KR101548920B1 - 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법 - Google Patents

이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 카세트에 적재된 기판을 입.출하기 위한 이송로봇의 티칭이 자동으로 이루어지도록 하여 티칭작업을 위한 작업 인원이 감소되도록 하고 작업자의 안전이 담보되도록 하는 이송로봇의 티칭시스템에 관한 것으로, 카세트의 센터위치와 핸드의 핑거바가 진입하는 위치를 검출하는 위치감지센서; 핸드의 핑거바가 카세트로 진입할 때 설정된 깊이로 진입되도록 하는 적어도 하나의 인식센서; 카세트 전면에 대해 Z축을 중심으로 기울어진 핸드의 기울기 값(Δθ)을 센싱하는 한 쌍의 거리감지센서; 및 각 센서들을 제어하며, 핸드의 기울기 값(Δθ)을 보정하고, 이송로봇을 제어하는 제어부;를 포함하여 구성되어 있다.
한편, 이송로봇의 티칭시스템을 이용한 이송로봇의 티칭방법은, 위치감지센서의 광축을 핑거바의 방향과 일치시키는 단계(S10); 카세트의 센터위치를 센싱하고, 진입하는 위치를 센싱하는 단계(S20); 카세트 전면에 대한 핸드의 Z축을 중심으로 하는 기울기 값(Δθ)을 센싱하고, 핸드의 기울기를 보정하는 단계(S30); 및 핑거바의 입.출에 따른 핸드의 티칭포인트를 설정하는 단계(S40);를 통해 티칭된다.

Description

이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법{Teaching system of transportation robot and teaching method using it}
본 발명은, 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트에 적재된 기판을 입.출하기 위한 이송로봇의 티칭이 자동으로 이루어지도록 함으로서 티칭시간을 단축하면서 카세트에 적재된 다양한 대형기판의 입.출이 정확하고 안정적으로 이루어질 수 있도록 함과 동시에, 티칭작업을 위한 작업 인원이 감소되도록 하면서 작업자의 안전이 담보되도록 하는 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법에 관한 것이다.
최근 컴퓨터, 텔레비젼 등 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 평판표시소자에 대한 수요도 증가하고 있다.
이러한 평판표시소자(Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등이 있으며, 평판표시소자의 제조에 있어서는 그 제조공정상의 효율성을 위하여 취급되는 기판의 크기가 점진적으로 대형화되는 추세이다.
특히, 최근 생산라인의 가동은 40인치 이상에 취급되는 3.000×3.320 정도 크기의 기판이 생산되고 있으며, 향후로도 계속적으로 초대형화를 추구하고 있는 실정이다.
이러한 대형 기판은 평판표시소자 제조에 있어서 카세트(Cassette)라고 하는 수납부에 복수개 적층된 상태에서 각 공정에 투입되어 단위공정을 거치게 된다.
이때, 카세트에 적층된 기판은 각 공정에 투입될 수 있도록 이송로봇에 의해 카세트로부터 배출되고, 공정완료 후 다음 공정을 위해 카세트에 다시 적재된다.
이하 도 1 및 도 2를 참조하여 기판을 카세트에 적재하기 위한 종래 이송로봇의 일 예를 설명하도록 한다.
도 1은 일반적인 이송로봇 및 카세트의 사시도이다. 도시된 바와 같이, 이송로봇(10)은 기판(9)이 안착 될 수 있도록 복수개의 아암(16)과, 아암(16)과 결합되어 아암(16)을 카세트(5)에 적재하도록 아암(16)을 수평면 상에서 2차원으로 이동가능하게 하는 한 쌍의 링크(14)와, 링크(14)와 결합되어 링크(14)를 상하방향으로 이동시키는 하는 승강부재(12)와, 승강부재(12)의 하측에 마련되어 승강부재(12)를 지지하는 베이스(11)로 구성된다.
이때, 카세트(5)는 복수개의 글라스(9)를 수용하도록 상하방향으로 배치된 복수의 수용부(6)와, 수용부(6)를 형성하도록 등 간격으로 배치된 지지부(7)를 포함한다.
먼저, 이송로봇(10)은 최초에 글라스(9)를 카세트(5)에 적재할 경우 카세트(5)의 수용부(6)에 대한 기준위치를 설정하는 티칭작업을 수행하게 된다.
티칭작업은 도 2에 도시된 바와 같이, 이송로봇(10)의 아암(16)을 카세트(5)의 한 수용부(6)에 삽입시킨다.
이후, 작업자가 카세트(5)에 자(120)를 부착하며, 자(120)를 이용하여 직접 눈으로 확인하면서 카세트(5)와 아암(16)사이의 거리가 일정하도록 아암(16)을 이동시켜 기준위치를 설정하게 된다.
그러나, 상기와 같은 이송로봇의 티칭작업은 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 티칭작업을 수행하기 위한 적어도 3명의 작업 인력이 필요하기 때문에 인적자원이 낭비되는 문제가 있다. 즉 이송로봇 조작 1명, 수치확인 1명 및 안전담당 1명과 같이 총 3명의 작업 인원이 반드시 필요하기 때문이다.
둘째, 작업자가 자를 이용하여 카세트와 아암의 거리를 직접 확인하고 아암의 기준위치를 설정함으로써, 이송로봇의 티칭을 위한 작업시간이 증가할 수밖에 없으며, 아암의 기준위치가 작업자에 의해 수동으로 설정됨에 따라 정확도가 떨어질 수 있고, 작업자에 따라 기준위치의 설정이 달라질 수 있는 문제가 있다.
셋째, 티칭작업을 위해 카세트가 안치된 포트 내부로 작업자가 진입하여 작업이 이루어지거나, 또는 기판의 대형화에 따라 카세트가 높아지는 경우 작업자의 고소작업이 이루어져야 하기 때문에 작업자의 안전이 담보되지 못하는 문제가 있다.
