JP5999670B1 - 電子デバイス装着検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ソケットに対する半導体装置の装着状態を正確に検査する電子デバイス装着検査装置を提供する。【解決手段】半導体装置を装着して保持するソケット12と、第1および第2のソケット側検査領域A1,A2ならびに半導体装置検査領域A3に1本のライン状になったレーザ光を照射するレーザ光源と、に照射されたレーザ光を撮像するカメラと、撮像された画像に基づいて、半導体装置検査領域A3に照射されたレーザ光に基づいた点P1,P2から第1および第2のソケット側検査領域A1,A2に照射されたレーザ光で得られる直線R1への垂線の長さである計測長を算出し、計測長と予め設定されている判定値とから半導体装置のソケット12に対する装着状態を判定する制御部とを備える。【選択図】図3
Description
本発明は、電子デバイス装着検査装置に関し、特に半導体装置などの電子デバイスがソケットなどのデバイス保持体に正しく装着されているか否かの装着状態の検査に適用して有効な技術に関する。
半導体装置などの電子デバイスでは、検査工程において電気特性を測定検査したり耐久性などの信頼性を試験検査して、不良品や故障を引き起こす可能性のあるものを未然に取り除いている。
そして、このような検査工程では、電子デバイスを固定・保持するための治具であるソケット(バーンインソケット・テストソケット)と呼ばれるデバイス保持体が多数取り付けられたボードが用いられており、当該デバイス保持体に電子デバイスを装着することでデバイス保持体を介して試験装置と電子デバイスとの電気的接続をし、所定の検査を行うようになっている。
ここで、電子デバイスがデバイス保持体に正しく装着されていないと、電子デバイスに設けられたリードフレームやバンプなどの電極がデバイス保持体に設けられた接触子と接触されなかったり、接触が不安定となり、適正な検査ができなくなる。
そこで、電子デバイスがデバイス保持体に正しく装着されているかどうかの装着状態、より詳しくは、電子デバイスがデバイス保持体から浮いていないかどうかという浮きを検査する電子デバイス装着検査装置が用いられている。
例えば、特許文献1(特開2015−102398号公報)には、デバイス保持体(着座部)とデバイス保持体に装着された電子デバイス(半導体パッケージ)にラインレーザ光を照射してデバイス保持体に照射されたレーザ光の近似直線の中点のY軸座標またはX軸座標の値と電子デバイスに照射されたレーザ光の近似直線の中点のY軸座標またはX軸座標の値との差分について、電子デバイスがデバイス保持体に正しく装着されていたときの差分である基準値と実際に電子デバイスを装着したときの差分である測定値とに基づいて所定の処理を加え、デバイス保持体に対する電子デバイスの装着状態を検査する技術が開示されている。
特許文献1に記載の技術では、座標値の差分に基づいて装着状態を検査しているために、デバイス保持体がXY座標系の座標軸および照射されるレーザ光に対して正確に位置決めされていれば、電子デバイスの装着状態は確実に検査されるものと考えられる。
しかしながら、一般にデバイス保持体はボードに多数が固定されており、ボードを動かしながらこれら多数のデバイス保持体を次々にレーザ光の照射位置に移動させているので、デバイス保持体の方向を安定的にXY座標系の座標軸に一致させるのが困難である。
そして、デバイス保持体とXY座標系の座標軸とが一致していないと、得られたY軸座標やX軸座標の測定値はXY座標系におけるデバイス保持体および電子デバイスの測定値ではなくなるので、結果的に、デバイス保持体に対する電子デバイスの装着状態の検査信頼性が低下してしまうことになる。
また、特許文献1に記載の技術では、図13に示すように、電子デバイス110の検査領域A13に照射されたレーザ光Lの近似直線R13の中点P13の座標値に対して、デバイス保持体112に照射されたレーザ光Lの内でデバイス保持体112の図面左側の検査領域A11に照射されたレーザ光Lの近似直線R11の中点P11の座標値との差分である距離T11と図面右側の検査領域A12に照射されたレーザ光Lの近似直線R12の中点P12の座標値との差分である距離T12とが異なっていると、一方側の距離(例えば距離T11)で浮き量を算出した場合には装着状態は適正と判定されるが、他方側の距離(例えば距離T12)に基づいて浮き量を算出した場合には装着状態は不適正と判定される場合が発生する。
これでは、やはりデバイス保持体に対する電子デバイスの装着状態の検査信頼性が低下してしまうことになる。
