JP6378899B2 - 基板評価装置及び基板評価方法 - Google Patents
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Description
本発明の一態様によれば、基板の測定面からの距離を測定して前記基板の反り量を検出する反り量検出部と、前記基板の測定面に対して離間して設けられ、前記基板の反り量によって測定値が変化する前記基板の所定の物理量を非接触で測定する物理量測定部と、前記反り量検出部と前記物理量測定部との間で前記基板を移動させる基板移動機構と、前記反り量を検出する前記基板内の箇所と前記物理量を測定する前記基板内の箇所とが重複するように、前記基板移動機構を制御する制御部と、を備える基板評価装置が提供される。
(1)基板評価装置の構成
以下に、本発明の一実施形態にかかる基板評価装置について、図1〜図3を参照しながら説明する。図1は、本実施形態にかかる基板評価装置の縦断面概略図である。図2は、本実施形態にかかる基板評価装置の横断面概略図である。図3は、本実施形態で好適に用いられる制御部の概略構成図である。なお、以下の説明において、前後左右は図1を基準とする。すなわち、図1が示されている紙面に対して、前は紙面の手前、後ろは紙面の奥、左右は紙面の左右、上下は紙面の上下とする。
土台2上には、反り量検出部4と物理量測定部5との間で基板100を移動させる基板移動機構6が設けられている。基板移動機構6は、水平方向に基板100を移動させるように構成されている。つまり、基板移動機構6は、左右方向及び前後方向に基板100を移動させるように構成されている。基板移動機構6は、反り量検出部4と物理量測定部5との間で基板100を周方向に回転させることなく移動させるように構成されている。
基板評価装置1は、制御部(制御手段)であるコントローラ20を備えている。コントローラ20には、反り量検出部4、物理量測定部5、基板移動機構6(第1のモータ9、第2のモータ13)等が、例えばケーブルを介して電気的に接続されている。
次に、上述の基板評価装置1を用いて、基板100の反り量を検出するとともに、物理量としての抵抗値を測定して基板100の評価を行う工程について説明する。なお、以下の説明において、基板評価装置1を構成する各部の動作は、上述のコントローラ20により制御される。
反り量検出工程では、基板100の中心を通る一の直線(以下では単に「一の直線」とも言う。)上の所定間隔毎に基板100の反り量を検出する第1の反り量検出工程と、基板100の中心を通り、一の直線と直交する他の直線(以下では、単に「他の直線」とも言う。)上の所定間隔毎に基板の反り量を検出する第2の反り量検出工程と、を行う。
コントローラ20が例えば入出力装置から基板100の反り量の検出のコマンドを受け付けると、基板載置台14の基板載置部上に基板100を載置した後、基板移動機構6により、基板100を所定の初期位置に移動させる。つまり、第1のモータ9及び第2のモータ13への電力の供給を開始し、第1の回転部材8の回転方向及び回転量と、第2の回転部材12の回転方向及び回転量と、をそれぞれ制御して、反り量検出部4による基板100内の反り量を検出する箇所と、一の直線の一端部と、が一致する位置に基板100を移動させる。
第1の基板移動工程が終了したら、反り量検出部4としてのレーザ変位計による基板100の反り量を検出する。つまり、基板移動機構6により基板100を所定方向に移動(走査)させながら、一の直線上の所定間隔毎に基板100の反り量を検出する。例えば、第1の回転部材8の回転方向、回転量、回転速度を制御して、一の直線上の一端部から他端部に向かって左右方向に基板100を移動させつつ、一の直線上の所定間隔毎に、反り量検出部4により基板100の反り量をそれぞれ検出する。
第1の反り量検出工程が終了したら、基板移動機構6により、基板100を所定の位置に移動させる。つまり、第1のモータ9及び第2のモータ13へ電力を供給し、第1の回転部材8の回転方向及び回転量と、第2の回転部材12の回転方向及び回転量と、をそれぞれ制御して、反り量検出部4による基板100内の反り量を検出する箇所と、他の直線の一端部と、が一致する位置に基板100を移動させる。
第2の基板移動工程が終了したら、第1の反り量検出工程と同様にして、基板の他の線上の所定間隔毎に基板100の反り量を検出する。具体的には、第2の回転部材12の回転方向、回転量、回転速度を制御して、他の直線上の一端部から他端部に向かって前後方向に基板100を移動させつつ、他の直線上の所定間隔毎に、反り量検出部4により基板100の測定面からの距離をそれぞれ測定して、基板100の反り量をそれぞれ検出する。そして、各反り量検出箇所での反り量情報と、反り量検出箇所情報と、を記憶装置に読み出し可能に保存する。
[第3の基板移動工程]
反り量検出工程(第2の反り量検出工程)が終了した後、コントローラ20が例えば入出力装置から基板100の物理量の測定のコマンドを受け付けると、基板移動機構6により、基板100を所定の位置に移動させる。例えば、基板100内の反り量検出箇所と物理量を測定する基板100内の箇所(物理量測定箇所)とが重複するように、基板移動機構6により基板100を移動させる。つまり、物理量測定部5により一の直線上又は他の直線上の任意の点で物理量が測定されるように、第1の回転部材8の回転方向及び回転量と、第2の回転部材12の回転方向及び回転量と、をそれぞれ制御して、基板100を移動させる。
第3の基板移動工程が終了したら、物理量測定部5により、基板100の測定面からの距離によって測定値が変化する基板100の所定の物理量としての抵抗値を非接触で測定する。具体的には、物理量測定部5により、一の直線(又は他の直線)上の任意の一点又は複数点で、基板100の抵抗値を非接触で測定する。例えば、一の直線の中心点と、中心点を挟んで対称位置にある2点と、の3点で基板100の抵抗値を測定する。所定の物理量測定箇所での基板100の物理量を測定したら、物理量の情報と物理量測定箇所の情報とを、記憶装置に読み出し可能に保存する。
物理量測定工程が終了した後、コントローラ20が例えば入出力装置から物理量の補正のコマンドを受け付けると、測定した物理量(抵抗値)の補正を行う。具体的には、まず、記憶装置内から物理量の情報と、物理量測定箇所の情報と、を取得する(読み出す)とともに、物理量測定箇所と一致する反り量検出箇所での反り量の情報を取得する(読み出す)。取得した反り量の情報に基づいて物理量の補正を行う。補正後の物理量の情報を記憶装置に読み出し可能に保存する。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
(数1)
y=0.0031x4+0.0041x3−0.0715x2−0.0493x+1.001
以上、本発明の一実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
基板の測定面からの距離を測定して前記基板の反り量を検出する反り量検出部と、
前記基板の測定面に対して離間して設けられ、前記基板の反り量によって測定値が変化する前記基板の所定の物理量を非接触で測定する物理量測定部と、
前記反り量検出部と前記物理量測定部との間で前記基板を移動させる基板移動機構と、
前記反り量を検出する前記基板内の箇所と前記物理量を測定する前記基板内の箇所とが重複するように、前記基板移動機構を制御する制御部と、を備える基板評価装置が提供される。
付記1の基板評価装置であって、好ましくは、
前記制御部は、前記物理量を測定した前記基板内の箇所での前記反り量の情報に基づいて前記物理量の補正を行う。
付記1又は2の基板評価装置であって、好ましくは、
前記制御部は、前記反り量検出部により前記反り量を検出した後、前記基板を前記物理量測定部に移動させるように前記基板移動機構を制御する。
付記1ないし3のいずれかの基板評価装置であって、好ましくは、
前記制御部は、前記基板を移動させることで前記基板の測定面の中心を通る直線上で前記反り量の変位を検出するように前記基板移動機構を制御するとともに、前記基板を移動させることで前記直線上の任意の一点又は複数点の前記物理量が測定されるように前記基板移動機構を制御する。
付記1ないし4のいずれかの基板評価装置であって、好ましくは、
