TWI228483B - Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate - Google Patents

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TWI228483B TW092133565A TW92133565A TWI228483B TW I228483 B TWI228483 B TW I228483B TW 092133565 A TW092133565 A TW 092133565A TW 92133565 A TW92133565 A TW 92133565A TW I228483 B TWI228483 B TW I228483B
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Description

1228483 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關係基板移送裝置，其用於從基板收容盤中移除 一基板或收容或放置一基板於基板收容盤中、使用基板移 送裝置從基板收容盤移除基板的方法、及使用基板移送裝 置收容基板於基板收容盤中的方法。本基板用於製造，例 如’液晶顯示器元件的顯示板。 【先前技術】 液晶顯示器元件的顯示板一般包括一對彼此相對的玻璃 顯示基板並一起密封，及該對玻璃基板之間密封的液晶材 料。為了生產該顯示板，運送玻璃基板至顯示板生產工廠。 基板。
那樣大又薄的玻璃基板較容易彎曲。 為了運送玻璃基板，一般使用 一玻璃基板收容箱用於收容
如果複數個該種玻
O:\89\89703.DOC 1228483 璃基板具有間隙垂直收容在箱中，運送中玻璃基板會彎曲 並互相碰觸而破裂。為了避免發生此情形，箱内的玻璃基 板之間需要保持適當距離。 "例如彳度為〇·7麵及邊長為13喊更大的玻璃基板， 當沿周圍用-寬度為2〇至3〇職的支架垂直支撐時，則其中 〜會產生90 mm或更大的彎曲。在玻璃基板收容箱中，則箱 中的玻璃基板之間需要保持1〇〇mm或更大的距離。如此， 增加玻璃基板收容箱的尺寸就無法避免。 玻璃基板從玻璃基板收容箱移除係使用（例如）日本特公 開第2001-93969號揭示的玻璃基板吸附手。該玻璃基板吸 附手具有一對平吸附觸點。各吸附觸點需要插入兩相鄰玻 璃基板之間，因而需要有插入吸附觸點的空間。平吸附觸 鲇一般具有厚度為約20 mm。所以，箱内的玻璃基板之間的 距離必須為防止玻璃基板相碰觸甚至彎曲的充分距離及約 20 mm的插入吸附觸點距離的和。這樣，增加玻璃基板收容 箱的尺寸也無法避免。 由於兩相鄰玻璃基板之間需要距離，一具有一定尺寸的 玻璃基板收容箱所能收容的玻璃基板數便受限制。如此運 輸及儲存的空間效率降低，即是，單位體積收容的玻璃基 板數量減少。 為了解決這種問題，日本特公開第10-287382號揭示一種 用於收容一玻璃基板的基板盤匣。基板盤匣的基板收容段 具有晶格結構。基板盤匣的構造致使複數個基板盤匣可以 垂直堆疊。這種基板盤匣容許收容大又薄玻璃基板而不會
O:\89\89703.DOC 1228483 令I糸 弓 因而在運輪中不會破裂。因為運輸及儲存時，可以 垂直堆疊較大數量的基板盤匣，便可改善空間效率。 不過，這種基板盤匣具有下列問題。收容的玻璃基板係 由树月曰杯支撐及一對玻璃基板吸附手的吸附觸點插入由樹 月曰才干支撐的玻璃基板下面的空間。如此吸附觸點空間增加 基板盤匣的尺寸。 為了移除基板盤匣中收容的玻璃基板使用一吸附手，垂 直堆疊的複數個基板盤匡需要一對一隔離因而在收容玻璃 基板上面需要大的空間。因此’ &了從垂直堆疊的各基板 盤匣自動移除玻璃基板，便需要大而複雜的裝置。 為了從垂直堆疊複數個基板盤匣的各匡移除玻璃基板及 然後在玻璃基板移除後垂直堆疊基板盤匣，不但需要大的 工作空間並且無法有效工作。 【發明内容】 根據本發明的一觀點，提供一基板移送裝置用於從收容 基板的基板收容盤中水平移除基板。基板移送裝置包括複 數個支撑杯用於升起收谷在基板收容盤的基板高於基板收 合盤。基板收容盤包括複數個開口以插入複數個 複數個支撐桿對基板收容盤向上移動及插入基板收容盤的 複數個開口以升起基板。複數個支撐桿各具有充分長度以 垂直插入通過複數個垂直堆疊的基板收容盤。 在本發明的具體實施例中，基板移送裝置進一步包括一 升降台，其用於上升及降下基板收容盤（如果升降台上有基 板收容盤）。如果升降台向下移動，複數個支撐桿插入升降
