CN213201489U - 硅片上下料机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构，花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构。本实用新型通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。

Description

硅片上下料机

技术领域

本实用新型涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。

背景技术

硅片在生产加工的过程中，需要将硅片逐一填入到花篮内，然后将花篮在预设的高度进行水平传送。但现有的硅片装篮后传输的效率较低。

实用新型内容

为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种硅片上下料机。通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种硅片上下料机，包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构，花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构，花篮压紧机构位于花篮水平传输机构上方，花篮入料水平传输机构位于花篮出料水平传输机构的上方，花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构相互平行，硅片水平传输机构与花篮出料水平传输机构相互垂直，硅片水平传输机构位于硅片放料机构和花篮升降机构之间。

具体地，所述花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、花篮水平传输机构均为皮带输送机。

具体地，所述硅片放料机构由竖板、柱体、连接架、升降线性模组组成，升降线性模组的缸体固定在机架，升降线性模组的滑座上固定有连接架，连接架底部固定有两个相互平行的竖板，竖板内壁上设有两排支撑组，每一排支撑组由数个上下排列的柱体组成，柱体转动连接在竖板上。

具体地，所述花篮升降机构为线性模组。

具体地，所述花篮压紧机构由下压板和压板气缸组成，压板气缸的缸体固定在花篮升降机构的滑座上，压板气缸的活塞杆上固定有下压板。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种硅片上下料机。通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的硅片放料机构的结构示意图；

图中1.机架，2.硅片花篮，3.花篮入料水平传输机构，4.花篮出料水平传输机构，5.硅片水平传输机构，6.硅片放料机构，7.花篮升降机构，8.花篮压紧机构，9.花篮水平传输机构，61.竖板，62.柱体，63.连接架，64.升降线性模组。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的硅片放料机构的结构示意图。

一种硅片上下料机，包括机架1、硅片花篮2、花篮入料水平传输机构3、花篮出料水平传输机构4、硅片水平传输机构5、硅片放料机构6、花篮升降机构7、花篮压紧机构8、花篮水平传输机构9，所述机架1上安装有花篮入料水平传输机构3、花篮出料水平传输机构4、硅片水平传输机构5、硅片放料机构6、花篮升降机构7，花篮升降机构7的滑座上安装有用于定位硅片花篮2的花篮压紧机构8、花篮水平传输机构9，花篮压紧机构8位于花篮水平传输机构9上方，花篮入料水平传输机构3位于花篮出料水平传输机构4的上方，花篮入料水平传输机构3和花篮出料水平传输机构4相互平行，硅片水平传输机构5与花篮出料水平传输机构4相互垂直，硅片水平传输机构5位于硅片放料机构6和花篮升降机构7之间。

花篮入料水平传输机构3、花篮出料水平传输机构4、硅片水平传输机构5、花篮水平传输机构9均为皮带输送机。

如附图2所示，硅片放料机构6由竖板61、柱体62、连接架63、升降线性模组64组成，升降线性模组64的缸体固定在机架1，升降线性模组64的滑座上固定有连接架63，连接架63底部固定有两个相互平行的竖板61，竖板61内壁上设有两排支撑组，每一排支撑组由数个上下排列的柱体62组成，柱体62转动连接在竖板61上。

左右两个竖板61上位于同一高度的柱体62组成一个支撑面，可以用来支撑一片硅片。而左右两个竖板61上的支撑组可以根据柱体62的数量，来支撑数片硅片，在两个竖板61之间的硅片，也是按照从上到下排列。升降线性模组64可以驱使两个竖板61上下移动。当要将硅片放料机构6内的硅片移出时，两个竖板61往下移动，直到最底部的硅片贴合到硅片水平传输机构5的皮带上，此时硅片水平传输机构5的皮带利用摩擦力带着硅片移出两个竖板61之间。当一个硅片移走之后，两个竖板61继续往下移动，直到当前最下方的硅片贴合到硅片水平传输机构5的皮带上继续传输。重复上述步骤，直到将两个竖板61之间的硅片全部移走。

花篮升降机构7为线性模组。

花篮压紧机构8由下压板和压板气缸组成，压板气缸的缸体固定在花篮升降机构7的滑座上，压板气缸的活塞杆上固定有下压板。

如附图1所示，本申请的工作方式为，首先将空载的硅片花篮2依次放置在机架1底部的花篮入料水平传输机构3的皮带上。花篮入料水平传输机构3驱使硅片花篮2往花篮水平传输机构9的方向移动，此时的花篮水平传输机构9的皮带传送面与花篮入料水平传输机构3的皮带传送面等高。当硅片被移入到花篮水平传输机构9的皮带上之后，上方的花篮压紧机构8的压板气缸驱使下压板往下移动，直到将硅片花篮2压紧在花篮水平传输机构9上。接着花篮升降机构7驱使被压紧的硅片花篮2往上移动，直到该花篮对准硅片水平传输机构5的出料口。此时硅片放料机构6将内置的硅片逐一放置到硅片水平传输机构5上进行传送，然后逐一将硅片水平传送道硅片花篮2内，硅片花篮2内装载一片硅片后，该硅片花篮2就往下降一段行程，然后后方第二片硅片送入该硅片花篮2内堆叠，直到将硅片水平传输机构5上传送过来的硅片逐一堆叠到硅片花篮2内。当硅片花篮2内填满之后，将花篮水平传输机构9的皮带传送面上升到与花篮出料水平传输机构4的皮带传送面等高，最后花篮压紧机构8放开硅片花篮2，花篮水平传输机构9将满载的花篮移入到花篮出料水平传输机构4，花篮出料水平传输机构4将硅片花篮2移动到出料工位后取走。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (5)

1.一种硅片上下料机，其特征在于：包括机架(1)、硅片花篮(2)、花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、硅片放料机构(6)、花篮升降机构(7)、花篮压紧机构(8)、花篮水平传输机构(9)，所述机架(1)上安装有花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、硅片放料机构(6)、花篮升降机构(7)，花篮升降机构(7)的滑座上安装有用于定位硅片花篮(2)的花篮压紧机构(8)、花篮水平传输机构(9)，花篮压紧机构(8)位于花篮水平传输机构(9)上方，花篮入料水平传输机构(3)位于花篮出料水平传输机构(4)的上方，花篮入料水平传输机构(3)和花篮出料水平传输机构(4)相互平行，硅片水平传输机构(5)与花篮出料水平传输机构(4)相互垂直，硅片水平传输机构(5)位于硅片放料机构(6)和花篮升降机构(7)之间。

2.根据权利要求1所述的硅片上下料机，其特征在于：所述花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、花篮水平传输机构(9)均为皮带输送机。

3.根据权利要求1所述的硅片上下料机，其特征在于：所述硅片放料机构(6)由竖板(61)、柱体(62)、连接架(63)、升降线性模组(64)组成，升降线性模组(64)的缸体固定在机架(1)，升降线性模组(64)的滑座上固定有连接架(63)，连接架(63)底部固定有两个相互平行的竖板(61)，竖板(61)内壁上设有两排支撑组，每一排支撑组由数个上下排列的柱体(62)组成，柱体(62)转动连接在竖板(61)上。

4.根据权利要求1所述的硅片上下料机，其特征在于：所述花篮升降机构(7)为线性模组。

5.根据权利要求1所述的硅片上下料机，其特征在于：所述花篮压紧机构(8)由下压板和压板气缸组成，压板气缸的缸体固定在花篮升降机构(7)的滑座上，压板气缸的活塞杆上固定有下压板。