KR20070050806A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20070050806A
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Abstract

챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치가 제공된다. 본 발명에 의한 기판 이송 장치는, 지지패널, 지지패널과 함께 기판을 파지하는 파지부, 및 파지부가 기판을 파지하도록 파지부를 작동시키는 실린더를 포함하는 홀딩부; 및 기판을 이송하기 위해 홀딩부를 이동시키는 이송부를 포함한다.
챔버, 기판 이송 장치, 실린더

Description

기판 이송 장치{Substrate transfer apparatus}
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 정면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 홀딩부 110: 지지패널
112, 142: 충격흡수부 120: 실린더
130: 원판 132: 회전축
134: 고정축 140: 파지부
200: 이송부 210: 베이스
220: 가이드홈부
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
오엘이디(OLED), 액정표시장치(LCD) 등과 같은 평판 디스플레이나 반도체 등에 사용되는 기판을 제조하는 공정에는 기판의 표면에 기계적 또는 화학적 처리를 가하는 공정이 수반되며, 이에 따라 다수의 챔버에서 각기 다른 공정처리가 이루어진다.
그리고, 하나의 챔버에서 공정처리가 끝난 기판은 다른 챔버로 이동되어 다른 공정처리가 이루어지게 되는데, 이때, 기판의 이동은 기판 이송 장치가 수행하게 된다.
종래의 기판 이송 장치는 일반적으로 롤러 컨베이어를 이용한 이동 방식과 서보 모터를 이용한 암 이동 방식으로 나누어지는데, 도 1은 롤러 컨베이어를 이용한 이동 방식의 기판 이송 장치를 도시한 도면이고, 도 2는 서보 모터를 이용한 암 이동 방식의 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.
그런데, 도 1의 기판 이송 장치, 즉 롤러 컨베이어를 이용한 이동 방식의 기판 이송 장치는 챔버 안에서 사용이 불가능하여 증착 공정에서 사용할 수 없는 단점이 있으며, 도 2의 기판 이송 장치, 즉 서보 모터를 이용한 암 이동 방식의 기판 이송 장치는 챔버 안에서 사용할 수는 있지만 회전 반경이 크고 기판을 순차적으로 이동하다보니 연속 작업이 되지 않는 단점이 있다. 이에 따라, 도 2의 기판 이송 장치는 기판을 이동시키는 데 시간이 오래 걸려 생산성 향상에 한계가 있다.
따라서, 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치가 요구되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 지지패널, 상기 지지패널과 함께 기판을 파지하는 파지부, 및 상기 파지부가 상기 기판을 파지하도록 상기 파지부를 작동시키는 실린더를 포함하는 홀딩부; 및 상기 기판을 이송하기 위해 상기 홀딩부를 이동시키는 이송부를 포함한다.
상기 이송부는, 베이스; 상기 베이스에 형성되어 상기 홀딩부의 이동 경로를 가이드하는 가이드부; 및 상기 가이드부를 따라 상기 홀딩부를 이동시켜 상기 기판을 이송하는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 홀딩부는 상기 실린더의 구동에 의해 회전하여 상기 파지부를 작동시키는 원판을 더 포함할 수 있다.
상기 구동부는 실린더를 포함할 수 있다.
상기 구동부는 모터와 롤러를 포함할 수 있다.
상기 가이드부는 상기 기판의 이송 경로를 따라 길게 형성되는 홈을 포함하 며, 상기 지지패널은 상기 가이드부에 삽입 설치될 수 있다.
상기 지지패널과 파지부는 상기 기판과 접촉되는 부분에 상기 기판을 파지 시 충격을 흡수하기 위한 충격흡수부를 구비할 수 있다.
상기 충격흡수부는 스폰지류를 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
또한, 도면에서 발명을 구성하는 구성요소들의 크기는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술된 것이며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소와 접하여 설치될 수도 있고, 그 소정의 이격거리를 두고 설치될 수도 있으며, 이격거리를 두고 설치되는 경우엔 상기 어떤 구성요소를 상기 다른 구성요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제3의 수단에 대한 설명이 생략될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 정면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 홀딩부(100) 및 이송부(200)를 포함한다.
홀딩부(100)는 지지패널(110), 실린더(120), 원판(130) 및 파지부(140)를 포함한다.
지지패널(110)은 파지부(140)와 함께 기판(10)의 양끝 부분을 잡아주는 역할을 한다. 이러한 지지패널(110)은 이송부(200)의 가이드홈부(220)에 삽입되어 설치될 수 있다. 또한, 지지패널(110)은 기판(10)과 접촉되는 부분에 기판(10)을 파지할 때의 충격을 흡수하기 위한 충격흡수부(112)를 구비한다. 충격흡수부(112)는 스폰지류를 포함할 수 있다.
실린더(120)는 원판(130)을 회전시켜 파지부(140)가 지지패널(110)과 함께 기판(10)을 파지할 수 있도록 해준다. 이러한 실린더(120)는 그 일단이 지지패널(110)에 고정되도록 설치되며, 그 타단이 원판(130)과 연결되도록 설치된다. 이때, 실린더(120)의 타단과 원판(130)은 회전축(132)에 의해 연결된다.
원판(130)은 지지패널(110)에 고정 설치된 고정축(134)에 회전 가능하게 설치되며, 실린더(120)의 구동에 의해 회전하여 파지부(140)가 지지패널(110)과 함께 기판(10)을 파지할 수 있도록 파지부(140)를 작동시킨다.
파지부(140)는 원판(130)에 고정 설치되며, 원판(130)의 회전에 의해 작동하여 지지패널(110)과 함께 기판(10)을 파지하는 역할을 한다. 이때, 파지부(140)는 원판(130)의 회전 시 지지패널(110)과 함께 기판(10)을 파지할 수 있기에 적당한 위치에 고정 설치되는 것이 바람직하다.
파지부(140)는 지지패널(110)과 마찬가지로 기판(10)과 접촉되는 부분에 기판(10)을 파지할 때의 충격을 흡수하기 위한 충격흡수부(142)를 구비한다. 충격흡수부(142)는 스폰지류를 포함할 수 있다.
이와 같이, 지지패널(110)과 파지부(140)에 충격흡수부(112, 142)를 각각 구비함으로써 기판(10) 파지 시 기판(10)에 전달되는 충격을 최소화할 수 있다.
이송부(200)는 베이스(210), 가이드홈부(220) 및 구동부(미도시)를 포함한다.
베이스(210)는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 구성하기 위한 기본 구조물로서, 이러한 베이스(210)에는 지지패널(110), 실린더(120), 원판(130) 및 파지부(140)를 포함하는 홀딩부(100)의 이동 경로를 가이드하기 위한 가이드홈부(220)가 형성된다.
가이드홈부(220)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 길게 형성되며, 지지패널(110)은 이러한 가이드홈부(220)에 삽입 설치되어 구동부에 의해 이동하게 된다.
구동부는 가이드홈부(220)를 따라 홀딩부(100), 보다 구체적으로는 지지패널(110)을 이동시켜 기판(10)을 이송한다. 이러한 구동부는 실린더, 또는 모터와 롤러를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판(10)을 잡아주기 위한 홀딩부(100)와, 기판(10)을 이송하기 위한 이송부(200)를 포함함으로써, 증착 공정에서 사용 가능할 뿐만 아니라 생산 공정의 인 라인(In-Line)화를 구현하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면 및 표를 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 의하면, 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (8)

  1. 지지패널, 상기 지지패널과 함께 기판을 파지하는 파지부, 및 상기 파지부가 상기 기판을 파지하도록 상기 파지부를 작동시키는 실린더를 포함하는 홀딩부; 및
    상기 기판을 이송하기 위해 상기 홀딩부를 이동시키는 이송부를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는,
    베이스;
    상기 베이스에 형성되어 상기 홀딩부의 이동 경로를 가이드하는 가이드부; 및
    상기 가이드부를 따라 상기 홀딩부를 이동시켜 상기 기판을 이송하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 홀딩부는 상기 실린더의 구동에 의해 회전하여 상기 파지부를 작동시키는 원판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 모터와 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 기판의 이송 경로를 따라 길게 형성되는 홈을 포함하며,
    상기 지지패널은 상기 가이드부에 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 지지패널과 파지부는 상기 기판과 접촉되는 부분에 상기 기판을 파지 시 충격을 흡수하기 위한 충격흡수부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장 치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 충격흡수부는 스폰지류를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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KR101362672B1 (ko) * 2007-06-26 2014-02-12 세메스 주식회사 기판 이송 유닛 및 이를 갖는 기판 몰딩 장치
KR20190020222A (ko) * 2017-08-17 2019-02-28 주식회사 디엠에스 기판세정장치

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