CN210040154U - 晶圆片铲片机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆片铲片机构，包括输送平台及对应设置在输送平台上方的铲片单元，所述铲片单元包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位。该晶圆片铲片机构通过铲片单元、旋转升降单元及定位单元的相互配合，能够快速有效地将晶圆片从陶瓷盘上铲下，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片，保证了产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片铲片机构。
背景技术
中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。
现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴在陶瓷盘上经加工后需要进行铲片(下片)处理。现有一般都是采用手动铲片，手动铲片效率较差，而且很容易损坏表面要求较高的晶圆片，从而影响成品率。
实用新型内容
为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种自动化程度高、加工效率高、铲片效果好的晶圆片铲片机构。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种晶圆片铲片机构，包括输送平台及对应设置在输送平台上方的铲片单元，所述铲片单元包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位。
为了进一步方便铲片并使铲下的晶圆片能够自动流入下一工位，所述输送平台上设置有用于使陶瓷盘旋转并倾斜的旋转升降单元，所述旋转升降单元包括顶升气缸、驱动电机、升降板及转盘，所述顶升气缸与升降板连接，所述转盘、驱动电机设置在升降板上，驱动电机与转盘连接，顶升气缸可通过升降板驱动转盘一端上升从而带动陶瓷盘倾斜，驱动电机可驱动转盘旋转。
为了避免铲片时陶瓷盘发生移动或晃动，所述输送平台上还设置有定位单元，所述定位单元为若干个，对应设置在转盘四周，包括升降气缸及定位轮，所述升降气缸可驱动定位轮升降。
为了便于逐一将陶瓷盘上的晶圆片铲下，所述铲片单元一侧设置有感应器。
本实用新型的有益效果是：该晶圆片铲片机构通过铲片单元、旋转升降单元及定位单元的相互配合，能够快速有效地将晶圆片从陶瓷盘上铲下，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片，保证了产品质量。
附图说明
图1为本实用新型的晶圆片铲片机构的立体结构示意图；
图2为本实用新型的旋转升降单元的结构示意图；
图3为本实用新型的定位单元的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
如图1所示的一种晶圆片铲片机构，包括输送平台及对应设置在输送平台上方的铲片单元。输送平台包括电机1及输送辊2，上道工位的陶瓷盘9和晶圆片10经输送辊2进入铲片单元下方。所述铲片单元包括铲片支架3、铲片动力件4、滑块5及铲板7，所述铲片动力件4固定在铲片支架3上，铲片动力件4通过滑块5与铲板7连接并可驱动其移动，所述铲板7与水平面相倾斜，其底端为斜坡面，铲板7一端与滑块5底端铰接，铲板7中部与滑块5之间通过弹簧6弹性连接，铲板7受到压力时可绕滑块5旋转，不受压力时通过弹簧6复位；所述铲片单元一侧设置有感应器8。
所述输送平台上设置有用于使陶瓷盘旋转并倾斜的旋转升降单元，如图2所示，所述旋转升降单元包括顶升气缸11、驱动电机14、升降板12及转盘13，所述顶升气缸11与升降板12连接，所述转盘13、驱动电机14设置在升降板12上，驱动电机14与转盘13连接，顶升气缸11可通过升降板12驱动转盘13右端上升从而带动陶瓷盘倾斜，驱动电机14可驱动转盘13旋转。
所述输送平台上还设置有定位单元，如图3所示，所述定位单元为三个，对应设置在转盘四周，包括升降气缸15及定位轮16，所述升降气缸15可驱动定位轮16升降。
加工时，陶瓷盘9和晶圆片10经输送辊2进入铲片单元下方，升降气缸15驱动定位轮16上升，将陶瓷盘9的三个点限位，感应器8感应到晶圆片的位置，顶升气缸11驱动升降板12一端上升，则陶瓷盘9发生倾斜，定位轮16起到定位支撑的作用，此时铲片动力件4驱动滑块5及铲板7向斜下方移动，则铲板7即可将对应的晶圆片10铲起，由于重力作用，晶圆片10落入对应的收集机构内，各单元复位，然后驱动电机14驱动转盘13及陶瓷盘9旋转一定的角度，进行下一次铲片操作。
需要说明的是，本实用新型中的电机、动力件、气缸等机构可以是电机、气缸、油缸、电缸等类似动力结构的替换，并不局限于权利要求及说明书所述的相关机构。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应上述的以权利要求的保护范围为准。
Claims (4)
1.一种晶圆片铲片机构，包括输送平台及对应设置在输送平台上方的铲片单元，其特征在于：所述铲片单元包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位。
2.根据权利要求1所述的晶圆片铲片机构，其特征在于：所述输送平台上设置有用于使陶瓷盘旋转并倾斜的旋转升降单元，所述旋转升降单元包括顶升气缸、驱动电机、升降板及转盘，所述顶升气缸与升降板连接，所述转盘、驱动电机设置在升降板上，驱动电机与转盘连接，顶升气缸可通过升降板驱动转盘一端上升从而带动陶瓷盘倾斜，驱动电机可驱动转盘旋转。
3.根据权利要求2所述的晶圆片铲片机构，其特征在于：所述输送平台上还设置有定位单元，所述定位单元为若干个，对应设置在转盘四周，包括升降气缸及定位轮，所述升降气缸可驱动定位轮升降。
4.根据权利要求1所述的晶圆片铲片机构，其特征在于：所述铲片单元一侧设置有感应器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921320181.0U CN210040154U (zh) | 2019-08-14 | 2019-08-14 | 晶圆片铲片机构 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN210040154U true CN210040154U (zh) | 2020-02-07 |
Family
ID=69350930
Family Applications (1)
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| CN201921320181.0U Active CN210040154U (zh) | 2019-08-14 | 2019-08-14 | 晶圆片铲片机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210040154U (zh) |
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2019
- 2019-08-14 CN CN201921320181.0U patent/CN210040154U/zh active Active
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