JP6606441B2 - 検査システムおよび検査方法 - Google Patents
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Description
このエッジ検査法は、横方向への基板のずれ/ミスアラインメント、基板の傾斜、または基板幅の変動(すなわち、1つの基板から次への幅の変化)が何もないとき、基板1の幅が基板の長さに沿ってW±εの値に固定されている場合には欠陥エッジを検出するために十分かもしれない。ずれ、傾斜または変動があれば、単一のセンサを用いた検査は、ずれ、傾斜、または基板幅の変動の量が既知であり、計算に入れることができる場合には十分である。しかしながら、たとえ基板幅の変動λを計算に入れたときでも、欠陥が存在するという知見を生成するための閾値がεからε+λ(すなわち、|d1|>ε+λ)へ増加することになるため、エッジ検出性能は低下するであろう。
図2Aには、左側エッジに沿って欠け5をもつ基板1を示されている。基板1の幅は、基板の長さに沿っておよそW±εであり、基板1は、センサ10、20の中心から右へ距離Δずれている。基板が欠けているかどうかを判定するために、両方のセンサ10、20を1つに組み合わせた測定を用いる。基板の幅W±εが固定され、2つのセンサ10、20の「0」点間の距離がおよそWに等しく設定されるので、基板の状況は、次のように判断できる。すなわち、式(1)を満たす場合には正常であると判断され、式(2)を満たす場合には、欠陥があると判断される。
本検査システムは、コントローラと通信を行って対象物エッジを検出することが可能な少なくとも4つの複数の電子センサ(例えば、位置センサまたはエッジ測定センサとして用いられる電子センサ)を備える。本発明の実施形態を記載する際に用いられるように、用語「位置センサ」または「エッジ測定センサ」は、それぞれ位置またはエッジを検出する目的に限定されたセンサと、他の目的、例えば、対象物の幅を検出するためにも用いられてよいセンサとの両方を概括的に指す。電子センサは、走査される対象物との接触を回避するため、および対象物を損傷せず、またはセンサ測定を妨げないために、一般に非接触センサ、例えば、2〜3例を挙げると、レーザセンサまたは超音波センサである。4つの電子センサのうちの少なくとも第1および第2の電子センサは、対象物検査ラインの第1の側に置かれ、4つの電子センサのうちの少なくとも第3および第4の電子センサは、対象物検査ラインの第2の側にそれぞれ第1および第2の電子センサと実質的に対向して置かれる。第1および第3の電子センサは、互いに実質的に一直線上にあり、第2および第4の電子センサは、互いに実質的に一直線上にある。コントローラは、第1、第2、第3および第4の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を、指定された測定周期で、周期的に取得し、合計E=|(A+B)−(C+D)|を計算して、合計Eを閾値と比較するようにプログラムされる。閾値は、本検査システムに記憶された公差値εに基づいてもよく、または閾値は、それ自体が本検査システムに記憶されてもよい。第1、第2、第3および第4の位置センサの測定結果は、それぞれ値A、C、BおよびDに対応する。実施形態において、閾値は、例えば、2εであってもよい。実施形態において、所定の公差値εは、対象物固有の値であってもよく、かつユーザによって指定されてもよい。合計Eが閾値以下であれば、コントローラは、基板エッジが走査されるまでアルゴリズムを実行し続ける。しかしながら、実施形態において、Eがセンサ測定結果の任意のセットに基づく閾値より大きければ、コントローラは、例えば、アラームを作動させる、検査に合格しないと基板にラベル付けする、または基板を欠陥対象物のための指定保持エリアへ自動的に迂回させるなどの欠陥判定に応じた処置を実行してもよい。実施形態において、本システムにより実行される上記処置は、第1の欠けを検出するとすぐに実行されてもよく、または、実施形態において、この処置は、基板の対向エッジ全体が検査されるまで先送りされてもよい。本検査システムは、例えば所定の公差値および他のプログラミングなどのデータを入力するため、および例えば検査結果のレポートなどのデータを取得するための入力/出力モジュールをさらに備えてもよい。本検査システムは、とりわけ、結果の表示などのためのディスプレイをさらに備えてもよい。
図5Aに示されるように、左側基板エッジのセンサAまたはCの左への移動、または右側基板エッジのセンサBまたはDの右への移動は、負の移動として測定され、一方で反対方向への各エッジの移動は、正の移動として測定される。これら4つのセンサ値が取得されるため、基板設計仕様によってエッジ欠陥判定のための目標とされる基板幅をさらに取得する必要はない。
Claims (20)
- 生じうる欠陥に関して1つ以上の対象物のエッジを自動的に検査するための検査システムであって、
1つ以上の対象物の対向エッジの位置を検出するための少なくとも4つの複数の電子センサであって、前記少なくとも4つの電子センサのうちの第1および第2は、欠陥に関して第1の対象物エッジを検査するために、前記1つ以上の対象物がそれに沿って配置された検査ラインの第1の側に置かれ、前記少なくとも4つの電子センサのうちの第3および第4は、欠陥に関して前記第1の対象物エッジの対辺上の第2の対象物エッジを検査するために、前記検査ラインの第2の側にそれぞれ前記第1および第2の電子センサに実質的に対向して置かれ、前記第1および第3の電子センサは、互いに実質的に一直線上に保持され、前記第2および第4の電子センサは、互いに実質的に一直線上に保持された、前記複数の電子センサと、
特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジが前記電子センサによって走査されるにつれて、前記第1、第2、第3および第4の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含むデータセットを周期的に取得し、合計E=|(A+B)−(C+D)|を計算して、前記合計Eを閾値と比較するようにプログラムされ、A、C、BおよびDは、それぞれ前記第1、第2、第3および第4の電子センサの前記実質的に同時のセンサ測定結果に対応する、コントローラとを備え、
前記合計Eが前記閾値以下である場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジの前記走査が完了するまで前記第1、第2、第3および第4の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含むデータセットを取得し続け、一方、前記特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジを走査しているときに前記合計Eが前記閾値を超えた場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物が欠陥エッジを有すると判定する、
検査システム。 - 前記コントローラは、欠陥のある対象物が前記検査ラインから除去されるようにさらにプログラムされている、請求項1に記載の検査システム。
- 前記少なくとも4つの電子センサのうちの1つ以上は、レーザセンサである、請求項1に記載の検査システム。
- 前記合計Eが比較される前記閾値は、前記1つ以上の対象物の対象物幅に許容された公差値に基づく値である、請求項1に記載の検査システム。
- 前記閾値および前記公差値のうちの少なくとも1つを記憶するためのメモリをさらに備える、請求項4に記載の検査システム。
- 生じうる欠陥に関して1つ以上の対象物のエッジを自動的に検査するための検査方法であって、
少なくとも4つの電子センサを用いて、対向する1つ以上の対象物の第1および第2の対象物エッジを走査するステップであって、前記少なくとも4つの電子センサのうちの第1および第2は、欠陥に関して前記第1の対象物エッジを検査するために、前記1つ以上の対象物がそれに沿って配置された検査ラインの第1の側に置かれ、前記少なくとも4つの電子センサのうちの第3および第4は、欠陥に関して前記第1の対象物エッジの対辺上の前記第2の対象物エッジを検査するために、前記検査ラインの第2の側にそれぞれ前記第1および第2の電子センサに実質的に対向して置かれ、前記第1および第3の電子センサは、互いに実質的に一直線上に保持され、前記第2および第4の電子センサは、互いに実質的に一直線上に保持され、前記対象物の前記対向エッジは、前記対向エッジが前記電
子センサに近接して通過するにつれて、検査のために前記電子センサによって走査される、前記走査するステップと、
特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジが前記電子センサによって走査されるにつれて、前記少なくとも4つの電子センサからの実質的に同時の測定結果を含むデータセットを、コントローラによって、周期的に取得するステップと、
合計E=|(A+B)−(C+D)|を計算するために、前記周期的に取得された前記第1、第2、第3および第4の電子センサからの測定結果を含むデータセットを、前記コントローラによって、合計し、A、C、BおよびDは、それぞれ前記第1、第2、第3および第4の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果に対応するステップと、
前記合計Eを閾値と比較するステップと
を備え、
前記合計Eが前記閾値以下である場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジの前記走査が完了するまで前記第1、第2、第3および第4の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含むデータセットを取得し続け、一方、前記特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジを走査しているときに前記合計Eが前記閾値を超えた場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物が欠陥エッジを有すると判定する、
検査方法。 - 前記特定の対象物に欠陥があると判定されたときに、前記特定の対象物を前記検査ラインから取り除くステップをさらに備える、請求項6に記載の検査方法。
- 前記少なくとも4つの電子センサのうちの1つ以上は、レーザセンサである、請求項6に記載の検査方法。
- 前記合計Eが比較される前記閾値は、前記1つ以上の対象物の対象物幅に許容された公差値に基づく、請求項6に記載の検査方法。
- 前記閾値および前記公差値のうちの少なくとも1つを記憶するステップをさらに備える、請求項9に記載の検査方法。
- 生じうる欠陥に関して1つ以上の対象物のエッジを自動的に検査するための検査システムであって、
1つ以上の対象物の対向エッジの位置を検出するための少なくとも2つの複数の電子センサであって、前記少なくとも2つの電子センサのうちの第1は、欠陥に関して第1の対象物エッジを検査するために、前記1つ以上の対象物がそれに沿って配置された検査ラインの第1の側に置かれ、前記少なくとも2つの電子センサのうちの第2は、欠陥に関して前記第1の対象物エッジの対辺上の第2の対象物エッジを検査するために、前記検査ラインの第2の側に前記第1の電子センサと実質的に対向して実質的に一直線上に置かれた、前記複数の電子センサと、
