KR20030001327A - 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치 - Google Patents

매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치 Download PDF

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KR20030001327A
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엔도요시야
시마카와나오키
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하야시다요시아키
타카쿠라요시오
마쯔야마아키오
코케쯔히데토
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히타치 키덴 코교 가부시키가이샤
샤프 가부시키가이샤
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Abstract

대형의 유리기판 등의 매엽기판을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 하고, 굽힘응력에 기인하는 매엽기판의 변형이나 파손을 방지할 수 있는 매엽기판의 이송장치를 제공하는 것이다.
수납장치(1)의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치(1)에 삽입된 이송기의 핸드(4)를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판(5)의 이송장치에 있어서, 상기 지지부를, 대향하는 지지부 사이에 간극을 형성하여 형성되는 복수의 병렬되는 지지부재(3a, 3b)로 구성함과 아울러, 상기 핸드(4)를, 핸드(4)의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부재(3a, 3b) 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부(41)와, 상기 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 위치하고, 상기 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부(42)로 구성한다.

Description

매엽기판의 이송장치 및 이것을 이용하는 수납장치{TRANSFER DEVICE FOR SINGLE WAFER AND STORING DEVICE THEREIN}
본 발명은, 매엽기판의 이송장치에 관한 것으로, 특히, 대형의 유리기판 등의 매엽기판을 그 자중에 의한 휘는 양이 적게 되도록 하고, 굽힘응력에 기인하는 매엽기판의 변형이나 파손을 방지하는 것이 가능한 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치에 관한 것이다.
액정 등의 유리기판은, 서로 접촉하지 않도록 분리하여 수용하기 위하여, 전용 유리기판 수납용 카세트 등의 수납장치에 수납된다.
이 유리기판 수납용 카세트는, 예컨대, 대형의 액정유리기판의 제조라인에 있어서, 제조장치 간에 액정유리기판을 반송하거나, 일시적으로 저장 및 체류하는 경우에 사용된다.
유리기판 수납용 카세트는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상자형상의 카세트본체(1)의 양측벽(2a, 2b)으로부터 대향방향으로 각각 복수의 병렬되는 지지부 (3a', 3b')를 연장 설치함과 아울러, 카세트본체(1)에 삽입된 이송기의 핸드 (4')를 지지부(3a', 3b') 사이에서 승강시킴으로써 유리기판(5)의 출입을 행하도록 하고 있다.
카세트본체(1)는, 2갈래 포크형상의 핸드(4')의 승강을 허용하기 위하여, 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부에 넓은 공간을 필요로 하고, 이로써, 지지부(3a', 3b')는 좌우측 측벽(2a, 2b)으로부터 비교적 짧게 돌출하도록 형성되어 있다.
이 경우, 카세트본체(1) 중에 수납된 유리기판(5)은, 카세트본체(1)의 좌위의 측벽(2a, 2b)으로부터 각각 연장 설치된 지지부(3a', 3b')에 지지되고, 수납된유리기판(5)의 자중에 의한 휨을 작게 하도록 배려되어 있다.
또한, 카세트본체(1)로의 유리기판(5)의 출입에 사용되는 이송기의 핸드(4')는, 이 핸드(4')에 의해 유리기판(5)을 지지하여 올린 상태로 유리기판(5)의 휨이 크게 되지 않도록, 핸드(4')의 폭방향 치수(L)가 결정되어 있다.
그런데, 최근, 유리기판의 대형화, 박형화가 진행됨으로써, 강성이 큰 유리기판이어도 그 휨이 과대하게 되기 때문에, 상기 종래의 지지부의 길이가 짧게 제약되는 유리기판 수납용 카세트나 2갈래 포크형상의 핸드에서는, 유리기판의 자중에 의한 휨이 크게 되고, 이 휨에 의해 유리기판 자신이 큰 굽힘응력을 받는 결과, 유리기판이 변형되거나, 파손되기 쉽게 된다라는 문제가 있었다.