本発明は、上述の技術的背景からなされたものであって、デバイス保持体に対する電子デバイスの装着状態を正確に検査することのできる技術を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、検査対象となる電子デバイスを装着して保持するデバイス保持体と、前記デバイス保持体の第1の保持体側検査領域、当該デバイス保持体に保持された電子デバイスのデバイス検査領域、および前記デバイス保持体において前記電子デバイスを挟んで前記第1の保持体側検査領域の反対側に位置する第2の保持体側検査領域に1本のライン状になった検査光を照射する検査光照射手段と、前記デバイス保持体および前記電子デバイスに照射された検査光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段に撮像された画像に基づいて、前記第1の保持体側検査領域および前記第2の保持体側検査領域に照射された検査光に基づいて第1の直線を抽出し、前記デバイス検査領域に照射された検査光に基づいて第2の直線を抽出し、前記第2の直線の所定点から前記第1の直線に対して垂線を引き、当該垂線の長さである計測長を算出する算出手段と、前記計測長と予め設定されている判定値とから前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項1に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記判定値は、前記計測長の許容範囲を規定した計測許容範囲値であり、前記判定手段は、算出された前記計測長が前記計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態と適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項3に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項2に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記算出手段は、さらに、前記デバイス検査領域に照射された検査光で得られる前記第2の直線の前記第1の保持体側検査領域および前記第2の保持体側検査領域に照射された検査光で得られる前記第1の直線に対する傾斜角を算出し、前記判定値は、前記計測長の許容範囲を規定した前記計測許容範囲値に加えて、前記傾斜角の許容範囲を規定した傾斜角許容範囲値であり、前記判定手段は、算出された前記計測長が前記計測許容範囲値の範囲内であり、且つ前記傾斜角が前記傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項4に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項2または3記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、前記判定手段は、前記計測許容範囲値については、算出された複数の前記計測長の全部が前記計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項5に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項2または3記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、前記判定手段は、前記計測許容範囲値については、算出された複数の前記計測長の平均値が前記計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項6に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項1に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記判定値は、前記計測長と予め設定された垂線の基準長との差分の許容範囲を規定した差分許容範囲値であり、前記判定手段は、算出された前記計測長と前記基準長との差分の値である計測差分値が前記差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項7に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項6に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記算出手段は、さらに、前記デバイス検査領域に照射された検査光で得られる前記第2の直線の前記第1の保持体側検査領域および前記第2の保持体側検査領域に照射された検査光で得られる前記第1の直線に対する傾斜角を算出し、前記判定値は、前記計測長と前記基準長との差分の許容範囲を規定した前記差分許容範囲値に加えて、前記傾斜角の許容範囲を規定した傾斜角許容範囲値であり、前記判定手段は、算出された前記計測長と前記基準長との差分の値である計測差分値が前記差分許容範囲値の範囲内であり、且つ前記傾斜角が前記傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項8に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項6または7記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、前記判定手段は、前記差分許容範囲値については、算出された複数の前記計測長と前記基準長との差分の値である複数の計測差分値の全部が前記差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
請求項9に記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置は、上記請求項6または7記載の発明に係る電子デバイス装着検査装置おいて、前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、前記判定手段は、前記差分許容範囲値については、算出された複数の前記計測長と前記基準長との差分の値である複数の計測差分値の平均値が前記差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、ことを特徴とする。
