JP4894628B2 - 外観検査方法および外観検査装置 - Google Patents
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Description
図3(a)に示す2次元画像Gは、図1に示した外観検査装置1のカメラ3を用いて撮像した画像である。カメラ3は、被検査物体10を上方から撮像し、撮像データは、画像生成部21によって2次元画像Gとされて、xy座標に基づく画素値として各画素の輝度値(濃淡値)が記憶部25に記憶される。ここで、2次元画像Gにおける各領域の輝度値Iが、領域M1においてI1=100、領域M2においてI2=170、領域M1,M2以外の背景領域においてIb=180、のようになっているとする。
上述の2次元画像Gにおいて所定の輝度値と異なる領域が欠陥候補部として検出される。ここで、所定の輝度値の範囲は、160<所定の輝度値<200とする。
上述の2次元画像Gを撮像した視点と同じ視点から見た被検査物体10の3次元形状データであって2次元画像Gの各画素に対応するデータから成る第1の3次元データP1が取得される。この3次元データP1の取得には、後述する位相シフト法を用いることにより、2次元画像Gを撮像した同じカメラ3を用いることができる。同一カメラ3を用いる結果、2次元画像Gの画素と、3次元データP1の画素と、被検査物体10上の点とが互いに1対1対応することになる。後述する手順によって、被検査物体10の表面形状の3次元データが求められる。
上述の欠陥候補部A1が検出された場合に、図3(c)に示すように、2次元画像Gにおいて、欠陥候補部A1とその周辺を通る複数(本例の場合6本)の並行する計測ラインL1〜L6を設定する。この計測ラインの設定は、図1に示した計算処理部20で行われる。これらの計測ラインは、上述の座標系の仮定のもとで、処理の簡単のためx軸方向に平行に設定されているが、これに限定されず、他の方向や任意曲線とすることができる。
上述の図4(a)(b)に示すように、計測ラインが設定され、3次元データP1が取得されると、3次元データP1から、欠陥候補部Aを除いた領域における計測ラインL1などに対応するデータを抽出して第2の3次元データP2が生成される。3次元データP2の生成は、第2の3次元データ生成手段13が行う。
第2の3次元データP2が生成されると、第3の3次元データ生成手段14が、3次元データP2における欠陥候補部Aに対応する領域の3次元データを補間した3次元データから成る第3の3次元データP3を生成する。3次元データP3は、欠陥候補部Aが存在しない状態における被検査物体の3次元形状を表す。つまり、3次元データP3は、各計測ライン毎に、各計測ラインを含む平面内において生成された、3次元データP2を近似する曲線や直線の集まりから成る。3次元データP3の例が、図6(a3)(b3)に示されている。
第1の3次元データP1と第3の3次元データP3とが生成されると、欠陥判定手段15が、図6(a4)(b4)に示すように、両3次元データP1,P3のZ値について計測ライン毎に差分値δZを算出する。欠陥判定手段15は、得られた差分値δZの大小に基づいて欠陥候補部がどのような欠陥であるかを判定する。
次に、図10、図11を参照して、上述の3次元データP1を求める方法である位相シフト法を説明する。図10(a)〜(d)は3次元データを取得する際に用いる正弦縞パターンを投影して撮像した画像の強度変化を示し、図11(a)(b)は正弦縞パターン照明光による照明の様子を示す。図1を再度参照する。
10 被検査物体
A,A1 欠陥候補部
G 2次元画像
H 平均差分値
L,L1〜L6 計測ライン
M 欠陥
P1 第1の3次元データ
P2 第2の3次元データ
P3 第3の3次元データ
S 画素数
V 総差分和
α,β,β1,β2 閾値
δZ 差分値
Claims (5)
- 被検査物体の外観における欠陥の有無を検査する外観検査方法であって、
被検査物体を撮像して2次元画像を生成するステップと、
前記2次元画像において所定の輝度値と異なる領域を欠陥候補部として検出するステップと、
前記2次元画像を撮像した視点と同じ視点から見た前記被検査物体の3次元形状データであって前記2次元画像の各画素に対応するデータから成る第1の3次元データを取得するステップと、
前記2次元画像において前記欠陥候補部とその周辺を通る計測ラインを設定するステップと、
前記第1の3次元データから、前記欠陥候補部を除いた領域における前記計測ラインに対応するデータを抽出して第2の3次元データを生成するステップと、
前記第2の3次元データにおける前記欠陥候補部に対応する領域の3次元データを補間した3次元データから成る第3の3次元データを求めるステップと、
前記第1の3次元データと前記第3の3次元データとの差分値を前記計測ラインに対応するデータについて求め、前記差分値の大小に基づいて前記欠陥候補部における欠陥の有無を判定するステップと、を含むことを特徴とする外観検査方法。 - 前記第2の3次元データは、前記第1の3次元データのうち前記欠陥候補部の端部から予め定めた一定範囲であって、被検査物体表面の曲率が不連続となる点を含まない範囲に対応するデータから抽出して生成することを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。
- 前記欠陥の有無を判定するステップは、前記計測ラインの各点に対応するデータについて求めた各差分値を加算して総差分和を求めるステップと、
前記総差分和と予め設定された閾値とを比較するステップと、を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の外観検査方法。 - 前記欠陥の有無を判定するステップは、前記計測ラインの各点に対応するデータについて求めた各差分値を加算して総差分和を求めるステップと、
前記総差分和を求める対象とした前記欠陥候補部の画素数を求めて前記総差分和を前記画素数で割って平均差分値を求めるステップと、
前記平均差分値と予め設定された閾値とを比較するステップと、を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の外観検査方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の外観検査方法を用いる外観検査装置。
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