TWI522688B - 偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統 - Google Patents

偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統 Download PDF

Info

Publication number
TWI522688B
TWI522688B TW100112631A TW100112631A TWI522688B TW I522688 B TWI522688 B TW I522688B TW 100112631 A TW100112631 A TW 100112631A TW 100112631 A TW100112631 A TW 100112631A TW I522688 B TWI522688 B TW I522688B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
polarizing film
bonding
transfer mechanism
comb
Prior art date
Application number
TW100112631A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201207493A (en
Inventor
松本力也
Original Assignee
住友化學股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 住友化學股份有限公司 filed Critical 住友化學股份有限公司
Publication of TW201207493A publication Critical patent/TW201207493A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI522688B publication Critical patent/TWI522688B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
    • G02B5/3033—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state in the form of a thin sheet or foil, e.g. Polaroid
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133528—Polarisers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統
本發明係關於一種偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統。
過去，液晶顯示裝置被廣泛地製造。為了控制光線的穿透或遮斷，用於液晶顯示裝置的基板(液晶面板)通常會貼合有偏光膜。偏光膜會與該吸收軸呈垂直般貼合。
作為在基板上貼合偏光膜的方法可例如為Chip to Panel方式，其係對應基板尺寸將偏光膜切割後進行貼合。但是，該方式須針對基板一片片地貼合偏光膜，導致生產效率低的缺點。另一方面，作為其它方式則可例如為Roll to Panel方式，其係以輸送滾筒供給偏光膜而連續地貼合至基板。依該方法能以高生產效率進行貼合。
專利文獻1中的光學顯示裝置之製造系統揭露了一種作為Roll to Panel方式的範例。上述製造系統係在將光學薄膜(偏光膜)貼合至基板上方之後旋轉基板，再從下方貼合偏光膜。
專利文獻1：日本專利特許第4307510號公報(2009年8月5日發行公開)」。
但是，該習知裝置具有以下的問題。
首先，針對基板來貼合偏光膜之情況，為了避免灰塵等異物混入貼合面中，通常會在無塵室中進行作業。接著，無塵室係經過空氣整流處理。為了抑制由於異物而導致產量的減少，必須要在垂直層流式整流處理狀態下針對基板來貼合偏光膜。
關於這點，專利文獻1的製造系統係針對基板自上方及下方貼合偏光膜的結構。但是，自偏光膜上方進行貼合之情況，則可能會有因偏光膜妨礙氣流(垂直層流式)而使得流向基板之整流環境惡化的缺點。作為從偏光膜上方進行貼合的範例，第10(a)圖及第10(b)圖則顯示上貼型之製造系統中的氣流速度向量。在第10圖中具有下列區域：A區域，係設置有捲出偏光膜用之捲出部的區域；B區域，主要是偏光膜通過的區域；以及C區域，係設置有用於捲取從偏光膜所去除之剝離膜的捲取部。
又，自HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾器40供給潔淨空氣。另外，第10(a)圖中，由於設置有能讓潔淨空氣通過之格柵41，氣流會經由格柵41朝垂直方向移動。另一方面，第10(b)圖中，由於未設置有格柵41，氣流在接觸第10(b)圖最下部的底部之後，便會沿著地板移動。
第10(a)圖和第10(b)圖中，2F(2樓)部分設置有A區域～C區域，故偏光膜會妨礙來自HEPA過濾器40的潔淨空氣。因此，難以產生相對於通過2F部分之基板並朝向垂直方向的氣流。對此，會形成水平方向之氣流向量較大(向量的密度較高)的狀態。換言之，係會形成整流環境惡化的狀態。
本發明有鑑於前述習知問題，其目的為提供一種不會妨礙整流環境的偏光膜之貼合裝置以及具備該裝置之液晶顯示裝置之製造系統。
為了解決上述問題，本發明之偏光膜貼合裝置係包含：第一基板搬送機構，係將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，係將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板的下方；反轉機構，係將該第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉並配置至第二基板搬送機構；第二基板搬送機構，係將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；以及第二貼合部，係將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板的下方；其中該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係朝同一方向配置；該反轉機構係具有用於吸附基板的吸著部及連接至吸著部之反轉基板的基板反轉部；該基板反轉部係將置於第一基板搬送機構的基板(1)如描繪曲線般，(2)使其反轉的同時，(3)長邊或短邊沿著第一基板搬送機構的搬送方向，順著與搬送方向直交的方向，配置到第二基板搬送機構。
依上述之第1發明，由第一貼合部來將偏光膜貼合至基板下方，由反轉機構，將置於第一基板搬送機構的基板反轉；由於基板之長邊或短邊對於第一基板搬送機構的搬送方向，呈現沿著直交方向的狀態，可將其配置到第二基板搬送機構，然後，便可由第二貼合部來將偏光膜貼合至基板下方。即，可從下方，對基板之兩面來貼合偏光膜，故不妨礙整流環境。又，由於反轉機構之動作係為1個單純的動作，加工時間(Tact Time)較短。因此，可實現短加工時間的貼合。再者，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係將基板朝同一方向搬送。即，不具有L型等複雜構造。因此，本發明之貼合裝置之設置非常簡便，且面積效率優良。
申請專利範圍第2項(第2發明)之偏光膜貼合裝置係包含：第一基板搬送機構，係將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，係將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板的下方；基板支撐裝置，具有基板支撐部，係支撐該第一基板搬送機構所搬送的該基板；反轉機構，具有基板反轉部，係連接該基板支撐部，反轉並配置由基板支撐部所支撐的基板；第二基板搬送機構，藉由該反轉機構反轉的同時，將所配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；以及第二貼合部，係將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板的下方；其中，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係朝同一方向配置；該反轉機構係包含反轉軸及配置變更部，該反轉軸用於反轉基板反轉部，將該基板由正面轉為背面；及配置變更部係將該基板由該第一基板搬送機構搬送至該第二基板搬送機構而變更基板的配置方向，由於配置變更軸周圍於一定角度範圍迴轉，該第一基板搬送機構所搬送的該基板沿著圓弧軌跡反轉的同時，沿著該第二基板搬送機構之基板搬送方向，變更配置至該第二基板搬送機構。
申請專利範圍第3項(第3發明)之偏光膜貼合裝置，係如第2發明所述之偏光膜貼合裝置中，該反轉機構之結構係由該基板反轉部連接反轉軸部，該反轉軸部係具有該配置變更部用於迴轉而配置的反轉軸，各自根據其迴轉驅動源而驅動迴轉。
申請專利範圍第4項(第4發明)之偏光膜貼合裝置，係如第2發明所述之偏光膜貼合裝置中，該反轉機構之結構係配置該配置變更部於連接反轉軸部的該基板反轉部可相對迴轉，該反轉軸部具有反轉軸，各自根據其迴轉驅動源而驅動迴轉。
申請專利範圍第5項(第5發明)之偏光膜貼合裝置，係如第2發明至第4發明中任一者所述之偏光膜貼合裝置中，該基板支撐裝置的該基板支撐部之結構係包含複數支撐組件，夾持並支撐由該第一基板搬送機構所搬送之基板的兩面，。
申請專利範圍第6項(第6發明)之偏光膜貼合裝置，係如第2發明至第4發明中任一者所述之偏光膜貼合裝置中，該基板支撐裝置的該基板支撐部之結構係包含具有吸著部的吸著組件，吸附由該第一基板搬送機構搬送之該基板的表面。
申請專利範圍第7項(第7發明)之偏光膜貼合裝置，係如第3發明或第4發明中所述之偏光膜貼合裝置，其結構為：該基板支撐裝置配置連接組件，係連接進行該基板反轉動作的基板反轉部，藉由進入該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部的第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，以使第一支撐組件與第二支撐組件夾持並支撐該第一基板搬送機構所搬送之該基板；同時，藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，以及該基板反轉部的反轉，而解除該基板受第一支撐組件與第二支撐組件的夾持支撐狀態，進而載置於該第二基板搬送機構端部。
申請專利範圍第8項(第8發明)之偏光膜貼合裝置，係如第3發明或第4發明中所述之偏光膜貼合裝置，其結構為：該第一基板搬送機構之端部於橫向形成複數分割，其鄰接部分之間係構成複數間隙，而構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部穿設於該等間隙；同時，該第二基板搬送機構之端部於搬送方向形成複數分割，其鄰接部分之間隨之形成有複數間隙，而構成反轉後該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部進入該等間隙中。
申請專利範圍第9項(第9發明)之偏光膜貼合裝置，係如第8發明中所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部之第一梳狀組件及第二梳狀組件係構成該第一支撐組件及第二支撐組件，其結構係以一部分作為支點，於一定角度範圍內擺動。
申請專利範圍第10項(第10發明)之偏光膜貼合裝置，係如第9發明中所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部之該第一梳狀組件及第二梳狀組件係構成該第一支撐組件及第二支撐組件，其係藉由擺動驅動機構而驅動擺動。
申請專利範圍第11項(第11發明)之偏光膜貼合裝置，係如第9發明中所述之偏光膜貼合裝置，該擺動驅動機構包含：第一擺動驅動機構，係驅動擺動該第一支撐組件中的該第一梳狀組件，該第一梳狀組件具有複數突出部；以及第二擺動驅動機構，係驅動擺動該第二支撐組件中的該第二梳狀組件，該第二梳狀組件係具有複數突出部。
申請專利範圍第12項(第12發明)之偏光膜貼合裝置，係如第8發明中所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部構成該第一支撐組件的該第一梳狀組件及第二支撐組件的該第二梳狀組件，其係為以單向相對接近或對向遠離，以變化間隔而可進行往復運動之結構。
申請專利範圍第13項(第13發明)之偏光膜貼合裝置，係如第8發明中所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部構成該該第一支撐組件的該第一梳狀組件及第二支撐組件的該第二梳狀組件，其係為藉由直線驅動機構來驅使其往復運動之結構。
又，較佳地，申請專利範圍第14項(第14發明)之偏光膜貼合裝置，係將該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構配置於一直線上，於第一基板搬送機構之第二基板搬送機構側的端部之位置，沿著相對第一基板搬送機構搬送方向的水平兩方向而各自具有2對的基板載置部及該反轉機構；該端部的位置係具有從該端部將基板朝該基板載置部搬送的搬送機構；該反轉機構係讓各自搬送至該基板載置部的基板反轉並配置至第二基板搬送機構。
依該結構，由於具有2個反轉機構，於每單位時間中可對基板進行2倍處理。藉此，每單位時間中可將更多之基板進行反轉，故可縮短加工時間。再者，由於第一基板搬送機構及第二基板搬送機構配置於一直線上，可提供面積效率更優良之構造的貼合裝置。