本発明によれば、垂線の計測長と予め設定されている垂線の判定値とで電子デバイスのデバイス保持体に対する装着状態の適否を判定している。したがって、デバイス保持体の方向とXY座標系の座標軸とを一致させる必要がなくなるので、両者の一致・不一致を問わず、デバイス保持体に対する電子デバイスの装着状態を正確に検査することが可能になる。
また、本発明によれば、垂線を複数設定した場合、複数の垂線の計測長の全てまたは複数の垂線の計測長の平均値が計測許容範囲値の範囲内であるときに装着状態が適正と判定しているので、デバイス保持体に対する電子デバイスの装着状態の検査信頼性を担保することが可能になる。
以下、本発明の一例としての実施の形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための図面において、同一の構成要素には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
図1は本発明の一実施の形態である電子デバイス装着検査装置の要部の構成を示す概念図、図2は図1の電子デバイス装着検査装置においてライン状のレーザ光が照射されたソケットおよび半導体装置を示す平面図である。
本実施の形態の電子デバイス装着検査装置は、集積回路の形成されたICチップがセラミックや樹脂パッケージなどの封止体に封入された半導体装置10(電子デバイス)に熱的なストレスをかけた状態で動作させることによって故障を引き起こす可能性のあるものを不良品として抽出するバーンイン工程に備えられた装置であり、バーンイン装置(図示せず)にセットされるボード11(図1)に搭載されたソケット12(デバイス保持体)に半導体装置10が適正に装着されているか否かを検査する装置である。なお、ボード11には複数のソケット12が縦横に整列して搭載されているが、図1においては、1つのソケット12のみが示されている。
ソケット12は検査対象である半導体装置10を装着して固定・保持するための治具である。但し、半導体装置10は検査対象となる電子デバイスの一例であり、半導体装置10以外の様々な電子デバイスを検査対象とすることができる。
図1において、電子デバイス装着検査装置は、ボード11を動かして複数のソケット12を次々に検査位置(後述するレーザ光の照射位置)に移動させるためのモータなどの駆動部13と、検査位置にあるソケット12およびソケット12に装着された半導体装置10に1本のライン状になったレーザ光(検査光)を照射するレーザ光源14(検査光照射手段)と、ソケット12および半導体装置10に照射されたレーザ光を撮像するCCD(Charge−Coupled Device)カメラなどのカメラ15(撮像手段)と、RAMやROMで構成されて必要な情報が格納されたメモリ16と、メモリ16から情報を読み取ったり書き込んだりして電子デバイス装着検査装置の動作を司る制御部17とを備えている。
ここで、本実施の形態では、レーザ光源14には、LED(Light Emitting Diode)の光をスリットに通したスリット光が用いられている。但し、ライン状のレーザ光にはこのようなスリット光以外を用いることができる。さらに、検査光はライン状であれば足り、必ずしもレーザ光ではなくてもよい。よって、光源についても、必ずしもレーザ光源14ではなくてもよい。
なお、本実施の形態の電子デバイス装着検査装置においては、レーザ光の照射角θは40°に設定されている。但し、照射角θは自由に設定可能であり、40°に限定されるものではない。
図2は、ライン状のレーザ光Lが照射されたソケット12および半導体装置10を示している。
この図2において、ソケット12は、半導体装置10が装着されるソケット本体12aと、ソケット本体12aの直上において昇降可能に設けられたソケット押さえ12bとで構成されている。ソケット押さえ12bは、ソケット本体12aに半導体装置10を挿入したり抜き取ったりするときに下降してソケット本体12aを押さえるためのもので、ソケット押さえ12bで押さえられると、半導体装置10のリード10aと接触する接触子列が開き、ソケット押さえ12bが上昇すると、当該接触子列が閉じて半導体装置10のリード10aと接触する構造になっている。
そして、半導体装置10のソケット12に対する装着状態の検査は、ソケット押さえ12bを下降させてソケット本体12aを押さえて接触子列を開き、半導体装置10をソケット本体12aに挿入した段階で行われる。そして、装着状態が適正であればソケット押さえ12bを上昇させて接触子列を閉じる。これにより、半導体装置10がソケット本体12aに固定される。
なお、半導体装置10の装着状態を検査した後にソケット本体12aの接触子列を閉じて半導体装置10を固定するようにしているのは、検査前に当該接触子列を閉じてしまうと、半導体装置10の装着状態が不適正だった場合には、接触子列で半導体装置10のリード10aが変形してしまうおそれがあるからである。