O:\89\89703 DOC 1228483 台上垂直堆疊的複數個基板收容盤的複數個開口。 在本發明的一具體實施例中，升降台利用一球螺桿機構 上升或下降。 在本發明的一具體實施例中，升降台利用一皮帶輪送機 構上升或下降。 、 根據本發明的另外觀點，提供一基板移送裝置用於從收 容基板的基板收容盤中水平移除基板。基板移送裝置包括 一用於水平握持至少複數個垂直堆疊的基板收容盤之一的 持盤早元，及複數個用於升起規定基板收容盤中收容的基 板亚由持盤單元釋放的基板高於規定基板收容盤的支撐 桿。複數個基板收容盤各包括複數個開口以插入複數個支 撐#複數個支撐桿相對該規定基板收容盤向上移動及插
入規定基板收容盤的複數個開口以升起規定基板收容盤中 收容的基板。 I 在本發明的一具體實施例中，複數個支撐桿插入由持盤 單元釋放的複數個基板收谷盤的複數個開口，以升起規定 基板收容盤中收容的基板。 在本發明的具體實施例中，基板移送裝置進一步包括一 升降台，其用於上升及降下至少從持盤單元釋放的一基板 收合盤（如果升降台上至少有一基板收容盤）。如果垂直堆疊 的複數個基板收容盤放在升降台上，當升降台向下移動時 複數個支撐桿插入升降台放置的複數個基板收容盤的複數 個開口，以升起規定基板收容盤内收容的基板。 在本發明的一具體實施例中，持盤單元以水平狀態握持
O:\89\89703.DOC 1228483 各該等複數個基板收容盤。 S小+批 〜从不千狀態握持 广數個基板收容盤之一，該至少一個基板收容盤收六 基板。 # 在本發明的一具體實施例中 合至少一基板收容盤。 在本發明的一具體實施例中 至少一個基板收容盤。 在本發明的一具體實施例中 上升或下降。 在本發明的一具體實施例中 構上升或下降。 ’持盤單元包括接合爪以接 ，持盤單元利用摩擦力握持 ，升降台利用一球螺桿機構 ，升降台利用一皮帶輸送機 根據本發明的另外觀點，提供從垂直堆疊的複數個基板 收容盤的各盤中移除基板的方法。本方法包括步驟⑷隔離 複數個各收容一基板的基板收容盤中的最低基板收容盤及 複數個各收容一基板的基板收容盤中的第二最低基板收容 盤’及降下該最低基板收容盤；及（b)插人複數個支樓桿至 下降基板收容盤中的複數個開口，因而升起由複數個支撐 桿降下的基板收容盤收容的基板。 在本發明的-具时施财，本方法進—步包括步驟⑷ 移送由複數個支樓桿升起的基板。重複步驟（a)至（C)。 根據本發明的另外觀點，提供從垂直堆疊的複數個基板 收谷盤的各盤令移除基板的方法。本方法包括步驟（a)放置 複數個各盤收容一基板的基板收容盤於升降台上；（b)利用
O:\89\89703 DOC -10- 1228483 持盤單元握持至少複數個各收容一基板的基板收容盤的最 低基板收容盤以外的複數個各收容一基板的基板收容盤之 一’及⑷降τ升降台及插人複數個支#桿至升降台上放置 的基板收容盤内的複數個開口，因而升起由複數個支撐桿 升起放置在升降台上的基板收容盤收容的基板；⑷移送由 複數個支撐桿升起的基板。 在本發明的一具體實施例中，本方法進一步包括步驟⑷ 後的步驟⑷：升起升降台及接觸升降台上的基板收容盤， 該收容盤具有至少一基板收容盤由持盤單元握持中的最低 基板收容盤；⑴釋放至少—由持盤單元握持的基板收容盤 及放置該釋放基板收容盤於升降台上；及步驟⑴後的步驟 (g) ··再一次執行步驟（…至^)。 在本發明的一具體實施例中，重複步驟卜）至化）。 根據本發明的又另外觀點，提供從垂直堆疊的複數個基 板收容盤的各盤中收容基板的方法。本方法包括步驟⑷放 置至少一未收容基板的基板收容盤於升降台上及插入複數 個支撐桿至該至少一基板收容盤的複數個開口中；水平 狀態放置-基板於複數個支撐桿上面；⑷升起升降台及收 容由至少一基板收容盤中最高基板收容盤的支撐桿支撐的 基板；及（d)握持該基板收容盤，利用持盤單元收容基板。 在本發明的—具體實施例中，本方法進—步包括步驟（d) 後的步驟（e):降下升降台及插入複數個支撐桿至至少一未 收容基板的基板收容盤的複數個開口中。重複步驟至 ⑷。