즉, 도 10에 나타내는 바와 같이, 유리기판(5)의 사이즈가 도 9의 경우보다 더욱 크게 되면, 카세트본체(1)에 수납된 유리기판(5)은, 자중에 의해 큰 굽힘을 받지만, 이 굽힘을 해소하기 위해서, 지지부(3a', 3b')를 유리기판(5)의 폭방향 중앙부까지 연장하도록 하면, 핸드(4')의 폭방향 치수(L)를 작게 해야만 한다.
그런, 핸드(4')의 폭방향 치수(L)를 작게 하면, 핸드(4')에 얹어놓여져 있는 유리기판(5)의 휨은, 도 10(c)에 점선으로 나타내는 상태로 되고, 유리기판(5)이 큰 굽힘을 받고, 변형되거나, 파손되기 쉽게 된다.
본 발명은, 상기 종래의 매엽기판의 이송장치가 갖는 문제점을 감안하여, 대형의 유리기판 등의 매엽기판을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록, 굽힘응력에 기인하는 매엽기판의 변형이나 파손을 방지할 수 있는 매엽기판의 이송장치 및이것을 이용하는 수납장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은, 본 발명의 매엽기판의 이송장치의 제 1실시예를 나타내고, (a)는 천판을 생략한 평면도, (b)는 정면도이다.
도 2는, 도 1의 실시예의 매엽기판의 이송장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 본 발명의 매엽기판의 이송장치의 제 2실시예를 나태내고, (a)는 천판을 생략한 평면도, (b)는 정면도이다.
도 4는, 본 발명의 매엽기판의 이송장치의 제 3실시예의 이송장치에 의한 카세트본체로의 이송상태를 나타내고, (a)는 천판을 생략한 평면도, (b)는 정면도, (c)는 핸드의 종형 핸드 지지부의 측면도이다.
도 5는, 도 4의 이송장치에 의한 받침대로의 이송상태를 나타내고, (a)는 그 평면도, (b)는 그 정면도이다.
도 6은, 본 발명의 매엽기판의 이송장치의 제 4실시예의 이송장치에 의한 받침대로의 이송상태를 나타내고, (a)는 그 평면도, (b)는 그 정면도이다.
도 7은, 본 발명의 매엽기판의 이송장치의 제 5실시예의 이송장치에 의한 카세트본체로의 이송상태를 나타내는 천판을 생략한 평면도이다.
도 8은, 도 7의 이송장치에 의한 받침대로의 이송상태를 나타내는 평면도이다.
도 9는, 종래의 매엽기판의 이송장치를 나타내고, (a)는 천판을 생략한 평면도, (b)는 정면도, (c)는 핸드의 폭방향 치수와 유리기판의 휨의 관계를 나타내는 설명도이다.
도 10은, 종래의 대형 매엽기판의 이송장치를 나타내고, (a)는 천판을 생략한 평면도, (b)는 정면도, (c)는 핸드의 폭방향 치수와 유리기판의 휨의 관계를 나타내는 설명도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1 … 카세트본체(수납장치) 1a … 개구부
2a … 좌측 측벽 2b … 우측 측벽
2c … 보조 지지부 3a … 좌측 지지부
3b … 우측 지지부 4 … 핸드
40 … 이송기 41 … 횡형 핸드 지지부
42 … 종형 핸드 지지부 42a … 보조 종형 핸드 지지부
43 … 종형 핸드 지지부 5 … 유리기판(매엽기판)
6 … 완충부재 7 … 간극
8 … 받침대(수납장치) 81 … 중앙의 보조 지지부
82 … 좌우측 지지부
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 제 1발명의 매엽기판의 이송장치는, 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 지지부를, 대향하는 지지부 사이에 간극을 형성하여 형성된 복수의 병렬되는 지지부재로 구성함과 아울러, 상기 핸드를, 핸드의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부재 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부와, 상기 대향하는 지지부재 사이에 위치하고, 상기 횡형 핸드 지지부를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 한다.
