CN210040149U - 晶圆片铲片收纳刷洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆片铲片收纳刷洗装置，包括输送线及设置在输送线上的铲片单元、收纳单元、刷洗单元、烘干单元、清洗单元。该晶圆片铲片收纳刷洗装置通过铲片单元、收纳单元及刷洗单元的相互配合，能使晶圆片及陶瓷盘自动进入下一工位，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片及陶瓷盘的表面，保证了产品质量。

Description

晶圆片铲片收纳刷洗装置

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片铲片收纳刷洗装置。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴在陶瓷盘上经加工后需要进行铲片(下片)处理，铲片后的晶圆片经收集后进入下一工位。现有技术中铲片后的晶圆片及陶瓷盘都是通过手动送入其收集机构内存放，不仅费时费力，而且容易损伤晶圆片及陶瓷盘。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种自动化程度高、加工效率高、能够保证晶圆片及陶瓷盘的产品质量的晶圆片铲片收纳刷洗装置。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种晶圆片铲片收纳刷洗装置，包括输送线及设置在输送线上的铲片单元、收纳单元及刷洗单元；

所述铲片单元用于将陶瓷盘上的晶圆片铲下，包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位；

所述收纳单元对应设置在铲片单元一侧，用于接收铲片单元铲下的晶圆片，包括支架及设置在支架上的导向块、升降动力件、托架及收纳盒，所述导向块固定在支架顶端，导向块顶端开设有可供晶圆片通过的滑道，所述滑道与水平面相倾斜，所述托架对应设置在滑道的出口端，所述升降动力件与托架连接，所述收纳盒固定在托架上，收纳盒上开设有若干可供晶圆片插入的插槽，升降动力件可驱动托架及收纳盒上升或下降；

所述刷洗单元对应设置在铲片单元的输出端，用于对陶瓷盘表面刷洗，包括转轴、毛刷、喷淋管及喷嘴，所述转轴为多个，对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和/或下方，各转轴上分别设置有多个毛刷，所述喷淋管对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和/或下方，各喷淋管上均布有多个喷嘴。

为了便于陶瓷盘后续的抓取或存放，所述晶圆片铲片收纳刷洗装置还包括烘干单元，所述烘干单元设置在刷洗单元的输出端，用于对刷洗后的陶瓷盘烘干。

为了便于轻松将晶圆片铲下，所述晶圆片铲片收纳刷洗装置还包括冲洗单元，所述冲洗单元设置在铲片单元的进口端，用于对铲片前的陶瓷盘表面冲洗，包括喷淋管及设置在喷淋管上的多个喷嘴。

本实用新型的有益效果是：该晶圆片铲片收纳刷洗装置通过铲片单元、收纳单元及刷洗单元的相互配合，能使晶圆片及陶瓷盘自动进入下一工位，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片及陶瓷盘的表面，保证了产品质量。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆片铲片收纳刷洗装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型的铲片单元的立体结构示意图；

图3为本实用新型的铲片单元的另一方向的立体结构示意图；

图4为本实用新型的铲片单元的俯视图；

图5为本实用新型的收纳单元的立体结构示意图；

图6为本实用新型的收纳盒的结构示意图；

图7为本实用新型的刷洗单元的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示的晶圆片铲片收纳刷洗装置，包括输送线1及设置在输送线1上的铲片单元2、收纳单元3、刷洗单元4、烘干单元5、冲洗单元6。

如图2-4所示的铲片单元，包括电机21、输送辊22、铲片支架23、铲片动力件24、滑块25及铲板27，所述铲片动力件24固定在铲片支架23上，铲片动力件24通过滑块25与铲板27连接并可驱动其移动，所述铲板27与水平面相倾斜，其底端为斜坡面，铲板27一端与滑块25底端铰接，铲板27中部与滑块25之间通过弹簧26弹性连接，铲板27受到压力时可绕滑块25旋转，不受压力时通过弹簧26复位，所述铲板27一侧设置有感应器28。

所述铲片单元还包括旋转升降组件，所述旋转升降组件包括顶升气缸211、驱动电机214、升降板212及转盘213，所述顶升气缸211与升降板212连接，所述转盘213、驱动电机214设置在升降板212上，驱动电机214与转盘213连接，顶升气缸211可通过升降板212驱动转盘213右端上升从而带动陶瓷盘倾斜，驱动电机214可驱动转盘213旋转。

