CN213201489U - 硅片上下料机 - Google Patents

硅片上下料机 Download PDF

Info

Publication number
CN213201489U
CN213201489U CN202022225009.6U CN202022225009U CN213201489U CN 213201489 U CN213201489 U CN 213201489U CN 202022225009 U CN202022225009 U CN 202022225009U CN 213201489 U CN213201489 U CN 213201489U
Authority
CN
China
Prior art keywords
basket
horizontal transmission
silicon wafer
flowers
discharging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202022225009.6U
Other languages
English (en)
Inventor
闫善韵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Lindsay Automation Technology Co ltd
Original Assignee
Suzhou Lindsay Automation Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Lindsay Automation Technology Co ltd filed Critical Suzhou Lindsay Automation Technology Co ltd
Priority to CN202022225009.6U priority Critical patent/CN213201489U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN213201489U publication Critical patent/CN213201489U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型涉及硅片装篮设备领域,尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构,所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构,花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构。本实用新型通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。

Description

硅片上下料机
技术领域
本实用新型涉及硅片装篮设备领域,尤其是硅片上下料机。
背景技术
硅片在生产加工的过程中,需要将硅片逐一填入到花篮内,然后将花篮在预设的高度进行水平传送。但现有的硅片装篮后传输的效率较低。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题,本实用新型提供了一种硅片上下料机。通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种硅片上下料机,包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构,所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构,花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构,花篮压紧机构位于花篮水平传输机构上方,花篮入料水平传输机构位于花篮出料水平传输机构的上方,花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构相互平行,硅片水平传输机构与花篮出料水平传输机构相互垂直,硅片水平传输机构位于硅片放料机构和花篮升降机构之间。
具体地,所述花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、花篮水平传输机构均为皮带输送机。
具体地,所述硅片放料机构由竖板、柱体、连接架、升降线性模组组成,升降线性模组的缸体固定在机架,升降线性模组的滑座上固定有连接架,连接架底部固定有两个相互平行的竖板,竖板内壁上设有两排支撑组,每一排支撑组由数个上下排列的柱体组成,柱体转动连接在竖板上。
具体地,所述花篮升降机构为线性模组。
具体地,所述花篮压紧机构由下压板和压板气缸组成,压板气缸的缸体固定在花篮升降机构的滑座上,压板气缸的活塞杆上固定有下压板。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种硅片上下料机。通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的硅片放料机构的结构示意图;
图中1.机架,2.硅片花篮,3.花篮入料水平传输机构,4.花篮出料水平传输机构,5.硅片水平传输机构,6.硅片放料机构,7.花篮升降机构,8.花篮压紧机构,9.花篮水平传输机构,61.竖板,62.柱体,63.连接架,64.升降线性模组。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图,图2是本实用新型的硅片放料机构的结构示意图。
一种硅片上下料机,包括机架1、硅片花篮2、花篮入料水平传输机构3、花篮出料水平传输机构4、硅片水平传输机构5、硅片放料机构6、花篮升降机构7、花篮压紧机构8、花篮水平传输机构9,所述机架1上安装有花篮入料水平传输机构3、花篮出料水平传输机构4、硅片水平传输机构5、硅片放料机构6、花篮升降机构7,花篮升降机构7的滑座上安装有用于定位硅片花篮2的花篮压紧机构8、花篮水平传输机构9,花篮压紧机构8位于花篮水平传输机构9上方,花篮入料水平传输机构3位于花篮出料水平传输机构4的上方,花篮入料水平传输机构3和花篮出料水平传输机构4相互平行,硅片水平传输机构5与花篮出料水平传输机构4相互垂直,硅片水平传输机构5位于硅片放料机构6和花篮升降机构7之间。
花篮入料水平传输机构3、花篮出料水平传输机构4、硅片水平传输机构5、花篮水平传输机构9均为皮带输送机。
如附图2所示,硅片放料机构6由竖板61、柱体62、连接架63、升降线性模组64组成,升降线性模组64的缸体固定在机架1,升降线性模组64的滑座上固定有连接架63,连接架63底部固定有两个相互平行的竖板61,竖板61内壁上设有两排支撑组,每一排支撑组由数个上下排列的柱体62组成,柱体62转动连接在竖板61上。
左右两个竖板61上位于同一高度的柱体62组成一个支撑面,可以用来支撑一片硅片。而左右两个竖板61上的支撑组可以根据柱体62的数量,来支撑数片硅片,在两个竖板61之间的硅片,也是按照从上到下排列。升降线性模组64可以驱使两个竖板61上下移动。当要将硅片放料机构6内的硅片移出时,两个竖板61往下移动,直到最底部的硅片贴合到硅片水平传输机构5的皮带上,此时硅片水平传输机构5的皮带利用摩擦力带着硅片移出两个竖板61之间。当一个硅片移走之后,两个竖板61继续往下移动,直到当前最下方的硅片贴合到硅片水平传输机构5的皮带上继续传输。重复上述步骤,直到将两个竖板61之间的硅片全部移走。
花篮升降机构7为线性模组。
花篮压紧机构8由下压板和压板气缸组成,压板气缸的缸体固定在花篮升降机构7的滑座上,压板气缸的活塞杆上固定有下压板。
如附图1所示,本申请的工作方式为,首先将空载的硅片花篮2依次放置在机架1底部的花篮入料水平传输机构3的皮带上。花篮入料水平传输机构3驱使硅片花篮2往花篮水平传输机构9的方向移动,此时的花篮水平传输机构9的皮带传送面与花篮入料水平传输机构3的皮带传送面等高。当硅片被移入到花篮水平传输机构9的皮带上之后,上方的花篮压紧机构8的压板气缸驱使下压板往下移动,直到将硅片花篮2压紧在花篮水平传输机构9上。接着花篮升降机构7驱使被压紧的硅片花篮2往上移动,直到该花篮对准硅片水平传输机构5的出料口。此时硅片放料机构6将内置的硅片逐一放置到硅片水平传输机构5上进行传送,然后逐一将硅片水平传送道硅片花篮2内,硅片花篮2内装载一片硅片后,该硅片花篮2就往下降一段行程,然后后方第二片硅片送入该硅片花篮2内堆叠,直到将硅片水平传输机构5上传送过来的硅片逐一堆叠到硅片花篮2内。当硅片花篮2内填满之后,将花篮水平传输机构9的皮带传送面上升到与花篮出料水平传输机构4的皮带传送面等高,最后花篮压紧机构8放开硅片花篮2,花篮水平传输机构9将满载的花篮移入到花篮出料水平传输机构4,花篮出料水平传输机构4将硅片花篮2移动到出料工位后取走。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (5)