이 경우에 있어서, 상기 핸드를, 핸드의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부의 간극을 통과할 수 있는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부와, 이 횡형 핸드 지지부를 각각 연결하는 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 종형 핸드 지지부로 구성할 수 있다.
또한, 동일 목적을 달성하기 위하여, 본 제 2발명의 매엽기판의 이송장치는, 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 지지부의 중간위치에 보조지지부를 나란히 설치함과 아울러, 상기 핸드를, 핸드의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부와, 이 횡형 핸드 지지부를 각각 연결하는 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 한다.
또한, 동일 목적을 달성하기 위하여, 본 제 3발명의 매엽기판의 이송장치는, 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 지지부의 중간위치에 보조지지부를 나란히 설치함과 아울러, 상기 핸드를, 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 폭이 넓은 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 본 제 1발명의 매엽기판의 이송장치에 이용되는 수납장치는, 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 수납장치에 있어서, 상기 지지부를, 대향하는 지지부 사이에 간극을 형성하여 형성된 복수의 병렬되는 지지부재로 구성함과 아울러, 대향하는 지지부재 사이에, 핸드의 승강위치에서 상기 병렬되는 지지부재 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부가 통과할 수 있는 간극을 형성하여 형성된 것을 특징으로 한다.
이 경우에 있어서, 상기 지지부를 동일형상으로 형성하여, 수납장치의 내부에 상하로 복수개, 계단형상으로 형성할 수 있다.
또한, 1쌍의 폭이 넓은 종형 핸드 지지부 사이에 보조 종형 핸드 지지부를 나란히 설치하도록 하거나, 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 연장 설치한 중간위치에 보조지지부를 나란히 설치할 수 있다.
또한, 지지부의 상면에, 매엽기판을 직접 지지하는 완충부재를 설치할 수 있다.
이 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치는, 수납장치의 지지부 또는 이송기의 핸드 지지부에 의한 매엽기판의 지지를, 매엽기판의 넓은 범위로 확대하는 것이 가능하고, 대형의 매엽기판을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 하고, 굽힘응력에 기인하는 매엽기판의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
또한, 특히, 이송기의 핸드를, 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 종형 핸드 지지부로 구성한 것이므로, 핸드의 두께를 얇게 형성하여도 핸드의 강성을 높이는 것이 가능하게 되고, 핸드의 삽입공간을 저감하여 수납장치 단위용량당 매엽기판의 수납장수를 증대할 수 있다.
또한, 상기 지지부를 동일 형상으로 형성하여, 수납장치의 내부에 상하로 복수개, 계단형상으로 배치함으로써, 다수의 유리기판을 카세트에 수납할 수 있다.
또한, 보조 종형 핸드 지지부나 보조지지부를 나란히 설치함으로서, 보다 대형의 매엽기판의 취급이 가능하게 된다.
또한, 지지부의 상면에, 매엽기판을 직접 지지하는 완충부재를 설치함으로써, 매엽기판의 주고받음을 원활하게 행할 수 있다.
이하, 본 발명의 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치의 실시형태를, 도면을 기초하여, 유리기판을 이송대상물로 하는 예에 관해서 설명한다.
도 1 ~ 도 2에, 본 발명의 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치의 제 1실시예를 나타낸다.
이 매엽기판의 이송장치는, 별도의 이송장치와 조합시켜서 사용되는 것이므로, 수납장치로서의 상자형상의 카세트본체(1)의 좌우 양측벽(2a, 2b)으로부터 대향방향으로 각각 복수의 병렬되는 지지부재(3a, 3b)를 연장 설치함과 아울러, 카세트본체(1)에 삽입된 이송기(40)의 핸드(4)를, 지지부재(3a, 3b) 사이에서 승강시킴으로써 유리기판(5)의 출입을 행하도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 이러한 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 유리기판(5)의 지지부재93a, 3b)를, 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 소정의 간극(7)을 형성하여 형성함과 아울러, 상기 핸드(4)를, 핸드(4)의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부재(3a) 또는 지지부재(3b) 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부(41)와, 상기 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 위치하고, 상기 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부(42)로 구성하고 있다.
또한, 이 매엽기판의 이송장치에서는, 상기 지주부재(3a, 3b)를 동일형상으로 형성하여, 카세트본체(1)의 내부에 상하로 복수개, 계단형상으로 배치하고 있다.
지지부재(3a, 3b)는, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 1장의 유리기판(5)을 수평으로 지지하기 위하여, 동일 평면 상에 배치되어 있고, 좌우측 측벽(2a, 2b)의 지지부재(3a, 3b)가 깊이방향으로 동일 위치로 되도록, 5개씩의 지지부재(3a, 3b)가 좌우측 측벽(2a, 2b)에 각각 병렬로 배치되어 있다.
또한, 좌우측 측벽(2a, 2b)의 지지부재(3a, 3b)는, 각각 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부근까지 수평으로 연장 설치하고 있다.
또한, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 지지부재(3a, 3b)의 상부에는, 유리기판(5)을 직접 지지하는, 예컨대, 합성고무 등의 탄성체 등으로 형성한 돌기형상(또는 돌조형상)의 완충부재(6)가 설치되어 있고, 이 실시예에서는 좌우 1쌍의 지지부재(3a, 3b)에 있어서, 유리기판(5)을 중앙부근의 2점과 단부부근의 2점의 4점으로 지지하도록 하고 있지만, 6점이상으로 지지하는 것도 가능하다.
그래서, 이 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부근까지 연장된 지지부재(3a, 3b)는, 유리기판(5)의 자중에 의한 휘는 양을 작게 할 수 있고, 이로써, 수납시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 핸드(4)의 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)는, 유리기판(5)을 수평으로 이동하기 위하여, 동일 평면상에 일체로 형성되어 있고, 또한, 이들 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)는, 핸드(4)의 승강위치에서 지지부재(3a, 3b)와 간섭하지 않는 위치에 형성되어 있다.
횡형 핸드 지지부(41)는, 카세트본체(1)의 촉방향 중앙부로부터 좌우측 측벽(2a, 2b) 부근까지 각각 연장 설치된 판형상의 것으로 이루어진다.
종형 핸드 지지부(42)는, 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부에서 상기 복수의 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 길이가 긴 판형상의 것으로 이루어진다.
핸드(4)는, 이와 같은 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)를 구비함으로써, 대형의 유리기판(5)을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 이송하고, 반송시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예의 매엽기판의 이송장치에서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 유리기판(5)을 지지하는 지지부재(3a, 3b)를, 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 소정의 간극(7)을 형성하여 형성됨과 아울러, 상기 핸드(4)를, 핸드(4)의 삽입위치에서, 병렬되는 지지부재(3a) 또는 지지부재(3b) 사이에 배치되는 복수의 횡형 핸드 지지부재(41)와, 상기 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 배치되고 상기 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 종형 핸드 지지부(42)로 구성한 것이므로, 상기 지지부재(3a, 3b)를 유리기판(5)의 중앙부근까지 연장 설치할 수 있고, 이로써, 대형의 유리기판(5)을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 수용하고, 수용시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 이송기의 핸드(4)를, 핸드(4)의 삽입위치에서, 병렬되는 지지부재(3a) 또는 지지부재(3b) 사이에 배치되는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부(41)와, 상기 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 배치되고 상기 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 종형 핸드 지지부(42)로 형성함으로서, 핸드(4)의 폭방향 치수(L)를 유리기판 (5)의 단부 부근까지 크게 할 수 있고, 이로써, 대형의 유리기판(5)을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 이송하고, 반송시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 파손을 방지할 수 있다.
이와 관련하여, 본 실시예의 매엽기판의 이송장치에서는, 사이즈가 1200×1000미리정도, 또한 필요에 따라서, 2000×1700미리 이상의 액정유리기판(5)을 유효하게 수납 또한 이송할 수 있다.
다음에, 도 3을 참조하여, 본 발명의 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치의 제 2실시예를 설명한다.
이 제 2실시예의 이송장치와 조합되는 매엽기판의 이송장치는, 제 1실시예와 마찬가지로, 상자형상의 카세트본체(1)의 좌우 양측벽(2a, 2b)으로부터 대향방향으로 각각 복수의 병렬되는 지지부재(3a) 또는 지지부재(3b)를 연장 설치함과 아울러, 카세트본체(1)에 삽입된 이송기의 핸드(4)에, 지지부재(3a, 3b) 사이에서 승강시킴으로써 유리기판(5)의 출입을 행하도록 구성되어 있다.
또한, 상기 유리기판(5)의 지지부재(3a, 3b)를, 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 소정의 간극(7)을 설치하여 형성함과 아울러, 상기 핸드(4)를, 핸드(4)의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부재(3a) 또는 지지부재(3b) 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부(41)와, 상기 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 위치하고, 상기 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부 (42)로 구성하고 있다.
또한, 상기 지지부재(3a, 3b)를 동일형상으로 형성하여, 카세트본체(1)의 내부에 상하로 복수개, 계단형상으로 배치하고 있다.
지지부재(3a, 3b)는, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 유리기판(5)을 수평으로 지지하기 위하여, 동일 평면 상에 설치되어 있고, 좌우측 측벽(2a, 2b)의 지지부재(3a, 3b)가 깊이방향에서 동일 위치로 되도록, 5개씩의 지지부재(3a) 또는 지지부재(3b)가 병렬로 배치되어 있다.
또한, 좌우측 측벽(2a, 2b)의 지지부재(3a, 3b)는, 대향하는 지지부재(3a, 3b) 사이에 소정의 간극(7)을 갖도록 형성되지만, 이 간극(7)의 위치가 카세트본체(1)의 개구부(1a)로부터 깊이방향으로 교대로 좌우로 어긋나 있다.
즉, 개구부(1a)로부터 1번째, 3번째 및 5번째의 지지부재(3a, 3b)에서는, 좌측 측벽(2a)의 지지부재(3a)가 우측 측벽(2b)의 지지부재(3b)보다 길게 형성됨과 아울러, 2번째 및 4번째의 지지부재(3a, 3b)에서는, 우측 측벽(2b)의 지지부재(3b)가 좌측 측벽(2a)의 지지부재(3a)보다 길게 형성되어 있다.
또한, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 지지부재(3a, 3b)의 상부에는, 제 1실시예와 마찬가지로, 유리기판(5)을 직접 지지하는 완충부재가 설치되어 있다.
이 교대로 연장된 지지부재(3a, 3b)는, 지지부재(3a, 3b) 간의 간극(7)의 위치를 분산시킴으로써, 또한 유리기판(5)의 자중에 의한 휘는 양이 작게 할 수 있고, 이로써, 수납시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 파손을 방지할 수 있다.
한편, 핸드(4)의 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)는, 유리기판 (5)을 수평으로 이송하기 위하여, 동일 평면 상에 일체로 형성되어 있다.
횡형 핸드 지지부(41)는, 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부로부터 좌우측 측벽 (2a, 2b) 부근까지 각각 연장 설치된 판형상의 것으로 이루어진다.
종형 핸드 지지부(42)는, 지지부재(3a, 3b) 간의 간극(7)의 위치에서, 상기 복수의 횡형 핸드 지지부(41)를 지그재그형상으로 연결하는 길이방향의 판형상의 것으로 이루어진다.
핸드(4)는, 이와 같은 횡형 핸드 지지부(41)와, 위치를 교대로 어긋나게 한 종형 핸드 지지부(42)를 구비함으로써, 또한 유리기판(5)의 자중에 의한 휘는 양을 작게 할 수 있고, 이로써, 이송시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 파손을 방지할 수 있다.
다음에, 도 4 ~ 도 5에, 본 발명의 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치의 제 3실시예를 나타낸다.
이 매엽기판의 이송장치는, 유리기판을 대상으로 하고, 별도의 이송장치와 조합시켜서 사용되는 것이므로, 수납장치로서의 상자형상의 카세트본체(1)의 좌우 양측벽(2a, 2b)으로부터 대향방향으로 각각 복수의 병렬되는 지지부(3a, 3b)를 연장 설치함과 아울러, 카세트 본체(1)에 삽입된 이송기(도시생략)의 핸드(4)를 지지부(3a, 3b) 사이에서 승강시킴으로써 유리기판(5)의 출입을 행하도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시예에서는, 이러한 매엽기판의 이송장치에 있어서, 유리기판(5)의 지지부(3a, 3b)를, 대향하는 지지부(3a, 3b) 사이에 소정치수의 간극(7)을 형성하여 형성됨과 아울러, 상기 핸드(4)를, 핸드(4)의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부(3a) 또는 지지부(3b)의 간극을 통과할 수 있는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부 (41)와, 상기 대향하는 지지부(3a, 3b) 사이에 간극을 두어서 나란히 설치되고, 좌우의 횡형 핸드 지지부(41)를 각각 연결하는 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 종형 핸드 지지부(42)로 구성되어 있다.
또한, 이 매엽기판의 이송장치에서는, 상기 지지부(3a, 3b)를 동일 형상으로 형성하여, 카세트본체(1)의 내부에 상하로 복수개, 계단형상으로 배치되어 있다.
지지부(3a, 3b)는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 1장의 유리기판(5)을 수평으로 지지하기 위하여, 동일 평면 상에 설치되어 있고, 좌우측 측벽(2a, 2b)의지지부(3a, 3b)이 깊이방향에서 동일위치로 되도록, 5개씩의 지지부(3a, 3b)가 좌우측 측벽(2a, 2b)에 각각 병렬로 배치되어 있다.
또한, 좌우측 측벽(2a, 2b)의 지주부(3a, 3b)는, 각각 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부근가지 수평으로 연장 설치되어 있다.
또한, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 지지부(3a, 3b)의 상면에는, 유리기판 (5)을 직접 지지하는 완충부재(6)가 설치되어 있고, 이 실시예에서는 좌우 1쌍의 지지부(3a, 3b)에 있어서, 유리기판(5)을 중앙부근의 2점과 단부부근의 2점의 4점에서 지지하도록 하고 있지만, 6점이상으로 지지하는 것도 가능하다.
그래서, 이 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부근까지 연장된 지지부(3a, 3b)는, 유리기판(5)의 자중에 의한 휘는 양을 작게 할 수 있고, 이로써, 수납시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 변형이나 판손을 방지할 수 있게 된다.
또한, 핸드(4)의 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)는, 유리기판 (5)을 수평으로 이송하기 위하여, 동일 평면 상에 일체로 형성되어 있고, 또한, 이들 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)는, 핸드(4)의 승강위치에서 지지부(3a, 3b)와 간섭하지 않는 위치에 형성되어 있다.
횡형 핸드 지지부(41)는, 카세트본체(1)의 폭방향 중앙부로부터 좌우측 측벽 (2a, 2b) 부근까지 각각 연장 설치된 판형상의 것으로 이루어진다.
종형 핸드 지지부(42)는, 폭방향으로 소정치수의 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 길이가 긴 판으로 이루어지고, 각각의 종형 핸드 지지부(42)가 좌우의 횡형 핸드 지지부(41)를 각각 연결하고 있다.
핸드(4)는, 이와 같은 횡형 핸드 지지부(41)와 종형 핸드 지지부(42)를 구비함으로써, 대형의 유리기판(5)을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 이송하고, 반송시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예의 매엽기판의 이송장치에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 유리기판(5)을 지지하는 지지부(3a, 3b)를, 대향하는 지지부(3a, 3b) 사이에 소정 치수의 간극(7)을 형성하여 형성됨과 아울러, 상기 핸드(4)를, 핸드(4)의 삽입위치에서, 병렬되는 지지부(3a) 또는 (3b) 사이에 배치되는 복수의 횡형 핸드 지지부(41)와, 상기 대향하는 지지부(3a, 3b) 사이에 배치되고 상기 횡형 핸드 지지부 (41)를 연결하는 종형 핸드 지지부(42)로 구성한 것이므로, 상기 지지부(3a, 3b)를 유리기판(5)의 중앙부 부근까지 연장 설치할 수 있고, 이로써, 대형의 유리기판(5)을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 수용하고, 수납시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
또한, 이송기의 핸드(4)를, 핸드(4)의 삽입위치에서, 병렬되는 지지부(3a) 또는 지지부(3b) 사이에 배치되는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부(41)와, 상기 대향하는 지지부(3a, 3b) 사이에 배치되고 상기 횡형 핸드 지지부(41)를 연결하는 종형 핸드 지지부(42)로 형성함으로서, 핸드(4)의 폭방향 치수(L)를 유리기판(5)의 단부부근까지 크게 할 수 있고, 이로써, 대형의 유리기판(5)을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 이송하고, 반송시의 굽힘응력에 기인하는 유리기판(5)의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
이와 관련하여, 본 실시예의 매엽기판의 이송장치에서는, 사이즈가1200×1000미리 정도, 또한 필요에 따라서, 2000×1700미리 이상의 액정유리기판 (5)을 유효하게 수납 또는 이송할 수 있다.
또한, 핸드(4)의 종형 핸드 지지부(42)를 좌우로 분할하도록 형성한 것에 의해, 각 종형 핸드 지지부(42)의 부하를 경감하여, 핸드(4)의 강성을 높임과 아울러, 예컨대, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같은, 수납장치로서 중앙에 종으로 보조지지부 (81)를 구비하는 받침대(8)에도 대응하여 유리기판(5)의 이송을 행하는 것이 가능하다.
이 받침대(8)는, 유리기판(5)을 좌우측 지지부(82)와 중앙의 보조지지부(81)로 지지하는 것이므로, 도 6은, 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 폭이 넓은(유리기판(5)의 폭치수(LO)의 각각 20%이상의 폭방향 치수(L1)를 갖는) 종종형 핸드 지지부(43)에 의한 유리기판(5)의 받침대(8)로의 이송상태를 나태내고 있고, 이 실시예에 나타내는 바와 같이, 종형 핸드 지지부(43)를 폭이 넓게 형성한 경우에는, 횡형 핸드 지지부(41)를 생략할 수 있다.
그 외, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 폭이 넓은 종형 핸드 지지부(42) 사이에, 1개 또는 그 이상의 보조 종형 핸드 지지부(42a)를 나란히 설치함으로써, 수납장치로서의 카세트본체(1)나 받침대(8)의 양측으로부터 대향방향으로 연장 설치한 지지부(2a, 2b, 82)의 중간위치에, 1개 또는 그 이상의 보조지지부(2c, 2d, 81)를 나란히 설치할 수 있다.
이와 같이, 보조 종형 핸드 지지부(42a)나 보조지지부(2c, 2d, 81)를 나란히 설치함으로써, 보다 대형의 유리기판(5)의 취급이 가능하게 된다.
이상, 본 발명의 매엽기판의 이송장치에 관해서, 복수의 실시예에 기초하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 기재된 구성에 한정되는 것은 아니고, 각 실시예에 기재된 구성을 적당 조합시키는(수납장치로서의 카세트본체의 구성을 받침대에 적용하거나, 역으로, 받침대의 구성을 카세트본체에 적용하는) 등, 그 취지를 이탈하지 않는 범위에서 적당 그 구성을 변경할 수 있고, 또한, 이송기와의 사이에서 매엽기판의 주고받음을 행하는 장치도 카세트나 받침대에 한정되지 않고, 또한, 이송대상도 유기기판 이외의 매엽기판에 널리 적용할 수 있는 것이다.
본 발명의 매엽기판의 이송장치 및 이것에 이용하는 수납장치에 의하면, 수납장치의 지지부 또는 이송기의 핸드 지지부에 의한 매엽기판의 지지를, 매엽기판의 넓은 범위로 확대할 수 있고, 대형의 매엽기판을 그 자중에 의한 휘는 양이 작게 되도록 하고, 굽힘응력에 기인하는 매엽기판의 변형이나 파손을 방지할 수 있고, 이로써, 고품질의 매엽기판 가공제품을 얻을 수 있다.

Claims (10)

  1. 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 지지부를, 대향하는 지지부 사이에 간극을 형성하여 형성된 복수의 병렬되는 지지부재로 구성함과 아울러, 상기 핸드를, 핸드의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부재 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부와, 상기 대향하는 지지부재 사이에 위치하고, 상기 횡형 핸드 지지부를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽기판의 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 핸드를, 핸드의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부의 간극을 통과할 수 있는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부와, 이 횡형 핸드 지지부를 각각 연결하는 폭방향으로 간극을 형성하여 나란하게 설치된 1쌍의 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽기판의 이송장치.
  3. 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 지지부의 중간위치에 보조지지부를 나란히 설치함과 아울러, 상기 핸드를, 핸드의 승강위치에서, 상기 병렬되는 지지부 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부와, 이 횡형 핸드 지지부를 각각 연결하는 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽기판의 이송장치.
  4. 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 매엽기판의 이송장치에 있어서, 상기 지지부의 중간위치에 보조지지부를 나란히 설치함과 아울러, 상기 핸드를, 폭방향으로 간극을 형성하여 나란히 설치된 1쌍의 폭이 넓은 종형 핸드 지지부로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽기판의 이송장치.
  5. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 1쌍의 폭이 넓은 종형 핸드 지지부 사이에 보조 종형 핸드 지지부를 나란히 설치한 것을 특징으로 하는 매엽기판의 이송장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 지지부의 상면에, 매엽기판을 직접 지지하는 완충부재를 설치한 것을 특징으로 하는 매엽기판의 이송장치.
  7. 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 각각 지지부를 연장 설치하는 한편, 수납장치에 삽입된 이송기의 핸드를 상기 지지부 사이에서 승강시킴으로써 매엽기판의 출입을 행하는 수납장치에 있어서, 상기 지지부를, 대향하는 지주부 사이에 간극을 형성하여 형성된 복수의 병렬되는 지지부재로 구성함과 아울러, 대향하는 지지부재 사이에, 핸드의 승강위치에서 상기 병렬되는 지지부재 사이에 위치하는 복수의 폭방향의 횡형 핸드 지지부를 연결하는 길이방향의 종형 핸드 지지부가 통과할 수 있는 간극을 형성하여 형성된 것을 특징으로 하는 수납장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 지지부를 동일 형상으로 형성하여, 수납장치의 내부에 상하로 복수개, 계단형상으로 형성한 것을 특징으로 수납장치.
  9. 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 수납장치의 양측으로부터 대향방향으로 연장 설치한 지지부의 중간위치에 보조지지부를 나란히 설치한 것을 특징으로 하는 수납장치.
  10. 제 7항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서, 지지부의 상면에, 매엽기판을 직접 지지하는 완충부재를 설치한 것을 특징으로 하는 수납장치.
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