CN210256136U - 陶瓷盘清洗机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件移动的机械手组件，所述机械手组件包括升降动力件、升降导轨、移动托架及托块，所述移动托架设置在升降导轨上，所述升降动力件与移动托架连接，升降动力件可驱动移动托架沿升降导轨上下移动，所述托块为一对，两托块固定在移动托架底端，两托块之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道。该陶瓷盘清洗机械手能够自动垂直抓取或存放陶瓷盘，其结构简单、定位准确、抓取牢固，从而能够实现陶瓷盘的垂直清洗，保证陶瓷盘的表面质量。

Description

陶瓷盘清洗机械手

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘清洗机械手。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片在贴片前需要对陶瓷盘进行清洗，现有技术中一般都是采用超声波清洗。清洗时，陶瓷盘水平进入清洗装置内进行清洗，然而由于陶瓷盘尺寸较大，水平清洗需要占用较大的空间，因此，现有的陶瓷盘清洗机械手在抓取和存放陶瓷盘时，需要进行精确定位，结构较为复杂，占用空间也较大。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种结构简单、抓取准确牢固、便于清洗的陶瓷盘清洗机械手。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件移动的机械手组件，所述机械手组件包括升降动力件、升降导轨、移动托架及托块，所述移动托架设置在升降导轨上，所述升降动力件与移动托架连接，升降动力件可驱动移动托架沿升降导轨上下移动，所述托块为一对，两托块固定在移动托架底端，两托块之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道。

为了能使托块自动对陶瓷盘定位，而不需要借助其他定位装置，并避免陶瓷盘在移动过程中发生晃动，所述托块的两相对面上分别开设有可使陶瓷盘边缘嵌入的弧形槽，两弧形槽之间的距离小于陶瓷盘的直径。

作为优选，所述移动托架包括滑块、横梁及纵梁，所述滑块设置在升降导轨上，所述横梁固定在滑块上，所述纵梁为一对，吊装在横梁上，两纵梁底端分别固定有托块。

为了感应托块上是否有感应器，所述滑块一侧固定有侧档杆，所述侧挡杆底部固定有感应器。

本实用新型的有益效果是：该陶瓷盘清洗机械手能够自动垂直抓取或存放陶瓷盘，其结构简单、定位准确、抓取牢固，从而能够实现陶瓷盘的垂直清洗，保证陶瓷盘的表面质量。

附图说明

图1为本实用新型的陶瓷盘清洗机械手的立体结构示意图；

图2为本实用新型的移动托架的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示的一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件水平移动的机械手组件。

所述导轨组件包括水平导轨2及水平动力件7，水平动力件7可驱动机械手组件沿水平导轨2左右移动。

所述机械手组件包括升降动力件6、升降导轨3、移动托架5及托块4，所述移动托架5设置在升降导轨3上，所述升降动力件6与移动托架5连接，升降动力件6可驱动移动托架5沿升降导轨3上下移动，所述托块4为一对，两托块4固定在移动托架5底端，两托块4之间形成用于垂直托起陶瓷盘1边缘并避免其掉落的通道。

如图2所示的移动托架，包括滑块51、横梁52及纵梁53，所述滑块51设置在升降导轨上，所述横梁52固定在滑块51上，所述纵梁53为一对，垂直吊装在横梁52上，两纵梁53底端分别固定有托块4。所述托块4的两相对面上分别开设有可使陶瓷盘边缘嵌入的弧形槽41，两弧形槽41之间的距离小于陶瓷盘的直径，陶瓷盘两端可插入弧形槽41内，到达一定深度后，不会再往下掉落。所述滑块51一侧固定有侧档杆8，所述侧挡杆8底部固定有感应器81。

加工时，机械手组件沿着水平导轨2移动至对应位置，升降动力件6带动移动托架5沿升降导轨3下降，直至降至与水平面相垂直的陶瓷盘1下方，水平动力件7驱动机械手组件前移使陶瓷盘1位于两弧形槽41正上方，此时升降动力件6驱动移动托架5上升，则陶瓷盘1逐渐插入托块4内实现定位，即可带动陶瓷盘移动至对应位置；当需要放下陶瓷盘1时，移动托架5下降至指定位置，陶瓷盘1插入对应的定位块内，此时移动托架5继续下降，则陶瓷盘1完全从托块4内脱出，此时，移动托架5后移即可逐渐上升，完成一次抓取和存放。

需要说明的是，本实用新型的动力件等可以是气缸、电缸、电机、油缸等相关动力元件的替换，也可采用相应的连杆机构实现动力输出，并不局限于其名称或结构。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件移动的机械手组件，其特征在于：所述机械手组件包括升降动力件、升降导轨、移动托架及托块，所述移动托架设置在升降导轨上，所述升降动力件与移动托架连接，升降动力件可驱动移动托架沿升降导轨上下移动，所述托块为一对，两托块固定在移动托架底端，两托块之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道。

2.根据权利要求1所述的陶瓷盘清洗机械手，其特征在于：所述托块的两相对面上分别开设有可使陶瓷盘边缘嵌入的弧形槽，两弧形槽之间的距离小于陶瓷盘的直径。

3.根据权利要求1所述的陶瓷盘清洗机械手，其特征在于：所述移动托架包括滑块、横梁及纵梁，所述滑块设置在升降导轨上，所述横梁固定在滑块上，所述纵梁为一对，吊装在横梁上，两纵梁底端分别固定有托块。

4.根据权利要求3所述的陶瓷盘清洗机械手，其特征在于：所述滑块一侧固定有用于感应陶瓷盘的感应器。

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