1.一种硅片上下料机,其特征在于:包括机架(1)、硅片花篮(2)、花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、硅片放料机构(6)、花篮升降机构(7)、花篮压紧机构(8)、花篮水平传输机构(9),所述机架(1)上安装有花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、硅片放料机构(6)、花篮升降机构(7),花篮升降机构(7)的滑座上安装有用于定位硅片花篮(2)的花篮压紧机构(8)、花篮水平传输机构(9),花篮压紧机构(8)位于花篮水平传输机构(9)上方,花篮入料水平传输机构(3)位于花篮出料水平传输机构(4)的上方,花篮入料水平传输机构(3)和花篮出料水平传输机构(4)相互平行,硅片水平传输机构(5)与花篮出料水平传输机构(4)相互垂直,硅片水平传输机构(5)位于硅片放料机构(6)和花篮升降机构(7)之间。
2.根据权利要求1所述的硅片上下料机,其特征在于:所述花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、花篮水平传输机构(9)均为皮带输送机。
3.根据权利要求1所述的硅片上下料机,其特征在于:所述硅片放料机构(6)由竖板(61)、柱体(62)、连接架(63)、升降线性模组(64)组成,升降线性模组(64)的缸体固定在机架(1),升降线性模组(64)的滑座上固定有连接架(63),连接架(63)底部固定有两个相互平行的竖板(61),竖板(61)内壁上设有两排支撑组,每一排支撑组由数个上下排列的柱体(62)组成,柱体(62)转动连接在竖板(61)上。
4.根据权利要求1所述的硅片上下料机,其特征在于:所述花篮升降机构(7)为线性模组。
5.根据权利要求1所述的硅片上下料机,其特征在于:所述花篮压紧机构(8)由下压板和压板气缸组成,压板气缸的缸体固定在花篮升降机构(7)的滑座上,压板气缸的活塞杆上固定有下压板。
CN202022225009.6U 2020-10-09 2020-10-09 硅片上下料机 Active CN213201489U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202022225009.6U CN213201489U (zh) 2020-10-09 2020-10-09 硅片上下料机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202022225009.6U CN213201489U (zh) 2020-10-09 2020-10-09 硅片上下料机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN213201489U true CN213201489U (zh) 2021-05-14

Family

ID=75825183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202022225009.6U Active CN213201489U (zh) 2020-10-09 2020-10-09 硅片上下料机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN213201489U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN211444062U (zh) 一种摆盘传送装置
CN204977749U (zh) 一种全自动玻璃面板印刷机
CN211337960U (zh) 一种料盘全自动上下料设备
CN110395578B (zh) 一种液晶面板自动上料机
CN213201489U (zh) 硅片上下料机
CN109178453B (zh) 一种飞轮理料机器人
CN113148264A (zh) 产品自动装盘装箱设备
CN212892760U (zh) 一种托盘上下料结构
CN105336648B (zh) 一种堆叠基板的抓取分离装置及抓取分离方法
CN212831527U (zh) 供料装置及贴阻尼条系统
CN210504585U (zh) 萃盘上下料机构
CN110282387B (zh) 一种柔性面屏用双层式自动下料机
CN208790677U (zh) 一种自动上下料扫码装置
CN213264243U (zh) 硅片升降传送装置
CN206284274U (zh) 豆干连续生产线自动进框层叠推出系统
CN214325469U (zh) 食品盒传送装置
CN212197351U (zh) 一种磁性材料产品自动装托盘机
CN211811928U (zh) 一种带有顶撑装置的流盘机
CN211254397U (zh) 托盘取产品设备
CN214935956U (zh) 培养皿自动推进装置
CN213356237U (zh) 料盘上下料设备
CN213620536U (zh) 芯片料盒传输装置
CN211137906U (zh) 注塑成型用自动上盘输送设备
CN109941762B (zh) 一种用于显示屏的码卸垛装置和码卸垛方法
CN210654804U (zh) 一种自动放收萃盘装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant