JP2006294642A - ウエハ飛出しセンサ、ロードポートおよびロードポートの制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 発塵が少ない上に、万一ロードポートが暴走した場合であったとしてもウエハを破損することが無く、さらに構成がシンプルなウエハマッピング装置と、ウエハ飛出し量が少なくても検出が可能な、あるいはウエハの向きにかかわらず所定の飛出し量で検出が可能なウエハ飛出しセンサとを備えた信頼性の高いロードポートを提供する
【解決手段】 ロードポートのドアを囲むフレーム１０１と、前記フレーム上部に固定された前記基板収納容器に収納されたウエハの枚数を検出するマッピングセンサ１０５と、前記フレームの下部に設けられたローラと、前記フレームを引込むための引込み手段と、前記ローラが接触することで前記マッピングセンサを前記基板収納容器内部に進入させるための第１テーパブロック１０９と、前記ローラが接触することで前記マッピングセンサの下降を停止させるための第２テーパブロック１０８と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエハを収納したＦＯＵＰの蓋を開閉するロードポートに関し、特に載置されたＦＯＵＰ内に収納されたウエハの有無を検出するマッピングセンサおよびウエハ飛出しセンサに関する。

従来、マッピングに必要なセンサは基板収納容器と干渉することを防ぐ為に、準備段階で基板収納容器の内部に向かって突出するように展開可能な構造となっていた。しかし、このような展開機構は一般に塵を発生させやすく、この塵はウエハに付着して汚染の原因となる問題があった。
この問題を解決するために、従来のロードポートは、図６に示すようになっている（例えば、特許文献１参照）。
図において、６は基板収納容器の蓋を把持するドアである。５はマッピングフレームであり、マッピングフレーム駆動用シリンダ３５が動作することで、支点４１を中心に回転移動する。９はマッピングセンサとなる透過式センサであり、マッピングフレーム上端のセンサ支持棒１３の先端に設けられている。
図７（ａ）は、オープナ３の可動部５６をロードポート部５１側から見た図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）の矢視Ｘを示した図である。可動部５６は鉛直方向に昇降を行う為のエアー駆動式のロッドレスシリンダ３３と支持部材６０とを備え、基板収納容器２より空気流の下流となるように基板収納容器２の下面より下方に配置されている。支持部材６０には固定部材３９とエアー駆動式のシリンダ３１とシリンダ３５とが取り付けられている。可動部５６はロードポート部５１側に設けられていて、仕切り５５に設けられた長穴５７からドアアーム４２およびマッピングフレームアーム１２ａおよびマッピングフレームアーム１２ｂによりミニエンバイロンメント側のオープナ３を支えている。長穴５７は可動部５６の移動方向、すなわち、鉛直方向を長手方向として設けられている。長穴５７によりミニエンバイロンメント内の清浄度が低下しないように、ロードポート部５１とミニエンバイロンメントとはカバー５８により仕切られている。さらに、オープナ３が下降したときのオーバランを防止するためのリミッタ５９が仕切り５５の下方に設けられている。仕切り５５にはロッドレスシリンダ３３とガイド６１ａとガイド６１ｂとが長穴５７に沿って設けられている。可動部５６はロッドレスシリンダ３３によりガイド６１ａとガイド６１ｂに沿って昇降を行う。可動部５６の横にはロッドレスシリンダ３３に沿ってセンサードグ７が備えられている。

センサードグ７はロッドレスシリンダ３３に沿った方向に延びる板状体であって、その長手方向には一定間隔で配置した指標手段を有している。指標手段として一定間隔で配置された切り欠きである凹凸部１２を有している。その凹凸の数は基板収納容器内のウエハ配置用棚の段数と対応し、さらにその凹凸は可動部がある任意の棚に差し掛かった際にかならず一の切り欠きが対応するように配置されている。センサードグ７側の可動部５６には横の仕切り５５上に第２の透過式センサたる透過式センサ８が固定されている。透過式センサ８のセンサ部はセンサードグ７に設けられた一定の間隔の切り欠きを備えた凹凸１２を挟むように配置されていて、可動部５６の移動に応じてこのセンサードグ７の凹凸部１２を検出できるようになっている。

次に、マッピングの動作について説明する。ドア６が開口１０を塞いでいる際には透過センサ９が固定されたマッピングフレーム５が開口１０から離れるように待避しており、該ドア６が蓋４を保持して該蓋を分離する。蓋４が分離された後、マッピングフレームアーム１２が回動したと仮定したときにマッピングフレーム５の上端がミニエンバイロンメント開口部１０の位置に入る位置まで可動部５６がわずかに下降する。この下降が終了後、マッピングフレームアーム１２が実際に回動を開始する。すなわち、マッピングフレーム駆動用シリンダ３５のロッド３８が伸びてマッピングフレーム５がミニエンバイロンメント開口部１０の周囲にほぼ接触するまでマッピングフレームアーム１２が回動する。すると、マッピングフレーム５の上側に取り付けられている透過式センサ９がミニエンバイロンメント開口部１０から外に出て基板収納容器２内に挿入される。この時点で、透過式センサ９ａおよび透過式センサ９ｂは、透過式センサ９ａと透過式センサ９ｂとを結ぶ直線上にウエハ１が位置し検出空間を構成する。

この状態で可動部５６が鉛直方向に移動するとマッピングが実行される。すなわち、ロードポート３はロッドレスシリンダ３３により下降する。透過式センサ９ａと９ｂは可動部５６およびロードポート３と共にウエハ１の面に対して垂直方向に下降するので、ウエハ１が棚の段に存在するときには透過式センサ９ａから発せられた光を遮り、一方ウエハ１が棚の段から欠落しているときには、透過式センサ９ａの光は遮られない。透過式センサ９ｂがウエハ１により遮られたときに非透過信号を発し透過式センサ９ｂがウエハ１により遮られないときに透過信号を発するようにしておけば、非透過信号が検知されているときにはウエハ１が存在すると判断でき、透過信号が検知されているときはウエハ１が欠落していると判断できる。さらに、以下に説明するようにこれにウエハ１の位置の信号をも加味して総合判断を行う。

透過式センサ８のセンサ部はセンサードグ７に設けられた一定の間隔の切り欠きを備えた凹凸１２を挟むように配置されているので、可動部５６が下降する際に透過式センサ８も共に下降してセンサードグ７の凹凸１２を検出する。このとき、透過式センサ８が凹部を通過するときには透過式センサ８は遮光されずに透過信号を発し、凸部を通過したときには透過式センサ８が遮光されて非透過信号を発するようになっている。従って、透過式センサ９ａと９ｂが基板収納容器２内の棚の各段を通過する時点と透過式センサ８が凹部を通過する時点とが対応するようにセンサードグ７の凹凸１２を予め設定しておけば、透過透過式センサ８が検出する透過・非透過の信号は、透過式センサ９が実際に通過する棚の段の信号を示すことになる。これと透過式センサ９ａがウエハ１により遮光する結果検出される透過・非透過の信号の検出結果と比較して、透過式センサ８が棚の段に対応する信号を検知したときに透過式センサ９ａが遮光されればウエハ１はその棚段に存在したと判断でき、一方、その時透過式センサ９ａが遮光されなければその棚段にはウエハ１が欠落していたと判断できる。すべてのウエハ１に対してこれを繰り返し、マッピング動作を完了する。

その後、マッピングフレーム開閉シリンダ３５のロッド３８を再度縮めるとマッピングフレームアーム１２が回動してマッピングフレーム５がミニエンバイロンメント開口部１０から離れるように移動する。ロッド３８が最も縮まったところでマッピングフレーム５の移動が完了する。そして可動部５６が最下点まで移動をし、蓋４の分離とともにウエハ１のマッピングを行う一連の動作を完了する。

一方、従来のウエハの飛出しを検出するためのウエハ飛出しセンサは、図８に示すようになっている（例えば、特許文献２参照）。図において、８０３はロードポートである。８０１はロードポート８０３に載置された基板収納容器である。８０４はロードポートドアである。８０２は、ウエハ飛出しセンサであり、基板収納容器８０１の開口部における下縁側と上縁側に透過型の光学式センサ８０２を一組設け、基板収納容器内のウエハが開口部から飛出したとき、そのウエハの周縁部で検出光が遮光されることで飛出し検出する構成となっている。
図８においては、基板収納容器８０１は、オープンカセットとなっているが、ＦＯＵＰであっても、ウエハ飛出しセンサの構成は同様である。また、一般的に、ウエハ飛出しセンサは、基板収納容器内のウエハ端部から２０ｍｍ前後離れた位置に設けられている。
特開２００４−１５３２８１号公報（第６−１０頁、図２） 特開２００２−１１０７５６号公報（第５頁、図１）

従来のロードポートは、センサの誤動作等の何らかの原因でマッピングセンサがＦＯＵＰ内に進入するタイミングを誤ると、ロードポート本体やＦＯＵＰに干渉してしまい、装置やＦＯＵＰを破損してしまう問題があった。また、ＦＯＵＰ内でマッピングを終えたマッピングセンサがＦＯＵＰから排出されるタイミングを誤ると、そのままマッピングセンサは下降を続け、ＦＯＵＰ開口部の前縁部に干渉してウエハを破損してしまうという問題があった。さらに、マッピングセンサがＦＯＵＰ内に進入する時および排出される時には、エアシリンダによる昇降軸の動作を途中で停止する必要があるが、途中で停止できるエアシリンダは一般的ではなく、簡単な構成ではなかった。
一方、ウエハ飛出しセンサは、基板収納容器内のウエハ端部から２０ｍｍ前後離れた位置に設けられているため、ウエハの飛出し量が２０ｍｍ程度以下の場合は、検出することができないという問題があった。また、図９に示すように、検出光を遮光するウエハの周縁部がオリフラ部でなければ飛出し検出できるが、オリフラ部となる場合には、検出光が遮光されず、所定の飛出し量であっても飛出し検出ができないという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、発塵が少ない上に、万一ロードポートが暴走した場合であったとしてもウエハを破損することが無く、さらに構成がシンプルなウエハマッピング装置と、ウエハ飛出し量が少なくても検出が可能な、あるいはウエハの向きにかかわらず所定の飛出し量で検出が可能なウエハ飛出しセンサとを備えた信頼性の高いロードポートを提供することを目的とする。

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、半導体処理装置に接続され、載置された基板収納容器の蓋を開閉するためのロードポートにおいて、前記ロードポートのドアを囲むマッピングフレームと、前記マッピングフレーム上部に固定されて前記基板収納容器に収納されたウエハの枚数を検出するマッピングセンサと、前記マッピングフレームの下部に設けられたローラと、前記ローラを引込むための引込み手段と、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサを前記基板収納容器内部に進入させるための第１テーパブロックと、前記第１テーパブロックの下部に設けられ、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサの下降を停止させるための第２テーパブロックと、を備えたことを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、前記マッピングフレーム上部にウエハ飛出しを検出するウエハ飛出しセンサを備え、前記ウエハ飛出しセンサの検出光は、前記マッピングセンサの検出光と略平行に照射されることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記マッピングセンサの検出光が、前記ウエハ飛出しセンサの検出光よりも前記ウエハ側に位置することを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、前記引込み手段が前記ローラを引込んだ後、前記マッピングセンサの下降速度が低速から中速に切り替わることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、ウエハ飛出しセンサの検出光がウエハ面に対して直角に照射され、前記ウエハのオリフラの直線部の長さよりも広い間隔で配置された２組のウエハ飛出しセンサを備えたことを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、ロードポートのドアを囲むマッピングフレームと、前記マッピングフレーム上部に固定されて基板収納容器に収納されたウエハの枚数を検出するマッピングセンサと、前記マッピングフレームの下部に設けられたローラと、前記ローラを引込むための引込み手段と、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサを前記基板収納容器内部に進入させるための第１テーパブロックと、前記第１テーパブロックの下部に設けられ、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサの下降を停止させるための第２テーパブロックと、を備えたロードポートにおいて、前記マッピングフレームが下降して前記引込み手段が前記ローラを前記ロードポート内部まで引込むまでの第１の区間、前記ローラが引込まれてから前記マッピングフレームが下降を完了するまでの第２の区間および前記マッピングフレームが下降を完了してから上昇を完了するまでの第３の区間で、それぞれ前記マッピングフレームの移動速度が切り替わることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、前記第１の区間、前記第２の区間および前記第３の区間において、前記マッピングフレームの移動速度がそれぞれ低速、中速および高速に切り替わることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、検出光がウエハ面に対して直角に照射されるウエハ飛出しセンサにおいて、前記ウエハのオリフラの直線部の長さよりも広い間隔で２組配置されたことを特徴とするものである。