특허문헌 1: 국내등록특허 제10-0575159호(등록일 2006.04.24) 특허문헌 2: 국내등록특허 제10-0642517호(등록일 2006.10.29)
본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 카세트에 적재된 기판을 입.출하기 위한 이송로봇의 티칭이 자동으로 이루어지도록 함으로서 티칭시간을 단축하면서 카세트에 적재된 다양한 대형기판의 입.출이 정확하고 안정적으로 이루어질 수 있도록 함과 동시에, 티칭작업을 위한 작업 인원이 감소되도록 하면서 작업자의 안전이 담보되도록 하는 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이송로봇의 티칭시스템은, 상기 핑거바의 방향성과 일치되는 방향으로 상기 핸드에 설치되며, 상기 핸드가 지정된 경로인 상기 X,Y,Z축 상으로 이동할 때 상기 카세트로 레이저를 조사하여 상기 카세트의 센터위치를 검출하고, 상기 기판이 적재되는 복수개의 지지편 사이로 상기 핑거바가 진입하는 위치를 검출하는 위치감지센서; 상기 핸드에 복수개로 배열된 바깥쪽 상기 핑거바의 길이방향 말단부에 설치되며, 상기 핑거바가 상기 카세트로 진입 및 퇴출할 때 상기 카세트의 기둥을 센싱하여 상기 핑거바가 설정된 깊이로 진입되도록 하는 적어도 하나의 인식센서; 서로 이격된 상태로 상기 핸드의 길이방향으로 배치되며, 상기 핸드의 길이방향 폭이 마주하는 상기 카세트의 전면과 대응하는 거리를 유지할 수 있도록, 상기 카세트와 상기 핸드 사이의 거리를 각각 센싱하여 Z축을 중심으로 기울어진 상기 핸드의 기울기 값(Δθ)을 센싱하는 한 쌍의 거리감지센서; 및 상기 위치감지센서, 인식센서 및 거리감지센서를 제어하며, 상기 핸드의 기울기 값(Δθ)을 연산하여 상기 핸드의 기울기를 보정하고, 상기 이송로봇을 제어하는 제어부;를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 카세트의 전면에는, 상기 한 쌍의 거리감지센서를 통해 상기 카세트에 대한 상기 핸드의 기울기 값(Δθ)이 측정될 수 있도록 편평한 면을 갖는 반사용 지그가 상기 핸드의 길이방향과 대응하는 방향으로 가로지르게 설치된 것에 특징이 있다.
또한, 상기 위치감지센서가 상기 핑거바의 방향성과 일치될 수 있도록, 상기 핑거바의 측단부에 표적부재를 착탈 가능하게 결합하고, 상기 표적부재의 타겟에 상기 위치감지센서의 광축이 관통할 수 있도록 상기 위치감지센서를 미세조절하는 것에 특징이 있다.
그리고, 상기 카세트의 전면 기둥 중 어느 하나의 기둥에는 설정된 높이로 부착되어 상기 위치감지센서를 통해 카세트의 센터 위치를 검출하기 위한 초기위치가 검출될 수 있도록 하는 반사판이 구비된 것에 특징이 있다.
한편, 이송로봇의 티칭시스템을 이용한 이송로봇의 티칭방법은, 상기 핸드에 설치된 상기 위치감지센서의 광축이 상기 핑거바의 방향성과 일치되도록 상기 위치감지센서를 조절하는 단계(S10); 상기 위치감지센서를 통해 상기 핸드를 상기 카세트 전방에서 X,Y,Z축 상으로 이동시키면서 상기 카세트의 Z축 센터위치를 센싱하고, 상기 기판이 적재된 복수개의 지지편 사이로 상기 핑거바가 진입하는 위치를 센싱하는 단계(S20); 상기 거리감지센서를 통해 상기 카세트 전면에 대한 상기 핸드의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값(Δθ)을 센싱하며, 센싱된 기울기 값을 연산하여 상기 핸드의 기울기를 보정하는 단계(S30); 및 보정된 상기 핸드를 구동하여 상기 핑거바를 기판의 저면으로 진입시키고, 상기 핑거바를 상승시켜 상기 기판을 흡착하며, 흡착된 상기 기판을 기 설정된 높이까지 상승시키는 핸드의 티칭포인트를 설정하는 단계(S40);를 통해 티칭이 이루어진다.
이때, 상기 단계 S30에서 상기 핸드의 기울기 값(Δθ)은,
R1이 하나의 거리감지센서(500)로부터 센싱된 거리 값이고 R2가 다른 하나의 거리감지센서(500)로부터 센싱된 거리 값이며, Ds는 한 쌍의 거리감지센서(500) 사이의 폭이고, 상기 핸드(120)의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값을 Δθ로 정의하면, 상기 Δθ는 아래 수학식 1에 의해 정의되는 것에 특징이 있으며,
[수학식 1]
삭제
Δθ=tan^(-1)×[(R1-R2)/Ds]
또한, 상기 단계 S30에는, 보정된 상기 핸드의 기울기 값(Δθ)을 상기 거리감지센서를 통해 재 센싱하고 재 보정하는 단계를 더 포함하는 것에 특징이 있다.
더하여, 상기 단계 S30에는, 기울기가 보정된 상기 핸드를 상기 위치감지센서를 통해 상기 단계 S20을 거치도록 함으로서 상기 핸드를 재 센싱하는 단계를 포함하는 것에 특징이 있다.
한편, 상기 단계 S40에서 상기 핸드의 티칭포인트는, 상기 핑거바가 상기 기판의 저면으로 진입할 때 설정된 깊이로 진입하도록 상기 카세트의 기둥을 제1티칭포인트로 설정하는 단계; 상기 제1티칭포인트로부터 상기 핑거바를 Z축으로 서서히 상승시키면서 상기 핑거바에 구비된 진공흡입홀을 오픈하고, 상기 핑거바가 상기 기판의 저면과 접촉될 때 흡입압력이 설정된 기준치 이상으로 발생하는 시점을 제2티칭포인트로 설정하는 단계; 및 상기 카세트로부터 상기 기판의 반입 및 반출이 안정적으로 이루어질 수 있도록 상기 핸드를 설정된 위치까지 상승시킨 시점을 제3티칭포인트로 설정하는 단계;를 포함하는 것에 특징이 있다.
이때, 상기 단계 S40에는, 상기 핸드의 티칭포인트 설정 이후 상기 핸드를 최초의 위치로 복귀시키고 상기 카세트에 적재된 기판의 재고를 파악하는 단계를 더 포함하는 것에 특징이 있다.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법에 의하면, 카세트에 적재된 기판을 입.출하기 위한 이송로봇의 티칭이 자동으로 이루어지도록 함으로서 티칭시간을 단축하면서 카세트에 적재된 다양한 대형기판의 입.출이 정확하고 안정적으로 이루어질 수 있도록 함과 동시에, 티칭작업을 위한 작업 인원이 감소되도록 하면서 작업자의 안전이 담보되도록 하는 장점이 있다.
도 1은 종래에 따른 이송로봇과 카세트를 나타낸 사시도이고,
도 2는 종래에 따른 이송로봇의 티칭작업을 나타낸 사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 이송로봇의 티칭시스템을 나타낸 사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 이송로봇의 티칭시스템 중 핸드를 나타낸 요부사시도이며,
도 5는 핸드의 핑거바가 카세트의 센터위치에 배치된 상태를 나타낸 요부정면도이며,
도 6a 및 도 6b는 거리감지센서를 이용하여 핸드의 각도가 보정되는 과정을 나타낸 요부평면도이고,
도 7a 내지 도 7c는 핸드의 각 티칭포인트를 도시한 개략도이며,
도 8은 본 발명에 따른 이송로봇의 티칭시스템을 이용한 이송로봇의 티칭방법을 나타낸 플로우챠트이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 3은 본 발명에 따른 이송로봇의 티칭시스템을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 이송로봇의 티칭시스템 중 핸드를 나타낸 요부사시도이며, 도 5는 핸드의 핑거바가 카세트의 센터위치에 배치된 상태를 나타낸 요부정면도이며, 도 6a 및 도 6b는 거리감지센서를 이용하여 핸드의 각도가 보정되는 과정을 나타낸 요부평면도이고, 도 7a 내지 도 7c는 핸드의 각 티칭포인트를 도시한 개략도이다.
설명에 앞서, 상기 본 발명 이송로봇의 티칭시스템은 카세트 내부로 기판을 반입 및 반출할 수 있도록 사전에 후술하는 제어부를 통해 핸드를 자동으로 티칭(프로그램화)하고, 이를 통해 핸드의 구동 영역이 제어되도록 하는 것이다.
또한, 위치감지센서와, 인식센서 및 거리감지센서는 레이저의 조사 및 수광이 가능한 레이저센서를 예로 설명되며, 센싱이 이루어질 수 있는 센서라면 다양하게 실시될 수 있기 때문에 센서의 종류를 반드시 한정하지 않는다.
또한 여기서 기판은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하며, 기판과 대응하는 형상을 갖는 다양한 부재들을 포함하는 것은 물론이다.
도 3 내지 도 7에 나타낸 바와 같이 본 발명의 이송로봇(100)의 티칭시스템은, 상기 핑거바(123)의 방향성과 일치되는 방향으로 상기 핸드(120)에 설치되며, 상기 핸드(120)가 지정된 경로인 상기 X,Y,Z축 상으로 이동할 때 상기 카세트(200)로 레이저(L)를 조사하여 상기 카세트(200)의 센터위치(S)를 검출하고, 상기 기판(G)이 적재되는 복수개의 지지편(210) 사이로 상기 핑거바(123)가 진입하는 위치를 검출하는 위치감지센서(300); 상기 핸드(120)에 복수개로 배열된 바깥쪽 상기 핑거바(123)의 길이방향 말단부에 설치되며, 상기 핑거바(123)가 상기 카세트(200)로 진입 및 퇴출할 때 상기 카세트(200)의 기둥(220)을 센싱하여 상기 핑거바(123)가 설정된 깊이로 진입되도록 하는 적어도 하나의 인식센서(400); 서로 이격된 상태로 상기 핸드(120)의 길이방향으로 배치되며, 상기 핸드(120)의 길이방향 폭이 마주하는 상기 카세트(200)의 전면과 대응하는 거리를 유지할 수 있도록, 상기 카세트(200)와 상기 핸드(120) 사이의 거리를 각각 센싱하여 Z축을 중심으로 기울어진 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 센싱하는 한 쌍의 거리감지센서(500); 및 상기 위치감지센서(300), 인식센서(400) 및 거리감지센서(500)를 제어하며, 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 연산하여 상기 핸드(120)의 기울기를 보정하고, 상기 이송로봇(100)을 제어하는 제어부(600);를 포함하여 구성되어 있다.
본 발명의 이송로봇(100)은, 복수의 카세트(200)가 구비된 포트(미 도시) 내부를 레일(140)을 타고 움직이는 본체(110)와, 상기 본체(110)에 구비되며 소정의 길이를 갖는 복수개의 핑거바(123)를 구비한 핸드(120)와, 상기 본체(110)로부터 승강 가능하게 설치되고 핸드(120)와 연결되어 핸드(120)를 도면상 X,Y,Z축 상으로 이동시키면서 카세트(200) 내부로 기판(G)을 반입 및 반출시키는 복수개로 절첩된 링크(130)로 구성되어 있다.