又，較佳地，申請專利範圍第15項(第15發明)之偏光膜貼合裝置，係具有用於搬送偏光膜的第一膜搬送機構及第二膜搬送機構，該第一膜搬送機構具有：複數個捲出部，用於捲出由剝離膜所保護之偏光膜；切斷部，用於切斷偏光膜；去除部，用於從偏光膜上將剝離膜去除；及複數個捲取部，用於捲取被去除後之該剝離膜；該第二膜搬送機構具有：複數個捲出部，用於捲出由剝離膜所保護之偏光膜；切斷部，用於切斷偏光膜；去除部，用於從偏光膜上將剝離膜去除；及複數個捲取部，用於捲取被去除後之該剝離膜；該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構，係配置於該第一膜搬送機構及第二膜搬送機構上，且把已將該剝離膜去除後之偏光膜貼合至基板的該第一貼合部係配置於該第一膜搬送機構與第一基板搬送機構之間，把已將該剝離膜去除後之偏光膜貼合至基板的該第二貼合部係配置於該第二膜搬送機構與第二基板搬送機構之間。
藉此，由於具有複數個捲出部及捲取部，當一側之捲出部中偏光膜原料之剩餘數量變少時，可將該原料連接至設置於另一側捲出部的原料。其結果，無需停止偏光膜之捲出，可續行作業，故可提高生產效率。
又，較佳地，申請專利範圍第16項(第16發明)之偏光膜貼合裝置具有用於在藉由該第一貼合部將偏光膜貼合至基板下方之前洗淨基板用的洗淨部，且該第一基搬送機構係以基板之短邊沿著搬送方向之狀態下來搬送基板。
藉此，可於基板之長邊相對於基板搬送方向呈垂直的狀態下，藉由洗淨部來進行基板之洗淨。即，可縮小基板沿搬送方向的距離，故可縮短洗淨所需加工時間。其結果，可提供生產效率更優良之偏光膜貼合裝置。
又，較佳地，申請專利範圍第17項(第17發明)之偏光膜貼合裝置中，該第一膜搬送機構及該第二膜搬送機構處具有：缺陷檢出部，係可檢測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。
依該缺陷檢出部、貼合迴避部及回收部，可避免將具有缺陷之偏光膜與基板進行貼合，故可提高良率。
申請專利範圍第18項(第18發明)之液晶顯示裝置製造系統具有：上述之偏光膜貼合裝置；以及貼合偏差檢測裝置，係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。
藉此，可檢查出貼合完成偏光膜後之基板所產生的貼合偏差。
又，較佳地，申請專利範圍第19項(第19發明)之液晶顯示裝置製造系統具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷是否存在貼合偏差，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。
藉此，當貼合好偏光膜之基板產生貼合偏差之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。
又，較佳地，申請專利範圍第20項(第20發明)之液晶顯示裝置製造系統具有：偏光膜貼合裝置；以及貼合異物自動檢測裝置，係檢查由該貼合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的異物。
藉此，可檢查出貼合完成偏光膜後之基板所產生的異物。
又，較佳地，申請專利範圍第21項(第21發明)之液晶顯示裝置製造系統具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有異物，根據該判斷結果來對已貼合完成偏光膜之基板進行遴選。
藉此，當貼合完成偏光膜之液晶面板中混入有異物之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。
又，較佳地，申請專利範圍第22項(第22發明)之液晶顯示裝置製造系統具有貼合異物自動檢測裝置，係於該第二貼合部完成偏光膜貼合後，檢查基板上的異物；以及遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差與異物，根據該判斷結果來對已貼合完成偏光膜之基板進行遴選。
藉此，當貼合好偏光膜之液晶面板中產生了貼合偏差與混入異物之情況，可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。
＜發明效果＞
本第1發明之偏光膜的貼合裝置如上所述，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係朝同一方向配置；該反轉機構係具有用於吸附基板的吸著部及連接至吸著部的反轉基板的基板反轉部；該基板反轉部係將置於第一基板搬送機構的基板(1)如描繪曲線般，(2)使其反轉的同時，(3)長邊或短邊沿著第一基板搬送機構的搬送方向，沿著與搬送方向直交的方向，配置到第二基板搬送機構之偏光膜貼合裝置。
因此，藉由該反轉機構，可反轉於第一動作的基板，並對於搬送方向呈改變後的長邊及短邊狀態。為此，可於基板之兩面，從下方貼合偏光膜，故不妨礙整流環境。另外，由於反轉機構之動作係以反轉軸為中心之一單純動作，故加工時間較短。因此，可實現加工時間較短的貼合。再者，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係將基板朝同一方向搬送。即，不具有L型等複雜構造。因此，本第一發明之貼合裝置之設置非常簡便，且面積效率優良。
藉由上述之第2發明的偏光膜貼合裝置，係該反轉機構之結構，該反轉軸用於將基板反轉部反轉，使該基板由正面轉為背面的；以及配置變更部，係藉由將該基板的配置從該第一基板搬送機構搬送的方向變更至該第二基板搬送機構而變更基板的配置方向，由於配置變更軸周圍於一定角度範圍迴轉，該第一基板搬送機構所搬送的該基板沿著圓弧軌跡反轉的同時，沿著該第二基板搬送機構之基板搬送方向，變更配置至該第二基板搬送機構；因此，藉由該基板反轉部一連串的圓弧軌跡之反轉動作使該基板反轉，與沿著於該第二基板搬送機構的配置而變更該基板的配置，而縮短加工時間，進而實現了短加工時間之貼合的可能。
藉由上述之第3發明的偏光膜貼合裝置，係如第2發明之偏光膜貼合裝置，該反轉機構之結構係由該基板反轉部連接反轉軸部，該反轉軸部係具有該配置變更部用於迴轉而配置的反轉軸，各自根據其迴轉驅動源而驅動迴轉。因該迴轉驅動源而驅動迴轉，藉由該迴轉驅動源而驅動迴轉的該基板反轉部一連串的圓弧軌跡之反轉動作，該基板的反轉與沿著該第二基板搬送機構的配置而變更該基板的配置，可縮短加工時間，進而實現了短加工時間之貼合的可能。
藉由上述之第4發明的偏光膜貼合裝置，係如第2發明之偏光膜貼合裝置，該反轉機構之結構係配置該配置變更部於連接反轉軸部的該基板反轉部可相對迴轉，該反轉軸部具有反轉軸，各自根據其迴轉驅動源而驅動迴轉，故藉由該迴轉驅動源而驅動迴轉的該基板反轉部一連串的圓弧軌跡之反轉動作，該基板的反轉與沿著該第二基板搬送機構的配置而變更該基板的配置，可縮短加工時間，進而實現了短加工時間之貼合的可能。
藉由上述之第5發明的偏光膜貼合裝置，係如第2發明至第4發明中任一者所述之偏光膜貼合裝置，藉由該複數支撐組件而構成該基板支撐裝置的該基板支撐部，以夾持並支撐由該第一基板搬送機構搬送之基板的兩面。因此，除了確實支撐由該第一基板搬送機構所搬送的基板，同時，其支撐達到確實反轉及該基板變更配置的效果。
藉由上述之第6發明的偏光膜貼合裝置，係如第2發明至第4發明中任一者所述之偏光膜貼合裝置，藉由吸著部的吸著組件可構成該基板支撐裝置的該基板支撐部，而吸附該第一基板搬送機構搬送之基板的表面。因此，該基板支撐部結構簡潔，具有輕量化及高速迴轉的效果。
藉由上述之第7發明的偏光膜之貼合裝置，係如第3發明或第4發明中所述之偏光膜貼合裝置，該基板支撐裝置配設於進行該基板反轉動作的基板反轉部連接的組件，由於進入該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部的第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，可藉由第一支撐組件與第二支撐組件夾持並支撐該第一基板搬送機構所搬送之該基板。同時，由於該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，藉由該基板反轉部的反轉，解除該基板受該第一支撐組件與第二支撐組件的夾持支撐狀態，進而載置到該第二基板搬送機構端部，該第一基板搬送機構所搬送之該基板夾在進入該第一基板搬送機構端部的該第一支撐組件與第二支撐組件之間，而達到確實支撐的效果。同時，該基板可藉由該基板反轉部反轉，進而使藉由該基板反轉部反轉的基板，解除受該第一支撐組件與第二支撐組件的夾持支撐狀態，進而載置到該第二基板搬送機構端部，可達到該基板搬送至該第二基板搬送機構的效果。
藉由上述之第8發明的偏光膜貼合裝置，係如第3發明或第4發明中所述之偏光膜貼合裝置，該第一基板搬送機構之端部於橫向複數分割。由於構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部進入其鄰接部分所形成的多數間隙之間，由該第一基板搬送機構所搬送之基板受第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間夾持，而達到確實支撐的效果。同時，該第二基板搬送機構之端部，於搬送方向複數分割，反轉後，構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部，進入其鄰接部分所形成的複數間隙之間。反轉後的該基板解除受夾持支撐的狀態，載置到該第二基板搬送機構端部，達到該基板搬送至該第二基板搬送機構以及偏光膜貼合的效果。
藉由上述之第9發明的偏光膜貼合裝置，係如第8發明中所述之偏光膜貼合裝置，該第一基板搬送機構之端部於橫向複數分割，其鄰接部分係形成的複數間隙，由於構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部進入其間，該第一梳狀組件及第二梳狀組件的至少一者之複數突出部以其一部份作為支點，於一定角度範圍內擺動。因此，由該第一基板搬送機構搬送之基板藉由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，達到確實支撐的效果。同時，該第二基板搬送機構之端部於搬送方向複數分割，反轉後，構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部，進入其鄰接部分所形成的複數間隙之間，該第一梳狀組件及第二梳狀組件的至少一者之複數突出部以其一部份作為一端的支點，於一定角度範圍內擺動。因此，反轉後的該基板係解除夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構端部，進而達到該基板搬送至該第二基板搬送機構以及偏光膜貼合的效果。
藉由上述之第10發明的偏光膜貼合裝置，係如第8發明中所述之偏光膜貼合裝置，構成該第一支撐組件之具有複數突出部的該第一梳狀組件及第二支撐組件之具有複數突出部的該第二梳狀組件，其結構係藉由該擺動驅動機構而驅動擺動。因此，由該第一基板搬送機構所搬送之基板藉由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，以達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板係解除受夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構端部，進而達到該基板搬送至該第二基板搬送機構以及偏光膜貼合的效果。
藉由上述之第11發明的偏光膜貼合裝置，係如第10發明中所述之偏光膜貼合裝置，構成該擺動驅動機構的該第一擺動驅動機構，驅動擺動構成該第一支撐組件中具有複數突出部的該第一梳狀組件。同時，構成該擺動驅動機構的第二擺動驅動機構，驅動擺動構成第二支撐組件中具有複數突出部的第二梳狀組件。因此，由該第一基板搬送機構搬送之基板藉由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，以達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板解除夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構端部，進而達到該基板搬送至該第二基板搬送機構以及偏光膜貼合的效果。
藉由上述之第12發明的偏光膜貼合裝置，係如第8發明中所述之偏光膜貼合裝置，該第一基板搬送機構之端部於橫向複數分割，其鄰接部分所形成的複數間隙，由於構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部進入其間，該第一梳狀組件及第二梳狀組件中至少一者的複數突出部於單方向相對的接近。因此，由該第一基板搬送機構所搬送之基板藉由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，以達到確實支撐的效果。同時，該第二基板搬送機構之端部於搬送方向複數分割，其鄰接部分所形成的複數間隙，反轉後，構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部，進入其鄰接部分所形成的複數間隙之間，該第一梳狀組件及第二梳狀組件中至少一者的複數突出部於單方向相對的遠離。因此，反轉後的該基板解除受夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構端部，進而達到該基板搬送至該第二基板搬送機構以及偏光膜貼合的效果。
藉由上述之第13發明的偏光膜貼合裝置，係如第12發明中所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部構成該第一支撐組件的該第一梳狀組件及第二支撐組件的該第二梳狀組件，其係為藉由直線驅動機構來驅使其往復運動之結構。因此，由該第一基板搬送機構搬送之該基板受第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，而達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板解除夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構端部，進而達到該基板搬送至該第二基板搬送機構以及偏光膜貼合的效果。
