係分別沿著該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向來搬送該基板。

申請專利範圍第24項所記載本發明(第24發明)之偏光膜貼合裝置，在第23發明中，讓該第一搬送滾筒及第二搬送滾筒中至少至一者作為該支撐組件而進行相對移動，藉以由該第一搬送滾筒及第二搬送滾筒，來讓被搬送至該基板支撐裝置內之貼合有該第一偏光膜的該基板形成被夾持 狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。

申請專利範圍第25項所記載本發明(第25發明)之偏光膜貼合裝置，在第19發明至第21發明任一項及第23發至第24發明任一項中，藉由上述至少二個之支撐組件中至少任一者之往復移動，而使其可相對接近。

申請專利範圍第26項所記載本發明(第26發明)之偏光膜貼合裝置，在第19發明至第21發明任一項及第23發明至第24發明任一項中，藉由上述至少二個之支撐組件中至少任一者以其一部份作為支點來進行擺動，而可使其相對接近。

申請專利範圍第27項所記載本發明(第27發明)之偏光膜貼合裝置，在第19發明至第21發明任一項及第23發明至第23發明任一項中，該驅動控制機構係由電氣驅動控制機構所組成，根據驅動控制指令並藉由電氣驅動控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送至支撐組件(至少二個)之間處的貼合有第一偏光膜之該基板形成夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。

申請專利範圍第28項所記載本發明(第28發明)之偏光膜貼合裝置，在第29發明至第21發明任一項及第23發明至第26發明任一項中，該驅動控制機構係由機械性驅動控制機構所組成，藉由機械性驅動控制來讓該二個支撐組件 中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送至支撐組件(至少二個)之間處的貼合有第一偏光膜之該基板形成夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。

申請專利範圍第29項所記載本發明(第29發明)之偏光膜貼合裝置，在第19發明至第21發明任一項及第23發明至第26發明任一項中，該驅動控制機構係由流體驅動控制機構所組成，藉由流體壓力控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送至支撐組件(至少二個)之間處的貼合有第一偏光膜之該基板形成夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。

申請專利範圍第30項所記載本發明(第30發明)之偏光膜貼合裝置，在第22發明、第25發明及第26發明任一項中，該驅動控制機構係由流體驅動控制機構所組成，藉由受流體壓力控制之流體壓力，來讓該一個支撐組件與被搬送至該第一基板搬送機構下游端部處之貼合有該第一偏光膜的該基板表面，形成吸附狀態或押壓狀態等其他附著狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的附著狀態。

申請專利範圍第31項所記載本發明(第31發明)之偏光膜貼合裝置，在第16發明至第30發明任一項中，具有能在藉由該第一貼合部來偏光膜貼合至將基板下方之前，對基板進行洗淨的洗淨部；該第一基板搬送機構係於基板短 邊沿著搬送方向之狀態下來搬送基板。

申請專利範圍第32項所記載本發明(第32發明)之偏光膜貼合裝置，在第30發明中，於該第一膜搬送機構及該第二膜搬送機構具有：缺陷檢出部，係可檢測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。

申請專利範圍第33項所記載本發明(第33發明)之液晶顯示裝置製造系統，係具有：如第16發明至第30發明中任一項之偏光膜貼合裝置；以及貼合偏差檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。

申請專利範圍第34項所記載本發明(第34發明)之液晶顯示裝置製造系統，在第33發明中，具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

申請專利範圍第35項所記載本發明(第35發明)之液晶顯示裝置製造系統，係具有：如申請專利範圍第16項至第30項中任一項之偏光膜貼合裝置；以及貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該偏光膜貼合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物。

申請專利範圍第36項所記載本發明(第36發明)之液晶顯示裝置製造系統，在第33發明中，具有遴選搬送裝置， 係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有異物，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

申請專利範圍第37項所記載本發明(第37發明)之液晶顯示裝置製造系統，在第33發明中，具有貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物，且具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差與異物，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

其它發明將說明如下。

本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，具有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構，其中，具有藉由設置於連接至該基板反轉部以進行該基板之反轉動作，讓進入至第一基板搬送機構及第二基板搬送機構之端部處的第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，能夾持並藉以支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間處的該基板，並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間處的該基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。

又，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中該第一基板搬送機構之端部係沿寬度方向上分割成複數個分割部份，相鄰之分割部份之間處，形成有能讓構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入用的複數個間隙；且該第二基板搬送機構之端部係沿搬送方向上分割成複數個分割部份，相鄰之分割部份之間，形成有用於使反轉後之構成該第一及第二支撐組件之該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入的複數個間隙。

再者，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中該具有構成該第一支撐組件及第二支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及第二梳狀組件，係由能以一端作為支點進行一定角度範圍內擺動的擺動組件所構成。

又，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中該具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件及第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件，係可藉由擺動驅動機構受擺動驅動的結構。

再者，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中該擺動驅動機構係由包含：第一擺動驅動機構，係用以針對具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件來進行擺動驅動；以及第二擺動驅動機構，係用以針對具有構成第二支撐組件之複數個突出部 的該第二梳狀組件來進行擺動驅動。

又，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中該擺動驅動機構係由下述組件所組成：擺動驅動源；第一離合機構，係將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件，藉以進行擺動驅動；以及第二離合機構，係將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件，藉以進行擺動驅動。

再者，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件及第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件係可沿上下方向相對接近或遠離以改變其對向間距般進行往復移的結構。

又，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件及第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件可為藉由線性驅動機構來驅動以進行往復移動的結構。

再者，在本發明中，本發明之基板搬送機構中的基板支撐裝置，其中該線性驅動機構係藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓該第一梳狀組件及第二梳狀組件相對地接近，藉以夾持/支撐該基板的結構。

又，在該第8發明中，本發明之基板搬送機構中的基 板支撐裝置，其中該線性驅動機構係藉由能從驅動裝置所供給之流體壓力的作用來進行吸附或夾持，來讓該第一梳狀組件及第二梳狀組件相對地接近，以夾持/支撐到達基板支撐位置的該基板所構成。

再者，關在本發明之偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，於包含有第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿搬送方向之狀態下進行搬送)、第一貼合部(將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方)、第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、第二貼合部(將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方)、及基板支撐裝置(具有能支撐由該第一基板搬送機構所搬送之貼合有第一偏光膜之該基板的基板支撐部)的偏光膜貼合裝置中，藉由設置於連接至進行該基板反轉動作之基板反轉部的組件，進入至該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構端部的第一支撐組件與第二支撐組件間之相對移動，以夾持/支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間的貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間之相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間的貼合有第一偏光膜的該基板，解除該夾持之支撐，而將其載置於該第二基板搬送機構62之端部處的結構。

又，關於本發明之偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，於包含有第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短 邊沿搬送方向之狀態下進行搬送)、第一貼合部(將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方)、第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、第二貼合部(將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方)、及反轉機構(其結構係能藉由連結至基板支撐部(能支撐由該第一基板搬送機構61所搬送之貼合有第一偏光膜之該基板5)的基板反轉部67之反轉動作，來將被支撐於該基板支撐部的該基板反轉，改變其配置並設置於第二基板搬送機構)的偏光膜貼合裝置中，藉由設置於連接至進行該基板反轉動作之基板反轉部的組件，進入至該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構端部的第一支撐組件與第二支撐組件間之相對移動，以夾持/支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間的貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間之相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間的貼合有第一偏光膜的該基板，解除該夾持之支撐，而將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。

再者，在本發明中，本發明之偏光膜貼合裝置的基板支撐裝置，其中該反轉機構具有基板反轉部，相對該基板之搬送方向呈傾斜而設置的反轉軸進行反轉。

又，在本發明中，本發明之偏光膜貼合裝置的基板支撐裝置，該反轉軸之該傾角為45°。

再者，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支 撐裝置，其中基板搬送機構具有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構；具有搬送手段，能將從該第一基板搬送機構搬送而來的該基板，搬送於基板支撐裝置內之搬送通道；並具有至少一個基板支撐組件，係連結至進行該基板反轉動作用之基板反轉部的組件，可支撐由由該搬送手段所搬送且到達基板支撐位置的該基板。

又，在本發明中，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，該搬送手段係由能沿著該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向來搬送該基板的第一搬送手段及第二搬送手段所構成，而該基板支撐組件由至少一個基板支撐組件所構成。

再者，在本發明中，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，係由可相對接近以夾持/支撐到達基板支撐位置之該基板的二個基板支撐組件所構成。

又，在本發明中，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，其中該第一搬送手段及第二搬送手段係由利用驅動裝置而與該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構同步迴轉驅動，且相互垂直而複數配置的第一搬送滾筒及第二搬送滾筒所構成。

再者，在本發明中，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，該基板支撐組件之結構係可藉由讓第一搬送滾筒及第二搬送滾筒中任一者相對接近，以夾持/ 支撐到達該基板支撐位置之該基板。

又，在本發明中，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，係藉由讓該基板支撐組件相對於第一搬送滾筒或第二搬送滾筒中任一者相對接近，以夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板。

再者，在本發明中，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，其中，該基板支撐組件係藉由電氣驅動裝置的驅動力進行相對移動，以夾持/支撐到達基板支撐位置的該基板。

又，在本發明中，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，其中，該基板支撐組件係藉由機械性驅動裝置的驅動力進行相對移動，以夾持/支撐到達基板支撐位置的該基板。

再者，在本發明中，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，其中，該基板支撐組件係藉由來自驅動裝置所供給之流體壓力作用來進行吸附或夾持，以夾持/支撐到達基板支撐位置的該基板。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，包含有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部、及基板支撐裝置(具有能支 撐由該第一基板搬送機構所搬送之貼合有第一偏光膜之該基板的基板支撐部)，其中，具有搬送手段，能將從該第一基板搬送機構搬送而來之貼合有第一偏光膜的該基板，在基板支撐裝置內之搬送通道中進行搬送；並具有至少一個該基板支撐組件，係連結至進行該基板反轉動作之基板反轉部的組件，可支撐藉由該搬送手段所搬送而到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，具有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部、及反轉機構(其結構係能藉由連結至基板支撐部(能支撐由該第一基板搬送機構所搬送之貼合有第一偏光膜之該基板)的基板反轉部之反轉動作，來將被支撐於該基板支撐部的該基板反轉，改變其配置並設置於第二基板搬送機構)，其中，具有搬送手段，能將從該第一基板搬送機構搬送而來之貼合有第一偏光膜的該基板，在基板支撐裝置內之搬送通道中進行搬送；並具有至少一個該基板支撐組件，係連結至進行該基板反轉動作之基板反轉部的組件，可支撐藉由該搬送手段所搬送而到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板。

又，在本發明中，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送 手段的基板支撐裝置，包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構係具有基板反轉部，能繞著相對該基板之搬送方向呈傾斜而設置的反轉軸進行反轉。

再者，在該第12發明中，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，該反轉軸之該傾角為45°。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，該基板搬送機構具有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構，其中具有：反轉機構，係藉由基板反轉部之反轉動作，將該第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構。

再者，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，在本發明中，該反轉機構係具有基板反轉部，能藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉，藉以進行反轉動作。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，在本發明中，該反轉軸之該傾角為45°。

再者，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，在本發明中，該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，在本發明中，該反轉機構的該反轉軸與該第一基板搬送機構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置至該第二基板 搬送機構的該基板，係配置於同一平面處。

再者，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，在本發明中，該反轉機構係具有可進行該反轉軸之升降、傾斜及位置調整的機構。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，在本發明中，該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉機構，該第一基板搬送機構兩側設置有二個基板載置部，係交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板；搬送至該二個基板載置部的該基板係經由該二個反轉機構之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，該偏光膜貼合裝置包含有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、及將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部；其中具有反轉機構，係藉由基板反轉部之反轉動作，將該第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，該偏光膜貼合裝置包含有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該 基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部、及具有保持由該第一基板搬送機構所搬送之該基板用的保持部而能將該保持部控制於保持狀態或解除保持狀態的保持機構；其中具有反轉機構，係根據驅動裝置之迴轉驅動，藉由將一端連結至該保持機構之該保持部處的基板反轉部之反轉動作，將該第一基板搬送機構所搬送且被該保持部所保持的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，在本發明中，該反轉軸之該傾角為45°。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，在本發明中，該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，在本發明中，該反轉軸係位在與該基板垂直之面內，該平面包含有通過第一基板搬送機構之基板中心而與垂直該基板搬送方向之基準直線傾斜呈45°的直線。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，在本發明中，該反轉機構的該反轉軸與該第一基板搬送機構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置至該第二基板搬送機構的該基板，係配置於同一平面處。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，在本發明中，該反轉機構係具有可進行該反轉軸之升降、傾斜 及位置調整的機構。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，在本發明中，於該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉機構，該第一基板搬送機構兩側設置有二個基板載置部，係交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板，且搬送至該二個基板載置部的該基板係經由該二個反轉機構之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構。

再者，關於具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的基板支撐裝置，於具有第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)與第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)的基板搬送機構中，藉由連結至基板支撐部(用以支撐由該第一基板搬送機構所搬送的該基板)之基板反轉部的反轉動作，來將由該基板支撐部所支撐之該基板進行反轉，改變其配置並載置於第二基板搬送機上之結構。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構具有基板反轉部，係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角所配設的反轉軸迴轉而進行反轉動作。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉軸之該傾角為45°。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾角而設置。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構之該反轉軸、由該第一基板搬送機構所搬送且由該基板支撐部所支撐之該基板、及藉由該基板反轉部所反轉而配置於該第二基板搬送機構的該基板，係設置於同一平面。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，係相對於該反轉軸呈線對稱般具有一對該基板反轉部及基板支撐部。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，連接至該基板反轉部一端的該基板支撐部，係藉由夾持/支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的夾持機構所構成。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，連結至該基板反轉部一端的該基板支撐部，係藉由吸著/支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的吸著機構所構成。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，包含有第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、第一貼合部(將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方)、第二基板搬送機構(將基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、及第二貼合部(將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方)的偏光膜貼合裝置中，藉由連接至基板支撐部(支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板)之基板反 轉部的反轉動作，來反轉該基板支撐部所支撐之該基板，改變其配置並載置於第二基板搬送機構的結構。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，包含有第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、第一貼合部(將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方)、第二基板搬送機構(將基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、第二貼合部(將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方)、及基板支撐機構(具有保持/支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的基板支撐部)的偏光膜貼合裝置中，藉由連接至基板支撐部(支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板)之基板反轉部的反轉動作，來反轉該基板支撐部所支撐之該基板，改變其配置並載置於第二基板搬送機構的結構。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構具有基板反轉部，係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角所配設的反轉軸迴轉而進行反轉動作。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉軸之該傾角為45°。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾角而設置。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉 機構，在本發明中，該反轉機構之該反轉軸、由該第一基板搬送機構所搬送且由該基板支撐部所支撐之該基板、及藉由該基板反轉部所反轉而配置於該第二基板搬送機構的該基板，係設置於同一平面。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，係相對於該反轉軸呈線對稱般具有一對該基板反轉部及基板支撐部。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，連接至該基板反轉部一端的該基板支撐部，係藉由夾持/支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的夾持機構所構成。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，連接至該基板反轉部一端的該基板支撐部，係藉由吸著/支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的吸著機構所構成其它發明將說明如下。

為了解決上述課題，本發明之偏光膜貼合裝置係包含有：第一基板搬送機構，係將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，係將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板的下方；反轉機構，係將該第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉並配置至第二基板搬送機構；第二基板搬送機構，係將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；以及第二貼合部，係將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板的下方；其中，該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係將 基板朝同一方向進行搬送，且具有反轉機構，係能吸附以長邊或短邊沿著第一基板搬送機構搬送方向的基板並進行反轉，使其形成短邊或長邊沿著第二基板搬送機構搬送方向的狀態，該反轉機構係具有吸著基板用的吸著部、及連接至吸著部的基板反轉部，該基板反轉部係沿著反轉軸進行迴轉藉以反轉基板，該反轉軸係位在下述(1)的平面內，且位在(2)的垂直位置。(1)包含有通過第一基板搬送機構之基板中心以及與該基板搬送方向垂直之直線為基準面而傾斜45°的直線。(2)位在相對於第一基板搬送機構之基板的垂直位置處。

如上述本發明中，由第一貼合部來將偏光膜貼合至基板的下方，沿著反轉機構中之基板反轉部的反轉軸進行迴轉藉以反轉基板，並可改變搬送方向所相對的長邊及短邊。然後，便可由第二貼合部來將偏光膜貼合至基板的下方。即，可針對基板之兩面，從下方來貼合偏光膜，故不會妨礙整流環境。又，由於反轉機構之動作係為一單純的動作，加工時間較短。因此，可實現加工時間較短的貼合。再者，該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係將基板朝同一方向搬送。即，不具有L型等複雜構造。因此，本發明之偏光膜貼合裝置的設置非常簡便，且面積效率優良。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置係將該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構配置於一直線上，於第一基板搬送機構之第二基板搬送機構側的端部處，沿著該端部相對第一基板搬送機構搬送方向的水平兩方向而各自具 有二對的基板載置部及該反轉機構；該端部處係具有從該端部將基板朝該基板載置部搬送的搬送機構；該反轉機構係讓各自搬送至該基板載置部的基板反轉並配置至第二基板搬送機構。

依該結構，由於具有二個反轉機構，於每單位時間中可對基板進行2倍處理。藉此，每單位時間中可將更多之基板進行反轉，故可縮短加工時間。再者，由於第一基板搬送機構及第二基板搬送機構配置於一直線上，可提供面積效率更優良之構造的偏光膜貼合裝置。

為了解決上述課題，本發明之偏光膜貼合裝置包含有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將由該第一基板搬送機構所搬送之該基板反轉並配置於第二基板搬送機構處的反轉機構、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、及將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部，其中，該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係將基板朝同一方向進行搬送，具有能將由第一基板搬送機構所搬送且其長邊或短邊沿著搬送方向之基板，反轉成短邊或長邊沿著第二基板搬送機構之基板搬送方向狀態的反轉機構，且該反轉機構具有基板支撐部、及連接至該基板支撐部的基板反轉部，該基板支撐部係可載置有第一基板搬送機構所搬送之基板，再者，可夾持載置好的基板；該基板反轉部係 以反轉軸為中心進行迴轉藉以反轉基板，該反轉軸位在包含通過第一基板搬送機構之反轉前基板的中心而相對於該基板搬送方向之垂直直線呈45°傾角的直線，且包括第一基板搬送機構之反轉前基板的面內；相對於該反轉軸呈線對稱般具有一對該基板支撐部。

依本發明，由第一貼合部來將偏光膜貼合至基板下方，繞著反轉機構中的基板反轉部之反轉軸進行迴轉，藉以反轉基板，並可改變相對於搬送方向之長邊及短邊。然後，可由第二貼合部來將偏光膜貼合至基板下方。即，可針對基板之兩面，從下方貼合偏光膜，故不會妨礙整流環境。又，反轉機構之動作係以反轉軸為中心之一單純動作，故加工時間短。因此，可實現包含反轉動作之短加工時間的貼合。再者，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係將基板朝同一方向進行搬送。即，不具有L型等複雜構造。因此，本發明之偏光膜貼合裝置的設置非常簡便，且面積效率優良。

又，較佳地，該基板支撐部係具有吸附基板用的吸著機構。

藉此，相較於僅使用基板支撐部來夾持基板之情況，能更加固定基板。

又，較佳地，本發明之偏光膜貼合裝置中，於該基板反轉部具有會與基板反轉部一同迴轉的迴轉軸部，該迴轉軸部係沿著該反轉軸設置。

由於迴轉軸部係沿著反轉軸而設置，能讓具有迴轉軸 部之基板反轉部沿著反轉軸更穩定地迴轉。因此，能更加穩定地進行基板反轉。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置，係具有搬送偏光膜用的第一膜搬送機構及第二膜搬送機構，該第一膜搬送機構處具有：用於由剝離膜所保護著的偏光膜捲出的複數個捲出部、用於偏光膜切斷的切斷部、用於從偏光膜上將剝離膜去除的去除部、及用於被去除後之該剝離膜捲取的複數個捲取部；該第二膜搬送機構處具有：用於由剝離膜所保護著的偏光膜捲出的複數個捲出部、用於偏光膜切斷的切斷部、用於從偏光膜上將剝離膜去除的去除部、及用於被去除後之該剝離膜捲取的複數個捲取部；該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係置備於該第一膜搬送機構及第二膜搬送機構之上部處，且把已將該剝離膜去除後之偏光膜貼合至基板的該第一貼合部係設置於該第一膜搬送機構與第一基板搬送機構之間處，把已將該剝離膜去除後之偏光膜貼合至基板的該第二貼合部係設置於該第二膜搬送機構與第二基板搬送機構之間處。

藉此，由於具有複數個捲出部及捲取部，當一側之捲出部中偏光膜原料之殘餘量變少的情況，可將該原料連接至設置於另一側捲出部的原料。其結果，無需停止偏光膜之捲出，可續行作業，故可提高生產效率。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置具有在藉由該第一貼合部來將偏光膜貼合至基板下方之前洗淨基板用的洗淨部，且該第一基搬送機構係以基板之短邊沿著搬送方向 之狀態下來搬送基板。

藉此，可於基板之長邊相對於基板搬送方向呈垂直的狀態下，藉由洗淨部來進行基板之洗淨。即，可縮小基板沿搬送方向的距離，故可縮短洗淨所需加工時間。其結果，可提供生產效率更優良之偏光膜貼合裝置。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置中，該第一膜搬送機構及該第二膜搬送機構處具有：缺陷檢出部，係可檢測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。

依該缺陷檢出部、貼合迴避部及回收部，可避免將具有缺陷之偏光膜與基板進行貼合，故可提高良率。

本發明之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有：上述之偏光膜貼合裝置；以及貼合偏差檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。