前記複数の電子センサによって得られた測定結果を記憶するメモリと、
特定の対象物の前記対向エッジが前記電子センサによって走査されるにつれて、前記第1および第2の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含む2つ以上のデータセットを取得し、合計E=|(A+B)−(C+D)|を計算するために取得された実質的に同時のセンサ測定結果を含む前記データセットのうちの少なくとも1つを前記メモリに記憶して、前記合計Eを閾値と比較するようにプログラムされ、値AおよびBは、第1の時刻t1に取得された前記第1および第2の電子センサのセンサ測定結果を含む前記2つ以上のデータセットのうちの第1に対応し、値CおよびDは、時間間隔によって前記第1の時刻から隔たった第2の時刻t2に取得された前記第1および第2の電子センサのセンサ測定結果を含む前記2つ以上のデータセットのうちの第2に対応する、コントローラと
を備え、
前記合計Eが前記閾値以下である場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジの前記走査が完了するまで、前記第1および第2の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含む追加のデータセットを周期的に取得し、一方、前記特定の対象物の前記第1および第2の対象物エッジを走査しているときに前記合計Eが前記閾値より大きい場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物が欠陥エッジを有すると判定する、
検査システム。 - 第1および第2の時刻t1およびt2の間の前記時間間隔は、前記特定の対象物が前記第1および第2のセンサによって走査される速度に少なくとも依存する、請求項11に記載の検査システム。
- 前記少なくとも2つの電子センサのうちの1つ以上は、レーザセンサである、請求項11に記載の検査システム。
- 前記合計Eが比較される前記閾値は、前記1つ以上の対象物の対象物幅に許容された公差値に基づく値である、請求項11に記載の検査システム。
- 前記メモリは、前記閾値および前記公差値のうちの少なくとも1つをさらに記憶する、請求項14に記載の検査システム。
- 生じうる欠陥に関して1つ以上の対象物のエッジを自動的に検査するための検査方法であって、
少なくとも2つの電子センサを用いて1つ以上の対象物の対向する、第1および第2のエッジを走査するステップであって、前記少なくとも2つの電子センサのうちの第1は、欠陥に関して前記第1の対象物エッジを検査するために、前記1つ以上の対象物がそれに沿って配置された検査ラインの第1の側に置かれ、前記少なくとも2つの電子センサのうちの第2は、欠陥に関して前記第1の対象物エッジの対辺上の第2の対象物エッジを検査するために、前記検査ラインの第2の側に前記第1の電子センサに実質的に対向して実質的に一直線上に置かれ、前記対象物の前記対向エッジは、前記対向エッジが前記電子センサに近接して通過するにつれて、検査のために前記電子センサによって走査される、前記走査するステップと、
特定の対象物の前記第1および第2のエッジが前記電子センサによって走査されるにつれて、前記第1および第2の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含む2つ以上のデータセットを、コントローラによって、取得するステップと、
合計E=|(A+B)−(C+D)|を計算するために、取得された前記第1および第2の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含む前記データセットを、前記コントローラによって、合計するステップであって、値AおよびBは、第1の時刻t1に取得された前記第1および第2の電子センサのセンサ測定結果を含む前記1つ以上のデータセットのうちの第1に対応し、値CおよびDは、時間間隔によって前記第1の時刻から隔たった第2の時刻t2に取得された前記第1および第2の電子センサのセンサ測定結果を含む前記1つ以上のデータセットのうちの第2に対応する、ステップと、
前記合計Eを閾値と比較するステップと、
を備え、
前記合計Eが前記閾値以下である場合には、前記コントローラは、前記特定の対象物の前記第1および第2のエッジの前記走査が完了するまで、前記第1および第2の電子センサの実質的に同時のセンサ測定結果を含むデータセットを周期的に取得し続け、一方、前記合計Eが前記閾値を超えた場合には、前記コントローラは、前記対象物が欠陥エッジを有すると判定する、
検査方法。 - 第1および第2の時刻t1およびt2の間の前記時間間隔は、前記特定の対象物が前記第1および第2の電子センサによって走査される速度に少なくとも依存する、請求項16に記載の検査方法。
- 前記特定の対象物に欠陥があると判定されたときに、前記特定の対象物を前記検査ラインから取り除くステップをさらに備える、請求項16に記載の検査方法。
- 前記少なくとも2つの電子センサのうちの1つ以上は、レーザセンサである、請求項16に記載の検査方法。
- 前記第1の時刻t1に取得された前記センサ測定結果をメモリに記憶するステップをさらに備える、請求項16に記載の検査方法。
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