以下雖根據第1圖至第9圖來說明本發明之一實施態樣，但本發明並非限定於此。首先，說明本發明之液晶顯示裝置製造系統的結構如下。液晶顯示裝置製造系統亦包含有本發明之偏光膜貼合裝置。
第1圖係液晶顯示裝置製造系統的剖面圖。如第1圖所示，液晶顯示裝置製造系統100為二層結構。1F(1樓)部份為膜搬送機構50。2F(2樓)部份則為包含有基板搬送機構(第一基板搬送機構及第二基板搬送機構)的貼合裝置60。
＜膜搬送機構＞
首先，說明有關膜搬送機構50。膜搬送機構50之功用在於將偏光膜(偏光板)捲出而搬送至軋輥6、6a及軋輥16、16a，並捲取不需要之剝離膜。另一方面，偏光膜貼合裝置60之功用則在於將藉由膜搬送機構50所捲出之偏光膜相對於基板(液晶面板)5進行貼合。
膜搬送機構50具有第一膜搬送機構51及第二膜搬送機構52。第一膜搬送機構51係用以將偏光膜搬送至最先將偏光膜貼合至基板5下方的軋輥6、6a處。另一方面，第二膜搬送機構52則用以將偏光膜搬送至反轉後之基板的5下方處。
第一膜搬送機構51具有：第一捲出部1、第二捲出部1a、第一捲取部2、第二捲取部2a、半切器(half cutter)3、刀刃(knife edge)4、及缺陷膜捲取滾筒7、7a。第一捲出部1處設置有偏光膜料卷，可將偏光膜捲出。可使用習知的偏光膜作為該偏光膜。具體而言，可使用一種在聚乙烯醇膜上經碘等染色且朝向一軸方向延伸後之膜等偏光膜。該偏光膜之厚度雖無特別限定，但較佳為使用5μm以上、400μm以下之偏光膜者。
該偏光膜料卷中，吸收軸方向係位於流程方向(MD方向)上。該偏光膜中係藉由剝離膜以保護黏著劑層。可使用聚酯膜(polyester film)、聚對苯二甲酸乙二酯膜(polyethylene terephthalate)等作為該剝離膜(亦可稱作保護膜或分離膜separator)。該剝離膜之厚度雖無特別限定，但較佳為使用5μm以上、100μm以下之剝離膜者為佳。
關於液晶顯示裝置製造系統100，由於具有二個捲出部及對應捲出部之二個捲取部，當第一捲出部1之料卷殘量變少時，可將置備於第二捲出部1a之料卷連結至第一捲出部1之料卷。其結果，無需停止偏光膜之捲出，即可續行作業。因此，藉由本結構可提高生產效率。另外，只需各具有複數個該捲出部及捲取部即可，故當然亦可具有三個以上的捲出部及捲取部。
半切器(切斷部)3會將受剝離膜保護之偏光膜(由偏光膜、黏著劑層及剝離膜所構成之膜層積體)半切斷(half cut)，以將偏光膜及黏著劑層切斷。半切器3係可使用習知組件。具體而言，可例如為刀刃、雷射切割器等。藉由半切器3來將偏光膜及黏著劑層切斷後，再藉由刀刃(去除部)4來將剝離膜從偏光膜處去除。
偏光膜與剝離膜之間處塗佈有黏著劑層，將剝離膜去除後，黏著劑層會殘留於偏光膜側。該黏著劑層並無特別限定，可例如為丙烯系、環氧系、聚胺脂系等黏著劑層。黏著劑層之厚度雖無特別限制，但通常為5～40μm。
另一方面，第二膜搬送機構52係與第一膜搬送機構51具相同的結構，具有第一捲出部11、第二捲出部11a、第一捲取部12、第二捲取部12a、半切器13、刀刃14及缺陷膜捲取滾筒17、17a。關於命名為相同名稱之組件，即代表其功用與第一膜搬送機構51所具備者相同。
作為一較佳實施態樣，液晶顯示裝置製造系統100具有洗淨部71。在藉由軋輥6、6a將偏光膜貼合至基板5下方之前，洗淨部71係用以將基板5洗淨。洗淨部71可使用由噴射洗淨液之噴嘴及刷毛等所構成的習知洗淨部即可。洗淨部71係將即將要貼合之基板5洗淨，藉此能在基板5之附著異物較少之狀態下進行貼合。
其次，參照第2圖來說明刀刃4。第2圖係液晶顯示裝置製造系統100中之軋輥6、6a周邊部份的剖面圖。第2圖顯示基板5從左方向右搬送之情形，具有黏著劑層(圖式中未顯示，以下皆同)的偏光膜5a則從左下方搬送而來。偏光膜5a具有剝離膜5b，藉由半切器3可將偏光膜5a及黏著劑層切斷，但不會將剝離膜5b切斷(半切斷)。
於剝離膜5b側設置有刀刃4。刀刃4係用於剝離膜5b剝離的刀刃狀組件，使得與偏光膜5a之接著力較低的剝離膜5b會沿著刀刃4而被剝離。
然後，剝離膜5b則會被第1圖之第一捲取部2所捲取。另外，亦可取代刀刃，採用藉由黏著滾筒來捲取剝離膜的結構。此時，相同於捲取部，其係藉由將黏著滾筒設置於二位置處，可提高剝離膜之捲取效率。
＜偏光膜貼合裝置＞
其次，說明偏光膜貼合裝置60。偏光膜貼合裝置60係搬送基板5，並將藉由膜搬送機構50所搬送而來的偏光膜貼合至基板。圖中雖未顯示，於偏光膜貼合裝置60中，面向基板5之上方而供給有潔淨空氣。即，進行著降流式整流。藉此，能在穩定狀態下進行基板5之搬送及貼合。
偏光膜貼合裝置60係設置於膜搬送機構50上部處。藉此，可達成液晶顯示裝置製造系統100之空間節省。圖中雖未顯示，但於偏光膜貼合裝置60處設置有基板搬送機構，其係具有輸送滾筒(conveyor roll)，藉以將基板5朝搬送方向進行搬送(以下配合第5(a)圖至第5(d)圖中所述之第一基板搬送機構61、第二基板搬送機構62係相當於基板搬送機構)。
液晶顯示裝置製造系統100中，從左側將基板5搬送而來，然後，於圖中右側，即，從第一膜搬送機構51上部朝第二膜搬送機構52上部進行搬送。基板5為長方形，長邊與短邊的比例並無特別限定，其係可為16：9～4：3。具體而言，基板5可例如為有機EL(Electro Luminescence)面板與液晶玻璃基板。
於膜搬送機構50與偏光膜貼合裝置60之間，各自具有作為貼合部的軋輥6、6a(第一貼合部)及軋輥16、16a(第二貼合部)。軋輥6、6a及軋輥16、16a係用以將已去除剝離膜後之偏光膜貼合至基板5下方的組件。另外，為了從下方將偏光膜貼合至基板5之兩面處，於軋輥6、6a進行貼合之後，再藉由反轉機構65來反轉基板5。關於反轉機構65詳如後述。
朝向軋輥6、6a搬送之偏光膜會隔著黏著劑層而貼合至基板5的下方。作為軋輥6、6a，可各自採用壓著滾筒、加壓滾筒等習知結構。又，軋輥6、6a於貼合時之壓力及溫度可適當地進行調整。軋輥16、16a之結構亦相同。另外，圖中雖未顯示，但液晶顯示裝置製造系統100之較佳結構中，在第一捲出部1至半切器之間的位置具有缺陷標示(Mark)檢出部，而可檢測出具有缺陷之偏光膜的結構。
另外，關於該缺陷標示係在製作偏光膜料卷時進行檢測會賦予缺陷標示，抑或，藉由缺陷標示賦予部賦予至偏光膜上，該缺陷標示賦予部相較於缺陷標示檢出部係更為靠近第一捲出部11或第二捲出部11a側。缺陷標示賦予部係由攝影機、圖像處理裝置及缺陷標示形成部所構成。首先，用該攝影機來進行偏光膜之攝影，藉由對該攝影情報進行處理，便可檢查出是否有缺陷。具體而言，該缺陷可例如為灰塵等異物、魚眼(fish eye)等。若為檢測出有缺陷之情況，便藉由缺陷標示形成部來於偏光膜上形成缺陷標示。缺陷標示可使用墨水等來標記。
再者，圖中未顯示之貼合回避部會藉由攝影機來辨別出該標記，將停止訊號傳送給偏光膜貼合裝置60以停止基板5之搬送。然後，被檢出有缺陷之偏光膜便不會藉由軋輥6、6a進行貼合，而會被缺陷膜捲取滾筒(回收部)7、7a所捲取。藉此，可避免讓基板5與具有缺陷之偏光膜相貼合。只要具有該一串連之結構，由於可避免讓具有缺陷之偏光膜與基板5相貼合，故可提高良率，係為較佳之實施態樣。作為缺陷檢出部及貼合回避部係可使用習知之檢查感測器。
如第1圖所示，藉由反轉機構65來讓基板5呈反轉狀態之後，將基板5搬送至軋輥16、16a。接著，將偏光膜貼合至基板5下方。其結果，可將偏光膜貼合至基板5之兩面，而形成於基板5兩面處貼合有2片吸收軸相異之偏光膜的狀態。然後，依需要對基板5之兩面進行檢查，檢查是否有貼合偏差。通常，該檢查係採用具有攝影機之檢查部等來進行之結構。
如上述之液晶顯示裝置製造系統100中，將偏光膜貼合至基板5時，係從基板5下方進行貼合之結構，故不會妨礙基板5之整流環境。因此，亦可防止異物混入基板5之貼合面，能更正確地進行貼合。
第3(a)圖和第3(b)圖係顯示近似於本發明之下貼型製造系統中之氣流速度向量。第3(a)圖和第3(b)圖中，區域A係設置有捲出部之區域，區域B主要為偏光膜通過之區域，區域C係設置有捲取部等之區域。又，會從HEPA過濾器40供給潔淨空氣。另外，第3(a)圖中，由於設置有能讓潔淨空氣通過之格柵(grating)41，經由格柵41，氣流能朝垂直方向移動。另一方面，第3(b)圖中，由於未設置有格柵41，氣流在接觸地板之後，便會沿地板移動。
由於第3(a)圖和第3(b)圖所示之液晶顯示裝置製造系統為下貼型，不同於第10(a)圖和第10(b)圖所示的由於偏光膜而妨礙來自HEPA過濾器40的氣流。因此，氣流向量之方向幾乎均朝向基板方向，可達成無塵室之較佳整流環境。第3(a)圖中設置有格柵41，第3(b)圖中則未設置，但兩者皆同樣為較佳狀態。另外，第3(a)圖及第3(b)圖及第10(a)圖及第10(b)圖中，雖然基板搬送機構係呈水平，但並非是設置呈一連續串接之構造。因此，於基板搬送機構之間係為可容氣流通過之結構。基板係在藉由下述之反轉機構而受保持之後，傳送於基板搬送機構之間的結構。
又，液晶顯示裝置製造系統100中，首先，以長邊朝前(長邊與搬送方向垂直)來搬送基板5，然後，以短邊朝前(短邊與搬送方向垂直)來搬送之結構。
＜基板支撐裝置＞
反轉該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5時，用於支撐並保持的基板支撐裝置係可藉由複數的基板支撐組件作機械性的夾持態樣、利用流體壓的吸引作用之吸著態樣，以及其他態樣。
如第4圖所示，吸著部66S係由複數部位及複數吸著組件所構成，該等部位係吸附該第一基板搬送機構61搬送的該基板5表面，該等吸著組件係展開複數吸著口。藉此，基板5表面由吸著部66S支撐並保持。可使用習知的吸著部作為吸著部66S，例如，可使用抽氣式的吸著部。
如第5圖至第7圖所示，基板支撐裝置66係機械式的夾持形式，雖具有減低效能的問題，然為了避免干涉，進入具有輸送滾筒612的該第一基板搬送機構61之膜與基板的搬送方向下游端部，以及具有輸送滾筒612的該第二基板搬送機構61之膜與基板的搬送方向上游端部，對應反轉機構65之基板反轉部67的反轉動作，而由第一基板支撐部661及第二基板支撐部662穿插配置所構成，於基板搬送機構中係與基板支撐裝置有關。
如第5圖所示，基板支撐裝置66由大於貼合膜尺寸的一對梳狀部組件構成，裝配2對的梳狀組件，對於連接基板反轉部67的基礎組件660係可相對擺動。
又，如第8圖所示，基於縮短加工時間的觀點，於垂直面以180度的角度關係，裝配2個基板支撐裝置66，該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62的搬送方向，與垂直於該搬送方向，配置於橫向中間位置之反轉機構的2個基板反轉部67連接。同時，延伸於第一基板搬送機構61之橫向的第一基板支撐裝置66，與延伸於第二基板搬送機構62之搬送方向的第二基板支撐裝置66，其配置關係可垂直於同一平面。再者，為了縮短加工時間，係可在垂直面以90度(60度)的角度在基板反轉部67安裝4個(6個)基板支撐裝置。
即，如第8圖所示，一邊的基板支撐裝置66具有輸送滾筒612的該第一基板搬送機構61中，對向地進入安裝其膜及基板的搬送方向的下游端部時，另一側的基板支撐裝置66，對具有輸送滾筒622的該第二基板搬送機構62之膜及基板的搬送方向的上游端部，係構成呈穿插進入的配置方式。
該基板支撐裝置66係裝配於進行該基板反轉動作的基板反轉部67連接的組件；將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構61，以及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下，由於進入進行搬送的第二基板搬送機構62端部，第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，該基板5得由第一支撐組件661與第二支撐組件662夾持並支撐，而使基板5由該第一基板搬送機構所搬送；同時，由於該第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，藉由該基板反轉部67的反轉，而解除該基板5受該第一支撐組件661與第二支撐組件662的夾持支撐狀態，進而載置到該第二基板搬送機構62端部處。
該第一基板搬送機構61之下游側端部係橫向分割成複數個(例如4個)分割部份61A、61B、61C、61D，相鄰之分割部份之間形成有用於使構成該第一支撐組件661及第二支撐組件662之概呈E字狀第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數個(例如3個)突出部6611～6613、6621～6623進入的複數個間隙；且該第二基板搬送機構62之上游側端部係沿搬送方向分割成複數個(例如4個)分割部份62A、62B、62C、62D，相鄰之分割部份之間形成有能讓反轉後之構成用於使該第一支撐組件661及第二支撐組件662之該第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數個突出部6611～6613、6621～6623進入的複數個間隙。
如第5圖及第6圖所示之構造，於該第一基板搬送機構61的下游側端部橫向所分割的4個部分61A、61B、61C、61D，分別配置輸送滾筒612係根據迴轉驅動指令，介於迴轉驅動機構及迴轉連繫方式(無圖示)之間，而使其同步而驅動迴轉，於下方貼合偏光膜的該基板5，被搬送至圖中右方，到達停止位置後靜止不動。
如第5圖及第6圖所示，該第二基板搬送機構62的上游側端部，於搬送方向分割為4個部分62A、62B、62C、62D，分別配置輸送滾筒622係根據迴轉驅動指令，介於迴轉驅動機構及迴轉連繫機構(無圖示)之間，而使其同步而驅動迴轉，藉由基板反轉部67而反轉，上方貼合偏光膜的該基板5，被搬送至圖中右方的第二貼合裝置。