前記基板移動機構は、前記基板を水平方向に移動させるように構成されている。
付記1ないし5のいずれかの基板評価装置であって、好ましくは、
前記物理量は抵抗値である。
本発明の他の態様によれば、
反り量検出部により、基板の測定面からの距離を測定して前記基板の反り量を検出する工程と、
前記基板の測定面に対して離間して設けられる物理量測定部により、前記基板の反り量によって測定値が変化する前記基板の所定の物理量を非接触で測定する工程と、
前記反り量を検出する前記基板内の箇所と前記物理量を測定する前記基板内の箇所とが重複するように、基板移動機構により、前記反り量検出部と前記物理量測定部との間で前記基板を移動させる工程と、を有する基板評価方法が提供される。
4 反り量検出部
5 物理量測定部
6 基板移動機構
20 制御部(コントローラ)
100 基板
Claims (7)
- 測定対象である基板の測定面の上方に位置するように固定して設けられ、前記基板の測
定面からの距離を測定して前記基板の反り量を検出する反り量検出部と、
前記基板の測定面に対して離間し、前記基板の測定面の上方に位置するように固定して
設けられ、前記基板の反り量によって測定値が変化する前記基板の所定の物理量を非接触
で測定する物理量測定部と、
前記反り量検出部と前記物理量測定部との間で前記基板の高さ位置を変えることなく前
記基板を水平方向に移動させる基板移動機構と、
前記反り量を検出する前記基板内の箇所と前記物理量を測定する前記基板内の箇所とが
重複するように、前記基板移動機構を制御する制御部と、を備える
基板評価装置。 - 前記制御部は、前記基板移動機構により前記基板を移動させながら、前記反り量検出部
によって前記基板の測定面と前記反り量検出部との間の距離を、前記基板の測定面の中心
を通る一の直線上の一端部から他端部まで測定することで、前記基板全体の反り量を検出
する反り量検出処理と、前記反り量検出処理が終了した後、前記基板移動機構により前記
基板を前記物理量測定部に移動させ、前記物理量測定部によって前記基板の測定面の前記
一の直線上で前記所定の物理量を測定する物理量測定処理と、を行う
請求項1に記載の基板評価装置。 - 前記制御部は、前記物理量を測定した前記基板内の箇所での前記反り量の情報に基づい
て前記物理量の補正を行う
請求項1または2に記載の基板評価装置。 - 前記制御部は、前記物理量測定処理が前記一の直線上の任意の一点又は複数点で行われ
るように前記基板移動機構を制御する
請求項2に記載の基板評価装置。 - 前記基板移動機構の前記基板を載置する位置には、基板載置部としての凹部が設けられ
ている
請求項1ないし4のいずれかに記載の基板評価装置。 - 前記物理量は抵抗値である
請求項1ないし5のいずれかに記載の基板評価装置。 - 測定対象である基板の測定面の上方に位置するように固定して設けられた反り量検出部
により、前記基板の測定面からの距離を測定して前記基板の反り量を検出する工程と、
前記基板の測定面に対して離間し、前記基板の測定面の上方に位置するように固定して
設けられた物理量測定部により、前記基板の反り量によって測定値が変化する前記基板の
所定の物理量を非接触で測定する工程と、
前記反り量を検出する前記基板内の箇所と前記物理量を測定する前記基板内の箇所とが
重複するように、基板移動機構により、前記反り量検出部と前記物理量測定部との間で前
記基板の高さ位置を変えることなく前記基板を水平方向に移動させる工程と、を有する
基板評価方法。
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JP2014037765A JP6378899B2 (ja) | 2014-02-28 | 2014-02-28 | 基板評価装置及び基板評価方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2014-02-28 JP JP2014037765A patent/JP6378899B2/ja active Active
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