所述铲片单元还包括定位组件，所述定位组件为三个，对应设置在转盘四周，包括升降气缸215及定位轮216，所述升降气缸215可驱动定位轮216升降。

加工时，陶瓷盘9和晶圆片10经输送辊2进入铲片单元下方，升降气缸215驱动定位轮216上升，将陶瓷盘9的三个点限位，感应器28感应到晶圆片10的位置，顶升气缸211驱动升降板212一端上升，则陶瓷盘9发生倾斜，定位轮216起到定位支撑的作用，此时铲片动力件24驱动滑块25及铲板27向斜下方移动，则铲板27即可将对应的晶圆片210铲起，由于重力作用，晶圆片10落入对应的收集机构内，各单元复位，然后驱动电机214驱动转盘213及陶瓷盘29旋转一定的角度，进行下一次铲片操作。

如图5所示的收纳单元，包括支架31及设置在支架31上的导向块32、升降动力件37、托架38及收纳盒36。所述导向块32固定在支架31顶端，导向块32顶端开设有可供晶圆片通过的滑道33，所述滑道33与水平面相倾斜，滑道33内开设有多条便于晶圆片下滑的水道34，滑道33的出口端设置有用于阻挡晶圆片的可伸缩档杆35，所述托架38对应设置在滑道33的出口端，所述升降动力件37与托架38连接，所述收纳盒36固定在托架38上，收纳盒36上开设有若干可供晶圆片插入的插槽，升降动力件37可驱动托架38及收纳盒36上升或下降。

所述收纳盒36为多个，从上至下依次排布在托架38上，收纳盒36下方对应设置有吹气管39。

如图6所示，所述收纳盒包括两相对称的侧板361，两侧板361上分别开设有多个从上至下依次均匀分布的插槽362，一对插槽362之间可插入一片晶圆片。需要注意的是，插槽362也与水平面相倾斜，其倾斜角度与滑道的倾斜角度相同，从而便于晶圆片插入插槽362内。

加工时，经铲片后的晶圆片落入滑道33内，可伸缩档杆35上升，水道34内产生水流，则晶圆片自动插入收纳盒36顶端的插槽362内；插入一片晶圆片后，升降动力件37驱动收纳盒36上升一定高度，从而使得晶圆片从上至下逐个插入插槽362内，而吹气管39不断对收纳盒36内的晶圆片吹气烘干。

如图7所示的刷洗单元，包括转轴42、毛刷43、喷淋管44及喷嘴45，所述转轴42为多个，对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和下方，各转轴42上分别设置有多个毛刷43，喷淋管44为一个或多个，对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和下方，各喷淋管44上均布有多个喷嘴45。而转轴42与输送线上的驱动电机41通过齿轮组连接，不需要另外增加动力机构，陶瓷盘在运输的同时，转轴42旋转对其上表面和下表面进行喷淋刷洗，再经过烘干处理。

所述冲洗单元包括喷淋管及设置在喷淋管上的多个喷嘴，与刷洗单元的喷淋管及喷嘴结构一致，因此不再重复描述。

所述烘干单元采用通用的加热辊即可，陶瓷盘从加热辊下方通过，进行表面烘干。

需要说明的是，本实用新型中的动力件或动力机构可以是电机、气缸、油缸、电缸等类似动力结构的替换，并不局限于权利要求及说明书所述的相关机构。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应上述的以权利要求的保护范围为准。

Claims (3)

1.一种晶圆片铲片收纳刷洗装置，其特征在于：包括输送线及设置在输送线上的铲片单元、收纳单元及刷洗单元；

所述铲片单元用于将陶瓷盘上的晶圆片铲下，包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位；

所述收纳单元对应设置在铲片单元一侧，用于接收铲片单元铲下的晶圆片，包括支架及设置在支架上的导向块、升降动力件、托架及收纳盒，所述导向块固定在支架顶端，导向块顶端开设有可供晶圆片通过的滑道，所述滑道与水平面相倾斜，所述托架对应设置在滑道的出口端，所述升降动力件与托架连接，所述收纳盒固定在托架上，收纳盒上开设有若干可供晶圆片插入的插槽，升降动力件可驱动托架及收纳盒上升或下降；

所述刷洗单元对应设置在铲片单元的输出端，用于对陶瓷盘表面刷洗，包括转轴、毛刷、喷淋管及喷嘴，所述转轴为多个，对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和/或下方，各转轴上分别设置有多个毛刷，所述喷淋管对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和/或下方，各喷淋管上均布有多个喷嘴。

2.根据权利要求1所述的晶圆片铲片收纳刷洗装置，其特征在于：所述晶圆片铲片收纳刷洗装置还包括烘干单元，所述烘干单元设置在刷洗单元的输出端，用于对刷洗后的陶瓷盘烘干。

3.根据权利要求1所述的晶圆片铲片收纳刷洗装置，其特征在于：所述晶圆片铲片收纳刷洗装置还包括冲洗单元，所述冲洗单元设置在铲片单元的进口端，用于对铲片前的陶瓷盘表面冲洗，包括喷淋管及设置在喷淋管上的多个喷嘴。

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