本發明之液晶顯示裝置製造系統具有：上述之偏光膜貼合裝置；以及貼合偏差檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。

藉此，可檢查出貼合好偏光膜後之基板所產生的貼合偏差。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差，根據該判斷結果來對 已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

藉此，當貼合好偏光膜之基板產生貼合偏差之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有：偏光膜貼合裝置；以及貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該偏光膜貼合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物。

藉此，可檢查出混入至貼合好偏光膜之液晶面板中的異物。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有異物，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

藉此，當貼合好偏光膜之液晶面板中混入有異物之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。

又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物，且具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差與異物，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

藉此，當貼合好偏光膜之液晶面板中產生了貼合偏差與混入異物之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。

依上述結構之第1發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，該基板支撐裝置係藉由設置於連接至該基板反轉部(進行該基板反轉動作)的組件，讓進入至第一基板搬送機構(將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構(將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，以夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處的基板；並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間處的基板，解除該夾持之支撐，並將其載置於該第二基板搬送機構之端部處，因此，依簡單之結構，將由該第一基板搬送機構所搬送之基板夾持於進入至該第一基板搬送機構端部之間隙的突出部之第一支撐組件及第二支撐組件之間，而能確實地進行支撐；且能藉由該基板反轉部來反轉該基板，並將經該基板反轉部反轉後之被夾持且支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間的基板，解除該夾持之支撐，載置於該第二基板搬送機構之端部，而能於該第二基板搬送機構搬送該基板。

依上述結構之第2發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第1發明中，藉由讓構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組 件的複數個突出部進入至第一基板搬送機構端部沿寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，可確實地將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板夾持且支撐於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間處；且藉由讓反轉後之構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至該第二基板搬送機構端部沿搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，解除對反轉後之基板的夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

依上述結構之第3發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第2發明中，讓構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及該第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至第一基板搬送機構端部沿寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，使該第一梳狀組件及第二梳狀組件中之至少一者的複數個突出部以其一部份為支點於一定角度範圍內進行擺動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板確實地夾持並支撐於該第一梳狀組件的複數個突出部及第二梳狀組件的複數個突出部之間處；讓反轉後之構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及構成第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至第二基板搬送機構端部沿搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形 成的複數個間隙處，使至少一者之第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數個突出部以其一部份為支點於一定角度範圍內進行擺動，藉以解除對反轉後之基板的夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

依上述結構之第4發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第3發明中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件係受到該擺動驅動機構之擺動驅動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板確實地夾持並支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及該第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除反轉後之基板的夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

依上述結構之第5發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第4發明中，構成該擺動驅動機構之第一擺動驅動機構會對具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件進行擺動驅動；且構成該擺動驅動機構之第二擺動驅動機構則會對具有構成第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件進行擺動驅動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板確實地夾持並支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及該第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除反轉後之基板的夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進 行該基板搬送。

依上述結構之第6發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第4發明中，該擺動驅動機構係具有擺動驅動源，經由該第一離合機構將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件以進行擺動驅動，且經由該第二離合機構將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件以進行擺動驅動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板確實地夾持並支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及該第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除反轉後之基板的夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

依上述結構之第7發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第2發明中，讓構成該第一支撐組件的第一梳狀組件之複數個突出部及構成該第二支撐組件的第二梳狀組件之複數個突出部進入至該第一基板搬送機構端部之寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，讓至少一側之第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部沿上下方向相對地接近，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板確實地夾持並支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及該第二梳狀組件之複數個突出部之間處；且讓反轉後之構成該第一支撐組件的第一梳狀組件之複數個突出部及該第二支撐組件的第 二梳狀組件之複數個突出部進入至該第二基板搬送機構端部之搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，讓至少一側之第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部沿上下方向相對遠離，解除針對反轉後之基板的夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

依上述結構之第8發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第7發明中，藉由該線性驅動機構來讓具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件進行直線驅動(往復移動)，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的基板確實地夾持並支撐於該第一梳狀組件及該第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除針對反轉後之基板的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

依上述結構之第9發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第8發明中，該線性驅動機構能藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓該第一梳狀組件及該第二梳狀組件相對接近，藉以夾持並支撐該基板，根據驅動指令並藉由該電氣驅動裝置之驅動力，可達到能輕易實現進行該基板之夾持並支撐控制的效果。

依上述結構之第10發明之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，於第8發明中，該線性驅動機構能藉由從驅動裝 置所供給之流體壓力的作用來進行吸附或夾持，來讓該第一梳狀組件及該第二梳狀組件相對接近，以夾持並支撐該基板，藉由設置與該基板支撐組件不同之供給流體壓力的驅動裝置，便可簡化基板支撐裝置之結構，具有可達到輕量化之優點。

依上述結構之第11發明之用於偏光膜貼合裝置的基板支撐裝置，藉由設置於連接至該基板反轉部(進行該基板反轉動作)的組件，讓進入至第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部的第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，藉以確實地夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間處之貼合有第一偏光膜的基板；並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持並支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件間之貼合有第一偏光膜的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部處，因此，藉由連接至該基板支撐組件的基板反轉部，可達成能將貼合有第一偏光膜之基板朝向第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)端部進行該基板反轉部的反轉動作及藉由該第二貼合部來貼合第二偏光膜的效果。

依上述結構之第12發明之用於偏光膜貼合裝置的基板支撐裝置，藉由設置於連接至該反轉機構(進行該基板之反 轉動作)之基板反轉部的組件，進入至該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，來夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間的貼合有第一偏光膜的基板，故可達成能確實地支撐貼合有第一偏光膜之基板的效果；並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持並支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件間之貼合有第一偏光膜的基板，解除該夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構之端部處，故可達成能藉由連接至該基板支撐組件之基板反轉部，來將貼合有第一偏光膜的基板朝向第二基板搬送機構(將該基板之短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部進行該基板反轉部的反轉動作及於該第二貼合部進行第二偏光膜之貼合的效果。

依上述結構之第13發明之用於偏光膜貼合裝置的基板支撐裝置，該偏光膜貼合裝置之反轉機構的基板反轉部會繞著相對該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，可改變沿著搬送方向之貼合有第一偏光膜之基板的短邊及長邊方向，達成縮短加工時間的效果。

依上述結構之第14發明之用於偏光膜貼合裝置的基板支撐裝置，該偏光膜貼合裝置之反轉機構的基板反轉部會 繞著相對該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，可改變沿著搬送方向之貼合有第一偏光膜之基板的短邊及長邊方向，達成縮短加工時間的效果。

依上述結構之第15發明之基板搬送機構，基板搬送機構中，該基板支撐裝置之該驅動控制機構對該基板支撐組件進行作用，來讓該基板支撐組件形成基板支撐狀態，因此，針對由該第一基板搬送機構(將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)所搬送且由該基板支撐組件所支撐的該基板，利用設置於搬送方向相互平行且偏距之該第一基板搬送機構及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的該第二基板搬送機構之間的該反轉機構，並藉由連結至該基板支撐組件之至少一個該基板反轉部，繞著相對於該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜設置的反轉軸進行反轉，於反轉該基板的同時，改變相對搬送方向的基板之配置，並沿著該第二基板搬送機構之搬送方向設置，故可藉由該基板支撐組件確實地支撐由該第一基板搬送機構所搬送/支撐的該基板，並藉由至少一個該基板反轉部之一次反轉動作來反轉該基板，改變其配置而沿著該第二基板搬送機構之搬送方向設置，可達成能縮短基板搬送機構之加工時間的效果。

依上述結構之第16發明之偏光膜貼合裝置，具有將長 方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、及將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部，其中，該基板支撐裝置之該驅動控制機構對該基板支撐組件進行作用，來讓該基板支撐組件形成基板支撐狀態，因此，針對由該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)所搬送且由該基板支撐組件所支撐之貼合有第一偏光膜的該基板，利用設置於搬送方向相互平行且偏距之該第一基板搬送機構及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的該第二基板搬送機構之間的該反轉機構，並藉由連結至該基板支撐組件之至少一個該基板反轉部，繞著相對於該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜設置的反轉軸進行反轉，於反轉該基板的同時，改變相對搬送方向的基板之配置，並沿著該第二基板搬送機構之搬送方向設置且搬送至該第二貼合部，故可藉由該基板支撐組件確實地支撐由該第一基板搬送機構所搬送/支撐之貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由至少一個該基板反轉部之一次反轉動作來反轉該基板，改變其配置而沿著該第二基板搬送機構之搬送方向設置，可達成能縮短偏光膜貼合裝置之加工時間的效果。

依上述結構之第17發明之偏光膜貼合裝置係於該第 16發明中，藉由該基板反轉部，繞著相對於該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈45°之角度而傾斜設置的反轉軸進行反轉，並沿著該第二基板搬送機構之搬送方向設置且搬送至該第二貼合部，故藉由該基板反轉部之一次反轉動作，能反轉貼合有第一偏光膜的該基板，改變其配置而沿著該第二基板搬送機構之搬送方向設置，可達成能縮短偏光膜貼合裝置之加工時間的效果。

依上述結構之第18發明之偏光膜貼合裝置係於該第16發明中，設置迴轉軸構造於該基板反轉部，藉由沿著設置有該迴轉軸構造的軸之第一部分的反轉軸反轉而進行該基板的反轉，藉由繞著該迴轉軸構造的軸迴轉之第二部分的迴轉，改變相對該基板之搬送方向的配置，故藉由該基板反轉部之一次反轉動作，能反轉貼合有第一偏光膜的該基板，可達成能縮短偏光膜貼合裝置之加工時間的效果。

依上述結構之第19發明之偏光膜貼合裝置係如該第16發明至第18發明中任一者，根據該驅動控制機構之驅動控制讓由該基板支撐組件所構成之至少一個支撐組件進行相對移動，形成夾持狀態以將貼合有第一偏光膜之該基板支撐於至少二個支撐組件之間，故可藉由至少二個該支撐組件來針對由該第一基板搬送機構所搬送/支撐之貼合有第一偏光膜的該基板之兩面，達成確實地進行支撐的效果。

依上述結構之第20發明之偏光膜貼合裝置係於該第19發明中，於該第一基板搬送機構下游端部及該第二基板搬送機構上游端部處隔著間隙而對向般設置的該基板支撐 裝置之該第一搬送手段，係可將從該第一基板搬送機構下游端部搬送而來之貼合有第一偏光膜的該基板搬送至該基板支撐裝置內，且該第二搬送手段係可將反轉後之貼合有該第一偏光膜之該基板從該基板支撐裝置搬送至該第二基板搬送機構上游端部，因此，不需對該第一基板搬送機構下游端部及該第二基板搬送機構上游端部進行設計變更及追加加工，便可將貼合有該第一偏光膜之該基板流暢地從該第一基板搬送機構下游端部搬送至該基板支撐裝置內，並從該基板支撐裝置流暢地搬送至該第二基板搬送機構上游端部。

依上述結構之第21發明之偏光膜貼合裝置係於該第19發明中，構成該基板支撐裝置之該至少二個支撐組件的梳狀組件之複數個突出部，會進入至該第一基板搬送機構下游端部之寬度方向上分割成複數部份的複數個分割部、及該第二基板搬送機構上游端部之搬送方向上分割成複數部份的複數個分割部之間所形成的複數個間隙處，因此，能從該第一基板搬送機構之下游端部利用該第一基板搬送機構之搬送手段將貼合有該第一偏光膜之該基板搬送至該基板支撐裝置內，並從該基板支撐裝置利用該第二基板搬送機構之搬送手段而搬送至該第二基板搬送機構之上游端部，故於該基板支撐裝置內無需搬送手段，可簡化該基板支撐裝置之結構，達成輕量化及高速移動的效果。

依上述結構之第22發明之偏光膜貼合裝置係如該第16發明至第18發明中任一者，構成該基板支撐組件之該一 個支撐組件，能讓搬送至該第一基板搬送機構下游端部處之貼合有該第一偏光膜的該基板表面形成附著狀態而加以支撐，並將反轉後之被反轉之貼合有該第一偏光膜的該基板從上方載置於該第二基板搬送機構上游端部處，故可簡化該基板支撐裝置之基板支撐結構，達成輕量化及高速移動的效果。

依上述結構之第23發明之偏光膜貼合裝置係於該第20發明中，於該第一基板搬送機構下游端部及該第二基板搬送機構上游端部處隔著間隙而對向地設置的該基板支撐裝置之該第一搬送滾筒，係可將從該第一基板搬送機構下游端部搬送而來之貼合有第一偏光膜的該基板搬送至該基板支撐裝置內，且該第二搬送滾筒係可將反轉後之貼合有該第一偏光膜之該基板從該基板支撐裝置搬送至該第二基板搬送機構上游端部，因此，不需對該第一基板搬送機構下游端部及該第二基板搬送機構上游端部進行設計變更及追加加工，藉由讓該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送滾筒同步迴轉驅動，便可將貼合有該第一偏光膜之該基板流暢地從該第一基板搬送機構下游端部搬送至該基板支撐裝置內，並從該基板支撐裝置流暢地搬送至該第二基板搬送機構上游端部。

依上述結構之第24發明之偏光膜貼合裝置係於該第23發明中，藉由讓該第一搬送滾筒及第二搬送滾筒中至少任一者作為支撐組件而進行相對移動，由該第一及第二搬送滾筒，使於該基板支撐裝置內所搬送之貼合有該第一偏 光膜的該基板形成夾持狀態，或於反轉後解除該第二基板搬送機構之反轉後之該基板的夾持狀態；由於在該基板支撐裝置內無需設置追加組件之該支撐組件，可簡化該基板支撐裝置內之結構及控制，達成輕量化及高速移動的效果。

依上述結構之第25發明之偏光膜貼合裝置係如該第19發明至第21發明、第23發明及第24發明中任一者，會讓該至少二個支撐組件中至少任一者進行往復移動而相對接近，故可藉由該二個支撐組件之簡單的往復移動，來夾持由該第一基板搬送機構所搬送/支撐之貼合有第一偏光膜的該基板，達成能確實地進行支撐的效果。

依上述結構之第26發明之偏光膜貼合裝置係如該第19發明至第21發明、第23發明及第24發明中任一者，會讓該至少二個支撐組件中至少任一者以其一部份為支點進行擺動而相對接近，故可藉由該二個支撐組件之簡單的擺動，來夾持由該第一基板搬送機構所搬送/支撐之貼合有第一偏光膜的該基板，達成能確實地進行支撐的效果。

依上述結構之第27發明之偏光膜貼合裝置係如該第19發明至第21發明、第23發明至第26發明中任一者，該驅動控制機構係由電氣驅動控制機構所組成，根據驅動控制指令並藉由電氣驅動控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送至支撐組件(至少二個)之間處之貼合有第一偏光膜的該基板形成夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態，因此，能根據驅動指 令並藉由該電氣驅動控制機構之驅動力，達成能輕易進行該基板之夾持/支撐控制的效果。

依上述結構之第28發明之偏光膜貼合裝置係如該第19發明至第21發明、第23發明至第26發明中任一者，該驅動控制機構係由機械性驅動控制機構所組成，藉由機械性驅動控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送至支撐組件(至少二個)之間的貼合有第一偏光膜之該基板形成夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態，因此，無需複雜控制而能藉由機械驅動控制機構之機械性驅動力，達成能輕易進行該基板之夾持/支撐控制的效果。

依上述結構之第29發明之偏光膜貼合裝置係如該第19發明至第21發明、第23發明至第26發明中任一者，該驅動控制機構係由流體驅動控制機構所組成，藉由流體壓力控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送至支撐組件(至少二個)之間的貼合有第一偏光膜之該基板形成夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態，因此，藉由設置有與該基板支撐組件不同之供給流體壓力用驅動控制機構，可簡化該基板支撐組件之結構，達成輕量化及高速迴轉化的效果。

依上述結構之第30發明之偏光膜貼合裝置係如該第22發明、第25發明及第26發明中任一者，該驅動控制機 構係由流體驅動控制機構所組成，藉由受流體壓力控制之流體壓力，來讓該一個支撐組件與被搬送至該第一基板搬送機構下游端部處之貼合有該第一偏光膜的該基板表面，形成吸附狀態或押壓狀態等其他附著狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的附著狀態，其係由一個支撐組件所構成，故可簡化該基板支撐組件之結構，且藉由設置有與該基板支撐組件不同之供給流體壓力用驅動控制機構，可更加簡化該基板支撐組件之結構，達成輕量化及高速迴轉化的效果。

依上述結構之第31發明之偏光膜貼合裝置係如該第16發明至第30發明中任一者，不但能在藉由該第一貼合部來偏光膜貼合至將基板下方之前，藉由洗淨部對基板進行洗淨，且該第一基板搬送機構係於基板短邊沿著搬送方向之狀態下來搬送基板，因此，可避免在將偏光膜貼合至基板下方時混入異物。

依上述結構之第32發明之偏光膜貼合裝置係於該第30發明中，由該第一膜搬送機構及該第二膜搬送機構所具有之該缺陷檢出部，來檢測出從該第一捲出部所捲出之偏光膜所附著的缺陷標示，藉由該貼合回避部來判別出該缺陷標示，以停止該基板之搬送，並藉由該回收部來將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收，因此，可避免將有缺陷之偏光膜與基板進行貼合，並可將迴避而未貼合的偏光膜回收。

依上述結構之第33發明之液晶顯示裝置製造系統，係 可藉由該貼合偏差檢查裝置，針對藉由該第16發明至第30發明中任一項之偏光膜貼合裝置與該第二貼合部來實施偏光膜貼合後之基板，進行貼合偏差之檢查，可找出於該偏光膜與基板之貼合時有產生貼合偏差者。

依上述結構之第34發明之液晶顯示裝置製造系統係於該第33發明中，藉由該遴選搬送裝置，根據該貼合偏差檢查裝置之檢查結果來判斷是否存在貼合偏差，並根據該判斷結果，針對已貼合好偏光膜之基板進行遴選，因此，可避免搬送到於該偏光膜與基板之點合時有產生貼合偏差者，並可迅速地挑出有該貼合偏差者，具有可縮短加工時間的效果。

依上述結構之第35發明之液晶顯示裝置製造系統係藉由該貼合異物自動檢查裝置，針對藉由該第16發明至第30發明中任一者之偏光膜貼合裝置與該偏光膜貼合裝置之第二貼合部來實施偏光膜貼合後之基板，進行異物檢查，可找出於該偏光膜與基板之貼合時有產生貼合偏差者。

依上述結構之第36發明之液晶顯示裝置製造系統係於該第33發明中，藉由該遴選搬送裝置，根據該貼合異物自動檢查裝置之檢查結果來判斷是否有異物，並根據該判斷結果，針對已貼合好偏光膜之基板進行遴選，因此，可避免搬送到於該偏光膜與基板之貼合時有產生貼合偏差者，並可迅速地挑出有該貼合偏差者，具有可縮短加工時間的效果。

依上述結構之第37發明之液晶顯示裝置製造系統係於 該第33發明中，藉由該貼合異物自動檢查裝置，針對藉由該第二貼合部來實施偏光膜貼合後之基板，進行異物檢查，並藉由該遴選搬送裝置來根據該貼合偏差檢查裝置之檢查結果及該貼合異物自動檢查裝置之檢查結果，來判斷是否有貼合偏差及異物；而根據該判定結果，針對已貼合好偏光膜之基板進行遴選，因此，可避免搬送到於該偏光膜與基板之貼合時有產生貼合偏差者，並可迅速地挑出有該貼合偏差者，具有可縮短加工時間的效果。

本發明之其他效果敘述如下。

依上述結構之本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，該基板支撐裝置係藉由連接至該基板反轉部(進行該基板反轉動作)的組件處，讓進入至第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部處的第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，以夾持並藉以支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間處的該基板；並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間處的該基板，解除該夾持之支撐，並將其載置於該第二基板搬送機構之端部處，因此，依簡單之結構，將由該第一基板搬送機構所搬送之該基板夾持於進入至該第一基板搬送機構端部的該第一支撐組件及第二支撐組件之間，而能確實地進行支撐；且能藉由該 基板反轉部來反轉該基板，並將經該基板反轉部反轉後之被夾持/支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件之間的該基板，解除該夾持之支撐，載置於該第二基板搬送機構之端部，而能於該第二基板搬送機構搬送該基板。

又，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，藉由讓構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至第一基板搬送機構端部沿寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，可確實地將從該第一基板搬送機構所搬送而來的該基板，夾持/支撐於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間處；且藉由讓反轉後之構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至第二基板搬送機構端部沿搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，解除對反轉後之該基板的夾持/支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

再者，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，讓構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至第一基板搬送機構端部沿寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，使該第一二梳狀組件及第二梳狀組件中之至少一者的複數個突出部以其一部份為支點於一定角度範圍內進行擺動，藉以將從該第一 基板搬送機構所搬送而來的該基板確實地夾持/支撐於該第一梳狀組件的複數個突出部及第二梳狀組件的複數個突出部之間處；讓反轉後之構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入至第二基板搬送機構端部沿搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，使至少一者之該第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數個突出部以其一部份為支點於一定角度範圍內進行擺動，藉以解除對反轉後之該基板的夾持/支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

又，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件及第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件係受到該擺動驅動機構之擺動驅動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來該基板確實地夾持/支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除反轉後之該基板的夾持/支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

再者，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，構成該擺動驅動機構之該第一擺動驅動機構會對具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件進行擺動驅動；且構成該擺動驅動機構之第二擺動驅動 機構則會對具有構成第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件進行擺動驅動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來該基板確實地夾持/支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除反轉後之該基板的夾持/支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

又，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，該擺動驅動機構係具有擺動驅動源，經由該第一離合機構將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件以進行擺動驅動，且經由該第二離合機構將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的該第二梳狀組件以進行擺動驅動，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來該基板確實地夾持/支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除反轉後之該基板的夾持/支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