여기서 기판(G)은 이송로봇(100)에 의해 반입 및 반출되는 평판표시소자로 LCD, PDP, 및 FED 등을 포함한다.
카세트(200)에는 복수의 기판(G)이 적재 및 반출될 수 있도록 기판(G)이 안착되는 마주하게 돌출된 지지편(210)이 형성되어 있다.
본 실시예에서는 핑거바(123)가 3개로 형성된 것으로 도시하고 있으나, 그 개수를 반드시 한정하지는 않는다.
상기 핸드(120)에는 위치감지센서(300)와, 인식센서(400), 거리감지센서(500)가 구비되어 있으며, 상기의 센서들은 제어부(600)에 의해 제어된다.
위치감지센서(300)는 카세트(200) 내부로 진입하여 기판(G)을 반입 및 반출하는 핸드(120)에 구비된 핑거바(123)의 방향성과 일치하는 방향으로 핸드(120)에 설치되어 있으며, 핸드(120)가 도면에 도시된 지정된 경로인 X,Y,Z축 상으로 이동할 때 카세트(200)로 레이저(L)를 조사하고 회귀하는 레이저(L)를 수광함으로써 카세트(200)의 센터위치(S)를 검출하고, 기판(G)이 적재되는 복수개의 지지편(210) 사이로 핑거바(123)가 진입하는 위치를 검출하는 역할을 한다.
이때 위치감지센서(300)가 핑거바(123)의 방향성과 일치되게 설치될 수 있도록, 카세트(200)로 향하는 핑거바(123)의 길이방향 측단부에 타켓(313)을 갖는 표적부재(310)를 착탈 가능하게 결합하고, 작업자가 표적부재(310)의 타켓(313)으로 위치감지센서(300)의 레이저(L)를 조사하여 레이저(L)의 광축이 관통할 때까지 위치감지센서(300)를 미세조절한다(도 4 참조).
더하여, 핑거바(123)에 설치된 표적부재(310) 타켓(313)의 높이는 핸들에 설치된 위치감지센서(300)로부터 조사되는 레이저(L)와 동일한 높이를 유지하는 것은 물론일 것이다.
한편, 상기 카세트(200)의 전면 기둥(220) 중 어느 하나의 기둥(220)에는 기 설정된 높이로 부착되어 위치감지센서(300)를 통해 카세트(200)의 센터위치(S)를 검출하기 위한 초기위치가 검출될 수 있도록 하는 반사판(320)이 구비된다.
이 반사판(320)은 위치감지센서(300)로부터 조사되는 레이저(L)를 반사시켜 다시 위치감지센서(300)로 수광되도록 하는 역할을 한다. 여기서, 반사판(320)의 구조 및 형상은 반드시 한정되지는 않는다.
상기와 같은 위치감지센서(300)는, 먼저 기둥(220)에 구비된 반사판(320)으로 핸드(120)가 이동한 상태에서 반사판(320)으로 레이저(L)를 조사하고 수광하여 반사판(320)의 중심을 센싱하고, 중심을 기점으로 X축 방향으로 기 설정된 거리만큼 이동할 때 카세트(200)의 센터위치(S)를 센싱하며, 센터위치(S)로부터 Z축 방향으로 도 5의 점선과 같이 기 설정된 거리만큼 하강하여 기판(G)이 적재되는 복수개의 지지편(210) 사이로 핑거바(123)가 진입할 수 있는 위치를 센싱하는 것이다(도 5 참조).
상기의 센싱신호들은 후술하는 제어부(600)로 전달되며, 제어부(600)에서는 전달된 센싱신호들에 대한 좌표값을 저장하게 된다.
인식센서(400)는 핸드(120)에 복수개로 배열된 바깥쪽의 핑거바(123)의 길이방향(카세트 방향)의 말단부에 설치되며, 핸드(120)의 핑거바(123)가 카세트(200) 내부로 기판(G)을 반입 및 반출하기 위해 진입 및 퇴출할 때 카세트(200)의 기둥(220)을 센싱하여 핑거바(123)가 카세트(200) 내부로 설정된 깊이만큼 진입되도록 하는 것이다(도 3 및 도 4 참조).
상기의 인식센서(400)는 반드시 레이저(L)용 센서일 필요는 없으며, 기둥(220)을 센싱할 수 있는 센서라면 무관하다.
한편, 인식센서(400)는 바깥쪽 어느 하나의 핑거바(123)에 설치될 수도 있으며, 바깥쪽 핑거바(123) 양측에 각각 설치될 수도 있다.
따라서 인식센서(400)는 도 7a에 도시된 바와 같이, 카세트(200) 내부로 진입 및 퇴출할 때 기둥(220)을 인식함으로써 핑거바(123)가 설정된 깊이만큼 정확하게 진입하고, 핑거바(123)의 퇴출 시점을 센싱하기 때문에 기판(G)의 안정적인 반입 및 반출을 가능하게 한다.
거리감지센서(500)는 도 3, 도 4 및 도 6a,6b에 도시된 바와 같이, 핸드(120)의 길이방향 폭이 마주하는 카세트(200)의 전면과 대응하는 거리를 유지할 수 있도록 하는 것으로, 서로 이격된 상태로 핸드(120)의 길이방향으로 한 쌍으로 배치되어 카세트(200)와 핸드(120) 사이의 거리를 각각 센싱하여 Z축을 중심으로 기울어진 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 센싱하게 된다.
정확하게 한 쌍의 거리감지센서(500)는, 핑거바(123)가 향하는 방향과 직교하는 방향으로 핸드(120)의 상부면에 배치되어 있으며, 별도의 고정부재에 의해 핸드(120) 상부면에서 동일 선상의 위치를 유지한 상태이다.
이때 한 쌍의 거리감지센서(500)와 마주하는 카세트(200)의 전면에는, 한 쌍의 거리감지센서(500)를 통해 카세트(200)에 대한 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)이 측정될 수 있도록 편평한 면을 갖는 반사용 지그(510)가 핸드(120)의 길이방향과 대응하는 방향으로 가로지르게 설치된다(도 3 및 도 6a,6b 참조).
반사용 지그(510)는 각 거리감지센서(500)로부터 조사되는 레이저(L)를 반사시켜 다시 각 거리감지센서(500)로 수광되도록 하는 역할을 하는 것이며, 본 실시예에서는 반사용 지그(510)의 구조 및 형상을 한정하지는 않는다.
따라서 한 쌍의 거리감지센서(500(R1,R2))는, 핸드(120)가 카세트(200)의 센터와 일치하고 핑거바(123)의 일부가 지지편(210) 사이로 기 설정된 깊이만큼 도 6a와 같이 진입한 상태에서 마주하는 반사용 지그(510)로 각각 레이저(L)를 조사하고, 반사용 지그(510)에 의해 회귀되는 레이저(L)를 수광하여 반사용 지그(510)와 핸드(120) 사이의 거리 각각 센싱함으로써, 각 거리감지센서(500)가 센싱한 거리 값을 비교하여 카세트(200) 전면에 대하여 Z축을 중심으로 기울어진 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)이 후술하는 제어부(600)를 통해 산출될 수 있도록 하여 도 6b와 같이 핸드(120)가 보정되도록 하는 것이다.
정확하게, 각 거리감지센서(500(R1,R2))로부터 센싱된 거리 값을 제어부(600)로 송신하여 제어부(600)에서 다음과 같은 수학식 1을 통해 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)이 산출될 수 있도록 한다.
[수학식 1]
Δθ=tan^(-1)×[(R1-R2)/Ds]
상기의 수학식 1을 적용하면 카세트(200)의 전면에 대한 핸드(120)의 보정각도를 정확하게 산출할 수 있으므로, 핸드(120)가 제어부(600)의 제어에 의해 카세트(200)와 대응하는 각을 유지하도록 보정되기 때문에 기판(G)을 안정적으로 반입 및 반출하게 된다.
제어부(600)는 위치감지센서(300), 인식센서(400) 및 거리감지센서(500)를 제어하며, 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 연산하여 핸드(120)의 기울기를 보정하고, 이송로봇(100)을 제어하게 된다.
즉, 제어부(600)는 위치감지센서(300), 인식센서(400) 및 거리감지센서(500)로부터 센싱신호들을 수신하여 저장하고, 특히 앞서 서술된 수학식 1을 적용하여 산출된 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 토대로 핸드(120)의 기울기 보정과 함께 핑거바(123)가 설정된 깊이로 진입할 수 있도록 이송로봇(100)을 제어하는 것이다.
이하, 본 발명에 따른 이송로봇(100)의 티칭시스템을 이용한 이송로봇(100)의 티칭방법에 대해 도 4 내지 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 8은 본 발명에 따른 이송로봇의 티칭시스템을 이용한 이송로봇의 티칭방법을 나타낸 플로우챠트이다.
이송로봇(100)의 티칭방법은, 상기 핸드(120)에 설치된 상기 위치감지센서(300)의 광축이 상기 핑거바(123)의 방향성과 일치되도록 상기 위치감지센서(300)를 조절하는 단계(S10); 상기 위치감지센서(300)를 통해 상기 핸드(120)를 상기 카세트(200) 전방에서 X,Y,Z축 상으로 이동시키면서 상기 카세트(200)의 Z축 센터위치(S)를 센싱하고, 상기 기판(G)이 적재된 복수개의 지지편(210) 사이로 상기 핑거바(123)가 진입하는 위치를 센싱하는 단계(S20); 상기 거리감지센서(500)를 통해 상기 카세트(200) 전면에 대한 상기 핸드(120)의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값(Δθ)을 센싱하며, 센싱된 기울기 값을 연산하여 상기 핸드(120)의 기울기를 보정하는 단계(S30); 및 보정된 상기 핸드(120)를 구동하여 상기 핑거바(123)를 기판(G)의 저면으로 진입시키고, 상기 핑거바(123)를 상승시켜 상기 기판(G)을 흡착하며, 흡착된 상기 기판(G)을 기 설정된 높이까지 상승시키는 핸드(120)의 티칭포인트를 설정하는 단계(S40);를 통해 이루어진다.
복수개의 기판(G)이 적재된 카세트(200) 측으로 이송로봇(100)이 이동하여 핸드(120)를 카세트(200)의 전방에 위치시킨다.
이때, 핸드(120)와 카세트(200)는 티칭이 이루어지지 않은 초기 상태이다.
핸드(120)에 설치된 위치감지센서(300)의 광축이 핑거바(123)의 방향성과 일치되도록 위치감지센서(300)를 조절하는 단계(S10)를 보면,
먼저, 도 4와 같이 핸드(120)에 설치된 위치감지센서(300) 측에 인접하는 핑거바(123)의 단부측에 타켓(313)을 갖는 표적부재(310)를 결합한다.
상기의 상태에서 위치감지센서(300)로부터 타켓(313)으로 레이저(L)를 조사하고, 작업자가 타켓(313)에 조사되는 레이저(L) 스팟(spot)을 확인하면서 레이저(L) 스팟이 타켓(313)의 중심을 관통할 수 있도록 위치감지센서(300)를 미세조절하여 위치감지센서(300)를 셋팅한다.
이렇게 되면, 위치감지센서(300)는 핑거바(123)와 동일한 방향이 유지됨에 따라 핑거바(123)가 향하는 방향으로 레이저(L)를 조사하게 된다.
다음으로, 위치감지센서(300)를 통해 핸드(120)를 카세트(200) 전방에서 X,Y,Z축 상으로 이동시키면서 카세트(200)의 Z축 센터위치(S)를 센싱하고, 기판(G)이 적재된 복수개의 지지편(210) 사이로 핑거바(123)가 진입하는 위치를 센싱하는 단계(S20)를 보면,
위치감지센서(300)의 셋팅이 완료면, 제어부(600)는 위치감지센서(300)가 기둥(220)에 설치된 반사판(320)을 센싱할 수 있도록 핸드(120)를 사전에 설정 입력된 좌표값에 따라 X,Y,Z축 상으로 이동시킨다.
핸드(120) 이동중 위치감지센서(300)가 반사판(320)을 센싱하면, 핸드(120)는 도면상 수평(X축)과 수직(Z축)방향을 교번적으로 이동하면서 위치감지센서(300)를 통해 반사판(320)의 전체적인 면적(도 5의 반사판(320)의 십자선 참조)이 센싱되도록 한다. 여기서 반사판(320)의 전체 면적에 대한 데이터 값은 제어부(600)로 송신됨은 물론이다.
상기의 과정을 통해 반사판(320)의 면적이 센싱되면, 제어부(600)는 이를 연산하여 반사판(320)의 중심 좌표값을 생성하고, 생성된 좌표값의 중심으로 위치감지센서(300)가 위치할 수 있도록 핸드(120)를 이동시킨다.
위치감지센서(300)가 반사판(320)의 중심에 위치하면, 제어부(600)는 사전에 입력된 반사판(320)의 중심과 카세트(200) 센터위치(S)와의 거리를 연산하여 핸드(120)의 중심(도면상 가운데 핑거바(123))과 카세트(200)의 센터위치(S)가 일치되도록 핸드(120)를 도 5에 도시된 점선을 따라 이동시킨다.
이동된 핸드(120)는 다시 제어부(600)의 제어에 따라 지지편(210)과 지지편(210) 사이로 핑거바(123)가 진입할 수 있는 최적의 위치로 기 설정된 거리만큼 하강하여 도 5와 같이 위치하게 된다.
상기의 위치는 핸드(120)의 핑거바(123)가 카세트(200) 내부로 진입하기 전 상태이다.
다음으로, 거리감지센서(500)를 통해 카세트(200) 전면에 대한 핸드(120)의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값(Δθ)을 센싱하며, 센싱된 기울기 값을 연산하여 핸드(120)의 기울기를 보정하는 단계(S30)를 보면,
먼저, 단계 S20을 거쳐 카세트(200)의 전방에 위치된 핸드(120)는 도 6a에 도시된 바와 같이 사전에 설정된 깊이만큼 핑거바(123)를 카세트(200)로 진입시킨다.
핑거바(123)가 진입되면, 한 쌍의 거리감지센서(500)는 도 6a에 도시된 바와 같이 각각 반사용 지그(510)를 향해 레이저(L)를 조사하고, 반사용 지그(510)에 의해 반사되는 레이저(L)를 수광하며, 수광된 데이터 값 즉 각 거리감지센서(500)와 반사용 지그(510) 사이의 거리 값을 제어부(600)로 송신한다.
제어부(600)는 수신된 데이터 값을 연산하여 카세트(200) 전면에 대하여 Z축을 중심으로 기울어진 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 산출하고, 제어를 통해 핸드(120)를 도 6b에 도시된 바와 같이 회동시켜 기울기를 보정한다.
이때, 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)은, 아래의 수학식 1에 의해 정의될 수 있다.
R1이 하나의 거리감지센서(500)로부터 센싱된 거리 값이고 R2가 다른 하나의 거리감지센서(500)로부터 센싱된 거리 값이며, Ds는 한 쌍의 거리감지센서(500) 사이의 폭이고, 상기 핸드(120)의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값을 Δθ로 정의하면,
[수학식 1]
Δθ=tan^(-1)×[(R1-R2)/Ds]
상기의 수학식 1에 의해 핸드(120) 기울기 값(Δθ)이 산출됨에 따라 핸드(120)의 정확한 기울기 보정이 가능해져 카세트(200) 내부로 핑거바(123)가 입.출입시 카세트(200)와의 충돌없는 안정적인 출입이 가능하다.
이후, 보정된 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 다시 한 쌍의 거리감지센서(500)를 통해 재 센싱하고, 핸드(120)를 재 보정하는 단계 S30을 한번 더 실행하는 것이 바람직하다.
이는, 보정된 핸드(120)의 기울기가 10 마이크로 범위 이내로 보정되었는지를 확인하기 위해서이다.
상기의 과정을 통해 핸드(120)의 기울기가 정확하게 보정되면, 기울기가 보정된 핸드(120)를 위치감지센서(300)를 통해 단계 S20을 다시 한번 거치도록 함으로서 핸드(120)를 재 센싱하는 단계를 실행하는 것이 바람직하다.
즉, 핸드(120)의 기울기가 보정된 관계로 단계 S20을 통해 셋팅된 카세트(200)의 센터위치(S) 및 핑거바(123)가 진입하는 위치에 대한 핸드(120)의 방향이 변경되어 있기 때문에 이를 바로 보정 하기 위함이다.
상기 핸드(120)가 단계 S20을 거치는 과정은 앞서 서술된 사항임에 따라 설명은 생략하기로 한다.
위 단계 S20의 재 센싱 과정을 거친 핸드(120)는 카세트(200)의 전방에 위치된 상태이다.
마지막으로, 보정된 핸드(120)를 구동하여 핑거바(123)를 기판(G)의 저면으로 진입시키고, 핑거바(123)를 상승시켜 기판(G)을 흡착하며, 흡착된 기판(G)을 기 설정된 높이까지 상승시키는 핸드(120)의 티칭포인트를 설정하는 단계(S40)를 보면,
상기의 단계는 핸드(120)의 구동에 의해 핑거바(123)가 카세트(200)로 진입하는 순간부터 기판(G)을 기 설정된 높이로 들어올리는 시점을 티칭하는 것이다.
이 경우 핸드(120)의 티칭포인트는, 제1티칭포인트와 제2티칭포인트와 제3티칭포인트에 의해 설정된다.
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이 핑거바(123)가 기판(G)의 저면으로 진입할 때 핑거바(123)가 설정된 깊이로 진입하도록 카세트(200)의 기둥(220)을 제1티칭포인트를 설정한다.
즉, 핑거바(123) 진입 시 말단부에 설치된 인식센서(400)가 기둥(220)을 센싱하고, 제어부(600)로 송신함으로써 제어부(600)에서 제1티칭포인트로 설정되도록 하는 것이다. 이렇게 되면, 제어부(600)에서는 기 설정된 데이터를 기준으로 핑거바(123)가 설정된 깊이만큼 진입하도록 핸드(120)를 제어하게 된다.
여기서 제1티칭포인트의 센싱위치는 반드시 기둥(220)일 필요는 없으며, 특정된 위치에 설치되어 핑거바(123)가 설정된 깊이만큼 진입할 수 있도록 핑거바(123)의 최초 진입이 센싱될 수 있는 부재라면 한정하지 않는다.
이후, 핑거바(123)가 설정된 깊이만큼 진입하면, 핑거바(123)를 Z축으로 서서히 상승시키면서 핑거바(123)에 구비된 진공흡입홀(125)을 오픈하고, 도 7b에 도시된 바와 같이 핑거바(123)가 기판(G)의 저면과 접촉될 때 흡입압력이 설정된 기준치 이상으로 발생하는 시점을 제2티칭포인트로 설정한다.
즉, 핑거바(123)와 기판(G)이 밀착되는 순간 진공흡입홀(125)의 석션이 차단되어 흡입압력이 상승하기 때문에 제어부(600)에서 이를 감지하여 핑거바(123)에 기판(G)이 안착된 것으로 판단하고 제2티칭포인트로 설정하는 것이다.
핸드(120)의 제2티칭포인트가 설정되면, 제어부(600)는 카세트(200)로부터 기판(G)의 반입 및 반출이 안정적으로 이루어질 수 있도록 도 7c에 도시된 바와 같이 핸드(120)를 기 설정된 위치까지 상승시키고, 상승된 위치를 제3티칭포인트로 설정한다.
이때 핸드(120)가 상승하는 설정된 위치는, 사전에 복수개 지지편(210)의 간격을 입력하여 설정된 지지편(210)과 지지편(210) 사이의 위치를 의미한다.
상기 핸드(120)의 티칭포인트가 설정되면, 핸드(120)를 최초의 위치로 복귀시키고 카세트(200)에 적재된 기판(G)의 재고를 파악하는 단계를 더 거치는 것이 바람직하다.
이는, 최종적으로 핸드(120)의 티칭이 완료된 상태이기 때문에 작업자가 이송로봇(100)을 구동시키기 전에 카세트(200)의 개수 또는 카세트(200) 내에 적재된 기판(G)의 수량 및 재고를 파악하고, 파악된 재고 상황에 따라 제어부(600)를 셋팅하여 카세트(200)로 기판(G)의 반입 및 배출이 정확하게 이루어질 수 있도록 하기 위함이다.
상기와 같이 재고 파악 및 제어부(600)의 셋팅이 완료되면, 이송로봇(100)을 구동시켜 티칭포인트가 설정된 핸드(120)를 이용하여 카세트(200) 내부로 기판(G)을 반입 및 반출한다.
지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법은, 카세트에 적재된 기판을 입.출하기 위한 이송로봇의 티칭이 자동으로 이루어지도록 함으로서 티칭시간을 단축하면서 카세트에 적재된 다양한 대형기판의 입.출이 정확하고 안정적으로 이루어질 수 있도록 함과 동시에, 티칭작업을 위한 작업 인원이 감소되도록 하면서 작업자의 안전이 담보되도록 하는 장점이 있다.
이상, 본 발명의 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법을 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.
즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.