さて、レーザ光は所定の照射角θ(本実施の形態では40°)が与えられているので、1本のライン状のレーザ光Lを高さがそれぞれ異なるソケット押さえ12b、ソケット本体12aおよび半導体装置10に照射した場合、図示するように、ソケット押さえ12bにおけるレーザ光Lの照射位置、ソケット本体12aにおけるレーザ光Lの照射位置、および半導体装置10におけるレーザ光Lの照射位置は相互に相違している。
そこで、本実施の形態の電子デバイス装着検査装置では、このような相違を利用して、次のようにしてソケット12に対する半導体装置10の装着状態の適否(換言すれば、半導体装置10の浮きの有無)を検査している。また、検査のための一連の処理は、制御部17により実行される。
本実施の形態では、第1のソケット側検査領域A1と第2のソケット側検査領域A2とはソケット押さえ12bに設定されているが、ソケット本体12aに設定してもよい。また、本実施の形態では、ソケット押さえ12bの設けられたソケット12が表されているが、ソケット押さえ12bのないソケット12であってもよい。
ここで、図3は、カメラで撮影されたソケットおよび半導体装置に関して、垂線を2本に設定した場合の検査時画像を示す説明図、図4は、ソケットに対する半導体装置の装着状態の適否を検査する処理の流れを示すフローチャートである。
図3において、ソケット12の所定エリア(本実施の形態では、ソケット押さえ12bの図面左側のエリア)に第1のソケット側検査領域A1(第1の保持体側検査領域)を、ソケット12に保持された半導体装置10の所定エリアに半導体装置検査領域A3(デバイス検査領域)を、ソケット12における半導体装置10を挟んで第1のソケット側検査領域A1の反対側のエリア(本実施の形態では、ソケット押さえ12bの図面右側のエリア)に第2のソケット側検査領域A2(第2の保持体側検査領域)を、それぞれ割り当てる。そして、これらの領域A1,A2,A3を通るようにして、レーザ光源14から前述した1本のライン状のレーザ光Lを照射する(図4のステップS1)。
ここで、領域A1,A2,A3は後述するカメラ15で撮影された画像に対して割り当てられるものである。なお、本実施の形態では、領域A1,A2,A3の形状は矩形となっているが、矩形に限定されるものではないことは勿論である。
次に、カメラ15を用いて、ソケット12および半導体装置10に照射されたレーザ光Lを撮影し(図4のステップS2)、撮影した画像をメモリ16に格納する(図4のステップS3)。
そして、算出手段としての制御部17は、メモリ16に格納されている画像に基づいて、半導体装置検査領域A3に照射されたレーザ光Lに基づいた所定点(後述する点P1および点P2)から第1のソケット側検査領域A1および第2のソケット側検査領域A2に照射されたレーザ光Lで得られる直線R1への垂線T1,T2の長さである計測長、ならびに直線R2(後述する)の直線R1に対する傾斜角を算出する(図4のステップS4〜ステップS6)。
具体的には、図3において、先ず、第1のソケット側検査領域A1、第2のソケット側検査領域A2および半導体装置検査領域A3でエッジ検出(画像中の濃淡や色の急峻な変化部分の検出)を行う(図4のステップS4)。
次に、第1のソケット側検査領域A1で検出されたエッジと第2のソケット側検査領域A2で検出されたエッジとから最小二乗法により、第1のソケット側検査領域A1および第2のソケット側検査領域A2に照射されたレーザ光Lから近似直線である直線R1(第1の直線)を抽出し、半導体装置検査領域A3で検出されたエッジから、同じく最小二乗法により、半導体装置検査領域A3に照射されたレーザ光Lから近似直線である直線R2(第2の直線)を抽出する(図4のステップS5)。
なお、直線R1,R2は最小二乗法以外の方法で抽出してもよい。例えば、領域A1,A2,A3を二値化し、次に、二値化された画像において、線の中心1画素分だけを残す細線化処理をし、この細線化処理された画像から近似直線である直線R1,R2を抽出することなどが考えられる。
続いて、抽出された直線R2における半導体装置検査領域A3の両端の点P1(所定点)および点P2(所定点)から直線R1へ垂線T1および垂線T2を引き、これらの垂線T1,T2のそれぞれの長さ(計測長)を算出する。また、直線R2の直線R1に対する傾斜角も併せて算出する(図4のステップS6)。なお、点P1,P2および後述する点PCは必ずしも近似直線である直線R2上に設定されていなくてもよく、半導体装置検査領域A3に照射されたレーザ光Lに基づいた点であればよい。
そして、判定手段としての制御部17は、垂線T1,T2の計測長および直線R2の傾斜角と予め設定されている判定値とから半導体装置10のソケット12に対する装着状態の適否を判定する(図4のステップS7)。
ここで、本実施の形態においては、2つの判定値をもっている。すなわち、1つの判定値は、垂線T1,T2の計測長の許容範囲(半導体装置10がソケット12から浮いていない場合における垂線T1,T2の長さの範囲)を規定した計測許容範囲値である。また、もう1つの判定値は、半導体装置検査領域A3で抽出された直線R2の第1のソケット側検査領域A1および第2のソケット側検査領域A2で抽出された直線R1に対する傾斜角の許容範囲(半導体装置10がソケット12から浮いていない場合における直線R2の直線R1に対する傾斜角の範囲)を規定した傾斜角許容範囲値である。
ステップS7において、判定手段としての制御部17は、算出された垂線T1,T2の計測長の両方(全部)が計測許容範囲値の範囲内であり、且つ直線R2の直線R1に対する傾斜角が傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、半導体装置10のソケット12に対する装着状態が適正であると判定される。
次に、半導体装置10のソケット12に対する装着状態の判定について、図5〜図10を用いて具体的に説明する。
ここで、図5は半導体装置がソケットに対して適正に装着されている状態を示す説明図、図6は半導体装置がソケットに対して図面手前側が浮いて装着されている状態を示す説明図、図7は半導体装置がソケットに対して図面奥側が浮いて装着されている状態を示す説明図、図8は半導体装置がソケットに対して図面左側が浮いて装着されている状態を示す説明図、図9は半導体装置がソケットに対して図面右側が浮いて装着されている状態を示す説明図、図10は図5〜図9に示す半導体装置の装着状態における図3に沿った所定の数値の具体例を表形式で示した図である。なお、図5〜図9において、各図面の(a)はソケットを平面から見た図、(b)はソケットを正面から見た断面図、(c)はソケットを左側面から見た断面図である。なお、半導体装置10の浮きには図6〜図9に示す以外のパターンもあるが、ここでは割愛する。また、図10に示す数値および後述する判定値は一例であり、本発明がこれらの値に限定されるものではない。
図10に関連して、判定値については、計測許容範囲値を80±10(pix:pixel〜画素)、傾斜角許容範囲値を±2.5(deg:degree〜°(度))に設定したとする。
そして、図5に示すように半導体装置10がソケット12に対して適正に装着されている状態では、図10の該当行に示すように、点P1のX座標の値が480(pix)、Y座標の値が167.87(pix)、点P2のX座標の値が480(pix)、Y座標の値が167.9(pix)であり、点P1から直線R1に引いた垂線T1の計測長が79.04(pix)、点P2から直線R1に引いた垂線T2の計測長が78.91(pix)、直線R2の直線R1に対する傾斜角が0.0199(deg)であったとする。
すると、垂線T1の計測長および垂線T2の計測長は何れも計測許容範囲値内であり、直線R2の直線R1に対する傾斜角も傾斜角許容範囲値内であるので、半導体装置10の装着状態は「OK」(適正)との判定結果が得られることになる。
また、図6に示すように半導体装置10がソケット12に対して手前側が浮いて装着されている状態では、図10の該当行に示すように、垂線T1の計測長が60.77(pix)、垂線T2の計測長が59.64(pix)、直線R2の傾斜角が−0.4495(deg)であったとする。
すると、直線R2の傾斜角は傾斜角許容範囲値内であるが、垂線T1の計測長および垂線T2の計測長が何れも計測許容範囲値内ではないので、半導体装置10の装着状態は「NG」(不適正)との判定結果が得られることになる。
さらに、図7に示すように半導体装置10がソケット12に対して奥側が浮いて装着されている状態では、図10の該当行に示すように、垂線T1の計測長が67.009(pix)、垂線T2の計測長が63.776(pix)、直線R2の傾斜角が−1.4149(deg)であったとする。
すると、やはり直線R2の傾斜角は傾斜角許容範囲値内であるが、垂線T1の計測長および垂線T2の計測長が何れも計測許容範囲値内ではないので、半導体装置10の装着状態は「NG」(不適正)との判定結果が得られることになる。
図8に示すように半導体装置10がソケット12に対して左側が浮いて装着されている状態では、図10の該当行に示すように、垂線T1の計測長が73.85(pix)、垂線T2の計測長が53.98(pix)、直線R2の傾斜角が−8.9658(deg)であったとする。
すると、垂線T1の計測長は計測許容範囲値内であるが、垂線T2の計測長が計測許容範囲値内ではなく、直線R2の傾斜角も傾斜角許容範囲値内ではないので、半導体装置10の装着状態は「NG」(不適正)との判定結果が得られることになる。
そして、図9に示すように半導体装置10がソケット12に対して右側が浮いて装着されている状態では、図10の該当行に示すように、垂線T1の計測長が47.82(pix)、垂線T2の計測長が72.57(pix)、直線R2の傾斜角が11.2728(deg)であったとする。
すると、垂線T2の計測長は計測許容範囲値内であるが、垂線T1の計測長が計測許容範囲値内ではなく、直線R2の傾斜角も傾斜角許容範囲値内ではないので、半導体装置10の装着状態は「NG」(不適正)との判定結果が得られることになる。
さて、図4のステップS7において、垂線T1,T2の計測長が計測許容範囲値の範囲内であり、且つ直線R2の直線R1に対する傾斜角が傾斜角許容範囲値の範囲内であったならば(図5に示す装着状態)、半導体装置10のソケット12に対する装着状態が適正であると判定して、次の半導体装置10が検査位置にセットされ(図4のステップS8)、前述したステップS1に戻って当該半導体装置10に対して同様の検査が実行される。
また、図4のステップS7において、垂線T1,T2の計測長が計測許容範囲値の範囲内ではなく、または直線R2の直線R1に対する傾斜角が傾斜角許容範囲値の範囲内ではない場合には(図6〜図9に示す装着状態)、半導体装置10のソケット12に対する装着状態が不適正であると判定して、アラームを鳴動させるとともに装置を停止させる(図4のステップS9)。これを受けて作業者が半導体装置10をソケット12から除去したならば(図4のステップS10)、装置が再稼働して次の半導体装置10が検査位置にセットされ(図4のステップS8)、前述したステップS1に戻って当該半導体装置10に対して同様の検査が実行される。
なお、ステップS10では、半導体装置10を除去するのではなく、作業者が半導体装置10の装着状態が適正になるように姿勢を修正してもよい。
以上説明したように、本実施の形態の電子デバイス装着検査装置によれば、垂線T1,T2の計測長および直線R2の直線R1に対する傾斜角と予め設定されている判定値とから半導体装置10のソケット12に対する装着状態の適否を判定している。より具体的には、算出された垂線T1,T2の計測長が計測許容範囲値の範囲内であり、且つ直線R2の直線R1に対する傾斜角が傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、半導体装置10のソケット12に対する装着状態が適正であると判定している。
よって、デバイス保持体であるソケット12の方向とXY座標系の座標軸とを一致させる必要がなくなるので、両者の一致・不一致を問わず、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態を正確に検査することが可能になる。
また、一方の垂線(例えば垂線T1)の計測長が計測許容範囲値の範囲内であるが他方の垂線(例えば垂線T2)の計測長が計測許容範囲値の範囲内はないケースで片方の垂線だけで判断すると検査信頼性が低下することになる。
これに対して、本実施の形態の電子デバイス装着検査装置では、算出された垂線T1の計測長と垂線T2の計測長の両方ともが計測許容範囲値の範囲内であるときに装着状態が適正と判定しているので、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態の検査信頼性を担保することが可能になる。
なお、以上の説明では、直線R2における半導体装置検査領域A3の両端の点P1および点P2から垂線T1および垂線T2を引いているが、点P1,P2は直線R2のどの箇所に設定してもよく、半導体装置検査領域A3の両端に限定されるものではない。
また、垂線の本数は2本に限定されるものではなく、1本または3本以上であってもよい。垂線を1本に設定した場合については、後ほど具体的に説明する。なお、垂線を3本以上設定した場合にも、全ての垂線の計測長が計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、装着状態が適正と判定される。
ここで、垂線が複数本(本実施の形態のように2本、あるいは3本以上)の場合、全ての垂線の計測長が計測許容範囲値の範囲内であるときではなく、算出された複数の垂線の計測長についての平均値が計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態を適正と判定するようにしてもよい。
さらに、以上の説明では、ステップS6において、直線R2の直線R1に対する傾斜角を算出し、ステップS7において、判定値として傾斜角許容範囲値をもって、直線R2の直線R1に対する傾斜角についても傾斜角許容範囲値の範囲内か否かを判定していたが、直線R2の直線R1に対する傾斜角は判定しなくてもよい。
これは、図5〜図9に示す半導体装置10の5つのパターンの装着状態を数値化した図10では、傾斜角が傾斜角許容範囲値の範囲内であっても垂線の計測長は計測許容範囲値の範囲内ではないケースはあるが、その逆のケースはないので、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態は垂線の計測長が計測許容範囲値の範囲内か否かに依存する傾向が極めて強いと考えられるからである。但し、直線R2の直線R1に対する傾斜角も判定するようにした方が、より検査信頼性が向上するものと思われる。
さらに、以上の説明では、垂線に関する判定値としては、垂線の計測長の許容範囲を規定した計測許容範囲値が用いられているが、計測許容範囲値に換えて、垂線の計測長と予め設定された垂線の基準長との差分の許容範囲を規定した差分許容範囲値を用いることもできる。差分許容範囲値を用いた場合、判定手段である制御部17は、算出された計測長と基準長との差分の値である計測差分値が差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態を適正と判定される。
前述した図10において、基準長は例えば80(pix)、差分許容範囲値は例えば±10(pix)と設定することができる。この場合、図10における図5のケースの数値を示す行において、垂線T1の差分は、計測長79.04(pix)から基準長80(pix)を引いた−0.96(pix)、垂線T2の差分は、計測長78.91(pix)から基準長80(pix)を引いた−1.09(pix)となる。
なお、垂線に関する判定値として差分許容範囲値を用いた場合において、さらに傾斜角許容範囲値の判定値を加えた場合には、計測差分値が差分許容範囲値の範囲内であり、且つ直線R2の直線R1に対する傾斜角が傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態を適正と判定される。