再者，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，讓構成該第一支撐組件的第一梳狀組件之複數個突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件之複數個突出部進入至該第一基板搬送機構端部之寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，讓至少一側之該第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個 突出部沿上下方向相對地接近，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的該基板確實地夾持/支撐於該第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部之間處；且讓反轉後之構成該第一支撐組件的第一梳狀組件之複數個突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件之複數個突出部進入至該第二基板搬送機構端部之搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，讓至少一側之該第一梳狀組件之複數個突出部及第二梳狀組件之複數個突出部沿上下方向相對遠離，解除針對反轉後之該基板的夾持/支撐，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

又，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，本發明中，藉由該線性驅動機構來讓具有構成該第一支撐組件之複數個突出部及第二支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件及第二梳狀組件進行直線驅動(往復移動)，藉以將從該第一基板搬送機構所搬送而來的該基板確實地夾持/支撐於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間；或解除針對反轉後之該基板的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構端部，而能於該第二基板搬送機構進行該基板搬送。

再者，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，該線性驅動機構能藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓具有構成該第一支撐組件及第二支撐組件之梳狀組件相對接近，藉以夾持/支撐該基板，根據驅動指令並藉由該 電氣驅動裝置之驅動力，可達到能輕易實現進行該基板之夾持/支撐控制的效果。

又，本發明基板搬送機構中的基板支撐裝置，在本發明中，該線性驅動機構能藉由從驅動裝置所供給之流體壓力的作用來進行吸附或夾持，來讓構成該第一支撐組件及第二支撐組件之梳狀組件相對接近，以夾持/支撐該基板，藉由設置與該基板支撐組件不同之驅動裝置(供給流體壓力)，便可簡化基板支撐裝置之結構，具有可達到輕量化之優點。

再者，本發明偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，藉由設置在連接至該基板反轉部(進行該基板反轉動作)的組件處，讓進入至第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部的第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，藉以確實地夾持/支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間處之貼合有第一偏光膜的該基板；並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持/支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件間之貼合有第一偏光膜的該基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部處，因此，藉由連接至該基板支撐組件的該基板反轉部，可達成能將貼合有第一偏光膜之該基板朝向第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之 狀態下進行搬送)端部進行該基板反轉部的反轉動作及藉由該第二貼合部來貼合第二偏光膜的效果。

又，本發明偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，藉由設置於連接至該反轉機構(進行該基板之反轉動作)之基板反轉部的組件處，進入至該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構端部之第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，來夾持/支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與第二支撐組件之間的貼合有第一偏光膜的該基板，故可達成能確實地支撐貼合有第一偏光膜之該基板的效果；並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持/支撐於該第一支撐組件與第二支撐組件間之貼合有第一偏光膜的該基板，解除該夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構之端部處，故可達成能藉由連接至該基板支撐組件之該基板反轉部，來將貼合有第一偏光膜的該基板朝向第二基板搬送機構(將該基板之短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部進行該基板反轉部的反轉動作及於該第二貼合部進行第二偏光膜之貼合的效果。

再者，本發明偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部會繞著相對該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，可改變沿著搬送方向之貼合有第一偏光膜之該基板 的短邊及長邊方向，達成縮短加工時間的效果。

又，本發明偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部會繞著相對該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，可改變沿著搬送方向之貼合有第一偏光膜之該基板的短邊及長邊方向，達成縮短加工時間的效果。

再者，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該基板支撐裝置之該搬送手段，將從該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)搬送而來的該基板，於基板支撐裝置內之搬送通道處進行搬送，並可支撐由至少一個該基板支撐組件所搬送而到達基板支撐位置的該基板，因此，能讓被搬送於該第一基板搬送機構中的該基板，從該第一基板搬送機構經由基板支撐裝置內之搬送通道而確實且流暢地搬送至該基板支撐位置，藉由至少一個該基板支撐組件來確實地支撐到達基板支撐位置的該基板，並藉由連接至該基板支撐組件(至少一個)的該基板反轉部，將該基板朝向第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)進行反轉動作。

又，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，藉由該搬送手段之該第一搬送手段，能讓被搬送於該第一基板搬送機構中的該基板，可於該基 板支撐裝置內搬送通道處沿著該第一基板搬送機構之方向來搬送該基板，且藉由至少一個基板支撐組件中任一者來確實地支撐到達基板支撐位置的該基板；並藉由沿著該第二基板搬送機構之方向來搬送該基板用的第二搬送手段，沿著該第二基板搬送機構之方向來搬送於該基板支撐裝置內之搬送通道處經該基板反轉部反轉後的該基板，藉此，可從該基板支撐裝置內確實且流暢地將反轉後之該基板朝向該第二基板搬送機構進行搬送。

再者，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，該二個基板支撐組件，會在當該基板到達該基板支撐位置時相對接近藉以夾持/支撐該基板，故，藉由讓該二個基板支撐組件相對接近以夾持該基板之兩面，便可達成能確實地支撐到達該基板支撐位置之該基板的效果。

又，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，藉由構成該第一搬送手段及第二搬送手段且相互呈垂直關係般複數設置之該第一搬送滾筒及第二搬送滾筒(藉由該驅動裝置而與該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構同步迴轉驅動)，可於該基板支撐裝置內之搬送通道處沿著該第一基板搬送機構之方向讓該基板同步進行搬送，並可於該基板支撐裝置內之搬送通道處沿著該第二基板搬送機構之方向讓該基板同步進行搬送，因此，相對於從該第一基板搬送機構搬送而來之該基板，可消除因迴轉差所產生之多餘力量作用，可於該基板支撐裝 置內之搬送通道處流暢地進行搬送；且相對於從該基板支撐裝置內之搬送通道所搬送而來之該基板，可消除因迴轉差所產生之多餘力量作用，可達成能於該第二基板搬送機構處流暢地進行搬送的效果。

再者，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，藉由讓該第一搬送滾筒或第二搬送滾筒中至少任一者相對接近，以夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板的結構，構成該基板支撐組件且可發揮作為該基板支撐組件的功能，因此，除了該第一搬送滾筒或第二搬送滾筒之外，無需其它的該基板支撐組件，可簡化結構，並達到輕量化的效果。

又，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，相對於該第一搬送滾筒663或第二搬送滾筒之一者，藉由讓該基板支撐組件相對接近，便可夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板，不需要為了夾持該基板而讓該第一搬送滾筒或第二搬送滾筒相對接近。

再者，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，該基板支撐組件係藉由電氣驅動裝置之驅動力而相對接近，藉以夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板，根據驅動指令並藉由電氣驅動裝置之驅動力便可容易地實現該基板之夾持/支撐控制。

又，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，上述發明至第3發明中任一者，該基板支撐組件係藉由機械驅動裝置之驅動力而相對接近，藉以夾持/支撐到 達該基板支撐位置的該基板，無需複雜之控制，藉由機械驅動裝置之驅動力的機械機構，便可容易且確實地實現該基板之夾持/支撐。

再者，具有本發明基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，該基板支撐組件係藉由驅動裝置所供給之流體壓力作用來進行吸有或夾持，藉以夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板，藉由設置有與該基板支撐組件不同之供給流體壓力用驅動裝置，可簡化該基板支撐組件之結構，達成輕量化的效果。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該基板支撐裝置之該搬送手段，可將從該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)搬送而來且貼合有第一偏光膜的該基板，於基板支撐裝置內之搬送通道處進行搬送，並可支撐由至少一個該基板支撐組件所搬送而到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，因此，可從該第一基板搬送機構經由基板支撐裝置內之搬送通道，確實且流暢地將搬送於該第一基板搬送機構且貼合有第一偏光膜的該基板搬送至該基板支撐位置；而可達成能藉由至少一個該基板支撐組件來確實地支撐到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由連接至該基板支撐組件(至少一個)的該基板反轉部，朝向第二基板搬送機構(將貼合有第一偏光膜之該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下搬送該基板)進行該基板反轉部的反轉動作及藉由該第二貼合部 來貼合第二偏光膜的效果。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該基板支撐裝置之該搬送手段，可將從該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)搬送而來且貼合有第一偏光膜的該基板，於基板支撐裝置內之搬送通道處進行搬送，並可支撐由至少一個該基板支撐組件所搬送而到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，因此，可從該第一基板搬送機構經由基板支撐裝置內之搬送通道，確實且流暢地將搬送於該第一基板搬送機構處且貼合有第一偏光膜的該基板搬送至該基板支撐位置；而可達成能藉由至少一個該基板支撐組件來確實地支撐到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由連接至該基板支撐組件(至少一個)的該基板反轉部，能朝向第二基板搬送機構(將貼合有第一偏光膜之該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下搬送該基板)進行該反轉機構之該基板反轉部的反轉動作及藉由該第二貼合部來貼合第二偏光膜的效果。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部會繞著反轉軸迴轉而進行反轉動作，該反轉軸係相對該基板搬送方向呈一定傾角而設置，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可改變沿著搬送方向之貼合有第一偏光膜之該基板的短邊及長邊方 向，並可達到能縮短加工時間的效果。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，在本發明中，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部會繞著相對該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可改變沿著搬送方向之貼合有第一偏光膜之該基板的短邊及長邊方向，並可達到能縮短加工時間的效果。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，藉由該基板反轉部之反轉動作，可將讓長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送之第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構，藉由該基板反轉部之一次反轉動作而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，並根據上述發明，由於該反轉機構之該基板反轉部係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉，以進行反轉動作，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的 效果。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，並根據上述發明，由於該反轉機構之該基板反轉部係進行繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉的反轉動作，藉由繞著與該基板搬送方向相對45°傾角所設置的反轉軸而迴轉的該基板反轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，並根據上述發明，由於該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置，藉由該基板反轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板並配置至該基板反轉部之一端，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，並根據上述發明，由於該反轉機構的該反轉軸與該第一基板搬送機構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置至該第二基板搬送機構的該基板，係配置於同一平面處，藉由該基板反轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，根據上述發明，由於該反轉機構係具有上述機構，而可進行該反轉軸之升降、傾斜及位置調整，可在該基板反轉部之反轉 動作中獲得調整與控制的效果。

又，本發明之基板搬送機構中的反轉機構，根據上述發明，由於該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉機構；該第一基板搬送機構兩側設置有二個基板載置部，係交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板；且搬送至該二個基板載置部的該基板係經由該二個反轉機構之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構，能讓該基板搬送時的加工時間減半，便能獲得可進行雙倍之該基板搬送處理的效果。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，於偏光膜貼合裝置中，藉由基板反轉部之反轉動作，將讓長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下而搬送於該第一基板搬送機構且已於該第一貼合部處將偏光膜貼合至下表面的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構，可藉由該第二基板搬送機構以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送，進而在第二貼合部處將偏光膜貼合至該基板下方，達成本發明的效果。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於偏光膜貼合裝置中，係根據驅動裝置之迴轉驅動，藉由將一端連結至能控制該保持機構於保持或解除保持狀態的該保持部處之基板反轉部的反轉動作，將該第一基板搬送機構所搬送且被該保持部所保持的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構，可進行該基板之搬送及偏光膜之貼合，獲得將偏光膜各自貼合至該基板上方及下 方的效果。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，根據上述發明，藉由繞著呈45°傾斜所設置的反轉軸而迴轉的該基板反轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，根據上述發明，由於該基板反轉部之一端相對於該反轉軸呈45°傾斜設置，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，進而反轉該基板並配置至該基板反轉部之一端，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，根據上述發明，由於該反轉軸位在與該基板垂直之平面上(該平面包含有通過第一基板搬送機構之基板中心及以該基板搬送方向垂直之直線為基準而傾斜呈45°的直線)，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，根據上述發明中任一項，由於該反轉機構的該反轉軸與該第一基板搬送機構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置至該第二基板搬送機構的該基板，係配置於同一平面處，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，進而反轉該基板， 並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，根據上述發明，由於該反轉機構係具有上述機構，而可進行該反轉軸之升降、傾斜及位置調整，可在該基板反轉部之反轉動作中獲得調整與控制的效果。

又，本發明之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，根據上述發明，由於該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉機構；該第一基板搬送機構兩側設置有二個基板載置部，係交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板；且搬送至該二個基板載置部的該基板經由該二個反轉機構之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構，能讓該基板搬送時的加工時間減半，獲得可進行雙倍之該基板搬送處理的效果。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，藉由連結至基板支撐部(支撐著由該第一基板搬送機構所搬送之該基板)的該基板反轉部之反轉動作，將由該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)所搬送的該基板反轉，改變其配置並載置於第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)，因此，藉由連結至支撐著該基板之該基板支撐部的該基板反轉部之一次反轉動作，便可反轉該基板，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達成縮短加工時間的效果。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構之該基板反轉部係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，因此，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可將該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構之該基板反轉部係繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，因此，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可將該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾角而設置，因此，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，便可將設置於該基板反轉部之一端處的該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構之該反轉軸、由該第一基板搬送機構所搬送之該基板及藉由該基板反轉部而反轉並 配置於該第二基板搬送機構上的該基板，係配置於同一平面，因此，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，便可將該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，藉由相對於該反轉軸呈線對稱般所具有之一對該基板反轉部及基板支撐部之反轉動作，可將該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)所搬送的該基板反轉，改變其配置並載置於第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)，因此，相較於僅具有一個該基板反轉部及基板支撐部之情況，藉由連結至支撐著該基板之該基板支撐部的該基板反轉部之一次反轉動作，便可反轉2倍之該基板，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達成將加工時間縮短至一半的效果。

再者，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，構成該基板支撐部(連結至該基板反轉部一端)之該夾持機構係可針對由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的兩面進行夾持，更確實地進行支撐，因此，能藉由該基板反轉部之反轉動作，確實地將該基板反轉，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向。

又，具有本發明基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，構成該基板支撐部(連結至該基板反轉部一端)之該吸著機構係藉由吸力吸附來支撐由該第一基板 搬送機構所搬送的該基板，因此，藉由該基板反轉部之反轉動作，能將該基板反轉，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，於偏光膜貼合裝置中，藉由基板反轉部(連結至支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板用的基板支撐部)之反轉動作，來將以長方形基板之長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下且由該第一基板搬送機構所搬送之經該第一貼合部而將偏光膜貼合至下方處的該基板進行反轉，變更其配置並載置於第二基板搬送機構處，故可藉由該第二基板搬送機構將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送，達成於該第二貼合部處將偏光膜貼合至該基板下方的效果。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，於偏光膜貼合裝置中，藉由基板反轉部(連結至支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板用的該基板支撐機構之基板支撐部)之反轉動作，來將由該第一基板搬送機構所搬送且保持於該保持部處的該基板反轉，變更其配置並載置第二基板搬送機構處，以進行該基板之搬送及偏光膜之貼合，可達成能於該基板之上下面各自貼合偏光膜的效果。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構之該基板反轉部係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著相對於該基板搬送方向呈一定 傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，因此，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可將該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，藉由該基板反轉部(繞著呈45°傾角而設置之反轉軸迴轉)之一次反轉動作，便可反轉該基板，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該基板反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾角而設置，因此，藉由該基板反轉部之一次反轉動作，便可將設置於該基板反轉部一端的該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，該反轉機構之該反轉軸、由該第一基板搬送機構所搬送之該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置於該第二基板搬送機構上的該基板，係配置於同一平面，因此，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，便可將該基板反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達到縮短加工時間的效果。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反 轉機構，在本發明中，藉由相對於該反轉軸呈線對稱地所具有之一對該基板反轉部及基板支撐部之反轉動作，可將該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)所搬送的該基板反轉，改變其配置並載置於第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)，因此，相較於僅具有一個該基板反轉部及基板支撐部之情況，藉由連結至支撐著該基板之該基板支撐部的該基板反轉部之一次反轉動作，便可反轉2倍之該基板，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，可達成將加工時間縮短至一半的效果。

又，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，構成該基板支撐部(連結至該基板反轉部一端)之該夾持機構係可針對由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的兩面進行夾持，更確實地進行支撐，因此，能藉由該基板反轉部之反轉動作，確實地將該基板反轉，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向。

再者，具有本發明偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，在本發明中，構成該基板支撐部(連結至該基板反轉部一端)之該吸著機構係藉由吸力吸附來支撐由該第一基板搬送機構所搬送的該基板，因此，藉由該基板反轉部之反轉動作，能將該基板反轉，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向。

本發明之偏光膜貼合裝置，如上所述，該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係將基板朝同一方向進行搬 送，且具有反轉機構，係能吸附以長邊或短邊沿著第一基板搬送機構搬送方向的基板並進行反轉，使其形成短邊或長邊沿著第二基板搬送機構搬送方向的狀態；該反轉機構係具有用於吸附基板的吸著部、及連接至吸著部的基板反轉部，該基板反轉部係沿著反轉軸進行迴轉藉以反轉基板；該反轉軸係位在下述(1)的平面上內，且位在(2)的垂直位置。(1)包含有通過第一基板搬送機構之基板中心及以而與垂直該基板搬送方向垂直之直線為基準直線而傾斜45°的直線。(2)位在相對於第一基板搬送機構之基板的垂直位置處。

因此，藉由該反轉機構來反轉基板，同時可改變相對於搬送方向之長邊及短邊。藉此，針對基板之兩面，可從下方貼合偏光膜，故不會妨礙整流環境。又，由於反轉機構之動作為一單純動作，加工時間較短。因此，可實現加工時間較短的貼合。再者，該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係朝向同一方向而設置。即，不具有L型形狀等複雜構造。因此，本發明之偏光膜貼合裝置具有設置非常簡便且面積效率優良的效果。

以下雖根據第1圖至第13圖來說明本發明之一實施態樣，但本發明並非限定於此。首先，說明本發明之液晶顯示裝置製造系統的結構如下所述，其中，液晶顯示裝置製造系統包含有本發明之基板搬送機構及偏光膜貼合裝置。

第1圖係液晶顯示裝置製造系統的剖面圖。如第1圖所示，液晶顯示裝置製造系統100為二層結構。1F(1樓)部份為膜搬送機構50。2F(2樓)部份則為包含有基板搬送機構(第一基板搬送機構及第二基板搬送機構)的偏光膜貼合裝置60。

<膜搬送機構>

首先，說明有關膜搬送機構50。膜搬送機構50之功用在於將偏光膜(偏光板)捲出而搬送至軋輥6、6a及軋輥16、16a，並捲取不需要之剝離膜。另一方面，偏光膜貼合裝置60之功用則在於將藉由膜搬送機構50所捲出之偏光膜相對於基板(液晶面板)5進行貼合。

膜搬送機構50具有第一膜搬送機構51及第二膜搬送機構52。第一膜搬送機構51係用以將偏光膜搬送至最先將偏光膜貼合至基板5下方的軋輥6、6a處。另一方面，第二膜搬送機構52則用以將偏光膜搬送至反轉後之基板的5下方處。

第一膜搬送機構51具有：第一捲出部1、第二捲出部1a、第一捲取部2、第二捲取部2a、半切器(half cutter)3、刀刃(knife edge)4、及缺陷膜捲取滾筒7、7a。第一捲出部1處設置有偏光膜料卷，可將偏光膜捲出。可使用習知的偏光膜作為該偏光膜。具體來說，可使用一種在聚乙烯醇膜上經碘等染色且朝向一軸方向延伸後之膜等偏光膜。該偏光膜之厚度雖無特別限定，但較佳為使用5μm以上、400μm以下之偏光膜者。

該偏光膜料卷中，吸收軸方向係位於流程方向(MD方向)上。該偏光膜中，係藉由剝離膜以保護黏著劑層。可使用聚酯膜、聚對苯二甲酸乙二酯膜等作為該剝離膜(亦可稱作保護膜或分離膜separator)。該剝離膜之厚度雖無特別限定，但較佳為使用5μm以上、100μm以下之剝離膜者。

關於液晶顯示裝置製造系統100，由於具有2個捲出部及對應捲出部之2個捲取部，當第一捲出部1之料卷殘量變少時，可將設置於第二捲出部1a之料卷連結至第一捲出部1之料卷。其結果，無需停止偏光膜之捲出，即可續行作業。藉由本結構，可提高生產效率。另外，只需各具有複數個該捲出部及捲取部即可，故當然亦可具有三個以上的捲出部及捲取部。

半切器(切斷部)3會將受剝離膜保護之偏光膜(由偏光膜、黏著劑層及剝離膜所構成之膜層積體)半切斷(half cut)，以將偏光膜及黏著劑層切斷。半切器3係可使用習知組件即可。具體來說，可例如為刀刃、雷射切割器等。藉由半切器3來將偏光膜及黏著劑層切斷後，再藉由刀刃(去除部)4來將剝離膜從偏光膜處去除。

偏光膜與剝離膜之間處塗佈有黏著劑層，將剝離膜去除後，黏著劑層會殘留於偏光膜側。作為該黏著劑層並無特別限定，可例如為丙烯系、環氧系、聚胺脂系等黏著劑層。黏著劑層之厚度雖無特別限制，但通常為5~40μm。

另一方面，第二膜搬送機構52係與第一膜搬送機構51具相同的結構，具有第一捲出部11、第二捲出部11a、第 一捲取部12、第二捲取部12a、半切器13、刀刃14及缺陷膜捲取滾筒17、17a。關於命名為相同名稱之組件，即代表其功用與第一膜搬送機構51所具備者相同。

作為一較佳實施態樣，液晶顯示裝置製造系統100具有洗淨部71。洗淨部71係用於在藉由軋輥6、6a將偏光膜貼合至基板5下方之前，將基板5洗淨。洗淨部71可使用由噴射洗淨液之噴嘴及刷毛等所構成的習知洗淨部即可。洗淨部71係將即將要貼合之基板5洗淨，藉此能在基板5之附著異物較少之狀態下進行貼合。