如第5圖至第7圖所示，該第一基板支撐部661及第二基板支撐部662係分別具有複數突出部6611～6613、6621～6623之第一二梳狀組件及第二梳狀組件，將控制基礎部660內之一端作為支點以擺動，而由擺動組件所構成。
即，構成該第一基板支撐部661及第二基板支撐部662，具有複數突出部6611～6613、6621～6623之第一梳狀組件及第二梳狀組件，係藉由擺動驅動機構6630於一定的角度範圍，例如90度的範圍內受擺動驅動之構造。
如第9圖所示，該擺動驅動機構6630係由擺動驅動構成該第一基板支撐部661、具有複數突出部6611～6613之第一梳狀組件之第9圖中上方的第一擺動驅動機構6631，以及擺動驅動構成該第二基板支撐部662、具有複數突出部6621～6623之第二梳狀組件之第9圖中下方的第二擺動驅動機構6632所構成。
該第一擺動驅動機構6631係由進行該基板反轉動作的該基板反轉部67之端部672，介於該連絡部673所連接的基礎組件660之一端上，作為電氣驅動裝置而裝配的第一馬達所構成，並根據基於擺動指令的驅動力及擺動方向，讓插入至該基部組件660的中介材中空軸6601進行擺動迴轉，藉以使得與該中介材中空軸6601連結呈一體的該複數個突出部6611～6613(構成該第一支撐組件661(該第一梳狀組件))進行擺動迴轉。
如第5圖至第10圖所示，根據迴轉驅動指令，介於迴轉驅動構及迴轉連繫機構(無圖示)，該第一基板搬送機構61的下游側端部4個分割部分61A、61B、61C、61D中，輸送滾筒612受迴轉驅動，於下方貼合偏光膜的基板5，被搬送至圖中右方，到達停止位置停止後，構成該第一擺動驅動機構6631，作為電氣驅動裝置的第一馬達，遵循基於擺動指令的驅動力及擺動方向，藉由逆時針方向擺動迴轉，穿插於該基礎組件660的中間中空軸6601，與該中間中空軸6601連結為一體構成該第一梳狀組件，如第9(a)圖所示，將呈垂直狀態的該複數突出部6611～6613以逆時針方向作90度擺動迴轉，由此，如第9(b)圖所示，呈水平狀態構成該第二梳狀組件的該複數突出部6621～6623之間，夾持並支撐靜止中的下方貼合偏光膜的該基板5。
該第二擺動驅動機構6632係由進行該基板反轉動作的該基板反轉部67之端部672，介於該連絡部673所連接的基礎組件660之另一端上，作為電氣驅動裝置而裝配的第二馬達所構成，並根據其驅動力及擺動方向，藉由擺動迴轉，穿設於該基礎組件660的中心軸6602，與作為該中心軸連結為一體的該第二支撐組件662，構成該第二梳狀組件，而使該複數突出部6621～6623擺動迴轉。
該複數突出部6611～6613以逆時針方向作90度擺動迴轉。以對於停止於第9(b)圖中所示呈水平狀態之構成該第二梳狀組件的該複數個突出部6621～6623之間處且於下方貼合有偏向膜的該基板5，來進行夾持/支撐，然後，以下說明基板反轉機構之該基板反轉部67係繞反轉軸進行反轉，如第10(a)圖所示，夾持著該基板5的該複數個突出部6611～6613與該複數個突出部6621～6623之上下關係便會反轉，並將基板5載置至將該第二基板搬送機構之上游側端部。
構成該第二擺動驅動機構6632，作為電氣驅動裝置的第一馬達，根據基於擺動指令的驅動力及擺動方向，讓插入至該基部組件660之中心軸6602沿逆時鐘方向進行擺動迴轉，藉此，讓構成該第二梳狀組件(與該中心軸6602連結呈一體)之第10(a)圖中所示呈水平狀態的該複數個突出部6621～6623沿逆時鐘方向進行擺動迴轉，而如第10(b)圖中所示般擺動迴轉90°以形成垂直狀態，因此，被夾持於構成該第一梳狀組件之該複數個突出部6611～6613之間處且於下方貼合有偏向膜之該基板5，便會解除該夾持狀態，並藉由該第二基板搬送機構之搬送滾筒622的迴轉，將於下方貼合有偏向膜之該基板5搬送至第二貼合裝置。
如第11(a)圖所示，該擺動驅動機構係由用以作為擺動驅動源的1個馬達6630、第一離合機構6633、第二離合機構6634所構成；第一離合機構6633，係將來自該馬達6690之擺動驅動力迴轉傳遞給該第一梳狀組件，藉以進行擺動驅動，該第一梳狀組件具有構成該第一支撐組件661之複數個突出部6611～6613；以及第二離合機構6634，係將來自作為該擺動驅動源的一個馬達6690之擺動驅動力迴轉傳遞給該第二梳狀組件，藉以進行擺動驅動，該第二梳狀組件具有構成該第二支撐組件662之複數個突出部6621～6623；由於作為擺動驅動源的馬達6630僅有1個，故可適合於基板支撐裝置的簡素化、輕量化。
如第11(b)圖所示，該擺動驅動機構6630之結構係為以致動器(actuator)6635、6636作為第一擺動驅動源及第二擺動驅動源，其係將部分作為支點，藉由擺動擺動組件，將第一支撐組件及第二支撐組件之另一端，於如圖所示的上下移動，將構成該第一支撐組件661的該第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二支撐組件662的該第二梳狀組件的複數突出部6621～6623作為該支點的中心，於一定的角度範圍，比如0度至±30度，使其前後各別擺動，以實現夾持支撐及解除夾持支撐該基板5的狀態，藉由控制器(controller)6637，並能實現構成該致動器6635、6636的螺線管(solenoid)的電流的應用控制，即控制開關，因此，可具有簡單控制的優點。
上述內容係說明關於藉由相對擺動迴轉成該第一支撐組件661及第二支撐組件662，夾持支撐該基板5之示例，實施態樣則由構成該第一支撐組件之具有複數突出部的該第一梳狀組件及第二支撐組件之具有複數突出部的該第二梳狀組件，於上下方向行相對的接近或遠離，其往復運動的結構可使對向間隔產生變化。
即，構成該第一二支撐組件661具有複數突出部6611～6613的該第一梳狀組件及第二支撐組件662具有複數突出部6621～6623的該第二梳狀組件，藉由直線驅動機構，即由往復運動驅動機構而驅動，為可行往復運動的結構。
如第12(a)圖所示，該直線驅動機構，根據來自控制器6638C的驅動電流，藉由第一螺線管6638A及第二螺線管6638B及其他電氣驅動裝置的驅動力(如第12圖中之上下方向)，該第一支撐組件661及第二支撐組件662中至少有一邊進行相對的接近，因而夾持並支撐該基板5。同時，於反轉後該第二基板搬送機構的上游端，該第一支撐組件661及第二支撐組件662至少有一邊進行相對的遠離，因而解除該基板5的夾持狀態的結構。
又，如第12(b)圖所示，該直線驅動機構，構成基板支撐組件661的梳狀組件，與複數突出部的基板5之間的接觸面上，形成複數吸附該基板5的吸著部6639，藉由來自作為驅動裝置的泵浦P所供給的流體壓，產生負壓吸引作用，吸附或夾持該基板5。因此，該第一梳狀組件及第二梳狀組件進行相對的接近，進而形成夾持並支撐該基板的狀態。若將作為驅動裝置的泵浦與壓力源，設置於工廠內適宜的場所，而進行配管連繫，可簡化基板支撐裝置的結構，具有實現輕量化及高速化的優點。
又，如第12(c)圖所示，該第一支撐組件661及第二支撐組件662的兩端形成複數被吸著部與吸著部6639，藉由作為驅動裝置的如真空泵浦吸引，來自泵浦P透過配管而供給的流體壓(負壓)所產生的負壓吸引作用，以及該吸著部6639吸附於被吸著部，將該第一支撐組件661移動到圖中上方，可形成於該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間夾持支撐基板的狀態。若將作為驅動裝置的泵浦與壓力源，設置於工廠內適宜的場所，進行配管連繫，可簡化基板支撐裝置的結構，具有實現輕量化及高速化的優點。該實施態樣係說明關於由吸著部的吸引作用而吸附基板的狀態，其係為從噴出口噴出氣體與其他流體壓力，其推壓力也可實現支撐基板5的狀態。
又，偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置的結構係為：長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構61；該第一基板搬送機構61中，於該基板的下方貼合第一偏光膜的第一貼合部6；將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62端部；該第二基板搬送機構中，於該基板的下方貼合第二偏光膜的第二貼合部16；於支撐由該第一基板搬送機構搬送，貼合第一偏光膜的該基板5，包含具有基板支撐部的基板支撐裝置66之偏光膜貼合裝置，配置有連接進行該基板反轉動作的基板反轉部67的基礎組件，由於進入該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62端部的第一支撐組件661及第二支撐組件662之間相對的移動，進而夾持並支撐由該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間的該第一基板搬送機構61所搬送之貼合有第一偏光膜的該基板5。同時，因該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間相對的移動，藉由該基板反轉部67反轉，進而解除夾持於該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間貼合有第一偏光膜的該基板5之夾持並支撐狀態，而載置到第二基板搬送機構62端部。
再者，偏光膜貼合裝置中的基板支撐裝置，係長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機構61；該第一基板搬送機構中，於該基板的下方貼合第一偏光膜的第一貼合部6；將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構62端部；該第二基板搬送機構中，於該基板的下方貼合第二偏光膜的第二貼合部16；於支撐由該第一基板搬送機構61搬送，貼合第一偏光膜的該基板，藉由連接基板支撐部之基板反轉部67的反轉動作，反轉受該基板支撐部支撐的該基板。同時，包含變更配置到第二基板搬送機構所構成之反轉機構的偏光膜貼合裝置，裝配了連接進行該基板反轉動作之該反轉機構的基板反轉部67的基礎組件。由於進入該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62端部的第一支撐組件661及第二支撐組件662之間相對的移動，而夾持並支撐由該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間的該第一基板搬送機構61所搬送並貼合有第一偏光膜的該基板5。同時，由於該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間相對的移動，藉由該基板反轉部67反轉，進而解除夾持於該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間並貼合有第一偏光膜的該基板5之夾持並支撐狀態，而載置到第二基板搬送機構62端部。
該偏光膜貼合裝置中，該反轉機構的基礎部670係配置於對該基板搬送方向呈垂直的第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62的橫向中間位置，且可迴轉，並具有實現反轉動作的基板反轉部67。
有關該基板支撐組件的其他狀態，說明如下：基板支撐部係為支撐基板5的組件，可夾持載置後的基板。又，作為較佳態樣，基板支撐部係具有吸附基板5的吸著機構。吸著機構可使用習知的機構，例如，可用抽氣式的吸著機構。基板支撐部係由導管狀的臂桿及吸著機構所構成，雖然吸著機構係以抽入的空氣通過臂桿之結構，但並不限定該結構的臂桿及吸著機構之形狀。
又，基板支撐部係於臂桿具有2個吸著機構的結構，且具有1對臂桿群組，該等臂桿群組係由3支臂桿所組成。又，於基板5的對角線上配置了4個吸著機構，並於基板5的長邊，該吸著機構之間再配置2個吸著機構。該臂桿的數量及吸著機構的設置數量係僅做為示例。例如，反轉大型基板時，亦可適度地進行增加臂桿的數量及吸著機構的設置數等變化。又，亦可將吸著機構的設置位置集中於基板5的中心部分，或者，當然可將吸著機構的設置位置設置於基板5的端部周圍等。
基板反轉部未載置基板5時，臂桿群組之間的距離會增加而成為能承接基板5的狀態(以下稱此狀態為「待機狀態」)。另一方面，基板5在基板反轉部67時，也是臂桿群組之間距離增加的狀態，又，為了使1對臂桿群組夾持基板5，可縮短臂桿群組之間的距離。為使臂桿群組之間的距離可如此變化，基板支撐部係具有馬達，而為能將馬達的迴轉運動改變為直線運動，進而改變臂桿群組之間距離的結構。並且，只要是可變更臂桿群組之間距離的結構即可，其亦可變化使用具有馬達的結構。