また、垂線を複数設定した場合には、算出された複数の垂線の計測長と基準長との差分の値である複数の計測差分値の全部が差分許容範囲値の範囲内であること、あるいは算出された複数の垂線の計測長と基準長との差分の値である複数の計測差分値の平均値が差分許容範囲値の範囲内であることが、ソケット12に対する半導体装置10の装着状態が適正と判定される条件となる。
さて、垂線を1本に設定した場合についてのソケット12に対する半導体装置10の装着状態の判定について、図11および図12を用いて説明する。なお、半導体装置10の装着状態のパターンについては、図6〜図9に示したものを用いる。また、ここでは直線R2の直線R1に対する傾斜角については判定していないが、判定要素に入れてもよいことは勿論である。
ここで、図11は、カメラで撮影されたソケットおよび半導体装置に関して、垂線を1本に設定した場合の検査時画像を示す説明図、図12は、図5〜図9に示す半導体装置の装着状態における図11に沿った所定の数値の具体例を表形式で示した図である。
図11において、抽出された直線R2(第2の直線)における半導体装置検査領域A3の中央の点PC(所定点)から直線R1(第1の直線)へ垂線TCを引いている点だけが、既に説明した図3に示す場合と異なっている。なお、点PCは直線R2のどの箇所に設定してもよく、半導体装置検査領域A3の中央に限定されるものではない。
また、図12に関連して、判定値である計測許容範囲値は、80±10(pix)に設定したとする。
そして、図5に示すように半導体装置10がソケット12に対して適正に装着されている状態では、図12の該当行に示すように、点PCのX座標の値が542.5(pix)、Y座標の値が167.89(pix)であり、点PCから直線R1に引いた垂線TCの計測長が78.98(pix)であったとする。
すると、垂線TCの計測長は計測許容範囲値内であるので、半導体装置10の装着状態は「OK」(適正)との判定結果が得られることになる。
また、図6に示すように半導体装置10がソケット12に対して手前側が浮いて装着されている状態では、図12の該当行に示すように、垂線TCの計測長が60.21(pix)であったとする。
すると、垂線TCの計測長は計測許容範囲値内ではないので、半導体装置10の装着状態は「NG」(不適正)との判定結果が得られることになる。
同様にして、図7に示すように半導体装置10がソケット12に対して奥側が浮いて装着されている状態では、垂線TCの計測長が65.38(pix)、図8に示すように半導体装置10がソケット12に対して左側が浮いて装着されている状態では、垂線TCの計測長が63.91(pix)、図9に示すように半導体装置10がソケット12に対して右側が浮いて装着されている状態では、垂線TCの計測長が60.20(pix)であったとする。
すると、これらの場合でも、垂線TCの計測長は計測許容範囲値内ではないので、半導体装置10の装着状態は「NG」(不適正)との判定結果が得られることになる。
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本明細書で開示された実施の形態はすべての点で例示であって、開示された技術に限定されるものではない。すなわち、本発明の技術的な範囲は、前記の実施の形態における説明に基づいて制限的に解釈されるものでなく、あくまでも特許請求の範囲の記載に従って解釈されるべきであり、特許請求の範囲の記載技術と均等な技術および特許請求の範囲の要旨を逸脱しない限りにおけるすべての変更が含まれる。
以上の説明では、本発明の電子デバイス装着検査装置はバーンイン工程に備えられた装置として示されているが、これに限定されるものではなく、例えば電子デバイスに電気を流して正常に動作するかを試験するテスタ工程に備えられた装置などにおける電子デバイス装着検査装置に適用することができる。
10 半導体装置(電子デバイス)
10a リード
11 ボード
12 ソケット(デバイス保持体)
12a ソケット本体
12b ソケット押さえ
13 駆動部
14 レーザ光源(検査光照射手段)
15 カメラ(撮像手段)
16 メモリ
17 制御部(算出手段、判定手段)
A1 第1のソケット側検査領域(第1の保持体側検査領域)
A2 第2のソケット側検査領域(第2の保持体側検査領域)
A3 半導体装置検査領域(デバイス検査領域)
L レーザ光(検査光)
P1,P2,PC 点(所定点)
R1,R2 直線
T1,T2,TC 垂線
10a リード
11 ボード
12 ソケット(デバイス保持体)
12a ソケット本体
12b ソケット押さえ
13 駆動部
14 レーザ光源(検査光照射手段)
15 カメラ(撮像手段)
16 メモリ
17 制御部(算出手段、判定手段)
A1 第1のソケット側検査領域(第1の保持体側検査領域)
A2 第2のソケット側検査領域(第2の保持体側検査領域)
A3 半導体装置検査領域(デバイス検査領域)
L レーザ光(検査光)
P1,P2,PC 点(所定点)
R1,R2 直線
T1,T2,TC 垂線
Claims (9)
- 検査対象となる電子デバイスを装着して保持するデバイス保持体と、
前記デバイス保持体の第1の保持体側検査領域、当該デバイス保持体に保持された電子デバイスのデバイス検査領域、および前記デバイス保持体において前記電子デバイスを挟んで前記第1の保持体側検査領域の反対側に位置する第2の保持体側検査領域に1本のライン状になった検査光を照射する検査光照射手段と、
