JPS62198086U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62198086U JPS62198086U JP8534286U JP8534286U JPS62198086U JP S62198086 U JPS62198086 U JP S62198086U JP 8534286 U JP8534286 U JP 8534286U JP 8534286 U JP8534286 U JP 8534286U JP S62198086 U JPS62198086 U JP S62198086U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- worm wheel
- worm
- handling arm
- drive device
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
は駆動ギヤ機構の縦断正面図、第２図は平面図、
第３図は第１図―断面図、第４図は第１図
―断面図、第５図はウオームホイルの断面図、
第６図は第５図―断面図、第７図はウオーム
とウオームホイルとの噛み合いを示す説明図であ
る。 １……旋回軸、２……ハンドリングアーム、３
……ウオームホイル、５……ウオーム、５ａ，５
ｂ……歯、１４……モータ、１８，１９……ウオ
ームホイル部、１８ａ，１９ａ……歯、３１……
ばね。
は駆動ギヤ機構の縦断正面図、第２図は平面図、
第３図は第１図―断面図、第４図は第１図
―断面図、第５図はウオームホイルの断面図、
第６図は第５図―断面図、第７図はウオーム
とウオームホイルとの噛み合いを示す説明図であ
る。 １……旋回軸、２……ハンドリングアーム、３
……ウオームホイル、５……ウオーム、５ａ，５
ｂ……歯、１４……モータ、１８，１９……ウオ
ームホイル部、１８ａ，１９ａ……歯、３１……
ばね。
Claims (1)
- 駆動機構に連動したウオームをウオームホイル
に噛合せ、このウオームホイルでハンドリングア
ームの旋回軸を旋回可能に設けたハンドリングア
ーム駆動装置において、前記ウオームホイルは二
分割した一対のウオームホイル部から成り、一方
のウオームホイル部を前記旋回軸に固着して他方
のウオームホイル部をやや相対回動自在に設ける
と共に、前記ウオームホイルには、双方のウオー
ムホイル部を異なる円周方向に付勢するためのば
ねを設けたことを特徴とするウエハ搬送用ハンド
リングアーム駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8534286U JPS62198086U (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8534286U JPS62198086U (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62198086U true JPS62198086U (ja) | 1987-12-16 |
Family
ID=30940658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8534286U Pending JPS62198086U (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62198086U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003019687A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-21 | Aitec:Kk | ロボットハンドの駆動装置 |
-
1986
- 1986-06-06 JP JP8534286U patent/JPS62198086U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003019687A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-21 | Aitec:Kk | ロボットハンドの駆動装置 |
| JP4545996B2 (ja) * | 2001-07-03 | 2010-09-15 | 株式会社アイテック | ロボットハンドの駆動装置 |