100 : 이송로봇 110 : 본체 120 : 핸드
123 : 핑거바 125 : 진공흡입홀 130 : 링크
140 : 레일 200 : 카세트 210 : 지지편
220 : 기둥 300 : 위치감지센서 310 : 표적부재
313 : 타켓 320 : 반사판 400 : 인식센서
500 : 거리감지센서 510 : 반사용지그 600 : 제어부
G : 기판 L : 레이저 S : 센터위치

Claims (10)

  1. X,Y,Z축 상으로 이동하면서 카세트(200) 내부로 기판(G)을 반입 및 반출할 수 있도록 소정의 길이를 갖는 복수개의 핑거바(123)가 형성된 핸드(120)를 구비한 이송로봇(100)의 티칭시스템에 있어서,
    상기 핑거바(123)의 방향성과 일치되는 방향으로 상기 핸드(120)에 설치되며, 상기 핸드(120)가 지정된 경로인 상기 X,Y,Z축 상으로 이동할 때 상기 카세트(200)로 레이저(L)를 조사하여 상기 카세트(200)의 센터위치(S)를 검출하고, 상기 기판(G)이 적재되는 복수개의 지지편(210) 사이로 상기 핑거바(123)가 진입하는 위치를 검출하는 위치감지센서(300);
    상기 핸드(120)에 복수개로 배열된 바깥쪽 상기 핑거바(123)의 길이방향 말단부에 설치되며, 상기 핑거바(123)가 상기 카세트(200)로 진입 및 퇴출할 때 상기 카세트(200)의 기둥(220)을 센싱하여 상기 핑거바(123)가 설정된 깊이로 진입되도록 하는 적어도 하나의 인식센서(400);
    서로 이격된 상태로 상기 핸드(120)의 길이방향으로 배치되며, 상기 핸드(120)의 길이방향 폭이 마주하는 상기 카세트(200)의 전면과 대응하는 거리를 유지할 수 있도록, 상기 카세트(200)와 상기 핸드(120) 사이의 거리를 각각 센싱하여 Z축을 중심으로 기울어진 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 센싱하는 한 쌍의 거리감지센서(500); 및
    상기 위치감지센서(300), 인식센서(400) 및 거리감지센서(500)를 제어하며, 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 연산하여 상기 핸드(120)의 기울기를 보정하고, 상기 이송로봇(100)을 제어하는 제어부(600);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 카세트(200)의 전면에는, 상기 한 쌍의 거리감지센서(500)를 통해 상기 카세트(200)에 대한 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)이 측정될 수 있도록 편평한 면을 갖는 반사용 지그(510)가 상기 핸드(120)의 길이방향에 수직하는 방향으로 가로지르게 설치된 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 위치감지센서(300)가 상기 핑거바(123)의 방향성과 일치될 수 있도록,
    상기 핑거바(123)의 측단부에 표적부재(310)를 착탈 가능하게 결합하고, 상기 표적부재(310)의 타켓(313)에 상기 위치감지센서(300)의 광축이 관통할 수 있도록 상기 위치감지센서(300)를 미세조절하는 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 카세트(200)의 전면 기둥(220) 중 어느 하나의 기둥(220)에는 설정된 높이로 부착되어 상기 위치감지센서(300)를 통해 카세트(200)의 센터위치를 검출하기 위한 초기위치가 검출될 수 있도록 하는 반사판(320)이 구비된 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 이송로봇(100)의 티칭시스템을 이용한 이송로봇(100)의 티칭방법은,
    상기 핸드(120)에 설치된 상기 위치감지센서(300)의 광축이 상기 핑거바(123)의 방향성과 일치되도록 상기 위치감지센서(300)를 조절하는 단계(S10);
    상기 위치감지센서(300)를 통해 상기 핸드(120)를 상기 카세트(200) 전방에서 X,Y,Z축 상으로 이동시키면서 상기 카세트(200)의 Z축 센터위치(S)를 센싱하고, 상기 기판(G)이 적재된 복수개의 지지편(210) 사이로 상기 핑거바(123)가 진입하는 위치를 센싱하는 단계(S20);
    상기 거리감지센서(500)를 통해 상기 카세트(200) 전면에 대한 상기 핸드(120)의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값(Δθ)을 센싱하며, 센싱된 기울기 값을 연산하여 상기 핸드(120)의 기울기를 보정하는 단계(S30); 및
    보정된 상기 핸드(120)를 구동하여 상기 핑거바(123)를 기판(G)의 저면으로 진입시키고, 상기 핑거바(123)를 상승시켜 상기 기판(G)을 흡착하며, 흡착된 상기 기판(G)을 기 설정된 높이까지 상승시키는 핸드(120)의 티칭포인트를 설정하는 단계(S40);를 포함하는 이송로봇(100)의 티칭방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 단계 S30에서 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)은,
    R1이 하나의 거리감지센서(500)로부터 센싱된 거리 값이고 R2가 다른 하나의 거리감지센서(500)로부터 센싱된 거리 값이며, Ds는 한 쌍의 거리감지센서(500) 사이의 폭이고, 상기 핸드(120)의 Z축을 중심으로 기울어진 기울기 값을 Δθ로 정의하면,
    상기 Δθ는 아래 수학식 1에 의해 정의되는 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭방법.
    [수학식 1]
    Δθ=tan^(-1)×[(R1-R2)/Ds]
  7. 제6항에 있어서,
    상기 단계 S30에는,
    보정된 상기 핸드(120)의 기울기 값(Δθ)을 상기 거리감지센서(500)를 통해 재 센싱하고 재 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 단계 S30에는,
    기울기가 보정된 상기 핸드(120)를 상기 위치감지센서(300)를 통해 상기 단계 S20을 거치도록 함으로서 상기 핸드(120)를 재 센싱하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭방법.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 단계 S40에서 상기 핸드(120)의 티칭포인트는,
    상기 핑거바(123)가 상기 기판(G)의 저면으로 진입할 때 설정된 깊이로 진입하도록 상기 카세트(200)의 기둥(220)을 제1티칭포인트로 설정하는 단계;
    상기 제1티칭포인트로부터 상기 핑거바(123)를 Z축으로 서서히 상승시키면서 상기 핑거바(123)에 구비된 진공흡입홀(125)을 오픈하고, 상기 핑거바(123)가 상기 기판(G)의 저면과 접촉될 때 흡입압력이 설정된 기준치 이상으로 발생하는 시점을 제2티칭포인트로 설정하는 단계; 및
    상기 카세트(200)로부터 상기 기판(G)의 반입 및 반출이 안정적으로 이루어질 수 있도록 상기 핸드(120)를 설정된 위치까지 상승시킨 시점을 제3티칭포인트로 설정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭방법.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 단계 S40에는,
    상기 핸드(120)의 티칭포인트 설정 이후 상기 핸드(120)를 최초의 위치로 복귀시키고 상기 카세트(200)에 적재된 기판(G)의 재고를 파악하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇(100)의 티칭방법.
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