JP5758474B2 - 半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置 - Google Patents
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Description
着座部に着座される半導体パッケージの着座姿勢を判定する装置であって、
着座部に半導体パッケージが着座された状態の検査対象が適宜数搭載されたテスト基板と、
該テスト基板の一定のポイントにラインレーザ光を照射するレーザ光照射部と、
ラインレーザ光を照射された検査対象を撮像する撮像部と、
撮像された検査対象の画像を取り込み、該画像の画像処理をする画像処理部とからなり、
上記レーザ光照射部と上記検査対象とが相対的に移動可能とされ、
上記画像処理部は予め設定されている基準ラインと上記画像を画像処理して得られる測定ラインとの比較より差分を算出し、
上記基準ライン及び測定ラインは半導体パッケージの検出エリア及び該半導体パッケージが着座する着座部の検出エリアに夫々線状に得られる画像を2値化、細線化及び直線近似化することにより得られる線の中点より抽出され、
上記基準ラインは上記半導体パッケージが上記着座部に正常に着座されたときの状態を浮き量0として設定登録される算出基準となるラインであり、
上記測定ラインは検出対象となる上記半導体パッケージが上記着座部に正常、異常を問わず着座された状態で半導体パッケージおよび上記着座部に照射されたラインレーザー光によって得られる判定対象となるラインであり、
上記差分から計算される浮き量が予め設定されている閾値を超えるか否かにより検査対象の着座姿勢の良/不良を判定することを特徴とする。
また、請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記差分が基準ラインの座標よりラインレーザ光の照射方向に直交するY軸方向の値として算出されることを特徴とする。
また、請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記差分が基準ラインの座標よりラインレーザ光の照射方向に沿うX軸方向の値として算出されることを特徴とする。
また、請求項2又は請求項3記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記差分が半導体パッケージと該半導体パッケージを着座せしめる着座部の一のライン値とから算出されることを特徴とする。
また、請求項1乃至請求項4のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記画像処理部は、浮き量算出式及び基準ラインのマスタ値が登録される記憶手段と、取り込まれた検査対象の画像を2値化する2値化処理手段と、2値化処理により抽出されたライン部分を細線化する細線化処理手段と、細線化された線を直線近似化する直線近似化処理手段と、直線近似化された線の中点を求める中点化処理手段と、算出された浮き量と基準ラインのマスタ値とを比較する比較演算手段とからなることを特徴とする。
また、請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記浮き量Pは次の浮き量算出式より求められることを特徴とする。
浮き量P=tan(レーザ光の入射角)×(基準ラインの値A−測定ラインの値B)×
CCDカメラの分解能
また、請求項1乃至請求項6のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記レーザ光が照射される検出エリアが上記検査対象に線状に得られることを特徴とする。
また、請求項1乃至請求項7のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記テスト基板が上記X軸及び上記Y軸方向に可動であることを特徴とする。
また、請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光が上記レーザ光照射部より上記テスト基板に直接照射されることを特徴とする。
また、請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光が上記レーザ光照射部よりミラー部を介して上記テスト基板に照射されることを特徴とする。
また、請求項9又は請求項10記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光の照射角度が50°であることを特徴とする。
また、請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光が赤色レーザ光であることを特徴とする。
また、請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、着座不良の検出をした場合、アラームが発報されるアラーム発報手段が設けられることを特徴とする。
浮き量P=tan(レーザ光の入射角)×(基準ラインの値A−測定ラインの値B)×CCDカメラの分解能
tan(50)×(89.866−89.0)×0.048=0.050mm
となり、上記閾値(本実施例では0.500mm)以下となるので、「正常着座」と判定する。
2 端子
3 半導体パッケージ
4 端子
5 検査対象
7 バーンインボード
9 可動テーブル
11 レーザ光照射部
13 レーザポインタ
15 ミラー部
16 ミラー
17 レーザ光
19 撮像部
20 CCDカメラ
21 画像処理部
22 画像処理コンピュータ
23 画像処理ボード
24 制御PLC
25 ラインレーザ
Claims (13)
- 着座部に着座される半導体パッケージの着座姿勢を判定する装置であって、
着座部に半導体パッケージが着座された状態の検査対象が適宜数搭載されたテスト基板と、
該テスト基板の一定のポイントにラインレーザ光を照射するレーザ光照射部と、
ラインレーザ光を照射された検査対象を撮像する撮像部と、
撮像された検査対象の画像を取り込み、該画像の画像処理をする画像処理部とからなり、
上記レーザ光照射部と上記検査対象とが相対的に移動可能とされ、
上記画像処理部は予め設定されている基準ラインと上記画像を画像処理して得られる測定ラインとの比較より差分を算出し、
上記基準ライン及び測定ラインは半導体パッケージの検出エリア及び該半導体パッケージが着座する着座部の検出エリアに夫々線状に得られる画像を2値化、細線化及び直線近似化することにより得られる線の中点より抽出され、
上記基準ラインは上記半導体パッケージが上記着座部に正常に着座されたときの状態を浮き量0として設定登録される算出基準となるラインであり、
上記測定ラインは検出対象となる上記半導体パッケージが上記着座部に正常、異常を問わず着座された状態で半導体パッケージおよび上記着座部に照射されたラインレーザー光によって得られる判定対象となるラインであり、
上記差分から計算される浮き量が予め設定されている閾値を超えるか否かにより検査対象の着座姿勢の良/不良を判定することを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。 - 請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記差分が基準ラインの座標よりラインレーザ光の照射方向に直交するY軸方向の値として算出されることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記差分が基準ラインの座標よりラインレーザ光の照射方向に沿うX軸方向の値として算出されることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項2又は請求項3記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記差分が半導体パッケージと該半導体パッケージを着座せしめる着座部の一のライン値とから算出されることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記画像処理部は、浮き量算出式及び基準ラインのマスタ値が登録される記憶手段と、取り込まれた検査対象の画像を2値化する2値化処理手段と、2値化処理により抽出されたライン部分を細線化する細線化処理手段と、細線化された線を直線近似化する直線近似化処理手段と、直線近似化された線の中点を求める中点化処理手段と、算出された浮き量と基準ラインのマスタ値とを比較する比較演算手段とからなることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記浮き量Pは次の浮き量算出式より求められることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
浮き量P=tan(レーザ光の入射角)×(基準ラインの値A−測定ラインの値B)×CCDカメラの分解能 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記レーザ光が照射される検出エリアが上記検査対象に線状に得られることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記テスト基板が上記X軸及び上記Y軸方向に可動であることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光が上記レーザ光照射部より上記テスト基板に直接照射されることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光が上記レーザ光照射部よりミラー部を介して上記テスト基板に照射されることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項9又は請求項10記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光の照射角度が50°であることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、上記ラインレーザ光が赤色レーザ光であることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
- 請求項1記載の半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置において、着座不良の検出をした場合、アラームが発報されるアラーム発報手段が設けられることを特徴とする半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置。
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JP2013242334A JP5758474B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013242334A JP5758474B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015102398A JP2015102398A (ja) | 2015-06-04 |
JP5758474B2 true JP5758474B2 (ja) | 2015-08-05 |
Family
ID=53378213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013242334A Active JP5758474B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置 |
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-
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- 2013-11-22 JP JP2013242334A patent/JP5758474B2/ja active Active
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