於本實施例中，由上述結構所構成之偏光膜貼合裝置，該基板支撐裝置66配置有基礎組件660，該基礎組件660係連結於用以進行該基板反轉動作的基板反轉部67。將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的該第一基板搬送機構61，以及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下，由於進入進行搬送的第二基板搬送機構62端部，第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，而可藉由第一支撐組件661與第二支撐組件662夾持並支撐該第一基板搬送機構61所搬送之該基板5。同時，因該第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，由於該基板反轉部67的反轉，而解除該基板5受該第一支撐組件661與第二支撐組件662的夾持支撐狀態，進而載置到該第二基板搬送機構62端部處。因此，藉由簡易的結構，由該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5，由於受到進入該第一基板搬送機構61端部的第一支撐組件661及第二支撐組件662之間的夾持作用，可達到確實支撐的效果。同時，該基板反轉部67係實現該基板的反轉，據此，該基板反轉部67反轉的該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間的夾持而受支撐的該基板，解除受夾持支撐的狀態，載置到該第二基板搬送機構62端部，達成將該基板搬送至該第二基板搬送機構62，以及貼合偏光膜的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置，於該第一基板搬送機構61端部的橫向係分割成複數部分61A、61B、61C、61D，其相鄰部分之間係形成複數間隙，該第一支撐組件661的第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件的複數突出部6621～6623進入該等間隙中，並與該第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間，達成該第一基板搬送機構61所搬送的該基板5被夾持而確實支撐的效果。同時，於該第二基板搬送機構62端部的搬送方向係分割成複數部分62A、62B、62C、62D，其相鄰部分之間係形成複數間隙，於反轉後，構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件的複數突出部6621～6623進入該等間隙中，反轉後的基板係被解除夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構62端部，進而達成該基板搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合有偏光膜的效果。
再者，本實施例的偏光膜貼合裝置中，該第一基板搬送機構61之端部於橫向複數分割，其鄰接部分所形成的多數間隙，由於構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件662的第二梳狀組件的複數突出部進入，至少讓一側之該第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二梳狀組件的複數突出部6621～6623以其一部份作為支點，而於一定角度範圍內擺動。因此，由該第一基板搬送機構61所搬送之基板5係藉由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，而達到確實支撐的效果。同時，該第二基板搬送機構62端部係於搬送方向複數分割。於反轉後，構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件662的第二梳狀組件的複數突出部係進入其鄰接部分所形成的多數間隙之間；而至少讓一側的該第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部以其一部份作為支點，於一定角度範圍內擺動。因此，反轉後的該基板係解除被夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構62端部，進而達成將該基板搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合偏光膜的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置中，第一梳狀組件及第二梳狀組件之結構係藉由該擺動驅動機構而驅動擺動，其中，第一梳狀組件係構成該第一支撐組件661並具有複數突出部6611～6613，第二梳狀組件係構成該第二支撐組件662並具有複數突出部6621～6623。因此，該第一基板搬送機構61所搬送之該基板5係藉由第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二梳狀組件的複數突出部6621～6623之間所夾持，而達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板5係解除受夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構62端部，進而達到將該基板搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合偏光膜的效果。
再者，本實施例的偏光膜貼合裝置，構成該擺動驅動機構的該第一擺動驅動機構6631，驅動擺動構成該第一支撐組件661中具有複數突出部6611～6613的該第一梳狀組件。同時，構成該擺動驅動機構的第二擺動驅動機構6632，驅動擺動構成第二支撐組件662中具有複數突出部的第二梳狀組件。因此，該第一基板搬送機構61所搬送之該基板係藉由第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二梳狀組件的複數突出部6621～6623之間所夾持，而達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板，解除受夾持支撐的狀態，載置到該第二基板搬送機構62端部，達到該基板得以搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合偏光膜的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置，該擺動驅動機構，在介於該第一離合機構6633並具有構成該第一支撐組件661的複數突出部6611～6613之該第一梳狀組件傳達擺動驅動源6630且由來自該擺動驅動源的擺動驅動力而擺動驅動的同時，在介於該第二離合機構6634並具有構成該第二支撐組件662的複數突出部6621～6623的該第二梳狀組件傳達來自該擺動驅動源6630的擺動驅動力而使其被擺動驅動。因此，由該第一基板搬送機構61所搬送之基板5藉由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，以達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板5，解除受夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構62端部，而達成將該基板搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合偏光膜的效果。
再者，本實施例的偏光膜貼合裝置，於該第一基板搬送機構61端部的橫向係分割複數部分61A、61B、61C、61D，其相鄰部分之間所形成的複數間隙中，因構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件的複數突出部6621～6623進入其間，至少讓一側的第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部，於上下方向進行相對的接近。因此，由該第一基板搬送機構61所搬送之基板5受第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，而達到確實支撐的效果。同時，於該第二基板搬送機構62端部的搬送方向係分割複數部分62A、62B、62C、62D，其相鄰部分之間所形成的複數間隙中，構成該第一支撐組件661的第一梳狀組件的複數突出部6611～6613及第二支撐組件662的第二梳狀組件的複數突出部6621～6623反轉後而進入該等部分62A、62B、62C、62D之間，至少讓一側的該第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部，於上下方向進行相對的遠離。因此，反轉後的該基板係解除其夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構62端部，以達到將該基板5搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合偏光膜的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置，藉由該直線驅動構6638A、6638B而將構成該第一支撐組件661中具有複數突出部6611～6613的第一梳狀組件及第二支撐組件662中具有複數突出部6621～6623的第二梳狀組件直線驅動，透過往復運動，由該第一基板搬送機構61搬送之基板5係由第一梳狀組件及第二梳狀組件的複數突出部之間所夾持，以達到確實支撐的效果。同時，反轉後的該基板5解除夾持支撐的狀態，而載置到該第二基板搬送機構62端部，以達到將該基板搬送至該第二基板搬送機構62以及貼合偏光膜的效果。
再者，本實施例的偏光膜貼合裝置，係藉由該直線驅動機構6638A、6638B的驅動力，而使該第一支撐組件661及第二支撐組件662的梳狀組件相對接近，進而夾持並支撐該基板5。因此，藉由基於驅動指令之電氣驅動裝置的驅動力，可達到易於控制夾持並支撐該基板的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置，該直線驅動機構由於來自驅動裝置所提供之流體壓力的作用，藉由吸附或夾持而達成該第一支撐組件661及第二支撐組件662的梳狀組件相對接近，進而夾持並支撐該基板5。因此，藉由將供給流體壓的驅動裝置與該基板支撐組件的分別配置，可簡化該基板支撐組件的結構，以達成輕量化的效果。
再者，本實施例的偏光膜貼合裝置設置有連接於進行該基板反轉動作之基板反轉部67的基礎組件660，將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的該第一基板搬送機構61，以及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進入進行搬送的第二基板搬送機構62端部，係藉由第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動，由該第一基板搬送機構61所搬送並貼合有第一偏光膜的基板5可被第一支撐組件661與第二支撐組件662確實地夾持並支撐。同時，由於該第一支撐組件661與第二支撐組件662間的相對移動與該基板反轉部67的反轉，而解除貼合有第一偏光膜的基板5受該第一支撐組件661與第二支撐組件662的夾持支撐狀態，進而載置到該第二基板搬送機構62端部。因此，藉由連接於該基礎組件660的基板反轉部67，可達成將貼合第一偏光膜的該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下，進入進行搬送的第二基板搬送機構62端部的該基板反轉部67的反轉動作，以及由該第二貼合部16貼合第二偏光膜的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置，該基板支撐裝置配置於實行基板反轉動作，連接於該反轉機構的基板反轉部67的基礎組件660。裝配了連接於進行該基板反轉動作的基板反轉部67的基礎組件，由於進入該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62端部的第一支撐組件661及第二支撐組件662之間相對移動，而可藉由該第一支撐組件661及第二支撐組件662夾持並支撐該第一基板搬送機構61所搬送之貼合有第一偏光膜的基板5，因而達到確實夾持貼合有第一偏光膜的基板5。同時，由於第一支撐組件與第二支撐組件之間的相對移動與藉由該基板反轉部67反轉，於該第一支撐組件661及第二支撐組件662之間所夾持並支撐且貼合有第一偏光膜的基板5，解除夾持支撐的狀態，而載置到第二基板搬送機構62端部。因此，藉由連接於該基礎組件660的該基板反轉部67，可達成將貼合第一偏光膜的該基板，以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下，進入進行搬送的第二基板搬送機構62端部的該基板反轉部67的反轉動作，以及由該第二貼合部16貼合第二偏光膜的效果。
＜反轉機構＞
反轉機構65係將由第一基板搬送機構所搬送之基板5反轉並配置到第二基板搬送機構的組件。該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係朝同一方向配置。第4圖係顯示反轉機構65的立體圖。反轉機構65係具有第一基板反轉部(基板反轉部)67及第二基板反轉部(基板反轉部)68。
第一基板反轉部67之形狀係為棒狀，並具有吸著部66。第一基板反轉部67可依本身的軸方向迴轉，藉由吸著部66可對於軸呈垂直方向移動基板5。又，第一基板反轉部67與第二基板搬送機構相連接，可驅動該連接部分，第一基板反轉部67可變更其位置，進而變更基板5的位置。
又，第二基板反轉部68的結構不僅具有2個臂桿構造，而且平面部可呈水平方向迴轉。藉由2個臂桿構造可將基板5進行上下移動，而由於平面部的迴轉，可將基板5以水平方向迴轉。
本實施態樣中，雖以第一基板反轉部67及第二基板反轉部68的結構作為基板反轉部，然基板反轉部並不受限於該構造；例如，可使用有控制部的機械臂桿，由於使用機械臂桿可更精密地操縱基板5，而作為較佳的實施態樣；並且，機械臂桿係可使用習知的機械臂桿。
其次，說明藉由第一基板反轉部67及第二基板反轉部68之基板5之反轉。第13圖係顯示基板5反轉時之軌道的立體圖。第13(a)圖係對應於第4圖中基板5的狀態。為了可清楚說明基板5的移動軌道，圖式中係省略吸著部66、第一基板反轉部67及第二基板反轉部68。
首先，由第一基板搬送機構所搬送之基板5係為其短邊沿搬送方向的狀態。如第13(a)圖，基板5於第一基板反轉部67(圖未示)的前方停止，吸著部66吸附基板5的背面。如第13(d)圖所示，基板5最後將沿第一基板搬送機構的搬送方向，以其短邊沿著與搬送方向呈直角的方向，配置到第二基板搬送機構。
第一基板反轉部67及第二基板反轉部68係將如第13(a)圖中所示之基板5的狀態，變更為如第13(d)圖中所示之基板5的狀態，為此，將基板5如描繪曲線般移動。即，以和緩的第一動作移動基板5。故本實施例中基板5的反轉非為直線移動，例如，並非如同沿基板5一邊方向的反轉移動。又，基板的反轉以及以基板的水平方向迴旋的二個動作並非連續，且此二個動作亦非同時進行。