O:\89\89703.DOC -11 - 1228483 因此，本文說明本發明具有的優點為提供一種基板移送 裝置，其用於從複數個垂直堆疊的基板收容盤之每一個中 移除一基板（例如顯示器或類似裝置用的玻璃基板）及高效 率收容該基板於垂直堆疊的複數個基板收容盤内；一種使 用該基板移送裝置移除該基板的方法及使用該基板移送裝 置收谷该基板的方法。 熟悉本技術者參考附圖及詳細說明，將可明白本發明的 這些及其他優點。 【實施方式】 以下，本發明將藉由舉例方式並參考附圖而作說明。 圖1為本發明使用的基板收容盤丨〇的平面圖。圖2基板收 容盤10的透視圖，及圖3為基板收容盤10沿圖i切線A-A的部 份斷面圖。基板收容盤10用於收容用於（例如，液晶顯示板） 的玻璃基板；較具體地係，用於運輸或儲存具有邊長丨.3 m 或更大及厚度0.7 mm或更小的玻璃基板。根據本發明的基 板移运裝置30(圖5)用於（例如）從基板收容盤1〇中移除該玻 璃基板20。 基板收容盤10模製成矩型平行薄管。基板收容盤1〇包括 一矩型底部段11用於固定作為實質上水平式顯示基板的玻 璃基板20，及一用於圍繞整個玻璃基板2〇之周邊固定於底 部段11的框12。框12沿底部段丨丨的整個周邊圍繞，並突出 達一高度高於底部段11的頂部表面。底部段u及框12為由 聚乙烯泡棉樹脂、或其他合成樹脂泡棉材料一體模造而 成。框12沿底部段11的周邊圍繞致使框丨2圍繞至少部份的
O:\89\89703.DOC -12 - 1228483 玻璃基板20。 底部段11為矩型並稍大於玻璃基板20，及具有厚度例如 約15 mm。玻璃基板20固定在底部段u的頂部表面。 底部段11的角落附近及底部段丨丨四邊角落的中點形成方 型開口 11 a。底部段π的中心也形成一方型開口 1丨a。因而 底部段11具有成3x3矩陣配置的9個開口 ila。支撐桿34(圖 5)作為支撐部件插入開口 lla。支撐桿34從底部段丨丨升起玻 璃基板20以便從基板收容盤1〇中移除玻璃基板2〇。 - 框12沿底部段丨丨的整個周邊圍繞如上述，並具有寬度約 _ 為30 mm。框12突出達一高度高於底部段u的頂部表面約$ mm或更大。框12圍繞玻璃基板2〇的整個周邊固定在底部段 11上面離玻璃基板20邊緣一適當的距離。 框12的整個周邊具有一接合段13。較具體地係，接合段 13的底部段表面與框12的底部段表面之間相差一階層及接 合段突出高於框12的頂部表面。接合段13具有寬度為例如 約30麵及從框12水平向外突出。接合段㈣有矩型斷面， 及能用夹钉接合（圖！未顯示）。夹钉作為移送部件用來料鬱 基板收容盤10至規定位置。底部段u、框12及接合段⑽ 用聚乙烯樹脂泡棉或其類似物一體模製而成。 _ 接合段13的頂部表面水平向外延伸及高於框12的頂部表 面。框12具有一定位階14(定位部，圖3)，位於接合段13的 頂部表面及框12的頂部表面之間。定位㈣垂直框η的頂 4表面《位階14圍繞框12的整個周邊及用來決定基板收 合盤10及堆豐-起的另外基板收容盤W之間的位置關係。
O:\89\89703 DOC -13 - 1228483 在具有上述結構的基板收容盤10中，玻璃基板20(例如， 2於液晶顯示板的玻璃基板具有厚度0·7 mm或更少）被收 谷在底邛奴11的頂部表面。玻璃基板2〇的表面沒有電極或 其他元件接觸底部段n的頂部表面。如上述，底部段Η稍 大於玻璃基板20及玻璃基板2〇固定在底板UJi面離框⑴勺 邊緣一適當距離。 、0 4所示，各收谷一玻璃基板的複數個基板收容盤 !〇(為了簡化，圖4只顯示兩個收容盤）可垂直堆疊並輸送。 上方的基板收容盤（為了簡化以參考號碼1〇a表示）的框12的 底部段邊緣接合下方的基板收容盤（為了簡化以參考號碼 i〇b表示）的定位階14。所以，基板收容盤l〇a及i〇b垂直堆 疊水平方向且不會相互滑動。 例如’複數個（例如約10個）各收容一玻璃基板2〇的基板收 容盤10可以垂直堆疊並輸送。各顯示基板收容盤1〇的厚度 較薄’因而大幅改善空間效率。結果，可以高效率輸送及 儲存大量的玻璃基板20。 最上方的基板收容盤1〇的框12的底部表面接合其下面的 基板收容盤10的定位階14。所以，最上面基板收容盤1〇的 接合段13及下面的基板收容盤1〇的接合段13之間有一適當 的空間。 根據本發明的基板移送裝置30(圖5)用於移除具有上述結 構的基板收容盤10内收容的玻璃基板2〇。圖5為根據本發明 之一範例的基板移送裝置30的前視圖。圖6為其側視圖，及 圖7為其平面圖。 