前記デバイス保持体および前記電子デバイスに照射された検査光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段に撮像された画像に基づいて、前記第1の保持体側検査領域および前記第2の保持体側検査領域に照射された検査光に基づいて第1の直線を抽出し、前記デバイス検査領域に照射された検査光に基づいて第2の直線を抽出し、前記第2の直線の所定点から前記第1の直線に対して垂線を引き、当該垂線の長さである計測長を算出する算出手段と、
前記計測長と予め設定されている判定値とから前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする電子デバイス装着検査装置。 - 前記判定値は、前記計測長の許容範囲を規定した計測許容範囲値であり、
前記判定手段は、算出された前記計測長が前記計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態と適正と判定する、
ことを特徴とする請求項1記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記算出手段は、さらに、前記デバイス検査領域に照射された検査光で得られる前記第2の直線の前記第1の保持体側検査領域および前記第2の保持体側検査領域に照射された検査光で得られる前記第1の直線に対する傾斜角を算出し、
前記判定値は、前記計測長の許容範囲を規定した前記計測許容範囲値に加えて、前記傾斜角の許容範囲を規定した傾斜角許容範囲値であり、
前記判定手段は、算出された前記計測長が前記計測許容範囲値の範囲内であり、且つ前記傾斜角が前記傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項2記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、
前記判定手段は、前記計測許容範囲値については、算出された複数の前記計測長の全部が前記計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項2または3記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、
前記判定手段は、前記計測許容範囲値については、算出された複数の前記計測長の平均値が前記計測許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項2または3記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記判定値は、前記計測長と予め設定された垂線の基準長との差分の許容範囲を規定した差分許容範囲値であり、
前記判定手段は、算出された前記計測長と前記基準長との差分の値である計測差分値が前記差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項1記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記算出手段は、さらに、前記デバイス検査領域に照射された検査光で得られる前記第2の直線の前記第1の保持体側検査領域および前記第2の保持体側検査領域に照射された検査光で得られる前記第1の直線に対する傾斜角を算出し、
前記判定値は、前記計測長と前記基準長との差分の許容範囲を規定した前記差分許容範囲値に加えて、前記傾斜角の許容範囲を規定した傾斜角許容範囲値であり、
前記判定手段は、算出された前記計測長と前記基準長との差分の値である計測差分値が前記差分許容範囲値の範囲内であり、且つ前記傾斜角が前記傾斜角許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項6記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、
前記判定手段は、前記差分許容範囲値については、算出された複数の前記計測長と前記基準長との差分の値である複数の計測差分値の全部が前記差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項6または7記載の電子デバイス装着検査装置。 - 前記所定点、前記垂線および前記計測長は複数あり、
前記判定手段は、前記差分許容範囲値については、算出された複数の前記計測長と前記基準長との差分の値である複数の計測差分値の平均値が前記差分許容範囲値の範囲内であるときにのみ、前記電子デバイスの前記デバイス保持体に対する装着状態が適正と判定する、
ことを特徴とする請求項6または7記載の電子デバイス装着検査装置。
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JP2000088542A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | はんだ付検査装置及び検査方法 |
JP2015102398A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 株式会社メデック | 半導体パッケージテスト用着座姿勢判定装置 |
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