如第13(b)～(d)圖所示，第13(a)圖中之基板5係以其中一側(圖中左側的)短邊為內側，而以另一側(圖中右側的)短邊為外側來移動。具體而言，第4圖所示之各機器軸的迴轉驅動系統受中斷，係可由操作員變動各機器軸的狀態，於感測器測知受變動後各機器軸的角度及位移的教學模式(teaching mode)，如下所述，基板5的狀態及實現該狀態之各機器軸的角度及位移，由操作員指導並使其記憶。於第13(a)圖，基板5由所在的水平面位置被提起，並使基板5的外側短邊位置高於內側短邊，以傾斜的狀態移動。基板5’則顯示基板5移動後的位置。又，曲線69係於基板5及基板5’連接相互對應的頂點，顯示基板5的軌跡。第一基板反轉部67及第二基板反轉部68沿一曲線地移動基板5。換言之，基板係沿曲線軌跡移動。該曲線係為非直線的圓滑軌跡的圓弧。除了該教導模式以外，使基板沿著如第13圖所示之圓弧軌跡反轉移動，可設定各機器軸的角度及位移數據並預先儲存於控制裝置的唯讀記憶體(ROM,read-only memory)中，並根據相關數據，而驅動自動控制裝置；其亦可採用第13圖所示，基板沿著圓弧軌跡反轉移動的實施例。
基板5經過第13(b)圖及第13(c)圖所顯示之狀態，最後移動到第13(d)圖所顯示之狀態。第13(d)圖中基板5的配置係為反轉第13(a)圖中的基板5沿搬送方向，其短邊變更為長邊的配置。
再者，配合第14圖說明有關變更基板5配置的過程。第14(a)～(d)圖係顯示藉由反轉機構65反轉基板5過程的平面圖。第14(a)～(d)圖的基板5配置各別對應第13(a)～(d)圖中基板5的配置。
第14圖係顯示於第4圖中，基板5迴轉過程的平面圖。如第14圖所示，其係設置有反轉機構的第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62。第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62具有輸送滾筒，並藉此搬送基板5。第一基板搬送機構61與第二基板搬送機構62係將基板朝同一方向搬送。即，不具有L型等複雜構造。因此，本發明之貼合裝置60之設置非常簡便，且面積效率優良。
首先，如第14(a)圖，吸著部66吸附於基板5表面，以支持基板5表面。接著，基板5如第13(a)～(c)圖所顯示，根據曲線69的軌跡移動，以成為第14(d)圖顯示的基板5配置。基板5到達第13(d)圖所示之位置後，因解除吸著部66的吸附而鬆開基板5後，基板5被第二基板搬送機構62所搬送。然後，反轉機構65回到第6(a)圖所示的位置，將依序搬送而來的其他基板5以同樣動作反轉。
根據本實施例的反轉機構65，就結果而言，透過一個動作，(1)使基板5反轉的同時，(2)長邊或短邊沿著第一基板搬送機構61的搬送方向，沿著與搬送方向直交的方向而配置。為此，由於此一動作，可將基板5的兩種狀態予以變更。
如上所述，由於1個反轉機構65所產生的兩種作用，可縮短加工時間反轉基板5。總之，藉由1個反轉機構65，反轉並變更基板5沿搬送方向的側邊，因此，其可避免壓迫偏光膜貼合裝置60的線長。
又，藉由反轉機構65，反轉並變更基板5沿搬送方向的側邊之後，可藉由軋輥16、16a貼合偏光膜於基板5的下方。因此，可藉由偏光膜貼合裝置60從下方於基板5的兩面共同貼合偏光膜，亦可避免妨礙整流環境。
第14圖中，第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62之搬送方向係未配置於一直線上，而是呈鄰接的配置。比較第14(a)圖的基板5與第14(d)圖的基板5，連接相互對應頂點間複數的中點而成的直線係相對於第一基板搬送機構61的基板5搬送方向呈45°角。如此，第一基板搬送機構61的搬送方向與第二基板搬送機構62的搬送方向係朝向同一方向，即，雖然平行但不處於同一直線上。另外，第14(d)圖的基板5配置僅做為示例，係無需完全依照該配置來實現本發明。
如第5圖至第7圖所示之實施例中，該反轉機構之結構包含：往復部671，係相對於基礎部670，在單一方向上如圖中所示地上下伸縮；迴轉部672，係穿設於該往復部671內，於圖中水平面90度的範圍內迴轉；基板反轉組件673，係藉由配置於該迴轉部672上端的2個支持部6731、6732中，可迴轉地穿設於馬達6733，於180度的範圍內驅動迴轉的迴轉軸6734，而被裝配為一體，且配置於該基板支撐裝置66的基礎組件660一端的馬達6630上，連接為一體而作為基板反轉部。
藉由該馬達6733驅動迴轉的該迴轉軸6734係構成反轉機構的基板反轉部673的反轉軸。因此，穿設在往復部671中，並於圖中水平面90度的範圍內迴轉的迴轉部672係作為配置變更組件，而該迴轉部672的迴轉軸心係為配置變更軸。
如第5圖及第7圖所示，該基板反轉部673係藉由來自控制裝置的控制信號而從向第一基板搬送機構61的下游端之橫向延伸的狀態，往圖中朝向視圖者前方反轉180度，此時，由於該迴轉部672朝逆時針方向受驅動迴轉90度；如第6圖所示，迴轉90度時，該基板反轉部673成為向第二基板搬送機構62的上游端之搬送方向延伸的狀態，將由第一基板搬送機構61的下游端搬送的基板5之配置方向變更為90度，而配置到第二基板搬送機構62的上游端，進而實現搬送的結構。
第5圖所示的狀態，該迴轉部672的逆時針迴轉係該第一基板搬送機構61的下游側端部於橫向複數分割，例如為4個部分61A、61B、61C、61D等，其相鄰的分割部分之間，形成了構成該第一基板支撐部661及第二基板支撐部662，概呈E字形的第一梳狀組件及第二梳狀組件之複數突出部，例如為3個突出部6611～6613、6621～6623進入的狀態，因此，該分割部分61A、61B、61C、61D與該突出部6611～6613、6621～6623為了避免干涉、控制圓弧軌跡以及其他觀點，該基板反轉部673往上方迴轉，該3個突出部6611～6613、6621～6623比分割部分61A、61B、61C、61D上方的位置，係解除進入狀態的反轉角度15度以上，並漸進至30度、45度起，該迴轉部672逆時針迴轉開始的同時，如第6圖所示之該第二基板搬送機構62的上游側端部之複數分割，例如為4個部分62A、62B、62C、62D中，第一梳狀組件之複數突出部6611～6613及第二梳狀組件之複數突出部6621～6623開始進入前的反轉角度135度以上，漸增至150度、165度為止，使該迴轉部672逆時針的迴轉結束，而可任意設定迴轉相位。
上述之反轉機構的結構中，配置於90度的範圍內迴轉的該迴轉部672之上端的2個支持部6731、6732可迴轉自在地穿設於該迴轉軸6734周圍，於180度的範圍內，由於作為基板反轉部的基板反轉組件673為反轉機構，而藉由沿著被複合之一連串的圓弧軌跡移動，反轉受該第一基板搬送機構61的下游側端部支撐的基板5的同時，藉由第二基板搬送機構62沿著搬送方向，而將基板5變更配置到第二基板搬送機構62的上游側端部，可縮短加工時間。
參照於第8圖、第15圖及第16圖的實施例之反轉機構係具有：往復部671，係概呈L型，並相對於基礎部670而可如圖所示於單一方向上下伸縮；驅動馬達6733，係用於基板反轉，配置於L型之往復部671的前端；黏著部6735，係呈一體狀態地配置於該驅動馬達6733的迴轉軸6734前端；上下環狀組件6736、6737，係部份黏著於該黏著部6735；中間迴轉組件6738，穿設於形成該上下環狀組件6736、6737之間的空間內，如圖所示，其係可逆時針迴轉；第一及第二基板反轉部673係以圓周角90度角被固定於該中間迴轉組件6738的外圍壁上，並於第一基板搬送機構61的下游端之橫向延伸的同時，向第二基板搬送機構62的上游端之搬送方向延伸，且與配置於該基板支撐裝置66的2個基礎組件660一端的馬達6630連接為一體。
反轉機構的反轉軸係由該驅動馬達6733的迴轉軸6734所構成，並與第一基板搬送機構及第二基板搬送機構的基板搬送方向平行配置；穿設於形成上下環狀組件6736、6737間之空間內的中間迴轉組件6738係構成變更組件。因此，該中間迴轉組件6738的迴轉中心為配置變更軸。
該基板反轉組件673係藉由基於來自控制裝置的控制信號，而驅動馬達6733的迴轉，如第8圖、第15圖及第16圖所示之第一基板搬送機構61的下游端之橫向及第二基板搬送機構62的上游端之搬送方向各別的延伸狀態，並於圖之紙面厚度方向上方及下方呈180反轉的構造。此時，該中間迴轉組件6738及以90度角關係配置的第一及第二基板反轉部673，以順時針方向，藉由迴轉驅動源(圖未示)以90度驅動迴轉。因此，迴轉90度時，如第8圖所示，於第一基板搬送機構61的下游側端部受支撐的基板5係沿著圓弧軌跡移動，而延伸至第二基板搬送機構62上游端的搬送方向的同時，於第二基板搬送機構62的上游側端部受支撐的基板5，沿著圓弧軌跡移動，延伸至第一基板搬送機構61下游端橫向。
本實施例亦與前述實施例相同，該基板支撐裝置66的該分割部分61A、61B、61C、61D與該突出部6611～6613、6621～6623為了避免干涉、控制圓弧軌跡以及其他觀點，該基板反轉部673往上方及下方迴轉，該3個突出部6611～6613、6621～6623相較於分割部分61A、61B、61C、61D為上方的位置，係解除進入狀態的反轉角度15度以上，而漸進至30度、45度起，該中間迴轉組件6738順時針迴轉開始的同時，如第8圖所示之第二基板搬送機構62的上游側端部之複數分割，例如為4個部分62A、62B、62C、62D中，第一及第二梳狀組件之複數突出部6611～6613、6621～6623開始進入前的反轉角度135度以上，漸增至150度、160度為止，使該中間迴轉組件6738順時針的迴轉結束，可任意設定迴轉相位。
如第15(c)圖及第16(b)圖所示，該上下環狀組件6736、6737往上方及下方45度迴轉時，由於該中間迴轉組件6738順時針驅動迴轉22.5度，而使在該中間迴轉組件6738的外圍壁上以90度角配置的第一及第二基板反轉部673係往順時針方向驅動迴轉22.5度。因此，藉由沿著以迴轉軸6734為中心的迴轉，與以該中間迴轉組件6738的迴轉軸為中心之迴轉所複合的圓弧軌跡移動，而分別呈22.5度及112.5度。
如第15(c)圖及第16(c)圖所示，該上下環狀組件6736、6737往上方及下方90度迴轉呈垂直狀態時，由於該中間迴轉組件6738順時針驅動迴轉45度，而使在該中間迴轉組件6738的外圍壁上以90度角配置的第一及第二基板反轉部673往順時針方向驅動迴轉45度。因此，藉由沿著該複合的圓弧軌跡移動，而分別呈45度及135度的狀態。
如第15(c)圖及第16(d)圖所示，該上下環狀組件6736、6737往上方及下方135度迴轉呈垂直狀態時，由於該中間迴轉組件6738順時針驅動迴轉135度，而使該中間迴轉組件6738的外圍壁上以90度角配置的第一及第二基板反轉部673往順時針方向驅動迴轉62.5度。因此，可藉由沿著該複合的圓弧軌跡移動，而分別呈62.5度及152.5度的狀態。
如第15(c)圖及第16(e)圖所示，該上下環狀組件6736、6737往上方及下方180度迴轉呈垂直狀態時，由於該中間迴轉組件6738順時針驅動迴轉180度，而使該中間迴轉組件6738的外圍壁上以90度角配置的第一及第二基板反轉部673往順時針方向驅動迴轉90度。因此，可藉由沿著該複合的圓弧軌跡移動，分別呈90度及180度的狀態。
如第8圖、第15(e)圖及第16(a)圖所示，本實施例中，於垂直面係以180度角配置有2個基板反轉部67及基板支撐裝置66，並相對於該第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62的搬送方向，與該搬送方向垂直的中間位置上所配置的反轉機構的2個基板反轉部673連接。同時，向第一基板搬送機構61的橫向延伸的第一基板支撐裝置66以及向第二基板搬送機構62的橫向延伸的第二基板支撐裝置66，係呈同一平面垂直配置的關係，因此，以180度反轉基板反轉部67後，藉由沿著該複合而成的一連串之圓弧軌跡移動，第一及第二基板反轉部67與之對調，可立刻進行下一面基板的支撐與反轉，因此，如第4圖及第5圖所示之實施例係可縮短加工時間。
第17圖係利用2個反轉機構65的偏光膜貼合裝置60之變化實施例的俯視圖。該變化實施例中的變化之處為：(1)具有2個反轉機構65，(2)於第一基板搬送機構61兩側具有2個基板載置部61a，(3)第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62配置於一直線上。另外，同樣地可以藉由第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62來將基板5朝同一方向進行配置。
於第一基板搬送機構61靠近第二基板搬送機構62側的端部處，相對於第一基板搬送機構61之搬送方向而沿著該端部之水平兩方向具有基板載置部61a及反轉機構65。反轉機構65之構造係相同於參照第4圖、第13圖及第14圖之說明。又，於該端部具有將基板5朝基板載置部61a搬送用的搬送機構。具體來說，可例如為輸送滾筒。
該基板載置部61a係為在反轉機構65的基板5移動之前，基板5所被搬送而至的終點。根據此一構造，由第一基板搬送機構61所搬送的基板5，係藉由搬送機構交互搬送至2個基板載置部61a。2對基板載置部61a分別具有反轉機構65，由2個反轉機構65所交互搬送之複數的基板5，依序被移動到第二基板搬送機構。
該變化實施例中，2個基板載置部61a係各自沿第一基板搬送機構61之水平兩方向而設置，反轉後之基板5便會沿著第一基板搬送機構61之搬送方向而配置。因此，可將第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62配置於一直線上。
依該變化實施例，(1)由於具有2個反轉機構65，於每單位時間可對基板5進行2倍之處理。藉此，可於每單位時間將更多的基板5反轉，可縮短加工時間。(2)再者，由於第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係設置於一直線上，可提供面積效率更優良構造的貼合裝置。特別是於無塵室中講求面積效率，非常適合使用該貼合裝置。
＜其他附帶結構＞
再者，作為較佳實施態樣，液晶顯示裝置製造系統100具有控制部70、洗淨部71、貼合偏差檢測裝置72、貼合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74。貼合偏差檢測裝置72、貼合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74係針對貼合後之基板5(液晶顯示裝置)進行檢查等處理。
第18圖係顯示該液晶顯示裝置製造系統所具有之各組件間之關連性的方塊圖，第19圖係顯示液晶顯示裝置製造系統之動作的流程圖。以下，說明液晶顯示裝置所具有之各組件，並說明其動作。
控制部70係與洗淨部71、貼合偏差檢測裝置72、貼合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74相連接，將控制訊號傳送給該等組件而加以控制。控制部70係主要由CPU(Central Processing Unit)所構成，並可依需要而具有記憶體。
於液晶顯示裝置製造系統100具有洗淨部71之情況，為了縮短洗淨部71的加工時間，較佳地，將第一基板搬送機構61中之基板5以長邊朝前之方式搬送至洗淨部71。通常，由於洗淨部71處的洗淨需花費長時間，就縮短加工時間之觀點來看，上述結構非常有效。
其次，第19圖之S2係進行將偏光膜貼合至基板5兩面的貼合步驟，上述步驟係如上述參照於第1圖至第17圖所說明。
貼合偏差檢測裝置72係用於檢查於貼合完成之基板5中是否存在偏光膜之貼合偏差。貼合偏差檢測裝置72係由攝影機及圖像處理裝置所構成，基板5之偏光膜係藉由軋輥16、16a貼合，其中，偏光膜貼合位置處設置有攝影機。由該攝影機來進行基板5之攝影，藉由針對攝影完成之圖像資料進行處理，便可檢查出基板5是否存在貼合偏差(貼合偏差檢查步驟，第8圖之S3)。另外，使用過去習知的貼合偏差檢測裝置作為貼合偏差檢測裝置72。
貼合異物自動檢測裝置73係用於檢查於貼合完成之基板5中是否存在異物。與貼合偏差檢測裝置72相同，貼合異物自動檢測裝置73係由攝影機及圖像處理裝置所構成，第二基板搬送機構係藉由軋輥16、16a而貼合偏光膜至基板5，第二基板搬送機構(偏光膜貼合裝置60)處設置有該攝影機。由該攝影機來進行基板5之攝影，藉由針對攝影完成之圖像資料進行處理，便可檢查出基板5是否存在貼合異物(貼合異物檢查製程，S4)。該異物可例如為灰塵等異物、魚眼等異物。另外，可使用過去習知的貼合異物檢測裝置作為貼合異物自動檢測裝置73。
S3及S4之順序可相反，亦可同時進行。又，亦可省略其中任一個步驟。
遴選搬送裝置74係根據貼合偏差檢測裝置72及貼合異物自動檢測裝置73的檢查結果，判斷是否存在貼合偏差及異物。遴選搬送裝置74只要是能從貼合偏差檢測裝置72及貼合異物自動檢測裝置73接收檢查結果之輸出訊號，而將貼合完成之基板5遴選為良品或不良品者即可。因此，可使用過去習知之遴選搬送系統。
該液晶顯示裝置製造系統中，作為較佳實施態樣，係可檢測出貼合偏差及異物等兩者的結構，判斷為檢測出有貼合偏差或異物之情況(YES)，便將貼合完成之基板5遴選為不良品(S7)。另一方面，判斷為未檢測出有貼合偏差及異物中任一者之情況(NO)，則將貼合完成之基板5遴選為良品(S6)。
使用具備有遴選搬送裝置74之液晶顯示裝置製造系統，可迅速地進行良品或不良品之遴選，可縮短加工時間。當僅具有貼合偏差檢測裝置72或貼合異物自動檢測裝置73之情況時，遴選搬送裝置74亦可為僅針對貼合偏差及異物中任一者進行判斷的結構。
再者，本實施例的偏光膜貼合裝置及液晶顯示裝置製造系統，係該基板支撐裝置包含該偏光膜貼合裝置，具有該反轉機構的該基板反轉部67，由於其以迴轉進行反轉動作，該基板反轉部每行反轉動作一回，即沿圓弧軌跡移動，因此，沿著貼合第一偏光膜的該基板的搬送方向，於偏移位置可變更短邊及長邊的方向。同時，達到縮短加工時間的效果。
又，本實施例的偏光膜貼合裝置，係該基板支撐裝置包含該偏光膜貼合裝置，具有該反轉機構的該基板反轉部67，因反轉而行反轉動作，該基板反轉部每進行該反轉動作一次，即沿圓弧軌跡移動，因此，沿著貼合第一偏光膜的該基板的搬送方向，於偏移位置可變更短邊及長邊的方向。同時，可達到縮短加工時間的效果。
另外，本發明並不限定於前述各實施態樣，基於請求項記載範圍及其原理亦可進行各種變更，將各自揭露於不同實施態樣之技術手段適當組合所獲得的實施態樣，亦包含於本發明之技術範圍內。
1、11．．．第一捲出部
1a、11a．．．第二捲出部
2、12．．．第一捲取部
2a、12a．．．第二捲取部
3、13．．．半切器
4、14．．．刀刃
5、5’．．．基板
5a．．．偏光膜
5b．．．剝離膜
6、6a．．．軋輥(第一貼合部)
7、7a．．．缺陷膜捲取滾筒
16、16a．．．軋輥(第二貼合部)
17、17a．．．缺陷膜捲取滾筒
40．．．HEPA過濾器
41．．．格柵
50．．．膜搬送機構
51．．．第一膜搬送機構
52．．．第二膜搬送機構
60．．．偏光膜之貼合裝置
61．．．第一基板搬送機構
61A、61B、61C、61D．．．部分
61a．．．基板載置部
62．．．第二基板搬送機構
62A、62B、62C、62D．．．部分
65．．．反轉機構
66．．．基板支撐部
66．．．基板支撐裝置
66．．．第一基板支撐裝置
66．．．第二基板支撐裝置
66S．．．吸著部
67．．．第一基板反轉部(基板反轉部)
68．．．第二基板反轉部(基板反轉部)
69．．．曲線
70．．．控制部
71．．．洗淨部
72．．．貼合偏差檢測裝置
73．．．貼合異物自動檢測裝置
74．．．遴選搬送裝置
100．．．液晶顯示裝置製造系統
612．．．輸送滾筒
622．．．輸送滾筒
660．．．基礎組件
660．．．控制基礎部
6601．．．中空軸
6602．．．中心軸
661．．．第一支撐組件第一基板支撐部661
6611～6613．．．突出部
662．．．第二支撐組件第二基板支撐部662
6621～6623．．．突出部
6630．．．馬達
6630．．．擺動驅動機構
6631．．．第一擺動驅動機構
6632．．．第二擺動驅動機構
6633．．．第一離合機構
6634．．．第二離合機構
6635、6636．．．致動器
6637．．．控制器
6638A、6638B．．．直線驅動機構
6638A．．．第一螺線管
6638B．．．第二螺線管
6638C．．．控制器
6639．．．吸著部
6731、6732．．．支持部
672．．．迴轉部
670．．．基礎部
671．．．往復部
672．．．迴轉部
673．．．基板反轉組件
673．．．第一及第二基板反轉部
6731、6732．．．支持部
6733．．．馬達
6734．．．迴轉軸
6735．．．黏著部
6736、6737．．．上下環狀組件
6738．．．中間迴轉組件
第1圖係本發明之液晶顯示裝置製造系統一實施例的剖面圖。
第2圖係第1圖液晶顯示裝置製造系統之軋輥周圍部份的剖面圖。
第3(a)圖和第3(b)圖顯示近似本實施例之下貼型製造系統中氣流速度向量的剖面圖。
第4圖係本實施例中藉由反轉機構將基板反轉之過程的立體圖。
第5圖顯示本實施例之另一實施態樣中基板支撐裝置及反轉機構之平面圖。
第6圖係本實施例之另一實施態樣中藉由反轉機構反轉並受支撐基板之狀態的平面圖。
第7圖係本實施例之另一實施態樣中反轉機構之局部放大立體圖。
第8圖再顯示本實施例之另一實施態樣中基板支撐裝置及反轉機構之平面圖。
第9(a)圖至第9(c)圖係說明本實施例之另一實施態樣中，於第一基板搬送機構的下游端部，基板支撐裝置及反轉機構之動作狀態之示意圖。
第10(a)圖和第10(b)圖係說明本實施例之另一實施態樣中，於第二基板搬送機構的上游端部，基板支撐裝置之動作狀態的說明圖。
第11(a)圖和第11(b)圖係說明本實施例之另一實施態樣中，由1個迴轉驅動源使第一基板支撐組件及第二基板支撐組件選擇性驅動的狀態，以及由2個螺線管移動第一基板支撐組件及第二基板支撐組件一端之狀態的局部放大示意圖。
第12(a)圖至第12(c)圖係說明本實施例之另一實施態樣中，由作為2個直線驅動源的螺線管，使第一基板支撐組件及第二基板支撐組件往復動作而支撐基板的狀態，以及由接觸基板面上複數的吸著部所形成的1個支持組件吸附基板之狀態，與由兩端形成吸著部和被吸著部的2個支撐組件吸附基板之狀態的局部放大示意圖。
第13(a)圖至第13(d)圖顯示於本實施例，基板反轉時之軌道的立體圖。
第14(a)圖至第14(d)圖顯示由第4圖所示的反轉機構，反轉基板過程的平面圖。
第15(a)圖至第15(d)圖係說明第8圖所示的反轉機構的平面圖、正視圖、立體圖，以及反轉過程中基板反轉部的角度及位置之變化的說明圖。
第16(a)圖至第16(e)圖係說明第8圖所示之反轉機構的反轉過程中，中間迴轉組件角度的變化，與裝配於中間迴轉組件外圍的基板反轉部其圓周方向之位置變化的說明圖。
第17圖係本實施例偏光膜貼合裝置之變化例的平面圖。
第18圖係顯示該液晶顯示裝置製造系統所具有之各組件間之關連性的方塊圖。
第19圖係本實施例液晶顯示裝置製造系統動作的流程圖。
第20(a)圖和第20(b)圖係上貼型製造系統中氣流速度向量的剖面圖。
1．．．第一捲出部
1a．．．第二捲出部
2．．．第一捲取部
2a．．．第二捲取部
3．．．半切器
4．．．刀刃
5．．．基板
6、6a．．．軋輥(第一貼合部)
7、7a．．．缺陷膜捲取滾筒
11．．．第一捲出部
11a．．．第二捲出部
12．．．第一捲取部
12a．．．第二捲取部
13．．．半切器
14．．．刀刃
16、16a．．．軋輥(第二貼合部)
17、17a．．．缺陷膜捲取滾筒
50．．．膜搬送機構
51．．．第一膜搬送機構
52．．．第二膜搬送機構
60．．．偏光膜貼合裝置
65．．．反轉機構
66 S．．．吸著部
67．．．第一基板反轉部
68．．．第二基板反轉部
71．．．洗淨部
100．．．液晶顯示裝置製造系統

Claims (22)

  1. 一種偏光膜貼合裝置，其包含：第一基板搬送機構，係將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，係將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板的下方；反轉機構，係將該第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉並配置至第二基板搬送機構；第二基板搬送機構，係將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；以及第二貼合部，係將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板的下方；其中，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係朝同一方向配置；該反轉機構係具有用於吸附基板的吸著部及連接至吸著部之反轉基板的基板反轉部；該基板反轉部係將置於第一基板搬送機構的基板(1)如描繪曲線般，(2)使其反轉的同時，(3)長邊或短邊沿著第一基板搬送機構搬送方向，順著與搬送方向直交的方向，配置到第二基板搬送機構。
  2. 一種偏光膜貼合裝置，其包含：第一基板搬送機構，係將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部，係將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板的下方；基板支撐裝置，具有基板支撐部，係支撐該第一基板搬送機構所搬送的該基板；反轉機構，具有基板反轉部，係連接該基板支撐部，反轉並配置由基板支撐部所支撐的基板；第二基板搬送機構，藉由該反轉機構反轉的同時，將所配置的基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；以及第二貼合部，係將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板的下方；其中，該第一基板搬送機構與第二基板搬送機構係朝同一方向配置；該反轉機構係包含反轉軸及配置變更部，該反轉軸用於反轉基板反轉部，將該基板由正面轉為背面；該配置變更部係將該基板由該第一基板搬送機構搬送至該第二基板搬送機構而變更基板的配置方向，由於配置變更軸周圍於一定角度範圍迴轉，該第一基板搬送機構所搬送的該基板沿著圓弧軌跡反轉的同時，沿著該第二基板搬送機構之基板搬送方向，變更配置至該第二基板搬送機構。
  3. 一種如申請專利範圍第2項所述之偏光膜貼合裝置，該反轉機構之結構係由該基板反轉部連接反轉軸部，該反轉軸部係具有該配置變更部用於迴轉而配置的反轉軸，各自根據其迴轉驅動源而驅動迴轉。
  4. 一種如申請專利範圍第2項所述之偏光膜貼合裝置，該反轉機構之結構係配置該配置變更部於連接反轉軸部的該基板反轉部可相對迴轉，該反轉軸部具有反轉軸，各自根據其迴轉驅動源而驅動迴轉。
  5. 一種如申請專利範圍第2至4項中任一項所述之偏光膜貼合裝置，該基板支撐裝置的該基板支撐部之結構係包含複數支撐組件，夾持並支撐由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的兩面。
  6. 一種如申請專利範圍第2至4項中任一項所述之偏光膜貼合裝置，該基板支撐裝置的該基板支撐部之結構係包含具有吸著部的吸著組件，吸附由該第一基板搬送機構所搬送之該基板的表面。
  7. 一種如申請專利範圍第3或4項所述之偏光膜貼合裝置，其結構為：該基板支撐裝置配置連接組件，係連接進行該基板反轉動作的基板反轉部，藉由進入該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構之端部的第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，以使第一支撐組件與第二支撐組件夾持並支撐該第一基板搬送機構所搬送之該基板；同時，藉由該第一支撐組件與第二支撐組件間的相對移動，以及該基板反轉部的反轉，而解除該基板受第一支撐組件與第二支撐組件的夾持支撐狀態，進而載置於該第二基板搬送機構端部。