O:\89\89703.DOC -14- 1228483 基板移送裝置30包括一支撐底座3i、一位於支撐底座31 上面用於握持垂直堆疊的複數個基板收容盤1 0之持盤單元 32，一位於支撐底座31内用來上下移動致使由持盤單元μ 釋放的一或複數個基板收容盤丨〇可以放在升降台上並上下 移動之升降台33，及複數個垂直位於支撑底座μ内以通過 一或複數個放置在升降台3 3上的基板收容盤丨〇的開口 u a 之支擇桿3 4。 持盤單元32接收複數個垂直堆疊的基板收容盤丨〇。持盤 單元32包括一對彼此相對的盤邊握持段32a。盤邊握持段 32a用於握持基板收容盤1〇的對邊。 各盤邊握持段32a包括一長板型支架32b(圖6)平行基板收 容盤10的各邊，及3個盤邊接合部件32C等距位於支架321^上 面。支架32b沿一對位於支撐底座31上面的滑軌32d滑動致 使支杀32b罪近或运離持盤單元32接收的基板收容盤1〇移 動。支架32b的移動由支撐底座3丨頂部表面各盤邊接合部件 32c的液壓筒32e驅動。 该二盤邊接合部件32c位於一支架32b上面及該三盤邊接 合部件32c位於相對的另一支架32b上面。各盤邊接合部件 32c相對另一盤邊接合部件32c的表面上有複數個接合爪 32f。複數個接合爪32f係垂直配置，及各接合垂直堆疊的複 數個基板收容盤1 〇的接合段1 3。 一持盤段32a的液壓筒32e與其他持盤段32a的液壓筒32e 同步驅動。因而，該對支架32b同步移動靠近或遠離基板收 容盤10。位於在該對支架32b上的盤邊接合部件32c也相互 O:\89\89703.DOC -15 - 1228483 同步移動靠近或遠離基板收容盤丨〇。如果盤邊接合部件32c 接近基板收容盤10，則盤邊接合部件32c上的接合爪32f接 合基板收容盤1 0的接合段丨3。利用這樣接合達成水平握持 基板收容盤10。只要持盤段32a能靠摩擦力握住基板收容盤 1〇 ’持盤段32a可以為任何形狀（例如，三明治式基板收容 盤10夾在一對持盤段32a之間）。 升降台33包括水平台面33a(圖7)致使基板收容盤1〇可放 在上面。台面33a包括，例如，一矩型框33b相當於基板收 谷盤10的形狀，及一對樑33c及一對樑33d配置成晶袼。該 對樑33c伸長實質上平行於支架32b及該對樑33d實質上垂 直交叉該對樑33c。樑33(1由支撐臂33e在兩端支撐。支撐臂 33e連接升降單元35。 支樓底座31内部配置複數個（本例為9支）支撐桿34形成 3x3矩陣，相對基板收容盤1〇的開口 。各支撐桿μ垂直 配置以穿過晶格台面33a。如圖5所示，各 稍低於由持盤單元32握持的芒你 、的取低基板收容盤10的底部表 面 〇 升降單元35(圖6)具有升降台33 3上升或下降。升降單3 5使用料段3则7)用於整體上升或下降升降⑼的名 數個支撐臂33e。升降段33f包括 升p备留-Κ π杯機構。較特別地係 升降早7L35使用升降段33_ & 、卜 粗上升或下降井卩备 的後數個支撐臂33e。球螺桿 拿升降。3 ^ 機構為一般形式，即是包括- 球螺桿及嚙合該球螺桿之一滑動合 匕 時，升降a U μ §球螺桿正向旋奉 了开降台33上升，及當球蟫 累才干反向旋轉時，升降台331
D〇C 〇:\_97〇3. -16 1228483 降。升降單元35包括驅動馬達35a及減速器35b。驅動馬達 3 5a的旋轉經減速器3 5b而傳動球螺桿機構。 參考圖8至17，說明基板移送裝置30從各基板收容盤1〇 移除基板2 0的操作。 基板移送裝置30的升降台33藉由升降單元35向上移動。 因此’如圖8所示，升降台33的台面33a定位於一對盤邊握 持段32a的下部之間。支架32b位於此點因而不能接觸基板 收谷盤10，即使基板收容盤1 〇位於其間。該對支架32b上面 的盤邊接合部件32c也位於此點因而不能接觸基板收容盤 1〇 ’即使基板收容盤10位於其間。 然後，放置各收容一玻璃基板2〇的複數個垂直堆疊的基 板收容盤10於升降台面33a之上。如此，複數個基板收容盤 10放置在位於一支架32b上的3盤邊接合部件32(：位於另外 支架32b上面的3盤邊接合部件32c之間。 如圖9所示，調整升降台33的高度致使基板收容盤1〇接合 位於盤邊接合部件32c的接合爪32f，最低的基板收容盤1 〇 除外。換言之，最低的基板收容盤丨〇不接合接合爪3 2f。當 升降台33的高度如此調整時，位於支撐底座31上表面的液 壓筒32e同步驅動，致使一支架32b上面的3盤邊接合部件 32c及在另外一支架32b上面的3盤邊接合部件3及朝向基板 收容盤10移動。 如此，如圖1 0所示，基板收容盤i 〇經接合段丨3與接合爪 32f接合，最低的基板收容盤1〇除外。