其次，參照第2圖來說明刀刃4。第2圖係液晶顯示裝置製造系統100中之軋輥6、6a周邊部份的剖面圖。第2圖顯示基板5從左方搬送而來之情形，具有黏著劑層之(圖式中未顯示，以下皆同)的偏光膜5a則從左下方搬送而來。偏光膜5a具有剝離膜5b，藉由半切器3可將偏光膜5a及黏著劑層切斷，但不會將剝離膜5b切斷(半切斷)。

於剝離膜5b側設置有刀刃4。刀刃4係將剝離膜5b剝離用的刀刃狀組件，使得與偏光膜5a之接著力較低的剝離膜5b會沿著刀刃4而被剝離。

然後，剝離膜5b則會被第1圖之第一捲取部2所捲取。另外，亦可取代刀刃，採用藉由黏著滾筒來捲取剝離膜的結構。此時，與捲取部相同地，藉由將黏著滾筒設置於2個位置處，可提高剝離膜之捲取效率。

<偏光膜貼合裝置>

其次，說明偏光膜貼合裝置60。偏光膜貼合裝置60 係搬送基板5，並將藉由膜搬送機構50所搬送而來的偏光膜貼合至基板。圖中雖未顯示，於偏光膜貼合裝置60中，面向基板5之上方而供給有潔淨空氣。即，進行降流式整流。藉此，能在穩定狀態下進行基板5之搬送及貼合。

偏光膜貼合裝置60係設置於膜搬送機構50上部處。藉此，可達成液晶顯示裝置製造系統100之空間節省。圖中雖未顯示，但於偏光膜貼合裝置60處係設置有基板搬送機構，其係具有輸送滾筒(conveyor roll)，藉以將基板5朝搬送方向進行搬送(以下於第5圖中之後述第一基板搬送機構61、第二基板搬送機構62係相當於基板搬送機構)。

液晶顯示裝置製造系統100中，從左側將基板5搬送而來，然後，於圖中右側，即，從第一膜搬送機構51上部朝第二膜搬送機構52上部進行搬送。於膜搬送機構50與偏光膜貼合裝置60之間處，各自具有作為貼合部的軋輥6、6a(第一貼合部)及軋輥16、16a(第二貼合部)。軋輥6、6a及軋輥16、16a係用以將已去除剝離膜後之偏光膜貼合至基板5下方的組件。另外，為了從下方將偏光膜貼合至基板5之兩面處，於軋輥6、6a進行貼合之後，再藉由反轉機構65來反轉基板5。關於反轉機構65詳如後述。

朝向軋輥6、6a搬送之偏光膜會隔著黏著劑層而貼合至基板5的下方處。作為軋輥6、6a，可分別採用壓著滾筒、加壓滾筒等習知結構。又，軋輥6、6a於貼合時之壓力及溫度可適當地進行調整。軋輥16、16a之結構亦相同。另外，圖中雖未顯示，但液晶顯示裝置製造系統100之較佳 結構中，在第一捲出部1至半切器為止之間的位置具有缺陷標示(Mark)檢出部，而可檢測出具有缺陷之偏光膜的結構。

另外，關於該缺陷標示係在製作偏光膜料卷時進行檢測而賦予缺陷標示，抑或，藉由缺陷標示賦予部賦予至偏光膜上，該缺陷標示賦予部相較於缺陷標示檢出部係更靠近第一捲出部1及/或第一捲出部11側。缺陷標示賦予部係由攝影機、圖像處理裝置及缺陷標示形成部所構成。首先，用該攝影機來進行偏光膜之攝影，藉由對該攝影資料訊息進行處理，便可檢查出是否有缺陷。具體來說，該缺陷可例如為灰塵等異物、魚眼(fish eye)等。若為檢測出有缺陷之情況，便藉由缺陷標示形成部來於偏光膜上形成缺陷標示。可使用墨水等的標記作為缺陷標示。

再者，圖中未顯示之貼合回避部會藉由攝影機來辨別出該標記，將停止訊號傳送給偏光膜貼合裝置60以停止基板5之搬送。然後，被檢出有缺陷之偏光膜便不會藉由軋輥6、6a進行貼合，而會被缺陷膜捲取滾筒(回收部)7、7a所捲取。藉此，可避免讓基板5與具有缺陷之偏光膜相貼合。只要具有該一串連之結構，由於可避免讓具有缺陷之偏光膜與基板5相貼合，故可提高良率，係為較佳之實施態樣。缺陷檢出部及貼合回避部係可使用習知之檢查感測器。

如第1圖所示，藉由反轉機構65來讓基板5呈反轉狀態之後，將基板5搬送至軋輥16、16a。接著，將偏光膜貼 合至基板5下方。其結果，可將偏光膜貼合至基板5之兩面，而形成於基板5兩面處貼合有2片吸收軸相異之偏光膜的狀態。然後，依需要對基板5之兩面進行檢查，檢查是否有貼合偏差。通常，該檢查係採用具有攝影機之檢查部等來進行之結構。

如上述之液晶顯示裝置製造系統100中，將偏光膜貼合至基板5時，係從基板5下方進行貼合之結構，故不會妨礙基板5之整流環境。因此，亦可防止異物混入基板5之貼合面，能更正確地進行貼合。

第3(a)圖和第3(b)圖係顯示近似本發明之下貼型製造系統中之氣流速度向量。第3(a)圖和第3(b)圖中，區域A係設置有捲出部之區域，區域B主要為偏光膜通過之區域，區域C係設置有捲取部等之區域。又，會從HEPA過濾器40供給潔淨空氣。另外，第3(a)圖中，由於設置有能讓潔淨空氣通過之格柵41(grating)，經由格柵41，氣流能朝垂直方向移動。另一方面，第3(b)圖中，由於未設置有格柵41，氣流在接觸地板之後，便會沿地板移動。

由於第3(a)圖和第3(b)圖所示之液晶顯示裝置製造系統為下貼型，不同於第9(a)圖和第9(b)圖所示，由於偏光膜而妨礙來自HEPA過濾器40的氣流。因此，氣流向量之方向幾乎均朝向基板方向，可說是能達成無塵室之較佳整流環境。第3(a)圖中設置有格柵41，第3(b)圖中則未設置，但兩者皆同樣為較佳狀態。另外，第3(a)圖及第3(b)圖及第9(a)圖及第9(b)圖中，雖然基板搬送機構係呈水平，但 並非是設置呈一連串之構造。因此，於基板搬送機構之間處可容氣流通過之結構。基板係在藉由後述之反轉機構而受保持之後，傳送於基板搬送機構之間處的結構。

又，液晶顯示裝置製造系統100中，首先，以長邊朝前(長邊與搬送方向垂直)來搬送基板5，然後，以短邊朝前(短邊與搬送方向垂直)來搬送之結構。

<基板支撐裝置>

基板支撐裝置中，如第4圖及第5圖所示，作為基板支撐部的吸著部66係為對基板5表面進行吸附之組件。藉由吸著部66讓基板5表面保持於吸著部66處。吸著部66可使用習知的吸著部，例如，可使用空氣吸取式吸著部。

又，基板支撐裝置中，如第6圖及第7圖所示，基板支撐部係為支撐基板5用的組件，可對載置好之基板進行夾持。較佳地是，吸著機構可具有該基板支撐部用來吸附基板5。作為吸著機構可使用習知技術，例如，可使用空氣吸力方式的吸著機構。基板支撐部係由管狀手臂及吸著機構所構成，而形成能讓由吸著機構所吸出的空氣通過手臂內部的結構，但手臂及吸著機構之形狀並不限定於上述結構。

又，基板支撐部係於手臂的位置具有二個吸著機構的構造，並具有一對由三隻手臂所構成的手臂群。又，於基板5之對角線上設置有4個吸著機構，且於基板5之長度方向上，在該吸著機構之間更設置有二個吸著機構。該手臂之個數及吸著機構之設置個數僅作為示例，例如，當欲 反轉較大基板時，可適當地增加手臂個數及吸著機構個數等。又，當然亦可進行將吸著機構之設置位置集中至基板5的中心部份處(抑或，至基板5的端部周邊處)等的變更。

當基板反轉部未載置有基板5之情況，手臂群之間的距離會形成擴展狀態，以便接收基板5(以下，將上述狀態稱作「待機狀態」)。另一方面，基板反轉部67之手臂群之間的距離亦形成擴展狀態。又，可藉由縮短手臂群之間的距離來使一對的手臂群夾持基板5。如上述般，手臂群之間的距離係可改變，為此，基板支撐部具有馬達之結構，可將馬達之迴轉運動轉變為直線運動藉以改變手臂群之間的距離。另外，只要能改變手臂群之間的距離之結構，亦可改用具有馬達之結構。

基板支撐裝置66係關於一種基板搬送機構中之基板支撐裝置，其中，如第8圖至第10圖所示，考慮到相對於具有之輸送滾筒612的該第一基板搬送機構61之膜與基板搬送方向下游端部之間、具有輸送滾筒622的該第二基板搬送機構62之膜與基板搬送方向上游端部之間，其間隙可不會被相互干渉地進入，而對應於反轉機構65之基板反轉部67的反轉動作，設置有第一基板支撐部661及第二基板支撐部662的結構。

該基板支撐裝置66的結構係由一對尺寸較基板(如第8圖所示般貼合有膜)更大之梳狀組件所構成；呈現一對之二個梳狀組件係呈180°，連結部671係相對於作為反轉軸之迴轉軸部68(相對於該第一及第二基板搬送機構61之搬送 方向而以45°角配置)上的2位置處相連結，端部672係相對於該第一及第二基板搬送機構61之搬送方向而朝垂直方向延伸，而連結部671的另一端與在反轉機構65之基板反轉部67的端部672處係經由2處之連絡部673而機械性結合(相連結)。為了更加縮短加工時間，亦能以90°(60°)角度關係，相對於迴轉軸部68而設置有4個(6個)基板支撐裝置。

即，當一側之基板支撐裝置66，插入(進入)至具有輸送滾筒612的該第一基板搬送機構61之膜及基板搬送方向下游端部時，另一側之基板支撐裝置66，便會插入(進入)至具有輸送滾筒622的該第二基板搬送機構62之膜及基板搬送方向上游端部，其係如第8圖所示之結構。

關於該基板支撐裝置66，藉由設置在連接至該基板反轉部67(進行該基板反轉動作)的組件處，讓進入至第一基板搬送機構61(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構62(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部處的第一支撐組件661與第二支撐組件662進行相對移動，用於夾持並藉以支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間處的該基板5；並藉由該第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間處的該基板5，解除該夾持之支撐，並將其載置於該第二基板搬送機構62之端部處 的結構。

如第8圖所示，該第一基板搬送機構61之下游側端部係沿寬度方向分割成複數個(例如4個)分割部份61A、61B、61C、61D，相鄰之分割部份之間形成有能讓構成該第一支撐組件661及第二支撐組件662之略呈E字狀第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數個(例如3個)突出部6611~6613、6621~6623進入用的複數個間隙；且該第二基板搬送機構62之上游側端部係沿搬送方向分割成複數個(例如4個)分割部份62A、62B、62C、62D，相鄰之分割部份之間形成有能讓反轉後之構成該第一支撐組件661及第二支撐組件662之該第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數個突出部6611~6613、6621~6623進入用的複數個間隙。

如第8圖所示之結構，該第一基板搬送機構61之下游側端部處，沿寬度方向所分割形成之4個分割部份61A、61B、61C、61D處各自設置有搬送滾筒612，依迴轉驅動指令且經由迴轉驅動機構及迴轉連結機構(圖中未顯示)而同步迴轉驅動，以將於下方貼合有偏向膜的該基板5朝向圖中右方進行搬送，並於到達停止位置後停止。

如第8圖所示之結構，該第二基板搬送機構62之上游側端部處，沿基板搬送方向所分割形成之4個分割部份62A、62B、62C、62D處各自設置有搬送滾筒622，依迴轉驅動指令且經由迴轉驅動機構及迴轉連結機構(圖中未顯示)而同步迴轉驅動，以將經基板反轉部67而反轉且於上方貼合有偏向膜的該基板5朝向圖中右方之第二貼合裝置 進行搬送。

如第8圖至第10圖所示，該第一支撐組件661及第二支撐組件662係為分別具有複數個突出部6611~6613、6621~6623的第一及第二梳狀組件，其係由能以一端作為支點進行擺動的擺動組件所構成。

即，具有構成該第一及第二支撐組件661、662之複數個突出部6611~6613、6621~6623的該第一及第二梳狀組件，係為一種可藉由擺動驅動機構669而於一定角度範圍(例如90°範圍)內受擺動驅動的結構。

該擺動驅動機構669係由下述組件所組成：第5圖中上方的第一擺動驅動機構6691，係用以針對如第8圖及第9圖所示之具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~6613的該第一梳狀組件來進行擺動驅動；以及第9圖中下方的第二擺動驅動機構6692，係用以針對具有構成第二支撐組件662之複數個突出部6621~6623的該第二梳狀組件來進行擺動驅動。

該第一擺動驅動機構6691的結構係由作為電氣驅動裝置之第一馬達(設置在經由該連絡部673而連結至進行該基板反轉動作用該基板反轉部67之端部672處的基部組件660一端處)所構成，並根據擺動指令之驅動力量及擺動方向，讓插入至該基部組件660的中介材中空軸6601進行擺動迴轉，藉以使得與該中介材中空軸6601連結呈一體的該複數個突出部6611~6613(構成該第一支撐組件661(該第一梳狀組件))進行擺動迴轉。

如第8圖及第9圖所示，根據迴轉驅動指令且經由迴轉驅動機構及迴轉連結機構(圖中未顯示)，於該第一基板搬送機構61下游側端部的4個分割部份61A、61B、61C、61D處，讓搬送滾筒612進行迴轉驅動，將於下方貼合有偏向膜的該基板5朝圖中右方進行搬送，到達停止位置而停止後，構成該第一擺動驅動機構6691之作為電氣驅動裝置的第一馬達便會根據擺動指令之驅動力量及擺動方向，讓插入至該基部組件660之中介材中空軸6601沿逆時鐘方向進行擺動迴轉，藉此，讓構成該第一梳狀組件(與該中介材中空軸6601連結呈一體)之第5(a)圖中所示呈垂直狀態的該複數個突出部6611~6613沿逆時鐘方向擺動迴轉90°，以對於停止於第5(b)圖中所示呈水平狀態之構成該第二梳狀組件的該複數個突出部6621~6623之間處且於下方貼合有偏向膜的該基板5，進行夾持/支撐。

該第二擺動驅動機構6692的結構係由作為電氣驅動裝置之第二馬達(設置在經由該連絡部673而連結至進行該基板反轉動作用的該基板反轉部67之端部672處的基部組件660一端處)所構成，並根據其驅動力量及擺動方向，讓插入至該基部組件660的中心軸6602進行擺動迴轉，藉以使與該中心軸6602連結呈一體的之該複數個突出部6621~6623(構成該第二支撐組件662(該第二梳狀組件))進行擺動迴轉。

藉由讓該複數個突出部6611~6613朝逆時鐘方向擺動迴轉90°，以對於停止於第9(b)圖中所示呈水平狀態之構成 該第二梳狀組件的該複數個突出部6621~6623之間處且於下方貼合有偏向膜的該基板5，來進行夾持/支撐，然後，以下說明基板反轉機構之該基板反轉部67係繞反轉軸進行反轉，而如第10(a)圖所示，夾持著該基板5的該複數個突出部6611~6613與該複數個突出部6621~6623之上下關係便會反轉，並將基板5載置至將該第二基板搬送機構之上游側端部。

構成該第二擺動驅動機構6692之作為電氣驅動裝置的第二馬達，會根據擺動指令之驅動力量及擺動方向，讓插入至該基部組件660之中心軸6602沿逆時鐘方向進行擺動迴轉，藉此，讓構成該第二梳狀組件(與該中心軸6602連結呈一體)之第10(a)圖中所示呈水平狀態的該複數個突出部6621~6623沿逆時鐘方向進行擺動迴轉，而如第10(b)圖中所示般擺動迴轉90°以形成垂直狀態，因此，被夾持於構成該第一梳狀組件之該複數個突出部6611~6613之間處且於下方貼合有偏向膜之該基板5，便會解除該夾持狀態，並藉由該第二基板搬送機構之搬送滾筒622的迴轉，將於下方貼合有偏向膜之該基板5搬送至第二貼合裝置。

該擺動驅動機構669係由下述組件所構成：一個馬達6690，係作為之擺動驅動源，如第11(a)圖所示；第一離合機構6633，係將來自該馬達6690之擺動驅動力迴轉傳遞給該第一梳狀組件，藉以進行擺動驅動，該第一梳狀組件具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~6613；以及第二離合機構6634，係將來自作為該擺動驅動源的一 個馬達6690之擺動驅動力迴轉傳遞給該第二梳狀組件，藉以進行擺動驅動，該第二梳狀組件具有構成該第二支撐組件662之複數個突出部6621~6623。將作為擺動驅動源之馬達6690設計為一個，可達成基板支撐裝置的簡單化、輕量化。

如第11(b)圖所示，該擺動驅動機構669之結構係使用作為第一擺動驅動源及第二擺動驅動源的致動器6635、6636，藉由以一部份為支點而擺動之擺動組件來讓第一支撐組件661及第二支撐組件662另一端沿圖中上下進行移動，以讓構成該第一支撐組件661及第二支撐組件662之該第一梳狀組件的複數個突出部6611~6613及第二梳狀組件的複數個突出部6621~6623以該支點為中心於一定角度範圍(例如0°至±30°左右)各自擺動，藉此，便可形成夾持/支撐該基板5及解除夾持/支撐狀態的態樣；由控制器6637來對構成該致動器6635、6636之螺線管進行電流施加控制(即，ON/OFF控制)便可加以實現，故具有控制簡單的優點。

上述說明了一種藉由讓該第一支撐組件661及第二支撐組件662進行相對擺動迴轉以夾持/支撐該基板5的範例，但實施態樣中，具有構成該第一及第二支撐組件之複數個突出部的該第一梳狀組件及第二梳狀組件，亦可為能沿上下方向相對接近或遠離以改變其對向間距般進行往復移動的結構。

即，具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~6613的該第一梳狀組件及第二支撐組件662之複數 個突出部6621~6623的該第二梳狀組件，亦可為能藉由線性驅動機構(即，往復移動驅動機構)來驅動以進行往復移動的結構。

該線性驅動機構亦可為以下說明之結構。根據來自第12(a)圖所示控制器6638C的驅動電流，藉由第一螺線管6638A及第二螺線管6638B等其他電氣，驅動裝置於第8圖中之上下方向的驅動力，來讓該第一支撐組件661及第二支撐組件662中至少任一者相對地接近，藉以夾持/支撐該基板5，並於反轉後之該第二基板搬送機構的上游端處，讓該第一支撐組件661及第二支撐組件662中至少任一者相對地遠離，藉以解除該基板5之夾持狀態。

又，該線性驅動機構亦可為以下說明之結構。如第12(b)圖所示般，於構成基板支撐組件661之梳狀組件的複數個突出部上，與基板5接觸之表面的位置，形成有複數個吸附該基板5用的吸著部6639，藉由從驅動裝置(幫浦P)所供給之流體壓力而產生的負壓吸引作用來吸附或夾持該基板5，並藉由讓該第一梳狀組件及第二梳狀組件相對地接近，以夾持/支撐該基板的結構。只要將作為驅動裝置之幫浦或壓力源設置於工廠內適當位置處並由配管連結，便可簡化基板支撐裝置之結構，具有可達到輕量化及高速化之優點。

又，可為下述結構，如第12(c)圖所示，於第一支撐組件661及第二支撐組件662之兩端形成有複數個被吸著部與吸著部6639，從吸力幫浦P(作為驅動裝置之真空幫浦)經由配管供給之流體壓(負壓)而產生負壓吸引作用，讓被吸 著部被吸附至該吸著部6639，藉此，讓該第一支撐組件661朝圖中上方移動，以將基板夾持/支撐於該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間處。只要將作為驅動裝置之幫浦或壓力源設置於工廠內適當位置處並由配管連結，便可簡化基板支撐裝置之結構，具有可達到輕量化及高速化之優點。該實施態樣中，雖然說明了藉由吸著部之吸引作用來吸附基板之態樣，但亦可使用從噴出口噴出氣體等其他壓力流體，而藉由該押壓力來支撐基板5的態樣。

又，關於偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，如第8圖至第10圖所示的結構，偏光膜貼合裝置係包含有第一基板搬送機構61(將長方形基板以長邊或短邊沿搬送方向之狀態下進行搬送)、第一貼合部(將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構61之該基板下方)、第二基板搬送機構(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、第二貼合部(將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方)、及基板支撐裝置66(具有能支撐由該第一基板搬送機構所搬送之貼合有第一偏光膜之該基板5的基板支撐部)，其中，組件660連接至進行該基板反轉動作之基板反轉部67，第一支撐組件661與第二支撐組件662設置於組件660進入至該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62端部的位置，藉由第一支撐組件661與第二支撐組件662之相對移動，以夾持/支撐從該第一基板搬送機構61搬送至該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間的貼合有第一偏光膜的該基板5夾持，並藉由該第一支撐組件661 與第二支撐組件662間之相對移動，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間的貼合有第一偏光膜的該基板5，解除該夾持之支撐，而將其載置於該第二基板搬送機構62之端部。

再者，關於偏光膜貼合裝置中的基板支撐機構，如第8圖至第10圖所示的結構，偏光膜貼合裝置包含有第一基板搬送機構61(將長方形基板以長邊或短邊沿搬送方向之狀態下進行搬送)、第一貼合部(將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構61之該基板下方)、第二基板搬送機構62(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)、及第二貼合部16(將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方)、及反轉機構(其結構係能藉由連結至基板支撐部(能支撐由該第一基板搬送機構61所搬送之貼合有第一偏光膜之該基板5)，基板反轉部67之反轉動作，來將被支撐於該基板支撐部的該基板反轉，改變其配置並設置於第二基板搬送機構)，組件660連接至進行該基板反轉動作之基板反轉部67，第一支撐組件661與第二支撐組件662係設置於組件660進入至該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62端部的位置，藉由第一支撐組件661與第二支撐組件662間之相對移動，以夾持/支撐從該第一基板搬送機構61搬送至該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間處的貼合有第一偏光膜的該基板5夾持，並藉由該第一支撐組件661與第二支撐組件662間之相對移動，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件 661與第二支撐組件662之間的貼合有第一偏光膜的該基板5，解除該夾持之支撐，而將其載置於該第二基板搬送機構62之端部。

於該偏光膜貼合裝置中，該反轉機構係具有能繞著相對該基板搬送方向以固定傾角(40°至50°)所設置的反轉軸M或反轉軸部68迴轉而進行反轉動作的基板反轉部67。

又，該偏光膜貼合裝置中，該反轉軸之該傾角係設定為45°左右(45°±2°)。

再者，關於基板支撐裝置66，如第13圖至第15圖所示的結構，相對於具有輸送滾筒510(第一基板搬送機構61)之該第一膜搬送機構51之膜及基板搬送方向下游端部、具有輸送滾筒520(第二基板搬送機構61)之該第二膜搬送機構52之膜及基板搬送方向上游端部，考慮其間隙而相隔有不會相互干渉之最小間隙，對應於反轉機構65之基板反轉部67的反轉動作，而對向於基板支撐部661般設置。

該基板支撐裝置66如第13圖所示，係由尺寸較貼合有膜之基板更大的矩形箱狀組件所構成，關於2個該矩形箱狀組件，呈180°之角度關係，其中之一轉角部相對於與該第一基板搬送機構61(反轉軸)搬送方向呈45°角設置的迴轉軸部68，以最接近之方式機械性地結合而連結至反轉機構65之基板反轉部67的一端。

再者，為了縮短加工時間，亦能呈90°(60°)角度關係而相對於迴轉軸部68設置有4個(6個)基板支撐裝置。加工時間尚有餘裕之情況，亦可採用相對於迴轉軸部68而設置 有1個基板支撐裝置66及基板反轉部67的態樣。

即，如第13圖所示的結構，當一側之基板支撐裝置66，相對於具有輸送滾筒510(第一基板搬送機構61)的該第一膜搬送機構51之膜及基板搬送方向下游端部而設置之情況，另一側之基板支撐裝置66，則相對於具有輸送滾筒520(第二基板搬送機構61)的該第二膜搬送機構52之膜及基板搬送方向上游端部呈對向地設置。

該基板支撐裝置66係具有：搬送通道662係形成於基板支撐裝置內，用以搬送從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5，如第14圖所示；複數個搬送滾筒663(作為搬送手段)之結構係能接觸至搬送於該搬送通道662之該基板5並沿著該第一膜搬送機構51之基板的搬送方向進行搬送；複數個搬送滾筒664(作為搬送手段)之結構係能接觸至從該搬送通道662所搬送而來之該基板5並沿著該第二膜搬送機構52之基板的搬送方向進行搬送；以及基板支撐驅動機構665，係讓該複數個搬送滾筒664上下移動，藉以夾持/支撐到達該搬送通道662之基板支撐位置的該基板，或解除經下述基板反轉部67而反轉後之該基板的夾持狀態。

關於該複數個搬送滾筒663之結構，相對於可迴轉般受支撐的迴轉軸6630以固定間隔配置有複數個(例如四個)搬送滾筒663，以固定間隔而並排設置有複數個(例如三個)該迴轉軸6630，藉由馬達等其他迴轉驅動裝置，依需要經由迴轉連結機構而與該第一基板搬送機構61同步進行迴轉驅動。關於迴轉驅動裝置，可轉用該第一及第二基板搬送 機構所採用之迴轉驅動裝置並經由迴轉連結機構而與該第一基板搬送機構同步進行迴轉驅動；亦可使用與該第一基板搬送機構所採用之迴轉驅動裝置不同之各別迴轉驅動裝置，藉由同一或同樣之驅動指令，依需要經由迴轉連結機構而與該第一基板搬送機構同步進行迴轉驅動。

關於該複數個搬送滾筒664之結構，相對於可迴轉般受支撐的迴轉軸6640以固定間隔配置有複數個(例如3個)滾筒664，以固定間隔而並排設置有複數個(例如4個)該迴轉軸6640，藉由馬達等其他迴轉驅動裝置，依需要經由迴轉連結機構而與該第二基板搬送機構62同步進行迴轉驅動。

關於迴轉驅動裝置，可轉用該第二基板搬送機構用之迴轉驅動裝置並經由迴轉連結機構而與該第二基板搬送機構同步進行迴轉驅動；亦可使用與該第二基板搬送機構用迴轉驅動裝置不同之各別迴轉驅動裝置，藉由同一或同樣之驅動指令，依需要經由迴轉連結機構而與該第二基板搬送機構同步進行迴轉驅動。

該支撐驅動機構665係可例如為齒條與齒輪機構，其係藉由機械性地連結至該支撐部6641的齒條與用馬達來迴轉驅動的齒輪所組成，並依基板支撐指令及基板解除指令來讓支撐部6641(樞軸支承於複數配置有該複數個搬送滾筒664的迴轉軸6640兩端處)上下移動，以藉由相互呈垂直關係而複數配設的複數個第一搬送滾筒663及第二搬送滾筒664，來夾持/支撐到達該搬送通道662之基板支撐位 置(如第14(c)圖所示)的該基板，或解除經反轉後之該基板的夾持狀態。

雖以一種讓複數配設有該複數個搬送滾筒664之迴轉軸朝下方移動以夾持該基板5，並於反轉後朝上方移動作為示例，來說明該基板支撐驅動機構665，但亦可採用讓第14圖中之複數個搬送滾筒663朝上方移動以夾持該基板5，並於反轉後讓第15圖中之該複數個搬送滾筒663及複數個搬送滾筒664一同朝上方移動以解除該基板5之夾持的態樣；或者，讓複數個搬送滾筒663及該複數個搬送滾筒664兩者朝上下移動的態樣，或讓複數個搬送滾筒663及該複數個搬送滾筒664相對接近之態樣。

又，上述雖以一種可藉由讓配設有複數個該複數個搬送滾筒664的迴轉軸6640朝上下移動，以夾持/支撐到達該搬送通道662之基板支撐位置的該基板，或解除反轉後之該基板的夾持狀態，藉由相互垂直之該複數個搬送滾筒663、664，來構成支撐基板之基板支撐組件的作為示例，來說明該基板支撐驅動機構665，但亦可於該基板支撐裝置66內部設置有與該複數個搬送滾筒663、664不同之一個或複數個基板支撐組件，例如第16(a)圖所示，讓基板支撐組件6651與上述同樣地朝下方移動或讓基板支撐組件6651D朝上方移動，以相對該複數個搬送滾筒663、664其中一者而相對接近，以夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板5。

再者，如第16(b)圖所示，亦可讓二個基板支撐組件6652、6653中至少任一者如上述相同地朝下方或上方移 動，使其相對接近，便可藉由二個基板支撐組件6652、6653來夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板。

該基板支撐驅動機構665的結構可為藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓該一個或複數個基板支撐組件6651-6653相對接近，以夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板；但亦可如第17(a)圖所示，依電氣輸入之方式以磁力吸引突出組件(將與基板支撐組件6651至6653形成一體的一端插入至螺線管6654內的結構)，來讓基板支撐組件6651至6653朝圖中上方移動，藉以支撐反轉後之基板5；又，可如第17(b)圖所示，依電氣輸入之方式以磁力吸引縱斷面形狀呈略E字型之突出組件(將與基板支撐組件6651至6653形成一體的中央部一端插入至螺線管6654內的結構)，來讓基板支撐組件6651-6653朝圖中下方移動，藉以支撐反轉後之基板5。

又，基板支撐驅動機構665可為藉由機械性驅動裝置之驅動力，來讓該一個或複數個基板支撐組件6651至6653相對接近，以夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板的結構；又，可如第17(c)圖所示，關於因彈簧組件而受到朝向下方之彈簧能賦能的基板支撐組件6651至6653之結構，係抵抗彈簧組件6662之朝向下方的彈簧力而插入楔狀組件6661，於基板支撐組件6651至6653與該搬送通道662之間處形成固定間隙，藉此，將貼合有膜之該基板搬送至該搬送通道662，當其到達該基板支撐位置時，藉由對應貼合有膜之該基板的移動所造成之擺動組件(圖中未顯示)的擺 動，來讓該楔狀組件6661朝圖中右方後退，因此，當該基板支撐組件6651至6653因彈簧組件6662之彈簧力而朝向下方移動，便會將到達該基板支撐位置之貼合有膜的該基板夾持在其與搬送滾筒663之間處；且在藉由基板反轉部67之反轉來將基板支撐裝置反轉後，已後退之該楔狀組件6661便會再次進入至圖中左方，抵抗彈簧組件之彈簧力而讓基板支撐組件6651至6653朝向上方移動，以解除反轉後之該基板的夾持，便可朝向第二基板搬送機構62進行該基板之搬送。相較於使用電氣驅動裝置之情況，上述結構具有無需進行控制及無需設置控制裝置的優點。

相對於從基板支撐裝置66內部將反轉後之基板5送往第二基板搬送機構62的搬送路徑，而偏移配設有該楔狀組件6661，且形成不會阻礙基板搬送的結構。

再者，關於基板支撐驅動機構665之結構可為，藉由從驅動裝置所供給之流體壓力的作用，來吸附、壓著或夾持該一個或複數個基板支撐組件6651至6653，藉以夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板；但亦可如第17(d)圖所示，從幫浦並經由雙向切換閥6659將空氣、水、油壓等其他流體供給或排出至插入有活塞6657(經由連結組件6656而連結至該一個或複數個基板支撐組件6651至6653)的液壓缸6658之左右隔室內，對應於液壓缸6658內之活塞6657的上下移動，便可讓該基板支撐組件6651至6653朝向上方或下方移動，以將到達該基板支撐位置之貼合有膜的該基板夾持於其與搬送滾筒663之間，或解除該夾持狀態。

又，關於支撐驅動機構665，無需藉由該基板支撐組件之夾持，可由氣體等其他流體所產生的負壓而朝向吸著部(該基板支撐組件)進行吸著、或由空氣等其他流體所產生的押壓力而朝向押壓部(該基板支撐組件)進行押壓，來支撐基板；只要能將壓力源設置於工廠內適當位置處並經由該迴轉軸部68及基板反轉部67來供給流體，則只需於該基板支撐裝置內由該吸著部或押壓部來形成該基板支撐組件即可，可簡化該基板支撐裝置之結構，可讓該基板支撐裝置輕量化，並可達成該基板支撐裝置之高速迴轉及短縮加工時間。

關於由上述結構所組成之本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，該基板支撐裝置66的結構係藉由設置在連接至該基板反轉部67(進行該基板反轉動作)的組件660處，讓進入至該第一基板搬送機構61(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構62(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部的第一支撐組件661與第二支撐組件662進行相對移動，能夾持並藉以支撐從該第一基板搬送機構61搬送至該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間處的該基板5；並藉由該第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間處的該基板5，解除該夾持/支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構62之端部。藉由簡單之結構，將由該第一基 板搬送機構61所搬送而來的該基板5夾持於進入該第一基板搬送機構61端部的該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間，藉以，能達到可確實支撐之效果；能藉由該基板反轉部67來反轉該基板，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間處的該基板5，解除該夾持/支撐，而載置於該第二基板搬送機構62之端部處，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板之搬送的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，藉由讓構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623進入至該第一基板搬送機構61端部之寬度方向上複數個分割部份61A、61B、61C、61D之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，藉此，可達成能將從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5夾持於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間，並確實地支撐的效果；且藉由讓反轉後之構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623進入至該第二基板搬送機構62端部之搬送方向上複數個分割部份62A、62B、62C、62D之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，解除針對反轉後之該基板的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板之搬送的效果。

再者，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，藉由讓構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件之複數個突出部及第二支撐組件662的第二梳狀組件之複數個突出部進入至該第一基板搬送機構61端部之寬度方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，至少讓一側之該第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623以其一部份作為支點於一定角度範圍進行擺動，藉此，可達成能將從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5夾持於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間並確實地支撐的效果；且藉由讓反轉後之構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件之複數個突出部及第二支撐組件662的第二梳狀組件之複數個突出部進入至該第二基板搬送機構62端部之搬送方向上複數個分割部份之相鄰部份之間所形成的複數個間隙，至少讓一側之該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部以其一部份作為支點於一定角度範圍進行擺動，以解除針對反轉後之該基板的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板之搬送的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~6613的該第一梳狀組件及構成該第二支撐組件662之複數個突出部6621~6623的第二梳狀組件係可藉由擺動驅動機構6691、6692，而達成能將從該第一基板搬送機構61搬送 而來的該基板5夾持於其與該第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623之間處並確實地支撐的效果；或解除針對反轉後之該基板5的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板5之搬送的效果。

再者，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，藉由構成該擺動驅動機構之該第一擺動驅動機構6691來讓具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~6613、6621~6623的該第一梳狀組件進行擺動驅動，且藉由構成該擺動驅動機構之第二擺動驅動機構6692來讓具有構成第二支撐組件662之複數個突出部的該第二梳狀組件進行擺動驅動，藉此，可達成能將從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5夾持於其與該第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623之間，並確實地支撐的效果；或解除針對反轉後之該基板5的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板5之搬送的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，該擺動驅動機構係具有擺動驅動源6690，經由該第一離合機構6633將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~6613的該第一梳狀組件以進行擺動驅動，且經由該第二離合機構 6634將來自該擺動驅動源6690之擺動驅動力傳遞給具有構成該第二支撐組件662之複數個突出部6621~6623的該第二梳狀組件以進行擺動驅動，藉此，可達成能將從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5夾持於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間處，並確實地支撐的效果；或解除針對反轉後之該基板5的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板5之搬送的效果。

再者，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，藉由讓構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623進入至該第一基板搬送機構61端部之寬度方向上複數個分割部份61A、61B、61C、61D之相鄰部份之間所形成的複數個間隙，讓至少一側之該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部沿上下方向相對地接近，藉此，可達成能將從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5夾持於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間處，並確實地支撐的效果；且藉由讓反轉後之構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件之複數個突出部6611~6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件之複數個突出部6621~6623進入至該第二基板搬送機構62端部之搬送方向上複數個分割部份62A、62B、62C、62D之相鄰部份之間所形成的複數個間隙處，讓至少一側之該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部沿上下 方向相對遠離，解除針對反轉後之該基板的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板之搬送的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，藉由該線性驅動機構6638A、6638B，來讓具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611~661的該第一梳狀組件及第二支撐組件662之複數個突出部6621~6623的該第二梳狀組件進行直線驅動(往復移動)，藉此，可達成能將從該第一基板搬送機構61搬送而來的該基板5夾持於該第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數個突出部之間處，並確實地支撐的效果；或解除針對反轉後之該基板5的夾持，將其載置於該第二基板搬送機構62端部，藉此，可達成於該第二基板搬送機構62上進行該基板5之搬送的效果。

再者，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，該線性驅動機構能藉由電氣驅動裝置6638A、6638B之驅動力，來讓具有構成該第一支撐組件661及第二支撐組件662之梳狀組件相對接近，藉以夾持/支撐該基板5，根據驅動指令並藉由該電氣驅動裝置之驅動力，可達到能輕易實現進行該基板之夾持/支撐控制的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的基板支撐裝置，該線性驅動機構能藉由從驅動裝置所供給之流體壓力的作用來進行吸附或夾持，來讓構成該第一支撐組件661及第二支撐組件662之梳狀組件相對接近，以夾持/支撐該基板5，藉由設置與該基板支撐組件不同之驅動裝置(供給 流體壓力)，便可簡化基板支撐裝置之結構，具有可達到輕量化之優點。

再者，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，藉由設置在連接至該基板反轉部67(進行該基板反轉動作)的組件660處，讓進入至第一基板搬送機構61(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)及第二基板搬送機構62(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部的第一支撐組件661與第二支撐組件662進行相對移動，能夾持並藉以支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間的該基板5(貼合有第一偏光膜)；並藉由該第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間的該基板5(貼合有第一偏光膜)，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構62之端部，因此，藉由連接至該基板支撐組件之基部組件660的該基板反轉部67，可達成能將貼合有第一偏光膜之該基板朝向第二基板搬送機構62(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)端部進行該基板反轉部67的反轉動作及藉由該第二貼合部16來貼合第二偏光膜的效果。

又，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，藉由設置於連接至該反轉機構(進行該基板之反轉動作)之基板反轉部67的組件660處，進入至該第一基板搬 送機構61及第二基板搬送機構62端部之第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，來夾持並藉以支撐從該第一基板搬送機構61搬送至該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間的貼合有第一偏光膜的該基板5，故可達成能確實地支撐貼合有第一偏光膜之該基板5的效果；並藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部67反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件661與第二支撐組件662之間的貼合有第一偏光膜的該基板5，解除該夾持之支撐，將其載置於該第二基板搬送機構62之端部處，故可達成能藉由連接至該基板支撐組件660之該基板反轉部67，來將貼合有第一偏光膜的該基板5朝向第二基板搬送機構62(將該基板之短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)之端部進行該基板反轉部67的反轉動作及於該第二貼合部16進行第二偏光膜之貼合的效果。

再者，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部67會繞著相對該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可在與沿著貼合有第一偏光膜之該基板的搬送方向呈偏距之位置處改變其短邊及長邊的方向，並可達到能縮短加工時間的效果。

又，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的基板支撐 裝置，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部67會繞著相對該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可在與沿著貼合有第一偏光膜之該基板的搬送方向呈偏距之位置處改變其短邊及長邊的方向，並可達到能縮短加工時間的效果。

又接著，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該基板支撐裝置66之該搬送手段663、664，將從該第一基板搬送機構61(將長方形基板5以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)搬送而來的該基板5，於基板支撐裝置內之搬送通道662處進行搬送，並可支撐由至少一個該基板支撐組件所搬送而到達基板支撐位置的該基板5，因此，能讓被搬送於該第一基板搬送機構61中的該基板5，從該第一基板搬送機構61經由基板支撐裝置66內之搬送通道662而確實且流暢地搬送至該基板支撐位置，藉由至少一個該基板支撐組件663、664、6651至6653來確實地支撐到達基板支撐位置的該基板，並藉由連接至該基板支撐組件(至少一個)的該基板反轉部67，將該基板5朝向第二基板搬送機構62(將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)進行反轉動作。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該搬送手段之該第一搬送手段663，能讓被搬送於該第一基板搬送機構61中的該基板5，可於該 基板支撐裝置66內搬送通道662處沿著該第一基板搬送機構61之方向來搬送該基板5，且藉由至少一個基板支撐部66a、66b之一者來確實地支撐到達基板支撐位置的該基板5；並藉由沿著該第二基板搬送機構62之方向來搬送該基板5用的第二搬送手段664，沿著該第二基板搬送機構62之方向來搬送於該基板支撐裝置66內之搬送通道662處經該基板反轉部67反轉後的該基板5，藉此，可從該基板支撐裝置66內確實且流暢地將反轉後之該基板5朝向該第二基板搬送機構62進行搬送。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，該二個基板支撐組件663、664、6652、6653，會在當該基板5到達該基板支撐位置時相對接近藉以夾持/支撐該基板5，故，藉由讓該二個基板支撐組件相對接近以夾持該基板之兩面，便可達成能確實地支撐到達該基板支撐位置之該基板5的效果。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由構成該第一搬送手段及第二搬送手段且相互呈垂直關係般複數設置之該第一搬送滾筒663及第二搬送滾筒664(藉由該驅動裝置而與該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62同步迴轉驅動)，可於該基板支撐裝置66內之搬送通道662處沿著該第一基板搬送機構61之方向讓該基板5同步進行搬送，並可於該基板支撐裝置66內之搬送通道處沿著該第二基板搬送機構62之方向讓該基板同步進行搬送，因此，相對於從該第一基板搬送機 構61搬送而來之該基板，可消除因迴轉差所產生之多餘力量作用，可於該基板支撐裝置66內之搬送通道662處流暢地進行搬送；且相對於從該基板支撐裝置66內之搬送通道662搬送而來之該基板5，可消除因迴轉差所產生之多餘力量作用，可達成於該第二基板搬送機構62處流暢且不使基板5及偏向膜產生變形及破損的情況下進行搬送的效果。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由讓該第一搬送滾筒663或第二搬送滾筒664中至少任一者相對接近，以夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板5的結構，亦可發揮作為該基板支撐組件的功能，因此，除了該第一搬送滾筒663或第二搬送滾筒664之外，無需其它的該基板支撐組件，可簡化結構，並達到輕量化的效果。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，相對於該第一搬送滾筒663或第二搬送滾筒664之一者，藉由讓該基板支撐組件6651相對接近，便可夾持/支撐到達該基板支撐位置之該基板，不需要為了夾持該基板而讓該第一搬送滾筒或第二搬送滾筒相對接近，可簡化包含該第一搬送滾筒或第二搬送滾筒之搬送手段的結構，可達到提高信賴度的效果。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓上述至少一個基板支撐組件6651、6652、6653相對接近，便可夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板，根據驅動指令並 藉由電氣驅動裝置之驅動力便可容易地實現該基板之夾持/支撐控制，且亦可對應於控制邏輯或控制程式來達成高度之複雜控制。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，藉由機械驅動裝置之驅動力，來讓上述至少一個基板支撐組件6651、6652、6653相對接近，便可夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板，無需複雜之控制，藉由機械驅動裝置之驅動力的機械機構，便可容易且確實地實現該基板之夾持/支撐。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之搬送手段的基板支撐裝置，從驅動裝置所供給之流體壓力作用來讓上述至少一個基板支撐組件6651、6652、6653進行吸附、壓著或夾持，便可夾持/支撐到達該基板支撐位置的該基板，藉由將與該基板支撐組件不同之供給流體壓力用驅動裝置設置於適當部位，可簡化該基板支撐組件之結構，可達成輕量化、高速迴轉、縮短生產線之加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該基板支撐裝置之該搬送手段，可將從該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)搬送而來且貼合有第一偏光膜的該基板，於基板支撐裝置內之搬送通道處進行搬送，並可支撐由至少一個該基板支撐組件所搬送而到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，因此，可從該第一基板搬送機構經由基板支撐裝置內之搬送通道，確實 且流暢地將搬送於該第一基板搬送機構且貼合有第一偏光膜的該基板搬送至該基板支撐位置；而可達成能藉由至少一個該基板支撐組件可確實地支撐到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由連接至該基板支撐組件(至少一個)的該基板反轉部，朝向第二基板搬送機構(將貼合有第一偏光膜之該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下搬送該基板)進行該基板反轉部的反轉動作及藉由該第二貼合部來貼合第二偏光膜的效果。

再者，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，藉由該基板支撐裝置之該搬送手段，可將從該第一基板搬送機構(將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送)搬送而來且貼合有第一偏光膜的該基板，於基板支撐裝置內之搬送通道處進行搬送，並可支撐由至少一個該基板支撐組件所搬送而到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，因此，可從該第一基板搬送機構經由基板支撐裝置內之搬送通道，確實且流暢地將搬送於該第一基板搬送機構處且貼合有第一偏光膜的該基板搬送至該基板支撐位置；而可達成能藉由至少一個該基板支撐組件可確實地支撐到達基板支撐位置之貼合有第一偏光膜的該基板，並藉由連接至該基板支撐組件(至少一個)的該基板反轉部，能朝向第二基板搬送機構(將貼合有第一偏光膜之該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下搬送該基板)進行該反轉機構之該基板反轉部的反轉動作及藉由該第二貼合部來貼合第二偏光膜的效 果。

又，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，包含該偏光膜貼合裝置，具有該反轉機構之該基板反轉部67會繞著相對該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可改變沿著搬送方向之該基板(貼合有第一偏光膜)的短邊及長邊方向，並可達到能縮短生產線之加工時間的效果。

再者，關於具有本實施態樣之偏光膜貼合裝置之搬送手段的基板支撐裝置，具有包含該偏光膜貼合裝置之該反轉機構的該基板反轉部67會繞著相對該基板5搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部67(繞著相對於該基板5搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可改變沿著搬送方向之該基板5(貼合有第一偏光膜)的短邊及長邊方向，並可達到能縮短生產線之加工時間的效果。

<反轉機構>

反轉機構65係可將短邊或長邊沿著搬送方向的基板5，改變其配置而形成長邊或短邊沿著搬送方向的狀態。第4(a)-4(c)圖係藉由反轉機構65來將基板5反轉之過程的立體圖。

第4(a)圖係吸附由第一基板搬送機構所搬送而來之基板5的狀態。第4(b)圖係移動基板5的過程，第4(c)圖係 藉由第二基板反轉機構來將基板5反轉後的狀態。另外，為了方便圖示，第4(a)圖至第4(c)圖中省略繪出第一基板搬送機構及第二基板搬送機構，留待使用第5(a)圖至第5(d)圖詳述如後。

如第4(a)圖所示，反轉機構65具有基板反轉部67及昇降部68。

基板反轉部67係連結至上述作為基板支持裝置之基板支持部的吸著部66，以連接吸著部66及昇降部68之結構。基板反轉部67係藉由以反轉軸M為軸進行迴轉之方式來反轉基板5的組件。第4(a)圖中，基板反轉部67之昇降部68側會形成朝向基板5而相對於反轉軸M朝垂直方向延伸之形狀。再者，基板反轉部67之吸著部66側則形成通過第一基板搬送機構之基板5中心，而沿著與基板5長邊(搬送方向)呈平行之直線彎曲約40°的形狀。第4(a)圖所示基板反轉部67之形狀僅為一範例，並非限定為該形狀。例如，亦可從昇降部68側朝吸著部66側彎曲之形狀作為其他形狀，以取代如基板反轉部67般之彎曲形態。又，亦可採用如機械手臂般具有複數個可動部之構造。

基板反轉部67係將可進行迴轉之可動部設置於昇降部68處之結構。該可動部係沿著反轉軸M而配置，而可讓基板反轉部67沿著反轉軸M進行迴轉的構造。

反轉軸M係位在(1)位在一平面上，該平面係包含有通過第一基板搬送機構之基板5的中心以及與垂直基板5的搬送方向垂直之直線作為基準而傾斜45°的直線，並且與基 板5垂直(參考第5(a)圖)；(2)且位在與基板5水平之位置(參考第4(a)圖)上。反轉軸M亦可位於上述平面上，且可使基板5被移動到垂直方向。

基板反轉部67係可經由可動部而沿著反轉軸M進行迴轉的結構，但只要是能沿著反轉軸M進行迴轉之結構即可，該結構並無特別限定。例如，基板反轉部67具有迴轉軸構造，當該迴轉軸構造之軸沿著反轉軸M進行迴轉的同時，使得基板反轉部67整體進行迴轉的構造。基板反轉部67之迴轉運動係例如藉由馬達(圖中未顯示)等驅動裝置來進行。

基板反轉部67係能藉由以反轉軸M為軸迴轉一次(一圈)來反轉基板5。所謂反轉一次(一圈)係指讓基板5迴轉至其相反面，換言之，讓基板5之表面轉為背面。

昇降部68為具有彎曲部之手臂狀，可藉由縮小手臂之角度來讓基板反轉部67上昇。另一方面，亦可藉由增加手臂之角度來讓基板反轉部67下降。在未搬送基板5時，係將吸著部66設置於基板5之更上方側，以避免接觸至基板5。接著，在搬送基板5時，藉由昇降部68讓基板反轉部67下降，吸著部66亦會下降，便可藉由吸著部66來吸附基板5。又，將基板5反轉之後，解除吸著部66之吸附，於解除後藉由昇降部68來移動基板反轉部67而讓吸著部66從基板5處分離。

使用第4(a)圖至第4(c)圖來說明反轉機構65之動作。首先，第4(a)圖中，顯示當基板5之短邊沿搬送方向之情 況。藉由吸著部66來吸附基板5表面後，沿著反轉軸M來迴轉基板反轉部67。第4(a)圖中，雖然係藉由吸著部66來吸附基板5之中心附近，但只要能固定而使基板5不會於迴轉時掉落即可，吸附位置並無特別限定。又，吸著位置亦不限定於4個位置處，當然可適當地增減。

其次，從第4(a)圖之狀態，讓基板反轉部67沿著反轉軸M朝基板表面側進行迴轉。第4(b)圖係顯示基板反轉部67相對於第4(a)圖中(第一基板搬送機構中)之基板5迴轉90°後的狀態。經過第4(b)圖之狀態，繼續迴轉基板反轉部67而使基板5反轉如第4(c)圖所示。

如上所般，藉由反轉機構65之一次反轉(迴轉)動作(一次反轉動作)，便可改變基板5之短邊及長邊方向而將其反轉。即，不需複雜之迴轉動作，能以較短之加工時間(Tact Time)來進行基板5之反轉及改變其配置方向。以結果而言，能以較短之加工時間來進行包含反轉之基板5的偏光膜貼合作業。

另外，第4(a)圖至第4(c)圖中，為了讓基板5朝搬送方向移動，故相對於第4(a)圖之基板5而將基板反轉部67設置於搬送方向側。藉此，如第4(c)圖所示，於第二基板搬送機構上，能在使基板5更加朝向搬送方向移動之狀態來進行反轉。藉此，能以更短之加工時間來進行包含反轉操作之兩面貼合作業。

第5(a)圖至第5(d)圖係對應於第4(a)圖至第4(c)圖之基板5於迴轉過程的俯視圖。第5(a)圖至第5(d)圖中顯示有 第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62。第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62具有輸送滾筒(圖中未顯示)。第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係將基板5朝同一方向進行搬送。因此，第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係沿著搬送方向呈直線狀結構。即，其不具有L型等複雜構造。因此，本實施態樣之偏光膜貼合裝置60的設置非常簡便，且為面積效率優良的構造。

如參照第4(a)圖至第4(c)圖之說明，首先，如第5(a)圖所示，藉由作為基板支撐部的吸著部66來保持基板5表面。其次，如第5(b)圖所示，沿著反轉軸M之方向，讓基板反轉部67迴轉90°而使基板5呈垂直狀態。最後，如第5(c)圖所示，使基板反轉部67繼續沿著反轉軸M之方向進行迴轉，以將基板5反轉。反轉基板5時，基板5係設置於輸送滾筒(圖未示)處，基板反轉部67不會接觸至輸送滾筒。因此，反轉機構65係位於基板5之下方側。

然後，藉由解除吸著部66之吸附以解除基板5之保持，由第二基板搬送機構62來搬送基板5。接著，反轉機構65會回到第5(a)圖之位置，以同樣之動作來反轉依序搬送而來的其他基板5。

如上述之反轉機構65，於吸著部66之吸附後，藉由基板5之一次動作來讓基板5反轉，並改變相對於搬送方向之長邊及短邊。於反轉動作之前，於基板5下方貼合偏光膜，於進行該反轉動作之後，便可對反轉後之基板5的下方再次貼合偏光膜。(1)可如上述地對基板5兩面從下方貼 合偏光膜，(2)該反轉動作為單純之迴轉動作，且單次之動作加工時間短。因此，可達成不會妨礙整流環境，且加工時間短的貼合作業。

另外，基板反轉部67之反轉動作係單一次動作，但即便是包含有於該動作前後昇降基板5的動作及/或調整基板反轉部67位置的動作，抑或在當反轉後於第二基板搬送機構上之配置位置，相對於基板搬送方向因基板反轉部67之間隙或傾斜角度誤差等產生角度偏差之情況，而藉由角度偏差修正機構來進行之修正動作，亦包含在本發明之反轉機構65的動作中。

第5(a)圖至第5(d)圖中，第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係將基板5朝同一方向進行搬送，且為相互鄰接之構造。此乃因為，如第5(c)圖中所示，此係因為藉由基板反轉部67而改變基板5相對於搬送方向之短邊及長邊位置，搬送反轉後基板5之第二基板搬送機構62與第一基板搬送機構61的搬送方向不會在一直線上，而會產生偏移。另外，第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62亦無需一定要相互鄰接，亦可於第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62之間設置有間隔。

如第4(a)圖至第4(c)圖所述，為了讓基板5朝搬送方向移動，故相對於反轉前之基板5而將基板反轉部67設置於搬送方向側。但是，當反轉機構65之配置等有限制之情況時，亦可設置反轉機構65，如第5(d)圖中所示。此時，雖無法讓基板5朝搬送方向移動，但可對應於反轉機構65 之配置等的限制。

又，其他實施態樣之反轉機構65，係將短邊或長邊沿著搬送方向之基板5，反轉成長邊或短邊沿著第二基板搬送機構之搬送方向的狀態。即，將基板5之表面與內面反轉，讓沿著搬送方向之基板5的長邊及短邊相互對調。首先，使用第6圖來說明有關反轉機構65之構造。

第6圖係反轉機構65的立體圖，顯示在將基板5反轉過程中之反轉機構65的動作。反轉機構65係具有基板反轉部67及迴轉軸部68，其一端與該基板支撐部66a、66b相連結。以下針對各組件進行說明。

基板反轉部67之一端係連結至該基板支撐部66a、66b，藉由以反轉軸M為中心進行迴轉，來將基板5反轉。第9圖中，基板反轉部67會連結至其各自之手臂處，就輕量化及降低迴轉時空氣阻力之觀點來看，以管狀構造為佳。但是，並不限定於上述構造。例如，亦能以板狀結構來取代管狀結構。

基板反轉部67會以反轉軸M為中心進行迴轉。作為讓基板反轉部67迴轉之組件，可例如為馬達等驅動機構。第6(a)圖中，基板反轉部67係具有迴轉軸部68作為較佳實施態樣。迴轉軸部68會沿著反轉軸M而配置，故可沿著反轉軸M穩定地進行迴轉。本實施態樣中，基板反轉部67係會與迴轉軸部68一同迴轉的構造，而能以反轉軸M為中心讓基板反轉部67穩定而輕易地進行迴轉的構造。故，具有迴轉軸部68之基板反轉部67會沿著反轉軸M而 更穩定地進行迴轉。因此，能可穩定地進行基板5之反轉。另外，迴轉軸部68不但能相對於反轉前之基板5朝向表面方向進行迴轉，亦能相反地朝向內面方向進行迴轉。

如第6(a)圖所示，反轉軸M位在「位在一平面上，該平面係包含有通過第一基板搬送機構處之反轉前基板5中心，相對於垂直該基板5搬送方向D1之直線而傾斜45°的直線，包含第一基板搬送機構處之反轉前基板5的平面上」之位置處。該傾斜45°之直線係沿著第6(a)圖之反轉軸M的直線。又，「包括第一基板搬送機構處之反轉前基板5的平面」係指反轉前基板5之同一平面，即第6(a)圖中X-Y面位置的面。

第6圖中，係說明各別構成基板支撐部66a、66b、與基板反轉部67及迴轉軸部68並連結成一體的示例，然不限於此，只要具有各組件之功能，亦可為一體成型組件的結構。

其次，說明反轉機構65之動作。第6圖中，說明了讓基板5之短邊沿著第一基板搬送機構之搬送方向D1，再將基板5反轉成為使基板5形成長邊沿著第二基板搬送機構之搬送方向D2的狀態。但是，相同地亦可讓基板5之長邊沿著搬送方向D1，再將其反轉成為使基板5形成短邊沿著搬送方向D2的狀態。

第6(w1)圖係待機狀態之反轉機構65的立體圖。如第6(w1)圖所示，基板支撐部66a係將一對手臂群之間的距離擴展，而能接收基板5的狀態。另一方面，基板支撐部66b 設置於將基板5反轉後之位置處，為了放開反轉後之基板5，基板支撐部66b所具有之一對手臂群之間的距離亦形成擴展之狀態。

X-Y平面上，沿著搬送方向D1將基板5朝向基板支撐部66a搬送，並將基板5載置於基板支撐部66a。具體而言，讓基板5移動至手臂群之間處，並將基板5載置於基板支撐部66a之下方側手臂群上。可藉由基板確認感測器來判斷是否已將基板5載置於手臂群上。本實施態樣中，基板支撐部66a及基板支撐部66b各自具有基板確認感測器的結構，但只要設置於能確認到基板5載置的位置即可，亦可設置於上述以外的位置處。

X-Y平面上，沿著搬送方向D1將基板5朝向基板支撐部66a搬送，並將基板5載置於基板支撐部66a。具體而言，讓基板5移動至手臂群之間處，並將基板5載置於基板支撐部66a之下方側手臂群上。可藉由基板確認感測器來判斷是否已將基板5載置於手臂群上。本實施態樣中，基板支撐部66a及基板支撐部66b各自具有基板確認感測器的結構，但只要設置於能確認到基板5載置的位置即可，亦可設置於上述以外的位置處。

然後，從基板確認感測器將基板5之確認訊號傳送給手臂群，如第6(a)圖所示，手臂群便會相對接近以夾持基板5。再者，藉由吸著機構來吸著基板5表面，以使基板5更加固定。相較於僅以手臂群來夾持基板5之情況，如上述般藉由吸著機構之吸著，能更加固定基板5。藉此，可避 免基板5於迴轉時脫落。

其次，藉由讓迴轉軸部68以反轉軸M為中心進行迴轉，基板反轉部67亦會一同朝基板5表面方向進行迴轉。第6(b)圖顯示從第6(a)圖狀態讓基板反轉部67以反轉軸M為中心迴轉90°後的狀態。第9(b)圖中，基板5係位在Z軸方向之位置。此時，基板支撐部66b並未夾持有基板5，且隨著基板反轉部67之迴轉而朝下方迴轉90°。

再者，基板反轉部67會與迴轉軸部68一同以反轉軸M為中心迴轉90°，藉以將基板5反轉至相對於反轉軸M之線對稱位置。另外，搬送方向D2側之基板5端部係位在第二基板搬送機構之輸送滾筒處(圖未示)。該狀態如第9(c)圖所示。如此一來，如第6(a)-6(c)圖所示，將基板5沿著基板搬送方向之長邊及短邊位置對調，且基板之表面及內面亦會反轉。因此，可藉由軋輥16、16a從下方貼合偏光膜且使吸收軸形成垂直。又，反轉機構65之動作係以反轉軸M為中心而描繪出的180°半圓軌道，故無需複雜之動作。因此，可於短加工時間內將1片基板5進行反轉。

再者，相對於反轉軸M呈線對稱而具有一對基板支撐部66a、66b。因此，藉由基板支撐部66a將基板5反轉後，另一側之基板支撐部66b便會移動至第9(a)圖中之反轉前基板5所在位置處。

從第6(c)圖之狀態，解除基板支撐部66a之吸著機構的吸附，將手臂群之間的距離擴展後，便會將基板5載置於一對手臂群中的下方側手臂群上。然後，如第6(w2)圖所 示，隨著第二基板搬送機構所具有之輸送滾筒的迴轉，將基板5朝向搬送方向D2進行搬送。

此時，基板支撐部66b會移動至反轉前基板5的位置處。藉此，無需等待基板支撐部66a之移動，便可迅速地將下一個搬送而來的基板5'進行反轉。即，偏光膜貼合裝置60除了可將1片基板反轉而將基板反轉的同時，亦可讓用於反轉下一個基板的基板支撐部66b回到基板5之支撐反轉位置，故可縮短載置下一個基板所需時間。其結果，能以短加工時間來依序針對複數個基板進行處理。

第7(a)-7(c)圖係對應於第6(a)-6(c)圖之基板5之迴轉過程的俯視圖。第7圖係顯示第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62。雖然於第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62中未顯示，但相對於基板5搬送方向呈垂直的方向上具有用於搬送基板5的複數個輸送滾筒。另外，搬送基板5之手段並不限定為輸送滾筒，亦可使用其他之替代機構。

第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係將基板5朝向同一方向進行搬送。即，搬送方向D1、D2朝向同一方向。因此，第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係各自沿著搬送方向D1、D2形成直線狀結構。即，不具有L型等複雜構造。因此，本實施態樣之偏光膜貼合裝置60之設置非常簡便，且面積效率優異。

首先，如第6(w1)圖所說明般，沿著搬送方向D1搬送基板5，從第一基板搬送機構61端部藉由輸送滾筒之迴轉 力而載置於基板支撐部66a處。接著，用基板支撐部66a之一對手臂群來夾持載置好的基板5之後，藉由吸著機構來吸附基板表面而加以固定。該反轉機構65之狀態係如第7(a)圖所示。

然後，迴轉軸部68朝向基板5之表面方向以反轉軸M為中心迴轉90°，同時基板反轉部67亦會迴轉。第7(b)圖係顯示從第7(a)圖使基板反轉部67以反轉軸M為中心迴轉90°後的狀態。此時，基板支撐部66b雖然未夾持有基板5，但會隨著基板反轉部67之迴轉而朝向下方迴轉90°。再者，與迴轉軸部68一同以反轉軸M為中心的基板反轉部67會迴轉90°，藉以反轉基板5。將基板5反轉後之反轉機構65狀態係如第7(c)圖所示。基板5會反轉相對於反轉軸M呈線對稱的位置處。

第7(c)圖中，基板5之端部位在第二基板搬送機構62之位置處。如第6(c)圖所說明般，然後，解除基板5之吸附，將手臂群之間的距離擴展。然後，便會將基板5載置於一對手臂群中的下方側手臂群上。再者，藉由第二基板搬送機構所具有之輸送滾筒的迴轉來搬送基板5。然後，藉由基板支撐部66b來反轉基板5。如此一來，便可藉由基板支撐部66a、66b高效率地將依序搬送而來的基板進行反轉。

另外，第6圖及第7圖中，基板支撐部66a、66b係具有吸著機構之結構，但亦可為僅藉由手臂群來固定基板5的結構。此時，便無需由吸著機構來進行基板5之吸附及脫離動作。

如第8圖所示，反轉機構65的結構係由尺寸較貼合有偏向膜之基板更大的一對梳狀組件所構成，呈現一對而具有2個之梳狀組件的該基板支撐裝置66係呈180°之角度關係，連結部671係相對於作為反轉軸之迴轉軸部68(相對於該第一及第二基板搬送機構61之搬送方向而以45°角配置)上的2位置處相連結，端部672係相對於該第一及第二基板搬送機構61之搬送方向而朝垂直方向延伸，而連結部671的另一端與在反轉機構65之基板反轉部67的端部672處係經由2處之連絡部673而機械性結合(相連結)。為了更加縮短加工時間，亦能以90°(60°)角度關係，相對於迴轉軸部68而設置有4個(6個)基板支撐裝置。

又，如第13圖所示，反轉機構65係由尺寸較貼合有偏向膜之基板更大的矩形箱狀組件所構成，由2個該矩形箱狀組件所組成的該基板支撐裝置66係呈180°之角度關係，其中之一轉角部相對於與該第一基板搬送機構61(反轉軸)搬送方向呈45°角設置的迴轉軸部68，以最接近之方式機械性地結合而連結至反轉機構65之基板反轉部67的一端處。為了更加縮短加工時間，亦能以90°(60°)角度關係，相對於迴轉軸部68而設置有4個(6個)基板支撐裝置。