  8. 一種如申請專利範圍第3或4項所述之偏光膜貼合裝置，其結構為：該第一基板搬送機構之端部於橫向形成複數分割，其鄰接部分之間係構成複數間隙，而構成該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部進入該等間隙；同時，該第二基板搬送機構之端部於搬送方向形成複數分割，其鄰接部分之間隨之形成有複數間隙，而構成反轉後該第一支撐組件的第一梳狀組件的複數突出部及第二支撐組件的第二梳狀組件的複數突出部進入該等間隙中。
  9. 一種如申請專利範圍第8項所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部之第一梳狀組件及第二梳狀組件係構成該第一支撐組件及第二支撐組件，其係以一部分作為支點，於一定角度範圍內擺動。
  10. 一種如申請專利範圍第9項所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部之該第一梳狀組件及第二梳狀組件係構成該第一支撐組件及第二支撐組件，其係藉由擺動驅動機構而驅動擺動。
  11. 一種如申請專利範圍第10項所述之偏光膜貼合裝置，該擺動驅動機構包含：第一擺動驅動機構，係驅動擺動該第一支撐組件中的該第一梳狀組件，該第一梳狀組件具有複數突出部；以及第二擺動驅動機構，係驅動擺動該第二支撐組件中的該第二梳狀組件，該第二梳狀組件係具有複數突出部。
  12. 一種如申請專利範圍第8項所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部構成該第一支撐組件的該第一梳狀組件及第二支撐組件的該第二梳狀組件，其係為以單向相對接近或對向遠離，以變化間隔而可行往復運動之結構。
  13. 一種如申請專利範圍第12項所述之偏光膜貼合裝置，具有複數突出部構成該第一支撐組件的該第一梳狀組件及第二支撐組件的該第二梳狀組件，其係為藉由直線驅動機構來驅使其往復運動之結構。
  14. 一種如申請專利範圍第1或2項所述之偏光膜貼合裝置，該第一基板搬送機構及該第二基板搬送機構係配置於一直線上，於第一基板搬送機構靠近第二基板搬送機構的端部之位置，沿著相對第一基板搬送機構搬送方向的水平兩方向，而各自具有2對的基板載置部及該反轉機構；該端部的位置係具有從該端部將基板朝該基板載置部搬送的搬送機構；該反轉機構，係讓各自搬送至該基板載置部的基板反轉並配置至第二基板搬送機構。
  15. 一種如申請專利範圍第1或2項所述之偏光膜貼合裝置，具有用於搬送偏光膜的第一膜搬送機構及第二膜搬送機構，其中，該第一膜搬送機構具有：複數個捲出部，用於捲出由剝離膜所保護之偏光膜；切斷部，用於切斷偏光膜；去除部，用於從偏光膜上將剝離膜去除；及複數個捲取部，用於捲取被去除後之該剝離膜；該第二膜搬送機構具有：複數個捲出部，用於捲出由剝離膜所保護之偏光膜；切斷部，用於切斷偏光膜；去除部，用於從偏光膜上將剝離膜去除；及複數個捲取部，用於捲取被去除後之該剝離膜；該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構，係配置 於該第一膜搬送機構及第二膜搬送機構上，且把已將該剝離膜去除後之偏光膜貼合至基板的該第一貼合部係配置於該第一膜搬送機構與第一基板搬送機構之間，把已將該剝離膜去除後之偏光膜貼合至基板的該第二貼合部係配置於該第二膜搬送機構與第二基板搬送機構之間。
  16. 一種如申請專利範圍第1或2項所述之偏光膜貼合裝置，具有用於在藉由該第一貼合部將偏光膜貼合至基板下方之前洗淨基板的洗淨部，且該第一基搬送機構係以基板之短邊沿著搬送方向之狀態下來搬送基板。
  17. 一種如申請專利範圍第15項所述之偏光膜貼合裝置，該第一膜搬送機構及該第二膜搬送機構處具有：缺陷檢出部，係可檢測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。
  18. 一種液晶顯示裝置製造系統，係具有如申請專利範圍第1、2、14至17項中任一項所述之偏光膜貼合裝置及貼合偏差檢測裝置，該貼合偏差檢測裝置係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。
  19. 一種如申請專利範圍第18項之液晶顯示裝置製造系統，具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷是否有貼合偏差，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。
  20. 一種液晶顯示裝置製造系統，係具有如申請專利範圍第 1、2、14至17項中任一項所述之偏光膜貼合裝置及貼合異物自動檢測裝置，該貼合異物自動檢測裝置係於該貼合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後，檢查基板上的異物。
  21. 一種如申請專利範圍第20項所述之液晶顯示裝置製造系統，具有遴選搬送裝置，係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來判斷是否有異物，根據該判斷結果對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。
  22. 一種如申請專利範圍第18項所述之液晶顯示裝置製造系統，具有：貼合異物自動檢測裝置，係於該第二貼合部完成偏光膜貼合後，檢查基板上的異物；以及遴選搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果判斷是否有貼合偏差與異物，並根據該判斷結果對於已貼合好的偏光膜之基板進行遴選。
TW100112631A 2010-04-12 2011-04-12 偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統 TWI522688B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010091623 2010-04-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201207493A TW201207493A (en) 2012-02-16
TWI522688B true TWI522688B (zh) 2016-02-21

Family

ID=44798477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW100112631A TWI522688B (zh) 2010-04-12 2011-04-12 偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5170913B2 (zh)
KR (1) KR101877066B1 (zh)
CN (1) CN102844702B (zh)
TW (1) TWI522688B (zh)
WO (1) WO2011129093A1 (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6178660B2 (ja) * 2013-08-08 2017-08-09 住友化学株式会社 光学表示デバイスの生産システム
JP6178661B2 (ja) * 2013-08-08 2017-08-09 住友化学株式会社 光学表示デバイスの生産システム
CN103708713A (zh) * 2013-12-26 2014-04-09 深圳市华星光电技术有限公司 夹持机构、液晶面板切割机以及液晶面板切割工艺
KR102208089B1 (ko) * 2015-05-27 2021-01-28 엘지전자 주식회사 편광필름 부착 시스템 및 편광필름 부착 방법
CN105158936B (zh) * 2015-08-28 2019-05-03 深圳市华星光电技术有限公司 机械臂组件及移动玻璃基板以进行基板组合的方法
CN107817619B (zh) * 2017-11-17 2020-07-10 武汉华星光电技术有限公司 一种偏光片贴附设备及系统
CN108573904B (zh) * 2018-04-14 2021-08-20 芜湖扬展新材料科技服务有限公司 一种硅板机械清洗装置
CN110109277B (zh) * 2019-04-09 2021-07-06 惠州市华星光电技术有限公司 触控显示面板及触控显示装置
CN110015558A (zh) * 2019-05-13 2019-07-16 航天云网科技发展有限责任公司 自动翻胶机及自动翻胶系统
CN113945521A (zh) * 2021-10-26 2022-01-18 上海麟图智能科技有限公司 用于检测手机盖板玻璃外观缺陷的检测方法及其传输装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11278649A (ja) * 1998-03-30 1999-10-12 Rohm Co Ltd 電子部品用基板の並べ替え装置
JP2005037417A (ja) * 2002-06-28 2005-02-10 Fuji Photo Film Co Ltd 偏光板貼合方法及び装置
JP4340788B2 (ja) * 2003-04-22 2009-10-07 シャープ株式会社 基板への偏光板貼付装置
JP4307510B1 (ja) * 2007-12-27 2009-08-05 日東電工株式会社 光学表示装置の製造システム及び製造方法
JP4785944B2 (ja) * 2008-04-16 2011-10-05 日東電工株式会社 光学表示装置の製造方法
CN101581850A (zh) * 2008-05-13 2009-11-18 郑春晓 一种半自动贴合机及其贴合方法
KR100971436B1 (ko) * 2008-07-09 2010-07-21 주식회사 에스에프에이 기능성 필름 부착 시스템 및 그 방법
CN201298126Y (zh) * 2008-09-11 2009-08-26 郑春晓 一种半自动贴合机
JP4669070B2 (ja) * 2009-05-21 2011-04-13 日東電工株式会社 光学表示装置の製造システム及び製造方法
JP4676026B1 (ja) * 2010-09-17 2011-04-27 日東電工株式会社 液晶表示素子の製造システム及び製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102844702A (zh) 2012-12-26
JP2011237785A (ja) 2011-11-24
KR20130056857A (ko) 2013-05-30
CN102844702B (zh) 2015-07-29
JP5170913B2 (ja) 2013-03-27
TW201207493A (en) 2012-02-16
WO2011129093A1 (ja) 2011-10-20
KR101877066B1 (ko) 2018-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI522688B (zh) 偏光膜貼合裝置及具有該偏光膜貼合裝置之液晶顯示裝置製造系統
TWI545681B (zh) A substrate supporting device, a substrate transfer mechanism, a polarizing film bonding device, and a liquid crystal display device manufacturing system having the same
TWI517285B (zh) A reversing mechanism for the substrate transfer mechanism, and a reversing mechanism for the polarizing film bonding device
JP4751997B1 (ja) 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム
JP5613582B2 (ja) 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム
JP2011154371A (ja) 光学表示装置の製造システムおよび当該光学表示装置の製造方法
JP2011123208A (ja) 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム
JP5523916B2 (ja) 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム
JP5144777B2 (ja) 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構
JP5667522B2 (ja) 光学表示装置の製造システムおよび光学表示装置の製造方法
JP4863332B2 (ja) 偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システム
JP5087174B2 (ja) 液晶表示装置の製造システムおよび製造方法
JP5281725B2 (ja) 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees