KR101742039B1 - 스탬프 분리장치 - Google Patents

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최정욱
김덕수
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주식회사 디엠에스
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    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor

Abstract

기판의 임프린트 작업시 전체 작업 공정의 효율성을 한층 높일 수 있는 스탬프 분리장치를 개시한다.
이러한 스탬프 분리장치는, 스탬프의 임프린트면이 기판과 합착된 상태로 놓여지는 로딩면을 구비한 스테이지와, 상기 스테이지를 회동시켜서 경사지게 기울이거나 상기 로딩면이 위쪽 또는, 아래쪽을 향하여 반전되도록 구동하는 반전부와, 상기 반전부의 구동과 연계하여 상기 스테이지의 회동 중에 기판으로부터 스탬프를 분리할 수 있도록 형성된 분리부와, 상기 분리부에 의해 기판으로부터 분리된 스탬프를 상기 스테이지 측으로 옮겨서 상기 스탬프의 임프린트면이 로딩면과 접촉하지 않는 상태로 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 형성된 아암부 그리고, 상기 아암부에 의해 상기 스테이지 측에 로딩된 스탬프의 가장자리를 접촉력으로 밀어서 위치를 정렬할 수 있도록 형성된 정렬부를 포함한다.

Description

스탬프 분리장치{apparatus for separating stamp}
본 발명은 평판표시소자용 기판의 임프린트(imprint)시 한층 향상된 작업 공정의 효율성을 확보할 수 있는 스탬프 분리장치에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판 제조시 각종 기능성 패턴(예: 식각 및 비식각 패턴)들을 형성하는 방법 중에는 임프린트(imprint) 작업 방식이 널리 알려져 있다.
이러한 임프린트 작업은 이미 잘 알려진 바와 같이 평판형의 스탬프(stamp)로 기판의 약액층을 누르는 합착공정을 거치면서 패터닝하는 방식으로 진행된다.
그리고, 합착공정 후에는, 기판과 스탬프를 합착 상태로 통상의 경화공정(예: UV경화)을 진행한 다음, 분리장치 측으로 옮겨져 스탬프 윗면을 홀더들로 잡아준 상태로 들어올려서 기판으로부터 분리하는 분리공정을 진행한다.
그런 다음, 기판으로부터 분리된 스탬프는 다시 반전장치(정렬장치) 측으로 옮겨져서 반전 상태로 정렬된 후, 다시 임프린트 장치 측으로 공급된다.
하지만, 상기와 같은 합착, 경화, 분리 및 반전(정렬)공정들을 거치면서 임프린트 작업을 진행할 때 특히 상기 분리공정과, 반전(정렬)공정은 전체 작업 효율성을 크게 저하시키는 주된 요인이 된다.
즉, 분리공정과 반전(정렬)공정은, 스탬프 또는 기판을 물리적인 힘으로 분리하거나, 기판에서 분리한 스탬프의 임프린트면이 손상되지 않도록 반전시킨 상태로 정렬하는 과정들을 거치면서 진행되므로 작업의 특성상 공정이 복잡하고, 과다한 택(tact) 타임이 발생하기 때문이다.
그러므로, 상기와 같이 기판과, 스탬프를 옮기면서 서로 다른 작업 지점에서 분리공정과, 반전공정을 각각 별도로 진행하는 방식으로는 만족할 만한 작업 수율을 기대할 수 없다.
더욱이, 이러한 문제들은 소면적 기판은 물론이거니와, 특히 대면적 기판의 임프린트 작업 중에 더욱 심각하게 발생할 수 있는 것으로 알려져 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은, 기판의 임프린트 작업 중에 특히 기판과, 스탬프의 합착분리는 물론이거니와 반전(정렬) 작업을 더욱 간편하고 신속하게 진행할 수 있는 스탬프 분리장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,
스탬프의 임프린트면이 기판과 합착된 상태로 놓여지는 로딩면을 구비한 스테이지;
상기 스테이지를 회동시켜서 경사지게 기울이거나 상기 로딩면이 위쪽 또는, 아래쪽을 향하여 반전되도록 구동하는 반전부;
상기 반전부의 구동과 연계하여 상기 스테이지의 회동 중에 기판으로부터 스탬프를 분리할 수 있도록 형성된 분리부;
상기 분리부에 의해 기판으로부터 분리된 스탬프를 상기 스테이지 측으로 옮겨서 상기 스탬프의 임프린트면이 로딩면과 접촉하지 않는 상태로 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 형성된 아암부;
상기 아암부에 의해 상기 스테이지 측에 로딩된 스탬프의 가장자리를 접촉력으로 밀어서 위치를 정렬할 수 있도록 형성된 정렬부;
를 포함하는 스탬프 분리장치를 제공한다.
본 발명은 반전부와, 분리부를 이용하여 스테이지의 회동 중에 기판으로부터 스탬프의 합착 상태를 간편하게 분리할 수 있고, 기판에서 분리한 스탬프를 아암부로 옮겨서 임프린트면이 로딩면과 접촉하지 않도록 스테이지 상에 로딩한 상태로 정렬부를 이용하여 상기 스탬프의 위치를 간편하게 정렬할 수 있다.
이와 같은 본 발명은, 기판의 임프린트 작업시 특히 기판과, 스탬프의 합착(경화) 작업 후 진행하는 합착분리 및 반전(정렬) 작업을 단일의 공정으로 간편하고 신속하게 진행할 수 있으므로 예를 들어, 기판과, 스탬프의 합착분리 및 반전 작업을 서로 다른 장치를 이용하여 각각의 공정으로 진행하는 종래의 임프린트 작업 방식과 비교할 때 전체 작업 공정수를 줄일 수 있고, 작업장의 공간 활용성을 높일 수 있으며, 작업 시간을 대폭 단축시켜서 한층 향상된 수율을 확보할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치의 전체 구조들을 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치의 바람직한 작용들을 설명하기 위한 도면들이다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.
본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면들이고, 도 3 내지 도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치의 바람직한 작용을 설명하기 위한 도면들로서, 도면 부호 2는 스테이지를 지칭한다.
상기 스테이지(2)는 기판(G)과, 스탬프(S)가 합착된 상태로 평탄하게 놓여질 수 있는 로딩면(L)을 구비한 판상의 형태로 이루어질 수 있다.
상기 스테이지(2)는 도 1에서와 같은 작업대(T) 상에서 상기 로딩면(L)이 위쪽을 향하는 상태로 평탄하게 배치될 수 있다.
상기 로딩면(L) 측에 놓여지는 기판(G)과, 스탬프(S)는, 예를 들어, 기판(G)의 약액층(G1, 예: 에칭레지스트)과, 스탬프(S)의 임프린트면(S1)이 서로 합착 및 경화된 상태로 놓여진다.
상기 스테이지(2)는, 도 1에서와 같이 로딩면(L)에 흡착구(L1)들을 구비하여 기판(G) 또는 스탬프(S)의 일면을 진공 합착력으로 고정할 수 있도록 형성된다.
그러면, 상기 스테이지(2)의 로딩면(L) 상에서 기판(G)이나, 스탬프(S)를 안정적인 로딩 상태로 잡아줄 수 있다.
그리고, 상기 흡착구(L1)들은 도 1에서와 같이 상기 스테이지(2)의 로딩면(L) 상에서 끝단이 약간 위로 돌출된 상태로 형성된다. 그러면, 후술하는 아암부(8)로 스탬프(S) 또는, 기판(G)을 로딩 또는, 언로딩할 때 상기 아암부(8)의 이송 통로를 용이하게 확보하여 작동 편의성을 높일 수 있다.
상기와 같이, 스테이지(2)의 로딩면(L) 상에 흡착구(L1)들을 형성하여 진공 흡착력으로 기판(G) 또는 스탬프(S)를 잡아주는 구조는 해당 분야에서 평균적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치는, 상기 스테이지(2)와 대응하는 반전부(4)를 포함하여 이루어진다.
상기 반전부(4)는 상기 스테이지(2)를 회동시켜서 로딩면(l)을 경사지게 기울이거나, 위쪽 또는, 아래쪽을 향하는 상태로 반전시킬 수 있도록 형성된다.
예를 들어, 상기 반전부(4)는, 상기 작업대(T) 상에서 상기 스테이지(2)를 도 1에서와 같은 회동지지대(A) 측에 힌지 결합으로 연결하여 회동 운동이 가능하게 잡아준 상태에서 회동구동원(A1)으로 동력을 발생 및 전달하는 방식으로 상기 스테이지(2)를 힌지결합 지점을 중심으로 회동시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
즉, 상기 회동지지대(A)는, 상기 스테이지(2)의 대향하는 가장자리 사이의 중간 지점과 일단(위쪽 단부)이 힌지결합으로 연결되고, 타단(아래쪽 단부)은 상기 작업대(T) 상에 고정될 수 있다.
상기한 회동지지대(A)는 상기 작업대(T) 상에서 상기 스테이지(2)를 평탄하게 지지하거나, 반전 동작이 가능하게 잡아주는 역할을 한다.
그리고, 상기 회동구동원(A1)은, 서보모터를 사용할 수 있으며, 상기 스테이지(2)가 힌지결합 지점을 중심으로 회동될 수 있도록 동력의 발생 및 전달이 가능하게 셋팅된다.
즉, 상기 회동구동원(A1)은, 예를 들어, 도 1에서와 같이 상기 회동지지대(A) 상부의 힌지 결합 지점과 대응하도록 설치되어 상기 스테이지(2)를 힌지결합 지점을 중심으로 정,역 회전시킬 수 있도록 셋팅될 수 있다.
그러면, 상기 반전부(4)는, 상기 작업대(T) 상에서 상기 회동지지대(A)로 상기 스테이지(2)를 회동 가능하게 지지한 상태에서 상기 회동구동원(A1)의 동력으로 상기 스테이지(2)를 회동시켜서 로딩면(L)을 경사지게 기울이거나, 위쪽 또는 아래쪽을 향하는 상태로 반전이 이루어지도록 할 수 있다.
상기 회동구동원(A1)은 서보모터 이외에도 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 실린더의 피스톤로드로 상기 스테이지(2) 일측을 당기거나 미는 방식으로 회동이 이루어지도록 셋팅할 수도 있다.
이처럼, 회동구동원(A1)으로 서보모터나, 실린더를 사용하여 상기 스테이지(2)를 회동시키는 구조는 해당 분야에서 평균적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치는, 상기 스테이지(2)의 로딩면(L) 위에 합착된 상태로 놓여지는 기판(G)으로부터 스탬프(S)를 분리할 수 있도록 형성된 분리부(6)를 포함한다.
특히, 상기 분리부(6)는, 상기 반전부(4)의 구동과 연계하여 상기 스테이지(2)의 회동 중에 기판(G)으로부터 스탬프(S)를 분리할 수 있도록 형성된다.
그리고, 상기 분리부(6)는, 상기 스테이지(2)의 회동 중에 상기 스탬프(S)의 전체면 중에서 일부를 먼저 분리한 다음, 나머지 부분을 순차적으로 분리하는 방식으로 분리 작업을 진행할 수 있도록 형성된다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 분리부(6)는, 상기 스테이지(2) 위쪽에서 상기 스탬프(S)의 대향하는 가장자리 지점과 대응하도록 배치되는 홀더(H)들과, 이 홀더(H)들과 대응하는 스탬프(S)의 대향하는 가장자리의 합착면을 향하여 분리용 유체(W)를 분사할 수 있도록 형성된 분사구(H1)로 구성될 수 있다.
상기 홀더(H)는 통상의 진공흡착 패드를 사용할 수 있으며, 상기 스테이지(2) 위쪽에서 스탬프(S)의 윗면(예: 백플레이트)을 진공 흡착력으로 잡아줄 수 있도록 배치된다.
즉, 상기 홀더(H)들은 기판(G)과 합착된 상태로 상기 스테이지(2) 상에 놓여진 스탬프(S)의 전체면 중에서 대향하는 가장자리 지점의 윗면을 진공 흡착력으로 잡아줄 수 있도록 배치된다.
그리고, 상기 홀더(H)들은 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 스크류 잭과 같은 통상의 이송장치와 연결되어 상기 작업대(T)의 스테이지(2) 위쪽에서 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅된다.
상기 분사구(H1)들은, 기판(G)과, 스탬프(S)의 합착면 사이로 분리용 유체(W, 예: 질소)를 분사할 수 있도록 셋팅된다.
즉, 상기 분사구(H1)들은 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 스테이지(2)의 로딩면(L)과 이격 배치되어 기판(G)과, 스탬프(S)의 전체 합착면 중에서 대향하는 가장자리 지점의 합착면 사이를 향하여 분리용 유체(W)를 분사할 수 있도록 도면에서와 같이 복수 개가 배치될 수 있다.
상기 분사구(H1)는, 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 방법으로 분리용 유체(W)를 공급받아서 노즐을 통해 분사하는 구조로 이루어질 수 있다.
상기한 분리부(6)의 구조에 의하면, 상기 스테이지(2)의 회동 동작과 연계하여 상기 스탬프(S)를 기판(G)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.
즉, 기판(G)과, 스탬프(S)가 서로 합착되어 상기 스테이지(S)의 로딩면(L) 위에 놓여진 상태에서, 상기 홀더(H)들로 스탬프(S)의 대향하는 가장자리 일측편 또는 타측편을 잡아준 다음, 상기 반전부(4)를 구동하여 도 3 또는, 도 4에서와 같은 방향으로 상기 스테이지(2)를 약간 경사지게 회동시킨다.
그러면, 상기 스테이지(2)의 일측편 또는 타측편이 아래쪽으로 움직일 때 상기 스탬프(S)의 대향하는 가장자리 부분들이 상기 홀더(H)에 의해 위로 들어올려지는 상태가 되면서 기판(G)으로부터 분리될 수 있다.
그런 다음, 도 5에서와 같이 상기 분사구(H1)들로 상기 스탬프(S)의 대향하는 가장자리 합착면 사이로 분리용 유체(W)를 분사함과 동시에 상기 홀더(H)들로 상기 스탬프(S)의 대향하는 가장자리를 위로 들어올리는 방식으로 스탬프(S)의 전체면을 분리하면 된다.
이처럼, 분리 작업시 스탬프(S)의 전체면 중에서 대향하는 가장자리 부분을 먼저 분리한 다음, 분리된 합착면 사이로 분리용 유체(W)를 분사하면서 전체면을 순차적으로 분리하는 방식은 기판(G)과, 스탬프(S)의 합착면 내에 작용하는 분리 저항력을 최대한 줄일 수 있다.
그러므로, 상기와 같이 반전부(4)와, 분리부(6)를 이용하여 기판(G)과, 스탬프(S)의 분리 작업을 진행하면, 합착면 내에 작용하는 저항력에 의해 기판(G) 또는, 스탬프(S)가 비정상으로 변형되거나, 파손되는 현상을 억제할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치는, 기판(G)에서 분리한 스탬프(S)의 임프린트면(S1)을 보호할 수 있는 상태로 상기 스테이지(2) 측에 로딩하고, 이 스테이지(2) 상에서 정렬 작업을 진행할 수 있도록 형성된 아암부(8) 및 정렬부(10)를 포함하여 이루어진다.
상기 아암부(8)는, 특히 상기 스테이지(2)의 로딩면(L)이 아래쪽을 향하도록 반전된 상태에서 상기 스탬프(S)를 상기 로딩면(L) 측에 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 형성된다.
상기 아암부(8)는, 통상의 관절 운동이 가능하게 연결 형성된 로봇아암(B)을 사용할 수 있다.
상기 로봇아암(B)은, 상기 작업대(T)와 떨어져서 도 1에서와 같이 배치될 수 있으며, 자유단 측에는 흡착기(B1)가 설치되어 이 흡착기(B1)의 진공 흡착력으로 스탬프(S) 일면을 잡아서 안정적인 상태로 옮길 수 있다.
그리고, 상기 흡착기(B1)는, 도면에는 나타내지 않았지만, 통상의 피쉬 본(fish-bone) 타입의 구조를 갖도록 형성된다. 그러면, 상기 스탬프(S)의 임프린트면(S1)의 반대면(백플레이트면)을 진공 흡착력으로 잡아 준 상태에서 이 반대면이 상기 스테이지(2)의 로딩면(L)과 마주하도록 로딩할 때 이 로딩면(L) 상에 돌출 형성된 흡착구(L1)들 사이로 상기 흡착기(B1)가 원활하게 이동하면서 스탬프(S)를 간편하게 로딩하거나 언로딩할 수 있다.
상기와 같이 로봇아암(B)과, 피쉬 본 타입의 흡착기(B1)를 사용하여 스탬프(S)를 잡아준 상태로 움직이면서 상기 스테이지(2) 측에 로딩하거나 언로딩하는 구조는 해당 분야에서 이미 널리 알려지고, 사용하는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기한 아암부(8)는, 상기 반전부(4)와 연계하여 작동되면서 특히, 기판(G)으로부터 분리된 스탬프(S)를 상기 분리부(6) 측에서 상기 스테이지(2) 측으로 옮겨서 로딩할 때 후술하는 정렬부(10)에 의한 위치 정렬 작업 중에 임프린트면(S1)을 각종 접촉이나 마찰로부터 보호할 수 있는 상태(반전)로 로딩면(L) 측에 로딩할 수 있도록 형성된다.
즉, 기판(G)에서 분리한 스탬프(S) 윗면을 상기 아암부(8)로 잡아준 상태에서 상기 스테이지(2)를 회동시켜서 로딩면(L)이 아래쪽을 향하도록 상기 반전부(4)를 구동한다.
그런 다음, 도 6에서와 같이 상기 아암부(8)의 스탬프(S)를 상기 로딩면(L) 측으로 옮겨서 상기 스탬프(S)의 윗면이 상기 로딩면(L) 측에 흡착 고정된 상태로 로딩되도록 한 다음, 상기 로딩면(L)이 위쪽을 향하도록 상기 반전부(4)로 상기 스테이지(2)를 다시 회동시킨다.
그러면, 도 7에서와 같이 상기 스테이지(2)의 로딩면(L) 상에는 상기 스탬프(S)의 임프린트면(S1)이 위쪽을 향하도록 반전된 상태로 로딩된다.
이와 같이 스탬프(S)의 임프린트면(S1)이 위쪽을 향하도록 상기 스테이지(2) 상에 로딩하면 후술하는 정렬부(10)로 정렬 작업을 진행할 때 예를 들어, 임프린트면(S1)이 로딩면(L)과 접촉되면서 발생할 수 있는 문제(파손, 변형)들을 방지할 수 있다.
상기 정렬부(10)는, 상기 스테이지(2)의 로딩면(L) 상에서 임프린트면(S1)이 위쪽을 향하도록 로딩된 스탬프(S)의 가장자리 변을 접촉력으로 직접 밀어서 위치를 정렬할 수 있도록 구성된다.
다시 도 2를 참조하면, 상기 정렬부(10)는 복수 개의 정렬블록(C)으로 구성될 수 있으며, 이 정렬블록(C)들은 상기 스테이지(2)의 로딩면(L) 외측에서 스탬프(S)의 가장자리 변과 각각 대응하도록 배치되며, 전,후 방향으로 움직이면서 정렬 동작이 가능하게 이루어진다.
즉, 상기 정렬블록(C)들은 정렬구동원(C1)과 연결되고, 이 정렬구동원(C1)은 통상의 실린더를 사용할 수 있으며, 상기 스테이지(2) 상에 놓여진 스탬프(S)의 가장자리 변을 향하여 상기 정렬블록(C)들을 전,후 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅된다.
상기 정렬부(10)는, 도 7에서와 같이 상기 정렬구동원(C1)으로 정렬블록(C)들을 전,후 방향으로 움직여서 상기 스테이지(2) 측에 놓여진 스탬프(S)의 가장자리 변들을 밀어서 위치를 정렬하는 방식으로 정렬 작업을 진행할 수 있다.
이때, 상기 스탬프(S)의 임프린트면(S1)은 상기 스테이지(2) 측에서 위쪽을 향하도록 로딩된 상태이므로 상기 정렬블록(C)의 접촉력으로 밀어서 위치를 보정할 때 상기 스테이지(2)의 로딩면(L)과 접촉하거나 마찰이 발생하지 않는 상태로 정렬 작업이 이루어질 수 있다.
즉, 상기한 아암부(8)와, 정렬부(10)는, 예를들어, 기판(G)으로부터 분리된 스탬프(S)를 임프린트 작업이 가능하게 다시 공급하기 위하여 위치를 정렬할 때 이 스탬프(S)의 임프린트면(S1)이 파손되거나 변형되지 않도록 상기 스테이지(2) 측에 반전시킨 상태로 로딩하여 간편하게 정렬 작업을 진행할 수 있다.
따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 스탬프 분리장치는, 스탬프(S)를 이용한 임프린트 방식으로 기판(G) 측에 각종 기능성 패턴들을 형성하는 일련의 작업들을 진행할 때, 특히 상기 작업대(T) 상에서 반전부(4)와, 분리부(6)를 이용하여 기판(G)과, 스탬프(S)의 합착 상태를 간편하게 분리할 수 있을 뿐만 아니라, 기판(G)에서 분리한 스탬프(S)를 상기 아암부(8)와, 정렬부(10)를 이용하여 위치 정렬 작업을 간편하게 진행할 수 있다.
그러므로, 본 발명은 하나의 작업대(T) 상에서 두 가지의 작업(분리 및 정렬)을 함께 진행할 수 있으므로 예를 들어, 각기 다른 지점에서 각각의 장치를 이용하여 분리 작업과, 정렬 작업을 진행하는 종래의 임프린트 작업 방식과 비교할 때 한층 향상된 작업성과 공정의 효율성을 확보하여 이에 따른 수율을 한층 높일 수 있다.
2: 스테이지 4: 반전부 6: 분리부
8: 아암부 10: 정렬부 G: 기판

Claims (6)

  1. 스탬프의 임프린트면이 기판과 합착된 상태로 놓여지는 로딩면을 구비한 스테이지;
    상기 스테이지를 회동시켜서 상기 로딩면을 경사지게 기울이거나 위쪽 또는, 아래쪽을 향하여 반전된 상태가 되도록 구동하는 반전부;
    상기 반전부의 구동과 연계하여 상기 스테이지의 회동 중에 기판으로부터 스탬프를 분리할 수 있도록 형성된 분리부;
    상기 분리부에 의해 기판으로부터 분리된 스탬프를 상기 스테이지 측으로 옮겨서 상기 스탬프의 임프린트면이 로딩면과 접촉하지 않는 상태로 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 형성된 아암부;
    상기 아암부에 의해 상기 스테이지 측에 로딩된 스탬프의 가장자리를 접촉력으로 밀어서 위치를 정렬할 수 있도록 형성된 정렬부;
    를 포함하는 스탬프 분리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 스테이지는,
    상기 로딩면과 대응하는 복수 개의 흡착구들을 구비하고,
    상기 흡착구들은,
    상기 로딩면 상에서 끝단이 돌출된 상태로 형성되는 것을 특징으로 하는 스탬프 분리장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 반전부는,
    상기 스테이지를 회동 가능하게 힌지 결합으로 지지하는 회동지지대;
    상기 회동지지대의 힌지 결합 지점을 중심으로 상기 스테이지를 회동시키기 위한 동력을 발생 및 전달할 수 있도록 설치되는 모터 또는, 실린더로 구성되는 회동구동원;
    을 포함하는 스탬프 분리장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 분리부는,
    상기 스테이지 상에 놓여진 스탬프의 대향하는 가장자리 윗면과 대응하도록 배치되고 진공 흡착력으로 상기 스탬프를 잡아줄 수 있도록 형성된 홀더들;
    상기 홀더들과 대응하는 지점에서 기판과, 스탬프의 합착면 사이로 분리용 유체를 분사할 수 있도록 형성된 분사구;
    를 포함하는 스탬프 분리장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 아암부는,
    상기 스탬프의 임프린트면의 반대면을 잡아주기 위한 흡착기가 자유단 측에 부착된 로봇아암으로 구성되며,
    상기 흡착기는 피쉬 본(fish bone) 타입으로 형성된 것을 특징으로 하는 스탬프 분리장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 정렬부는,
    상기 스테이지의 측방에 배치되는 복수 개의 정렬블록;
    상기 정렬블록들을 상기 스테이지의 로딩면을 향하여 전,후 방향으로 움직일 수 있는 동력을 발생 및 전달하는 실린더로 구성되는 정렬구동원;
    을 포함하는 스탬프 분리장치.
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