第18圖係本實施態樣偏光膜貼合裝置60之變化實施例的俯視圖。該變化實施例中的變化之處為：(1)具有2個反轉機構65，(2)於第一基板搬送機構61兩側具有2個基板載置部61a，(3)第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62配置於一直線上。另外，同樣地可以藉由第一基板搬 送機構61及第二基板搬送機構62來將基板5朝同一方向進行搬送。

於第一基板搬送機構61靠近中之第二基板搬送機構62側的端部處，相對於第一基板搬送機構61之搬送方向而沿著該端部之水平兩方向具有基板載置部61a及反轉機構65。反轉機構65之構造係相同於參照第4(a)圖至第4(c)圖及第5(a)圖至第5(d)圖之說明。又，該端部之區域61b處具有用於將基板5朝向基板載置部61a搬送用的搬送手段。具體而言，可例如為輸送滾筒。

基板載置部61a係藉由吸著部66而設置基板5。依該變化實施例，沿第一基板搬送機構61搬送而來的基板5係交互地被搬送至二個基板載置部61a處。由於各自具有二對基板載置部61a及反轉機構65，被搬送至基板載置部61a之基板5，係藉由反轉機構65之一次動作而進行反轉。

該變化實施例中，2個基板載置部61a係各自沿第一基板搬送機構61之水平兩方向而設置，反轉後之基板5便會沿著第一基板搬送機構61之搬送方向而配置。因此，可將第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62配置於一直線上。

依該變化實施例，(1)由於具有2個反轉機構65，於每單位時間可對基板5進行2倍之處理。藉此，可於每單位時間將更多的基板5反轉，可縮短加工時間。(2)再者，由於第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係設置於一直線上，可提供面積效率更優良構造的偏光膜貼合裝 置。特別是於無塵室中講求面積效率，非常適合使用該偏光膜貼合裝置。

反轉機構65之結構如第19圖所示。第19圖係連結至反轉機構65及反轉機構65之介面部165的結構方塊圖。第11圖所示結構僅作為一示例，反轉機構65並不限定於該示例。再者，如第19圖所示，反轉機構65連接至介面部165。介面部165係接受來自操作者的操作輸入，並可顯示輸入資料及傳送給反轉機構65。

反轉機構65中具有基板支撐部66a、66b、基板反轉部67及迴轉軸部68，該等組件係連接至介面部中的控制部70。另一方面，介面部165係具有輸入部166、顯示部167、記憶部168及控制部70。輸入部166係用以將基板5之資料訊息等傳送給記憶部168。關於基板5之各種資料訊息，可舉出基板5之長邊及短邊的長度、厚度、搬送速度、單位時間內的搬送片數。關於其他資料訊息，則可舉出第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62的位置及該等所具有之輸送滾筒的位置、搬送方向D1、D2、反轉軸M的位置、基板5的迴轉速度等。

又，介面部165具有圖中未顯示之輸入裝置。該輸入裝置只要是能讓操作者輸入各種資料者即可，例如，可由輸入鍵或觸控螢幕所構成。顯示部167則可用以顯示由輸入部166所輸入之各種資料訊息的內容，可由習知之液晶顯示器等所構成。

記憶部168係連接至控制部70及輸入部166。記憶部 168係用以記憶從輸入部所輸入之資料訊息，例如，具有例如RAM(random access memory)、HDD(硬碟驅動機)等記憶裝置，而能記憶各種資料及各種程式。

控制部70係根據從記憶部168所接受之資料訊息，來控制基板支撐部66a、66b、該等所具有的吸著機構、基板反轉部67及迴轉軸部68。控制部70係記憶有控制基板5迴轉用的迴轉資料訊息。所謂控制基板5迴轉用的迴轉資料訊息，係指控制反轉機構65用的迴轉資料訊息，(1)基板5到達基板支撐部66a(或66b)處，(2)感測器感測到基板5(感測器ON)，(3)由基板支撐部66a之手臂群來夾持基板5，(4)讓基板5反轉，(5)將基板5解放後讓基板反轉部67反轉等，控制反轉機構65之一連串動作用的資料訊息(或程式)。

依該結構，例如，從輸入部166將基板5之搬送速度(或搬送方向D1、D2、反轉軸M的位置、基板5的迴轉速度)的變更資料訊息傳送給記憶部168，可容易地反映給反轉機構65的動作。關於控制部70之結構，可具有CPU(central processing unit)、記憶有該程式的ROM(read only memory)、讀取展開該程式的RAM、記憶該程式及各種資料用的記憶體等記憶裝置(記錄媒體)等。

本實施態樣之基板搬送機構中的反轉機構中，根據第4圖、第6圖、第8圖及第13圖所示，由於該反轉機構之該基板反轉部67係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉，以進行反轉動作，藉由該基板反轉部67的一個反轉動作(一次反轉 動作)，繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉，進而反轉該基板5，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的反轉機構，由於該反轉機構之該基板反轉部67係進行繞著與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉的反轉動作，藉由繞著與該基板搬送方向相對45°傾角所設置的反轉軸而迴轉的該基板反轉部67之一次反轉動作，進而反轉該基板5，並改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，關於本實施態樣之基板搬送機構中的反轉機構，由於該基板反轉部67之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置，藉由該基板反轉部67之一次反轉動作，進而反轉該基板並配置至該基板反轉部之一端，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的反轉機構，由於該反轉機構67的該反轉軸與該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5及藉由該基板反轉部671而反轉並配置至該第二基板搬送機構62的該基板5，係配置於同一平面處，藉由該基板反轉部67之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，關於本實施態樣之基板搬送機構中的反轉機 構，由於該反轉機構67係具有上述如機器人機構，而可進行該反轉軸之升降、傾斜及位置調整，可在該基板反轉部之反轉動作中獲得調整與控制的效果。

又，關於本實施態樣之基板搬送機構中的反轉機構，如第18圖所示，由於該第一基板搬送機構61兩側設置有2個反轉機構；該第一基板搬送機構61兩側設置有2個基板載置部，係交互地搬送由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5；且搬送至該二個基板載置部的該基板係經由該二個反轉機構67之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構62，能讓該基板搬送時的加工時間減半，便能獲得可進行雙倍之該基板搬送處理的效果。

再者，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，於偏光膜貼合裝置中，藉由基板反轉部67之反轉動作，將讓長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下而搬送於該第一基板搬送機構且已於該第一貼合部處將偏光膜貼合至下表面的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構，可藉由該第二基板搬送機構以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送，進而在第二貼合部處將偏光膜貼合至該基板下方，達成本發明的效果。

又，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於偏光膜貼合裝置中，係根據驅動裝置之迴轉驅動，藉由將一端連結至能控制該保持機構於保持或解除保持狀態的該保持部66處之基板反轉部671的反轉動作，將該第一基板搬送機構61所搬送且被該保持部66所保持的該基 板反轉5，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構62，可進行該基板5之搬送及偏光膜之貼合，獲得將偏光膜各自貼合至該基板上方及下方的效果。

再者，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，藉由繞著呈45°傾斜所設置的反轉軸而迴轉的該基板反轉部67之一次反轉動作，進而反轉該基板5，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於該基板反轉部67之一端672相對於該反轉軸呈45°傾斜設置，藉由該基板反轉部67的一次反轉動作，進而反轉該基板5並配置至該基板反轉部67之一端，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於該反轉軸位在與該基板5垂直之面內(該平面包含有通過第一基板搬送機構61之基板中心而與垂直該基板5搬送方向之基準直線傾斜呈45°的直線)，藉由該基板反轉部67的一次反轉動作，進而反轉該基板5，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

又，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於該反轉機構的該反轉軸與該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5及藉由該基板反轉部67而反轉並配置至 該第二基板搬送機構62的該基板5，係配置於同一平面處，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。

再者，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於該反轉機構67係具有上述機構，而可進行該反轉軸之升降、傾斜及位置調整，可在該基板反轉部67之反轉動作中獲得調整與控制的效果。

又，關於本實施態樣之偏光膜貼合裝置中的反轉機構，由於該第一基板搬送機構61兩側設置有二個反轉機構67；該第一基板搬送機構61兩側設置有二個基板載置部，係交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板5；且搬送至該二個基板載置部的該基板經由該二個反轉機構67之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構62，能讓該基板5搬送時的加工時間減半，獲得可進行雙倍之該基板搬送處理的效果。

又再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，如第6圖所示，藉由該基板反轉部67(連結至支撐由該第一基板搬送機構61所搬送之該基板5用的基板支撐部66)之反轉動作，來將以長方形基板5之長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下且由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5進行反轉，變更其配置並載置於將該基板5以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62處；藉由該基板反轉部67(連結至支撐該基板 5用之該基板支撐部66)的一次反轉動作，便能讓該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，藉由驅動裝置之迴轉驅動，讓該反轉機構之該基板反轉部67繞著相對於該基板搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板5搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可將該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，於本發明中，該反轉機構之該基板反轉部67係繞著相對於該基板5搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，藉由該基板反轉部(繞著相對於該基板5搬送方向呈45°傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可將該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，本發明中，該基板反轉部67之一端係相對於該反轉軸呈45°傾角而設置，因此，藉由該基板反轉部67的一次反轉動作，便可將配設於該基板反轉部67之一端處的該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及 長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，該反轉機構67之該反轉軸、由該第一基板搬送機構61所搬送之該基板及藉由該基板反轉部67而反轉並配置於該第二基板搬送機構61、62處的該基板5，係配置於同一平面上，故藉由該基板反轉部67的一次反轉動作，便可將該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，藉由相對於該反轉軸呈線對稱般設置之一對該基板反轉部67及基板支撐部之反轉動作，來將以長方形基板5之長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下且由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5進行反轉，變更其配置並載置於將該基板5以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62處，因此，相較於該基板反轉部67及基板支撐部66僅有一組之情況，藉由一對之該基板反轉部67(連結至支撐該基板5用之該基板支撐部66)的一次反轉動作，便能對2倍之該基板5進行反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

再者，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，構成該基板支撐部66(連結至該基板反轉部67一端)的該夾持機構係可夾持由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5兩面，以更確實地支撐，藉由該基板反 轉部67之反轉動作，能確實地將該基板5反轉，達到改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向的效果。

又，關於具有本實施態樣基板搬送機構之基板支撐部的反轉機構，構成該基板支撐部66(連結至該基板反轉部67一端)的該吸著機構係可藉由吸力吸附來支撐由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5，因此，藉由該基板反轉部67之反轉動作，能將該基板5反轉，達到改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向的效果。

再者，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，偏光膜貼合裝置中，藉由基板反轉部67(連結至支撐由該第一基板搬送機構61所搬送之該基板5用的基板支撐部66)之反轉動作，來將以長方形基板5之長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下且由該第一基板搬送機構61所搬送之經該第一貼合部而將偏光膜貼合至下方處的該基板5進行反轉，變更其配置並載置於第二基板搬送機構62處，故可藉由該第二基板搬送機構62將該基板5以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送，以達成於該第二貼合部處將偏光膜貼合至該基板下方的效果。

又，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，偏光膜貼合裝置中，藉由基板反轉部67(連結至支撐由該第一基板搬送機構61所搬送之該基板5用的該基板支撐機構之基板支撐部66)之反轉動作，來將由該第一基板搬送機構61所搬送且保持於該保持部66處的該基板5反轉，變更其配置並載置第二基板搬送機構62處，以 進行該基板5之搬送及偏光膜之貼合，故可達成能將偏光膜各自貼合至該基板之上下面處的效果。

再者，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，該反轉機構之該基板反轉部67係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著相對於該基板5搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作，因此，藉由該基板反轉部67(繞著相對於該基板5搬送方向呈一定傾角而設置的反轉軸進行迴轉)的一次反轉動作，便可將該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，藉由繞著呈45°傾角所設置之反轉軸迴轉的該基板反轉部67之一次反轉動作，便可將該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

再者，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，該基板反轉部67之一端係相對於該反轉軸呈45°傾角而設置，因此，藉由該基板反轉部67的一次反轉動作，便可將配設於該基板反轉部67之一端處的該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，該反轉機構67之該反轉軸、由該第一基板搬送機構61所搬送之該基板及藉由該基板反轉部67而反 轉並配置於該第二基板搬送機構61、62處的該基板5，係配置於同一平面上，故藉由該基板反轉部67的一次反轉動作，便可將該基板5反轉，改變沿著搬送方向之該基板的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

再者，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，藉由相對於該反轉軸M呈線對稱般設置之一對該基板反轉部67及基板支撐部66之反轉動作，來將以長方形基板5之長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下且由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5進行反轉，變更其配置並載置於將該基板5以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62處，因此，相較於該基板反轉部67及基板支撐部66僅有一組之情況，藉由一對之該基板反轉部67(連結至支撐該基板5用之該基板支撐部66)的一次反轉動作，便能對2倍之該基板5進行反轉，改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向，且可達到縮短加工時間的效果。

又，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，構成該基板支撐部66(連結至該基板反轉部67一端)的該夾持機構係可夾持由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5兩面，以更確實地支撐，藉由該基板反轉部67之反轉動作，能確實地將該基板5反轉，達到改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向的效果。

再者，關於具有本實施態樣偏光膜貼合裝置之基板支撐部的反轉機構，構成該基板支撐部66(連結至該基板反轉 部67一端)的該吸著機構係可藉由吸力吸附來支撐由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5，因此，藉由該基板反轉部67之反轉動作，能將該基板5反轉，達到改變沿著搬送方向之該基板5的短邊及長邊方向的效果。

請參照第4圖至第15圖，上述偏光膜貼合裝置具有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構61、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部6、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62、及將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部16，其中該偏光膜貼合裝置係包含：基板支撐裝置66，係具有可支撐搬送於該第一基板搬送機構61之貼合有第一偏光膜之該基板5用的基板搬送組件661、662及作用於該基板支撐組件以使得該基板支撐組件形成基板支撐狀態用的驅動控制機構；以及反轉機構67，係具有至少一個基板反轉部671，設置在搬送方向相互偏距而平行的該第一基板搬送機構61及該第二基板搬送機構62之間處，連結至該基板支撐組件，能繞著相對該第一基板搬送機構61及該第二基板搬送機構62之搬送方向呈傾斜而設置之反轉軸進行反轉。

關於由上述結構所組成之本實施態樣偏光膜貼合裝置，具有將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構61、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部6、將該基 板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62、及將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部，於該偏光膜貼合裝置16中，由該基板支撐裝置66之該驅動控制機構作用於該基板支撐組件，讓該基板支撐組件661、662形成基板支撐狀態，因此，能將以長方形基板之長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下且由該第一基板搬送機構61所搬送之藉由該基板支撐組件所支撐的貼合有第一偏光膜之該基板，藉由其搬送方向相互偏距而平行的該第一基板搬送機構及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的該第二基板搬送機構62之間處所設置的該反轉機構67中，連結至該基板支撐組件之至少一個該基板反轉部671，來繞著相對於該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜而設置之反轉軸進行反轉，並沿著搬送方向配置於該第二基板搬送機構62處以搬送至該第二貼合部16；故，藉由該基板支撐組件661、662能確實地支撐由該第一基板搬送機構61所搬送而支撐之貼合有第一偏光膜的該基板5，且藉由至少一個該基板反轉部671的一次反轉動作，便可讓貼合有第一偏光膜的該基板5反轉，沿著該第二基板搬送機構62之搬送方向般改變其配置，可達成縮短偏光膜貼合裝置中的加工時間之效果。

<其他附帶結構>

再者，作為較佳實施態樣，液晶顯示裝置製造系統100具有控制部70、洗淨部71、貼合偏差檢測裝置72、貼合異 物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74。貼合偏差檢測裝置72、貼合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74係針對貼合後之基板5(液晶顯示裝置)進行檢查等處理。

第20圖係顯示該液晶顯示裝置製造系統所具有之各組件間之關連性的方塊圖，第21圖係顯示液晶顯示裝置製造系統之動作的流程圖。以下，說明液晶顯示裝置所具有之各組件，並說明其動作。

控制部70係與洗淨部71、貼合偏差檢測裝置72、貼合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74相連接，將控制訊號傳送給該等組件而加以控制。控制部70係主要由CPU(Central Processing Unit)所構成，並可依需要而具有記憶體。

於液晶顯示裝置製造系統100具有洗淨部71之情況，為了縮短洗淨部71的加工時間，較佳地，將第一基板搬送機構61中之基板5以長邊朝前之方式搬送至洗淨部71。通常，由於洗淨部71處的洗淨需花費長時間，就縮短加工時間之觀點來看，上述結構非常有效。

其次，第21圖之S2係進行將偏光膜貼合至基板5兩面的貼合步驟(包含基板5之反轉動作)，上述步驟係如上述參照於第1圖至第18圖所說明。

貼合偏差檢測裝置72係用於檢查於貼合好之基板5中是否有偏光膜之貼合偏差。貼合偏差檢測裝置72係由攝影機及圖像處理裝置所構成，基板5之偏光膜係藉由軋輥16、16a而貼合，其中偏光膜的貼合位置處設置有該攝影 機。由該攝影機來進行基板5之攝影，藉由針對攝影完成之圖像資料進行處理，便可檢查出基板5是否存在貼合偏差(貼合偏差檢查步驟，第21圖之S3)。另外，作為貼合偏差檢測裝置72，可使用過去習知的貼合偏差檢測裝置。

貼合異物自動檢測裝置73係用於檢查於貼合完成之基板5中是否有異物。與貼合偏差檢測裝置72相同，貼合異物自動檢測裝置73係由攝影機及圖像處理裝置所構成，第二基板搬送機構係藉由軋輥16、16a而貼合偏光膜至基板5，第二基板搬送機構(偏光膜貼合裝置60)處設置有該攝影機。由該攝影機來進行基板5之攝影，藉由針對攝影完成之圖像資料進行處理，便可檢查出基板5是否存在貼合異物(貼合異物檢查步驟，S4)。該異物可例如為灰塵等異物、魚眼等異物。另外，作為貼合異物自動檢測裝置73可使用過去習知的貼合異物檢測裝置。

S3及S4之順序可相反，亦可同時進行。又，亦可省略其中任一個工程。

遴選搬送裝置74係根據貼合偏差檢測裝置72及貼合異物自動檢測裝置73的檢查結果，判斷是否存在貼合偏差及異物。遴選搬送裝置74只要是能從貼合偏差檢測裝置72及貼合異物自動檢測裝置73接收檢查結果之輸出訊號，而將貼合完成之基板5遴選為良品或不良品者即可。因此，可使用過去習知之遴選搬送系統。

該液晶顯示裝置製造系統中，作為較佳實施態樣，係可檢測出貼合偏差及異物等兩者的結構，判斷為檢測出有 貼合偏差或異物之情況(YES)，便將貼合完成之基板5遴選為不良品(S7)。另一方面，判斷為未檢測出有貼合偏差及異物中任一者之情況(NO)，則將貼合完成之基板5遴選為良品(S6)。

使用具有遴選搬送裝置74之液晶顯示裝置製造系統，可迅速地進行良品或不良品之遴選，可縮短加工時間。當僅具有貼合偏差檢測裝置72或貼合異物自動檢測裝置73之情況時，遴選搬送裝置74亦可為僅針對貼合偏差及異物中任一者進行判斷的結構。

又，關於該基板支撐部之夾持基板的實施態樣中，於該基板支撐部更設置有吸附基板用吸著機構之實施態樣者為佳。

藉此，相較於僅用基板支撐部來夾持基板之情況，能更確實地固定基板。

又，較佳地，本實施態樣之偏光膜貼合裝置中，於該基板反轉部67具有會與基板反轉部一同迴轉的迴轉軸部68，該迴轉軸部68係沿著該反轉軸而設置。

由於該迴轉軸部68係沿著反轉軸而設置，能讓具有迴轉軸部的基板反轉部67沿著反轉軸而更穩定地進行迴轉。因此，可更穩定且確實地進行基板之反轉。

又，較佳地本實施態樣之基板搬送機構及偏光膜貼合裝置，係具有搬送偏光膜用的第一膜搬送機構51及第二膜搬送機構52，該第一膜搬送機構51處具有：用於捲出由剝離膜所保護之偏光膜的複數個捲出部、用於將偏光膜切斷 的切斷部、用於從偏光膜上將剝離膜去除的去除部、及用於將被去除後之該剝離膜捲取的複數個捲取部；該第二膜搬送機構處具有：用於將由剝離膜所保護之偏光膜捲出的複數個捲出部、用於將偏光膜切斷的切斷部、用於從偏光膜上將剝離膜去除的去除部、及用於將被去除後之該剝離膜捲取的複數個捲取部；該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係設置於該第一膜搬送機構及第二膜搬送機構之上部處，且用於將去除該剝離膜後之偏光膜貼合至基板的該第一貼合部係設置於該第一膜搬送機構51與第一基板搬送機構61之間，用於將去除該剝離膜後之偏光膜貼合至基板的該第二貼合部係設置於該第二膜搬送機構52與第二基板搬送機構62之間。

藉此，由於具有複數個捲出部及捲取部，當一側之捲出部中偏光膜原料之殘餘量變少的情況，可將該原料連接至設置於另一側捲出部的原料。其結果，無需停止偏光膜之捲出，可續行作業，故可提高生產效率。

又，本發明之偏光膜貼合裝置較佳地具有在藉由該第一貼合部來將偏光膜貼合至基板下方之前洗淨基板用的洗淨部，且該第一基搬送機構係以基板之短邊沿著搬送方向之狀態下來搬送基板。

藉此，可於基板之長邊相對於基板搬送方向呈垂直的狀態下，藉由洗淨部來進行基板之洗淨。即，可縮小基板沿搬送方向的距離，故可縮短洗淨所需加工時間。其結果，可提供生產效率更加優良之偏光膜貼合裝置。

又，較佳地本實施態樣之偏光膜貼合裝置中，該第一膜搬送機構51及該第二膜搬送機構52處具有：缺陷檢出部，係可檢測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。

依該缺陷檢出部、貼合迴避部及回收部，可避免將具有缺陷之偏光膜與基板進行貼合，故可提高良率。

本實施態樣之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有：上述之偏光膜貼合裝置16；以及貼合偏差檢測裝置，用於檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。

藉此，可檢查出貼合好偏光膜後之基板所產生的貼合偏差。

又，本實施態樣之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統較佳地具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

藉此，當貼合好偏光膜之基板產生貼合偏差之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。

又，較佳地本實施態樣之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統具有：偏光膜貼合裝置；以及貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該偏光膜貼合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物。

藉此，可檢查出混入至貼合好偏光膜之液晶面板中是否存在異物。

又，本實施態樣之偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統較佳地具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否存在異物，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

藉此，當貼合好偏光膜之液晶面板中混入有異物之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。

又，較佳地本實施態樣之液晶顯示裝置製造系統具有貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物，且具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否存在貼合偏差與異物，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。

藉此，當貼合好偏光膜之液晶面板中產生了貼合偏差與混入異物之情況時，可迅速地將其遴選為不良品，而可縮短加工時間。

另外，本發明並不限定於上述各實施態樣，於申請專利範圍記載之所屬技術領域中通常知識者所能得知的技術思想範圍內，亦可進行各種變化，將各自揭露於不同實施態樣之技術手段適當組合所獲得的實施態樣，亦包含在本發明之技術範圍內。

本發明之偏光膜貼合裝置可應用於將偏光膜貼合至基板的技術領域中。

1‧‧‧第一捲出部

1a‧‧‧第二捲出部

2‧‧‧第一捲取部

2a‧‧‧第二捲取部

3、13‧‧‧半切器

4、14‧‧‧刀刃

5、5'‧‧‧基板

5a‧‧‧偏光膜

5b‧‧‧剝離膜

6、6a‧‧‧軋輥(第一貼合部)

7、7a‧‧‧缺陷膜捲取滾筒

11‧‧‧第一捲出部

11a‧‧‧第二捲出部

12‧‧‧第一捲取部

12a‧‧‧第二捲取部

16、16a‧‧‧軋輥(第二貼合部)

17、17a‧‧‧缺陷膜捲取滾筒

40‧‧‧HEPA過濾器

41‧‧‧格柵

50‧‧‧膜搬送機構

51‧‧‧第一膜搬送機構

52‧‧‧第二膜搬送機構

60‧‧‧偏光膜貼合裝置

61‧‧‧第一基板搬送機構

61A‧‧‧分割部份

61B‧‧‧分割部份

61C‧‧‧分割部份

61D‧‧‧分割部份

62‧‧‧第二基板搬送機構

65‧‧‧反轉機構

66‧‧‧基板支撐裝置

66a、66b‧‧‧基板支撐部

67‧‧‧基板反轉部

68‧‧‧迴轉軸部

70‧‧‧控制部

71‧‧‧洗淨部

72‧‧‧貼合偏差檢測裝置

73‧‧‧貼合異物自動檢測裝置

74‧‧‧遴選搬送裝置

100‧‧‧液晶顯示裝置製造系統

165‧‧‧介面部

166‧‧‧輸入部

167‧‧‧顯示部

168‧‧‧記憶部

510、520‧‧‧輸送滾筒

612、622‧‧‧輸送滾筒

660‧‧‧基部組件

661‧‧‧第一支撐組件

662‧‧‧第二支撐組件

663、664‧‧‧搬送滾筒

665‧‧‧基板支撐驅動装置

669‧‧‧擺動驅動機構

671‧‧‧基板反轉部

672‧‧‧端部

673‧‧‧連絡部

6601‧‧‧中介材中空軸

6602‧‧‧中心軸

6611‧‧‧突出部

6612‧‧‧突出部

6613‧‧‧突出部

6621‧‧‧突出部

6622‧‧‧突出部

6623‧‧‧突出部

6630‧‧‧迴轉軸

6633‧‧‧第一離合機構

6634‧‧‧第二離合機構

6635‧‧‧致動器

6636‧‧‧致動器

6637‧‧‧控制器

6638A‧‧‧線性驅動機構

6638B‧‧‧線性驅動機構

6638C‧‧‧控制器

6639‧‧‧吸著部

6640‧‧‧迴轉軸

6641‧‧‧支撐部

6651‧‧‧基板支撐組件

6652‧‧‧基板支撐組件

6653‧‧‧基板支撐組件

6654‧‧‧螺線管

6656‧‧‧連結組件

6657‧‧‧活塞

6658‧‧‧液壓缸

6659‧‧‧雙向切換閥

6661‧‧‧楔狀組件

6662‧‧‧彈簧組件

6690‧‧‧馬達

6691‧‧‧第一擺動驅動機構

6692‧‧‧第二擺動驅動機構

D1、D2‧‧‧搬送方向

M‧‧‧反轉軸

P‧‧‧幫浦

A、B、C‧‧‧區域

M‧‧‧反轉軸

第1圖係本發明之液晶顯示裝置製造系統一實施態樣的剖面圖。

第2圖係第1圖液晶顯示裝置製造系統之軋輥周圍部份的剖面圖。

第3(a)圖和第3(b)圖顯示與本發明近似之下貼型製造系統中氣流速度向量的剖面圖。

第4(a)圖至第4(c)圖係本發明第一實施態樣之基板搬送機構及反轉機構中藉由反轉機構將基板反轉之過程的立體圖。

第5(a)圖至第5(d)圖係本發明第一實施態樣之基板搬送機構及反轉機構中藉由反轉機構將基板迴轉過程的平面圖；其中，第5(a)圖係吸附狀態；第5(b)圖係90°迴轉之狀態；第5(c)圖係180°迴轉之狀態。

第6(w1)圖至第6(w2)圖係發明第二實施態樣之基板支撐裝置及反轉機構中藉由反轉機構將基板迴轉過程的立體圖。

第7(a)圖至第7(c)圖係本發明第二實施態樣之基板支撐裝置及藉由反轉機構來反轉基板之過程的俯視圖；其中，第7(a)圖係吸附狀態；第7(b)圖係90°迴轉之狀態；第7(c)圖係180°迴轉之狀態。

第8圖係本發明第三實施態樣之基板支撐裝置及反轉機構的俯視圖。

第9(a)圖至第9(c)圖係本發明第三實施態樣之基板支撐裝置及藉由反轉機構來支撐基板並進行反轉之過程的部份放大說明圖。

第10(a)圖至第10(b)圖係本發明第三實施態樣之基板支撐裝置及藉由反轉機構來解除基板支撐之過程的部份放大說明圖。

第11(a)圖至第11(b)圖係本發明之其他實施態樣中，用以說明後述態樣之部份放大說明圖：藉由一個作為迴轉驅動源之馬達來讓第一及第一支撐組件擺動迴轉，藉以支撐基板的態樣；以及藉由二個螺線管(solenoid)來讓第一及第一支撐組件之一端移動，藉以支撐基板的態樣。

第12(a)圖至第12(c)圖係本發明之其他實施態樣中，用以說明後述態樣之部份放大說明圖：藉由二個作為線性驅動機構之動力源的螺線管來讓第一及第一支撐組件沿圖中上下進行往復移動，藉以支撐基板的態樣；藉由在接觸基板之面處形成有複數個吸著部的一個支撐組件，來吸附支撐基板的態樣；以及藉由於兩端處形成有吸著部與被吸著部之二個支撐組件，來夾持/支撐基板的態樣。

第13圖係本發明第四實施態樣之基板支撐裝置及反轉機構的俯視圖。

第14(a)圖至第14(c)圖係本發明第四實施態樣之基板支撐裝置內，從第一基板搬送機構搬送基板，而將搬送而來之基板支撐的過程之部份放大說明圖。

第15(a)圖至第15(c)圖係本發明第四實施態樣中，解 除基板支撐裝置對基板之支撐，而將解除後之基板搬送至第二基板搬送機構的過程之部份放大說明圖。

第16(a)圖至第16(b)圖係本發明之其他實施態樣中，顯示後述態樣之部份放大說明圖：藉由一個基板支撐組件與搬送滾筒來支撐基板的態樣；以及藉由二個基板支撐組件來夾持/支撐基板的態樣。

第17(a)圖至第17(d)圖係本發明之其他實施態樣中，顯示後述態樣之說明圖：藉由螺線管來讓基板支撐組件朝上方移動的態樣；藉由螺線管來讓基板支撐組件朝下方移動的態樣；利用搬送中基板的移動並藉由機械的驅動機構，來讓基板支撐組件朝下方移動的態樣；以及藉由流體壓力之切換控制來讓基板支撐組件朝上下方向移動的態樣。

第18圖係本發明第一實施態樣之變化實施例的俯視圖。

第19圖係顯示有關本發明實施態樣之基板支撐裝置及反轉機構的控制裝置之方塊圖。

第20圖係顯示本實施態樣之液晶顯示裝置製造系統所具有的各組件之間連結關係的方塊圖。

第21圖係本實施態樣之液晶顯示裝置製造系統動作的流程圖。

第22(a)圖和第22(b)圖係上貼型製造系統中氣流速度向量的剖面圖。

1‧‧‧第一捲出部

1a‧‧‧第二捲出部

2‧‧‧第一捲取部

2a‧‧‧第二捲取部

3、13‧‧‧半切器

4、14‧‧‧刀刃

5‧‧‧基板

6、6a‧‧‧軋輥(第一貼合部)

7、7a‧‧‧缺陷膜捲取滾筒

11‧‧‧第一捲出部

11a‧‧‧第二捲出部

12‧‧‧第一捲取部

12a‧‧‧第二捲取部

16、16a‧‧‧軋輥(第二貼合部)

17、17a‧‧‧缺陷膜捲取滾筒

50‧‧‧膜搬送機構

51‧‧‧第一膜搬送機構

52‧‧‧第二膜搬送機構

60‧‧‧偏光膜貼合裝置

65‧‧‧反轉機構

66‧‧‧基板支撐裝置

67‧‧‧基板反轉部

68‧‧‧迴轉軸部

71‧‧‧洗淨部

100‧‧‧液晶顯示裝置製造系統

Claims (37)

1. 一種用於基板搬送機構的基板支撐裝置，該基板搬送機構具有：第一基板搬送機構，將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；及第二基板搬送機構，將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；且該第一基板搬送機構與該第二基板搬送機構係於同一方向搬送該基板，其中，該基板支撐裝置為具有藉由設置於連接至進行該基板反轉動作的基板反轉部之組件，讓進入至該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處的基板，並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。
2. 如申請專利範圍第1項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，該第一基板搬送機構之端部係沿寬度方向上分割成複數個分割部份，相鄰之分割部份之間處，形成有用於使構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及構成該第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個 突出部進入的複數個間隙；且該第二基板搬送機構之端部係沿搬送方向上分割成複數個分割部份，相鄰之分割部份之間，形成有用於使反轉後之構成該第一支撐組件之第一梳狀組件的複數個突出部及構成該第二支撐組件之第二梳狀組件的複數個突出部進入的複數個間隙。
3. 如申請專利範圍第2項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係由以一端作為支點進行一定角度範圍內擺動的擺動組件所構成。
4. 如申請專利範圍第3項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係為藉由擺動驅動機構來擺動驅動的結構。
5. 如申請專利範圍第4項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，該擺動驅動機構包含：第一擺動驅動機構，擺動驅動具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件；以及第二擺動驅動機構，擺動驅動具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件。
6. 如申請專利範圍第4項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，該擺動驅動機構包含：擺動驅動源； 第一離合機構，係將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件，來進行擺動驅動；以及第二離合機構，係將來自該擺動驅動源之擺動驅動力傳遞給具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，來進行擺動驅動。
7. 如申請專利範圍第2項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係為沿上下方向相對接近或遠離以改變其對向間距地進行往復移動的結構。
8. 如申請專利範圍第7項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，具有構成該第一支撐組件之複數個突出部的第一梳狀組件及具有構成該第二支撐組件之複數個突出部的第二梳狀組件，係為藉由線性驅動機構來驅動以進行往復移動的結構。
9. 如申請專利範圍第8項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，該線性驅動機構係為藉由電氣驅動裝置之驅動力，來讓該第一梳狀組件及第二梳狀組件相對地接近，藉以夾持並支撐該基板的結構。
10. 如申請專利範圍第8項所述之用於基板搬送機構的基板支撐裝置，其中，該線性驅動機構係藉由從驅動裝置所供給之流體壓力的作用進行吸附或夾持，來讓該第一梳狀組件及該第二梳狀組件相對地接近，以夾持及支撐該基板。
11. 一種用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，該偏光膜貼合裝置具有：第一基板搬送機構，將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之基板下方；第二基板搬送機構，將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第二貼合部，將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之基板下方；及基板支撐裝置，具有基板支撐部，以支撐在該第一基板搬送機構所搬送的基板，該基板貼合有該第一偏光膜；且該第一基板搬送機構與該第二基板搬送機構係於同一方向搬送該基板，其中，該基板支撐裝置為具有藉由設置於連接至進行該基板之反轉動作的基板反轉部之組件，讓進入至該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間貼合有該第一偏光膜的基板，並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處貼合有該第一偏光 膜的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。
12. 一種用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，該偏光膜貼合裝置具有：第一基板搬送機構，將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之基板下方；第二基板搬送機構，將改變相對搬送方向配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第二貼合部，將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之基板下方；及反轉機構，藉由連接至基板支撐部的基板反轉部之反轉動作，來將被支撐於該基板支撐部的基板反轉，以改變相對該基板的長邊或短邊之搬送方向的配置並設置於該第二基板搬送機構，且該基板支撐部支撐在該第一基板搬送機構所搬送的基板，該基板貼合有該第一偏光膜；且該第一基板搬送機構與該第二基板搬送機構係於同一方向搬送該基板，其中，該基板支撐裝置為具有藉由設置於連接至進行該基板反轉動作的反轉機構之基板反轉部的組件，讓進入至該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部處所形成之間隙的突出部所形成之第一支撐組件與第二支撐組件進行相對移動，夾持並支撐從該第一基板搬送機構搬送 至該第一支撐組件與該第二支撐組件之間貼合有該第一偏光膜的基板，並藉由該第一支撐組件與該第二支撐組件間的相對移動，將經該基板反轉部反轉後之受夾持而被支撐於該第一支撐組件與該第二支撐組件之間處貼合有該第一偏光膜的基板，解除該夾持之支撐，藉以將其載置於該第二基板搬送機構之端部的結構。
13. 如申請專利範圍第12項所述之用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，其中，該反轉機構具有基板反轉部，繞著相對該基板之搬送方向呈傾斜而設置的反轉軸迴轉而進行反轉動作。
14. 如申請專利範圍第13項所述之用於偏光膜貼合裝置之基板支撐裝置，其中，該反轉軸之傾角為45°。
15. 一種基板搬送機構，具有將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構，其中，該基板搬送機構係包含：基板支撐裝置，係具有用於支撐搬送於該第一基板搬送機構之該基板的基板支撐組件、及作用於該基板支撐組件以使得該基板支撐組件形成基板支撐狀態的驅動控制機構；以及反轉機構，係具有至少一個基板反轉部，設置在搬送方向相互偏距而平行的該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之間，並連結至該基板支撐組件，用以繞著一 反轉軸進行反轉，該反轉軸係相對該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜而設置，該基板反轉部於反轉該基板的同時，改變相對搬送方向的基板之配置。
16. 一種偏光膜貼合裝置，具有將長方形之液晶面板所構成的基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構、將第一偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、及將第二偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼合部，其中該偏光膜貼合裝置係包含：基板支撐裝置，係具有可支撐搬送於該第一基板搬送機構之貼合有第一偏光膜之該基板用的基板支撐組件、及作用於該基板支撐組件以使得該基板支撐組件形成基板支撐狀態用的驅動控制機構；以及反轉機構，係具有至少一個基板反轉部，設置在搬送方向相互偏距而平行的該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之間處，連結至該基板支撐組件，能繞著一反轉軸進行反轉，該反轉軸係相對該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向呈傾斜而設置，該基板反轉部於反轉該基板的同時，改變相對搬送方向的基板之配置。
17. 如申請專利範圍第16項所述之偏光膜貼合裝置，其中該反轉軸係設置成相對於該第一基板搬送機構及該第二基 板搬送機構之搬送方向而傾斜呈45°的角度。
18. 如申請專利範圍第16項所述之偏光膜貼合裝置，其中設置迴轉軸構造於該基板反轉部，藉由沿著設置有該迴轉軸構造的軸之第一部分的反轉軸反轉而進行該基板的反轉，藉由繞著該迴轉軸構造的軸迴轉之第二部分的迴轉，改變相對該基板之搬送方向的配置。
19. 如申請專利範圍第16項所述之偏光膜貼合裝置，其中該基板支撐組件係由至少二個支撐組件所構成，利用該驅動控制機構之驅動控制來讓至少一個支撐組件進行相對移動，藉以將貼合有第一偏光膜之該基板呈夾持狀態而被支撐於至少二個支撐組件之間。
20. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，其中，該基板支撐裝置係具有相隔一間隙而對向地設置於該第一基板搬送機構之下游端部及該第二基板搬送機構之上游端部處的第一搬送手段及第二搬送手段，其中，第一搬送手段係針對從該第一基板搬送機構之下游端部搬送而來之貼合有第一偏光膜的該基板來進行搬送，第二搬送手段係從該基板支撐裝置將反轉後之貼合有該第一偏光膜的該基板搬送至該第二基板搬送機構之上游端部。
21. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，於該基板支撐裝置中之該至少二個支撐組件係由具有複數個突出部之梳狀組件所構成，該複數個突出部能進入至該第一基板搬送機構下游端部之寬度方向上所分割成複數部份的複數個分割部、及該第二基板搬送機構上游端部之搬送 方向上所分割成複數部份的複數個分割部之間所形成的複數個間隙處。
22. 如申請專利範圍第16項所述之偏光膜貼合裝置，其中，該基板支撐組件係由一個支撐組件所構成，能讓搬送至該第一基板搬送機構下游端部之貼合有該第一偏光膜的該基板表面形成附著狀態而加以支撐，並於反轉後將被反轉之貼合有該第一偏光膜的該基板從上方載置於該第二基板搬送機構上游端部。
23. 如申請專利範圍第20項所述之偏光膜貼合裝置，其中，該基板支撐裝置內，搬送貼合有該第一偏光膜之該基板用的第一搬送手段及第二搬送手段係由能第一搬送滾筒及第二搬送滾筒所構成，第一搬送滾筒及第二搬送滾筒係分別沿著該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之搬送方向來搬送該基板。
24. 如申請專利範圍第23項所述之偏光膜貼合裝置，其中，讓該第一搬送滾筒及第二搬送滾筒中至少任一者作為該支撐組件而進行相對移動，藉以由該第一搬送滾筒及第二搬送滾筒，來讓被搬送至該基板支撐裝置內之貼合有該第一偏光膜的該基板形成被夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。
25. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，其中，藉由該至少二個的支撐組件中至少任一者之往復移動，而使其可相對接近。
26. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，其中，藉由該至少二個的支撐組件中至少任一者以其一部份作為支點來進行擺動，而使其可相對接近。
27. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，其中該驅動控制機構係由電氣驅動控制機構所組成，根據驅動控制指令並藉由電氣驅動控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送到至少二個支撐組件之間的貼合有第一偏光膜之該基板形成被夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。
28. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，其中該驅動控制機構係由機械性驅動控制機構所組成，藉由機械性驅動控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送到至少二個支撐組件之間的貼合有第一偏光膜之該基板形成被夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。
29. 如申請專利範圍第19項所述之偏光膜貼合裝置，其中該驅動控制機構係由流體驅動控制機構所組成，藉由流體壓力控制來讓該二個支撐組件中至少任一者進行相對移動，來讓由該第一基板搬送機構搬送到至少二個支撐組件之間的貼合有第一偏光膜之該基板形成被夾持狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的夾持狀態。
30. 如申請專利範圍第22項所述之偏光膜貼合裝置，其中該驅動控制機構係由流體驅動控制機構所組成，藉由受流體壓力控制之流體壓力，來讓該支撐組件與被搬送至該第一基板搬送機構下游端部處之貼合有該第一偏光膜的該基板表面，形成吸附狀態或押壓狀態等其他附著狀態而加以支撐，或於反轉後解除該第二基板搬送機構中被反轉之該基板的附著狀態。
31. 如申請專利範圍第16項至第30項中任一項所述之偏光膜貼合裝置，其中具有在藉由該第一貼合部來偏光膜貼合至將基板下方之前，用於對基板進行洗淨的洗淨部；該第一基板搬送機構係以基板之短邊沿著搬送方向的狀態來搬送基板。
32. 如申請專利範圍第30項所述之偏光膜貼合裝置，其中，於該第一膜搬送機構及該第二膜搬送機構具有：缺陷檢出部，係可檢測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。
33. 一種液晶顯示裝置製造系統，包含：如申請專利範圍第16至30項中任一項所述之偏光膜貼合裝置；以及貼合偏差檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。
34. 如申請專利範圍第33項所述之液晶顯示裝置製造系統，其中具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。
35. 一種液晶顯示裝置製造系統，包含：如申請專利範圍第16至30項中任一項所述之偏光膜貼合裝置；以及貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該偏光膜貼合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物。
36. 如申請專利範圍第33項所述之液晶顯示裝置製造系統，其中具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否存在異物，根據該判斷結果來對已貼合完成偏光膜之基板進行遴選。
37. 如申請專利範圍第33項之液晶顯示裝置製造系統，其包含：貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物；以及遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否存在貼合偏差與異物，根據該判斷結果來對已貼合完成偏光膜之基板進行遴選。