除了最低的基板收容 盤1〇之外，基板收容盤10由持盤單元32握持。最低的基板 O:\89\89703.DOC -17- 1228483 收容盤10保留在台面33a上面不被持盤單元32握持。 然後，升降台33由升降單元35向下移動。台面33a上面的 取低的基板收容盤1 〇也向下移動（即是，支撐桿34相對最低 的基板收容盤10向上移動）。雖然升降台33向下移動，支撐 底座31内的支撐桿34穿過晶格台面33a及插入最低的基板 收容盤10的底部段1丨的開口丨丨a。 如果升降台33進一步向下移動，如圖u所示，各支撐桿 34的頂端接觸最低的基板收容盤1〇收容的玻璃基板汕的底 部表面。然後，玻璃基板20相對最低的基板收容盤1〇上升 同時由支撐桿34支撐。即是，各支標桿34的頂端高於最低 的基板收容盤10(支撐桿34相對基板收容盤1〇上升）。如果完 全上升高於最低的基板收容盤1〇，則玻璃基板2〇在規定水 平高度被握持但仍由支撐桿34支撐。 當玻璃基板20達到這種狀態時，升降台33便停止。然後， 玻璃基板20被支撐桿34釋放及由移送部件移送至規定位 置。 作為移送部件，例如，使用日本特公開第2〇〇1_93969揭 示的吸附手。吸附手包括—對同樣高度相互平行吸附觸 點。各吸附觸點為平板型及具有厚度約為2〇mm。吸附觸點 可用真空吸附玻璃基板20的底部表面。吸附手的操作如 下。玻璃基板20由支撐桿34升起並保持水平狀態，各吸附 觸點插入玻璃基板20下面的—位置及向上移動。當玻璃基 板20放在吸附手上時，則被吸附手真空吸附。然後，移送 玻璃基板20至規定之位置。 O:\89\89703.DOC -18- 1228483 如果玻璃基板20如上述被移除，升降單元35向上移動升 降台33。如此，已移除之玻璃基板20的最低基板收容盤1〇 與升降台33—起向上移動。如圖12所示，最低基板收容盤 10接觸第二最低基板收容盤1〇(即是，由持盤單元32握持的 複數個基板收容盤1 〇中的最低基板收容盤丨0)。然後，升降 台33停止向上移動。 如圖13所示，支架32b由液壓筒33e驅動以移離基板收容 盤10。如此，基板收容盤1〇從盤邊接合部件3 2c釋放及停留 在升降台33的台面33a上的基板收容盤1〇上面。最低基板收 容盤10不收容玻璃基板20。 如圖14所示，升降台33向下移動一相當於一基板收容盤 1 〇的距離。調整升降台3 3的高度致使基板收容盤1 〇與接合 爪32f接合，除了無玻璃基板2〇的最低基板收容盤1〇及第二 最低基板收容盤1 0之外（即是，各收容一玻璃基板2〇的複數 個基板收容盤10中的最低基板收容盤1〇)。當升降台33的高 度如此調整時，液壓筒32e同步驅動，致使一支架32b上的3 盤邊接合部件32c及另一支架32b上的3盤邊接合部件32c朝 向基板收容盤10移動。 如此，如圖15所示’基板收容盤10與接合爪32f接合，除 了無玻璃基板20的最低基板收容盤1 〇及第二最低基板收容 盤10之外（即是，各收容一玻璃基板2〇的複數個基板收容盤 中的最低基板收容盤1〇)。除了最低及第二最低基板收容 盤10之外，基板收容盤10由持盤單元32握持。最低及第二 最低基板收容盤10保留在台面33a上面不被持盤單元32握
O:\89\89703.DOC -19- 1228483 持。 然後’升降單元3 5向下移動升降台3 3。台面3 3 a上的最低 及弟一最低基板收谷盤1 〇也向下移動。雖然升降台3 3向下 移動’支撐底座3 1内的支撐桿34穿過晶格台面33a及依序插 入最低及第二最低基板收容盤1 〇的開口丨丨a。 如果升降台33進一步向下移動，如圖16所示，各支樓桿 3 4的頂端接觸收容在第二最低基板收容盤1 〇内的玻璃基板 20的底部表面。然後，玻璃基板2〇相對第二最低基板收容 盤10上升並由支撐桿34支撐。如果玻璃基板2〇完全上升高 於第二最低基板收容盤1 〇，則玻璃基板2〇在規定高度保持 水平並仍由支撐桿34支撐。 如果玻璃基板20達到這種狀態，升降台33便停止。然後， 玻璃基板20從支撐桿34釋放及由移送部件（例如，吸附手） 移送至規定位置。 如果玻璃基板20如上述移動，已經移除玻璃基板2〇的最 低及第二最低基板收容盤1〇保留在升降台33的台面338的 上面。 重複上述操作，複數個基板收容盤1 〇中由持盤單元3 2握 持的最低基板收容盤10依序放在台面33&上面的基板收容 盤10的上面。由於升降台33向下移動，放在台面33a上的基 板收谷盤1 0收容的玻璃基板20自基板收容盤1 〇中被移除並 由支撑桿3 4水平支撐。然後移送移除的玻璃基板2 〇。 結果，如圖1 7所示，複數個沒有玻璃基板2〇的基板收容 盤10保留在台面33a上面。從台面33a移送此等垂直堆疊的 O:\89\89703.DOC -20- 1228483 基板收容盤1 〇。 如上述’根據本發明的基板移送裝置3〇能以高效率從垂 直堆疊的基板收容盤10移除玻璃基板2〇。因為基板收容盤 10上下移動以移除其中的玻璃基板，基板移送裝置3〇的平 面尺寸較小及基板移送裝置30的結構較簡單。 基板移送裝置30也用來將玻璃基板2〇放入複數個垂直堆 疊的基板收容盤10的各盤内。 I考圖18至25，說明用來於收容一玻璃基板2〇至複數個 基板收容盤之各盤内的基板移送裝置3〇的操作。原則上， 基板移送裝置30的操作與上述方法相反。 如圖18所示，不含玻璃基板2〇的複數個垂直堆疊的基板 收容盤10放在台面33a上面。然後，升降台33向下移動。或 者’不含玻璃基板20的複數個基板收容盤1〇在升降台33向 下移動後放在台面33a上面。 在這種狀態下，支撐桿34插入複數個基板收容盤丨〇，及 各支撐桿34的頂端高於最高基板收容盤1〇。 然後，如圖1 8所示，玻璃基板20由移送部件（例如，吸附 手）移送及水平放在支撐桿的34頂端。升降台33向上移動， 如圖1 9所示’玻璃基板2 〇收容於台面3 3 a上複數個基板收容 盤1〇中的最高基板收容盤10内。升降台33繼續向上移動至 最南基板收容盤10接合持盤單元32的接合爪32f收容玻璃 基板2 0的位置。 在此位置，升降台33停止向上移動。如圖20所示，最高 基板收谷盤1 〇接合最低接合爪3 2 f。如此，最高基板收容盤 O:\89\89703.DOC -21 - 1228483 10由持盤單元32握持。 然後，升降台33向下移動。如此，台面33a上面的複數個 基板收容盤10也向下移動，除了由持盤單元32握持的的最 高基板收容盤10之外。支撐底座31内的支撐桿34插入放在 台面33 a上面的基板收容盤10。 如圖21所示，一玻璃基板2〇由移送部件移送且水平放置 在支撐桿34的頂端上。升降台33向上移動，如圖U所示， 玻璃基板20收容於第二最高基板收容盤1〇(即是，台面33& 上複數個基板收容盤10中的最高基板收容盤1〇)。升降台33 繼續向上移動直到第二最高基板收容盤1〇接觸由持盤單元 32握持的最高基板收容盤1〇的底部表面。在此位置，升降 台33停止向上移動。 如圖23所不’最高基板收容盤1〇從持盤單元32的盤邊接 合部件32c的接合釋放，及放在台面33a上保留的其餘基板 收容盤10的上面。如圖24所示，升降台33向上移動一相當 於一基板收容盤1〇的距離。調整升降台33的高度致使最高 及第二最高基板收容盤10與接合爪32f接合。 s如此调整升降台33的高度如圖25所示時，最高及第二 最高基板收容盤1〇接合持盤單元32的兩最低接合爪32?。 然後’升降台33向下移動，及台面33a上面的基板收容盤 10也向下移動’除了各收容一玻璃基板2〇的最高及第二最 冋基板收谷盤1〇之外。支撐桿34插入台面33a上面的基板收 容盤10。 重複上述的操作，依序將一玻璃基板20放在台面33a上面
O:\89\89703.DOC -22- 1228483 的複數個基板收容盤1 〇中的最高基板收容盤丨0内。基板移 送裝置30内各收容一玻璃基板2〇的複數個基板收容盤10放 在台面33a上面並垂直堆疊，然後整體移送。 如上述’根據本發明的基板移送裝置3〇能以高效率將玻 璃基板20放在垂直堆疊的基板收容盤1〇内。因為收容玻璃 基板20時基板收容盤1〇為垂直堆疊，收容玻璃基板2〇的工 作效率有重大改善。 上述例子的基板收容盤1〇係用於收容液晶顯示板的玻璃 基板20。利用根據本發明的基板移送裝置搬運基板收容盤 亚不限於該種基板，可以為其他型式顯示板用的玻璃基 板。利用根據本發明的基板移送裝置搬運基板並不限於玻 璃基板及可以為合成基板或其他基板。 在上述例子中，用於升降該升降台33的升降單元35使用 球螺桿機構。升降段33f包括皮帶機構，其包括—對垂直的 滑輪及延伸圍繞該等滑輪之皮帶以取代球螺桿機構。如 此，升降台33利用皮帶輸送機構上下移動。 基板移送裝置30不需要包括升降台33或升降單元乃。備 有複數個相對持盤單元32下面的基板收容盤1〇的開口山 的支撐#34便已足夠。在該種結構中，玻璃基板從基板 收容盤1〇移除的操作如下。在持盤單元32握持的複數個基 il〇中/、有最低基板收容盤1〇從持盤單元32釋 :。最低基板收容盤10藉由本身重量向下移動。在下降的 取低基板收谷盤職容的玻璃基板2q使用支撐桿^移除。 如此進一步簡化基板移送裝置的結構。
O:\89V89703.DOC -23- 1228483 如此’基板收容盤1 0的移動速度減低，致使移除玻璃基 板20確實沒有破裂的危險。 支撐桿34並不需要具有充分長度插入複數個基板收容盤 1〇 °支撑桿34具有充分長度只需插入一個基板收容盤1〇。 如此’每次從一個基板收容盤丨〇移除玻璃基板2〇，便要移 送該基板收容盤1 〇。如此進一步減少基板移送裝置的尺寸。 如果支撐桿34的長度足以插入複數個基板收容盤丨〇，則 基板移送裝置30利用適當的方法接收一個基板收容盤1〇而 不需要使用升降台33或持盤單元32。接收的基板收容盤10 向下移動致使支撐桿34穿過基板收容盤1〇的開口 lla。如 此’收谷在基板收容盤1〇内的玻璃基板2〇由支撐桿34支撑 及移除。重複本操作，當一玻璃基板20從各基板收容盤10 移除時，該基板收容盤1 〇便垂直堆疊。 如上述，根據本發明的基板移送裝置及移除基板的方法 能高效率地從垂直堆疊的複數個基板收容盤的各盤移除基 板。因為已移除基板的基板收容盤係垂直堆疊，移送基板 收谷盤的後績工作便可高效率執行。同樣，根據本發明的 一種收容一基板的方法能高效率放置基板於垂直堆疊的複 數個基板收容盤的各盤内。 根據本發明的基板移送裝置具有小面積，為小型及經濟 的裝置。 熟悉本技術者必會明白本發明能作各種其他修改而不會 背離本發明的範.及精神。因此’附件申請專利範圍並不 受上述說明所限制並對其範圍作廣泛的解釋。
O:\89\89703 DOC -24- 1228483 【圖式簡單說明】 圖1為本發明使用的一範例性基板收容盤的平面圖； 圖2為圖1所示基板收容盤的立體圖； 圖3為圖1所示基板收容盤的部份斷面圖； 圖4為垂直堆疊在一起的複數個基板收容盤的部份斷面 圖’圖3所示為各個收容盤； 圖5為根據本發明之基板移送裝置的前視圖； 圖6為圖5所示基板移送裝置的側視圖； 圖7所示為圖5所示基板移送裝置的平面圖； 圖8至17為圖5所示基板移送裝置之操作示意圖，其用於 從圖1所示基板收容盤中移除一基板；及 ； 圖18至25為圖5所示基板移送裝置之操作示意圖， 放置基板於圖1所示基板收容盤内。 ^ ； 【圖式代表符號說明】 10 基板收容盤 10a 上方基板收容盤 10b 下方基板收容盤 11 底部段 11a 開口 12 框 13 接合段 14 定位階 20 玻璃基板 30 基板移送裝置
O:\89\89703 DOC 1228483 31 支撐底座 32 持盤單元 32a 盤邊握持段 32b 長板型支架 32c 盤邊接合部件 32d 滑執 32e 液壓筒 32f 接合爪 33 升降台 33a 台面 33b 矩型框 33c 、 33d 樑 33e 支撐臂 33f 升降段 34 支撐桿 35 升降單元 35a 驅動馬達 35b 減速器 A-A 切線 O:\89\89703.DOC -26

Claims (1)

1228483 拾、申請專利範圍： 1 · 一種基板移送裝置，用μ — . 用於在_水平狀態下自收容一基板 的一基板收容盤中移险$I& 1 β 才夕除a亥基板，該基板移送裝置包括： 複數個支撐桿，：M：用^^收 /、用於將收谷在基板收容盤中的基板 升起至該基板收容盤之上方，· 其中： 該基板收容盤包括複數個開口，以插入該等複數個支 撐桿； 該等複數個支撐桿相對於該基板收容盤向上移動，並 插入。亥基板收谷盤的該等複數個開口以升起基板，· 該等複數個支樓桿各具有一充分長度以垂直插入通過 垂直堆疊的複數個基板收容盤。 2·如申請專利範圍第1項之基板移送裝置，進一步包括一用 於上升及下降垓基板收容盤之升降台，其間該基板收容 盤放置在該升降台上； 其中如果升降台向下移動，複數個支撐桿插入升降台 上重直堆豐的複數個基板收容盤的複數個開口。 3·如申請專利範圍第2項之基板移送裝置，其中該升降台利 用球螺桿機構向上及向下移動。 4. 如申請專利範圍第2項之基板移送裝置，其中該升降台利 用皮帶輸送機構向上及向下移動。 5. 一種基板移送裝置，用於在一水平狀態下自收容一基板 的一基板收容盤中移除該基板，該基板移送裝置包括： 一持盤單元，其用於在一水平狀態下握持垂直堆疊的 O:\89\89703.DOC 1228483 複數個基板收容盤之至少一者；及 複數個支撐桿，其用於將一個從持盤單元釋放的規定 基板收容盤内&容的基板升起至該規定基板&容盤之上 方； 其中： 複數個基板收谷盤各包括複數個開口以插入複數個支 撐桿； 複數個支撐桿相對於該規定基板收容盤向上移動及插 入該規定基板收容盤的複數個開口以升起在該規定基板 收容盤中收容的基板。 6·如申請專利範圍第5項之基板移送裝置，其中複數個支撐 桿插入從持盤單元釋放的複數個基板收容盤的複數個開 口，以升起在該規定基板收容盤中收容的基板。 7·如申請專利範圍第5項之基板移送裝置，進一步包括一用 於上升及下降從持盤單元釋放的至少一基板收容盤之升 降台，其間該至少一基板收容盤放置在該升降台上； 其中’如果垂直堆疊的複數個基板收容盤放在升降台 上’當升降台向下移動時，複數個支撐桿插入升降台上 放置的複數個基板收容盤的複數個開口，以升起在該規 定基板收容盤内收容的基板。 8. 如申請專利範圍第5項之基板移送裝置，其中該持盤單元 在水平狀態下握持該等複數個基板收容盤的各盤。 9. 如申請專利範圍第5項之基板移送裝置，其中該持盤單元 在水平狀態下握持至少該等複數個基板收容盤之一，該 O:\89\89703.DOC 1228483 至少一基板收容盤收容一基板 ，其中該持盤單元 盤。 ， 其中該持盤單元 其中該升降台利 其中該升降台利 ⑺·如’請專利範圍第5項之基板移送裝置 匕括接合爪以接合該至少_基板收容 U·如申請專利範圍第5項之基板移送裝置， 利用摩擦域持至少—録板收容盤。 12·如申請專利範圍第7項之基板移送裝置， 用球螺桿機構向上及向下移動。 13·如申請專利範圍第7項之基板移送裝置， 用皮帶輸送機構向上及向下移動。 Η· -種用於移除收容在複數個垂直堆疊的基板收容盤之各 in_中的基板之方法，該方法包括以下步驟·· (a)將複數個各收容一基板的基板收容盤中的最低基板 收容盤與複數個各收容一基板的基板收容盤中的第二最 低基板收容盤分離，並降下該最低基板收容盤；及 (b)插入複數個支撐桿至下降的基板收容盤的複數個開 口，藉而升起因複數個支撐桿而向下移動的下降基板收 容盤收容的基板。 15·如申請專利範圍第14項之方法，進一步包括步驟（c)移送 由複數個支撐桿升起的基板； 其中重複步驟（a)至（c)。 1 6 · —種用於移除收容在垂直堆疊的複數個基板收容盤的各 盤中的基板之方法，該方法包括以下步驟： (a)放置各收容一基板的複數個基板收容盤於升降台上 面； O:\89\89703.DOC 1228483 (b) 利用持盤單元握持複數個各收容一基板的基板收容 盤的最低基板收容盤以外的複數個各收容一基板的基板 收容盤之至少一者； (c) 降下升降台及插入複數個支撐桿至升降台上放置的 基板收容盤内形成的複數個開口，藉而升起由複數個支 撐桿放置在升降台上的基板收容盤收容的基板；及 (d) 移送由複數個支撐桿升起的基板。 7 ·如申明專利範圍第16項之方法，進一步包括以下步驟： (e) 步驟（d)後，升起升降台及使升降台上放置的基板收 谷盤接觸由持盤單元握持的至少一基板收容盤中的最低 基板收容盤； (f) 從持盤單元釋放該至少一基板收容盤並放置該釋放 的基板收容盤於升降台上面；及 (g) 步驟（f)後，再一次執行步驟（b)至（d)。 18.如申睛專利範圍第17項之方法，其中重複步驟（e)至（g)。 1 9. 一種用於收容一基板至複數個垂直堆疊基板收容盤的各 盤之方法’該方法包括步驟： (a) 放置至少一未收容基板的基板收容盤於升降台上及 插入複數個支撐桿至該等至少一基板收容盤形成的複數 個開口； (b) 在水平狀態下放置一基板於複數個支樓桿上面； (c) 升起升降台及收容由至少一基板收容盤中最高基板 收容盤内支撐桿所支撐的基板；及 (d) 握持該基板收容盤，利用持盤單元收容基板。 O:\89\89703 DOC 1228483 20.如申請專利範圍第19項之方法，進一步包括以下步驟： (e)步驟（d)後，降下升降台及插入複數個支撐桿於至少 一未收容基板的基板收容盤形成的複數個開口， 其中重複步驟（b)至（e)。 O:\89\89703.DOC
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