請求項１に記載の発明によると、マッピングセンサの移動軌跡は機械的に拘束されおり、マッピングセンサが基板収納容器に衝突してウエハを破損することが無いので、信頼性が向上する。また、マッピングセンサが基板収納容器内に進入する時および基板収納容器から排出される時に昇降軸をエアシリンダ単体の機能によって停止させる機構が必要ないので、構成がシンプルとなり、信頼性が向上する。
また、請求項２および３に記載の発明によると、ウエハ飛出し量が少なくても飛出し検出が可能であるので、信頼性が向上する。
請求項４に記載の発明によると、マッピングセンサを確実にＦＯＵＰ内に進入させることができ、信頼性が向上すると共に、スループットの向上を図ることができる。
請求項５に記載の発明によると、ウエハの向きにかかわらず、所定の飛出し量でウエハ飛出しを検出することができるので、信頼性が向上する。
請求項６および７に記載の発明によると、マッピングセンサを確実にＦＯＵＰ内に進入させることができ、信頼性が向上すると共に、スループットの向上を図ることができる。
請求項８に記載の発明によると、ウエハの向きにかかわらず、所定の飛出し量でウエハ飛出しを検出することができるので、信頼性が向上する。

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。

図１は、本発明のロードポートの斜視図である。図において、１０７はベースであり、ロードポートと半導体処理装置との接続面である。１０６はドックステージであり、ウエハを収納したＦＯＵＰ（基板収納容器）が載置される。１０２はロードポートのドアであり、ドックステージがドックベース１２０上を移動してドアにドッキングすることでＦＯＵＰがドアに密着し、ＦＯＵＰの蓋を開閉する。１０１はマッピングフレームであり、ドア１０２の周囲を取り囲む形となっている。１０３はブラケットであり、マッピングフレーム１０１の上部に一組設けられている。１０４はウエハ飛出しセンサであり、透過型の光学式センサを用いている。ウエハ飛出しセンサ１０４は、ブラケット１０３の先端に設けられている。１０５はマッピングセンサであり、透過型の光学式センサを用いている。マッピングセンサ１０５は、ウエハ飛出しセンサ１０４同様、ブラケット１０３の先端に設けられているが、ウエハ飛出しセンサ１０４よりもさらに先端側に設けられている。１１０はスライドベースであり、ガイドレール１１１ａ、１１１ｂがそれぞれ上面側と下面側に設けられている。ドア１０２およびマッピングフレーム１０１は、それぞれガイドレール１１１ａおよび１１１ｂ上を摺動し、独立に移動することができる。１０９は第１テーパブロック、１０８は第２テーパブロックであり、マッピングフレーム１０１の下部に設けられたローラ２０３（図１においては図示しない）が接触することによって、マッピングセンサの移動軌跡を機械的に拘束する。第２テーパブロック１０８とローラ２０３の接触部には、接触のショックを吸収するためのショックアブソーバ１２５が設けられている。

図２は、本発明のロードポートのマッピング機構を示す構造図であり、図１の矢視Ａを示している。図において、２０１は引込手段であり、本実施例においては、エアシリンダである。エアシリンダは、通常はシャフト２０２が飛出した状態であり、引込み信号を印加した時のみ、シャフト２０２を引込む。２０２はエアシリンダのシャフトであり、フレームを介してマッピングフレーム１０１に接続されている。２０３はローラであり、マッピングフレーム１０１の下部に設けられている。２０４は昇降ステージであり、昇降手段（図示しない）によって、昇降する。ここで、昇降手段は、本実施例においてはエアシリンダである。昇降ステージ２０４には、スライドベース１１０を介してドア１０２とマッピングフレーム１０１が固定されているので、昇降用エアシリンダの動作に伴って、ドア１０２とマッピングフレーム１０１は共に昇降する。
本発明が特許文献１と異なる部分は、第１テーパブロック１０９と第２テーパブロック１０８を備えた部分である。

次に、本発明のロードポートの動作について説明する。本発明のロードポートは、以下に示す（１）〜（５）に従って動作する。
（１）図２に示す状態から、エアシリンダ２０１の引込み信号をオンすると、マッピングフレーム１０１（ローラ２０３）が引込まれ、ローラ２０３がベースに接触する。
（２）ローラ２０３が接触した状態から昇降用エアシリンダを駆動し、昇降ステージを下降させると、マッピングフレーム１０１はドア１０２と共に下降を始め、第１テーパブロック１０９において、テーパブロックテーパ面の形状に倣う形でローラ２０３がロードポート内部にさらに引込まれる。
（３）さらに下降を続けると、ローラ２０３が第２テーパブロック１０８に接触し、マッピングフレームは下降を停止する。ローラ２０３が第２テーパブロック１０８に接触したことは、図示しない位置センサによって、検出される。
（４）エアシリンダ２０１の引込み信号をオフすると、シャフト２０２が飛出し、ローラ２０３を押し出す。
（５）ローラ２０３はロードポート外部に押出され、そのままマッピングフレーム１０１は下降する。
すなわち、エアシリンダの引込み動作と昇降用エアシリンダの下降動作によって、ローラ２０３は、図２の矢印で示される軌跡を描いて移動する。

上記動作（２）から動作（３）へ移行する時は、下降速度を低速から中速に切り替えている。
動作（１）（２）の動作を低速とするのは、低速で第１テーパブロック１０９に接触しないと、ローラ２０３がテーパブロック１０９から離れ、ローラ２０３を確実に引込むことができなくなるからである。ただし、ローラ２０３が多少テーパ面から離れた場合であったとしても、第１テーパブロック１０９の下部に設けられた突起部に接触することで結果的に引込まれれば、マッピング動作は問題なく実行できる構成となっている。また、万一突起部を通過して引込まれた場合であっても、マッピングセンサがマッピング領域に位置していることおよび引込み完了位置に到達したことが別途設けられたセンサ（図示しない）によって監視されているので、マッピング動作の失敗を検出することが可能である。
一方、動作（３）以降の動作を中速とするのは、そのまま低速動作としたのでは、スループットが低下してしまうため、これを防止するためである。ここで、速度の切り替えは、エアシリンダ２０１の引込み完了を図示しない位置センサで検出し、この検出タイミングで昇降用エアシリンダの駆動源となる低速用と中速用の圧空ラインを切り替えることで行っている。
また、ロードポートドア（マッピングセンサ）が上昇する時は、前述の要領で圧空ラインを切り替えることで、速度をさらに増して高速としている。スループットをさらに向上させるためである。

図３は、マッピングセンサの移動軌跡を示す説明図である。図において、３０１はウエハ３０２を収納した基板収納容器であり、本実施例においてはＦＯＵＰである。ＦＯＵＰ３０２は、図示しないドア１０２にドッキングして蓋が取り外された状態となっている。
前述の通り、マッピングセンサ１０５は、マッピングフレーム１０１に設けられており、マッピングフレーム１０１の下部には、ローラ２０３が設けられている。従って、マッピングセンサ１０５は、エアシリンダの引込み動作と昇降用エアシリンダの下降動作によって、図２の矢印で示されたローラ２０３の軌跡と同一の軌跡をたどる。すなわち、マッピングセンサ１０５は、下降しながら第１テーパブロック１０９の働きでＦＯＵＰ３０１内部に進入し、ＦＯＵＰ３０１に収納されたウエハ３０２の端部をスキャンしながら下降を続け、ＦＯＵＰ最下部に収納されたウエハを通過した後、第２テーパブロック１０８の働きで下降を停止し、ＦＯＵＰ外部へ排出される。なお、ウエハ有無の検出は、マッピングセンサの検出光の遮光のタイミングとマッピング領域の位置を検出するためのエンコーダ（図示しない）から得られる位置情報とを総合して判断する。

本実施例によれば、マッピングセンサ１０５の移動軌跡は、ローラ２０３とこれが接触するベース１０７およびテーパブロック１０９、１０８によって機械的に拘束される。すなわち、マッピングセンサ１０５がＦＯＵＰ３０１に衝突してウエハを破損することが無いので、信頼性が向上する。
また、マッピングセンサ１０５がＦＯＵＰ３０１内に進入する時、ＦＯＵＰ３０１から排出される時に昇降用エアシリンダを停止させる機構が必要ないので、構成がシンプルとなり、信頼性が向上する。
さらに、機械的なローラ２０３の接触によって動作するため、発塵の影響が心配されるが、ロードポートのマッピングフレーム１０１側はクリーンエアのダウンフローによって清浄雰囲気に保たれており、ローラ２０３はウエハ３０２の位置に比べて下流側にあるので、ウエハが汚染させるようなことは無い。

図４は、本発明の第２実施例を示すウエハ飛出しセンサの説明図である。図において、１０１は実施例１記載のロードポートにおけるマッピングフレームである。１０５はマッピングセンサ、１０４はウエハ飛出しセンサであり、同一のブラケット１０３に固定されている。なお、ウエハ飛出しセンサ１０４の検出光の投光方向は、水平方向となっている。マッピングセンサ１０５は、ウエハ飛出しセンサ１０４よりもブラケット１０３の先端側（ウエハ側）に配置されている。

本発明のウエハ飛出しセンサは、マッピング動作と同時に、ウエハ飛出し検出動作を行うものであるが、その移動動作は実施例１のマッピングセンサと同様であるのでその詳細な説明は省略する。ここでは、これを組み合わせることによる利点について、以下に説明する。
従来のウエハ飛出しセンサは、基板収納容器の開口部における下縁側と上縁側に透過型の光学式センサを設け、基板収納容器内のウエハが開口部から飛出したとき、そのウエハの周縁部で検出光が遮光されることで飛出し検出するものである。従って、ウエハが基板収納容器の外部にまで飛出さなければ、その検出をすることはできない。
しかし、本実施例のウエハ飛出しセンサは、マッピングフレーム１０１に設けられているので、マッピング動作によりウエハ飛出しセンサがＦＯＵＰ内部に進入して検出動作を行うことができる。すなわち、従来に比べて少ないウエハ飛出し量であっても、検出することができる。
従って、ウエハ飛出し量が少なくても飛出し検出が可能であるので、信頼性が向上する。

図５は、本発明の第３実施例を示すウエハ飛出しセンサの説明図であり、図９同様、ウエハ飛出しセンサ検出光の遮光状態を示している。
図において、４０１ａ、４０１ｂはそれぞれ投光器および受光器からなる透過型光学式センサを一組としたウエハ飛出しセンサである。すなわち、２組のウエハ飛出しセンサを備えている。検出光は、垂直方向に投光されている。ウエハ飛出しセンサ４０１ａ、４０１ｂは、マッピングフレームではなく、ベース１０７のドア開口部端等に固定されて設けられている。ここで、ウエハ飛出しセンサ４０１ａと４０１ｂは、オリフラ部４０３の長さ（オリフラ切欠の直線部の長さ）よりも長い間隔をおいて配置されている。４０２は飛出しセンサの検出光を遮光するウエハの周縁部であるが、ウエハの向きによっては、オリフラ部４０３が検出光を遮光する周縁部となり得る。
本発明が特許文献２と異なる部分は、ウエハ飛出しセンサを２組備えた点である。

次に、本発明のウエハ飛出しセンサの動作について説明する。ウエハ飛出しセンサは、上述の通り２組備えているが、そのどちらかが一方がウエハ飛出しを検出した時は、ウエハ飛出しと判断する。すなわち、２組の検出信号のＯＲを取ってウエハ飛出しを判断する。
ここで、図４において、ウエハの周縁部がオリフラ部ではないときは、所定の飛出し量で検出できる。
一方、ウエハの周縁部がオリフラ部となっているときであっても、ウエハ飛出しセンサが検出する位置は、オリフラ部ではないときと同様であるから、上記同一の飛出し量で検出が可能となる。
すなわち、オリフラ部４０３の位置にかかわらず、ウエハ飛出しセンサ４０１ａまたは４０１ｂのいずれかがオリフラ部４０３以外の周縁部を検出できる構成となっている。従って、ウエハの向きにかかわらず、所定の飛出し量でウエハ飛出しを検出することができるので、信頼性が向上する。

なお、上記実施例における引込手段は、エアシリンダに限らず、ソレノイドやバネを用いた機構等で良く、マッピングフレームをＦＯＵＰ側へ引込むことのできる手段あれば任意で良い。また、結果的にマッピングフレームを引込むことができればよいので、引込む方向はガイドレールと必ずしも平行でなくてもよい。
また、第１テーパブロックのテーパ面は図２においては直線状となっているが、テーパ面を滑らかな任意の曲線としても良い。ただし、ローラが当該曲線に倣って引込まれた時に、マッピングセンサがＦＯＵＰに接触しないことが必要とされる。
また、実施例２および３記載のウエハ飛出しセンサは、選択的にロードポートに設けても良いが、両方設けても良い。
また、実施例３記載の２組のウエハ飛出しセンサは、反射鏡やハーフミラーを配置、組合わせるなどして1組としてもよい

本発明の第１実施例を示すロードポートの斜視図 本発明のロードポートのマッピング機構を示す構造図 本発明のマッピングセンサの移動軌跡を示す説明図 本発明の第２実施例を示すウエハ飛出しセンサの説明図 本発明の第３実施例を示すウエハ飛出しセンサの説明図 従来のロードポートを示す側面図および背面図 従来のロードポートの可動部を示す正面図および側面図 従来のロードポートのウエハ飛出しセンサ示す説明図 ウエハ飛出しセンサ検出光の遮光状態を示す説明図

符号の説明

１０１ マッピングフレーム
１０２ ドア
１０３ ブラケット
１０４ ウエハ飛出しセンサ
１０５ マッピングセンサ
１０６ ドックステージ
１０７ ベース
１０８ 第２テーパブロック
１０９ 第１テーパブロック
１１０ スライドベース
１１１ａ、１１１ｂ ガイドレール
１２０ ドックベース
１２５ ショックアブソーバ
２０１ 引込手段
２０１ シャフト
２０３ ローラ
２０４ 昇降ステージ
３０１ ＦＯＵＰ
３０２ ウエハ
４０１ａ、４０１ｂ ウエハ飛出しセンサ
４０２ ウエハ周縁部
４０３ オリフラ部

Claims (8)

1. 半導体処理装置に接続され、載置された基板収納容器の蓋を開閉するためのロードポートにおいて、
   前記ロードポートのドアを囲むマッピングフレームと、
   前記マッピングフレーム上部に固定されて前記基板収納容器に収納されたウエハの枚数を検出するマッピングセンサと、
   前記マッピングフレームの下部に設けられたローラと、
   前記ローラを引込むための引込み手段と、
   引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサを前記基板収納容器内部に進入させるための第１テーパブロックと、
   前記第１テーパブロックの下部に設けられて、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサの下降を停止させるための第２テーパブロックと、
   を備えたことを特徴とするロードポート。
2. 前記マッピングフレーム上部にウエハ飛出しを検出するウエハ飛出しセンサを備え、
   前記ウエハ飛出しセンサの検出光は、前記マッピングセンサの検出光と略平行に照射されることを特徴とする請求項１記載のロードポート。
3. 前記マッピングセンサの検出光が、前記ウエハ飛出しセンサの検出光よりも前記ウエハ側に位置することを特徴とする請求項２記載のロードポート。
4. 前記引込み手段が前記ローラを前記ロードポート内部まで引込んだ後、前記マッピングセンサの下降速度が低速から中速に切り替わることを特徴とする請求項１記載のロードポート。
5. ウエハ飛出しセンサの検出光がウエハ面に対して直角に照射され、前記ウエハのオリフラの直線部の長さよりも広い間隔で配置された２組のウエハ飛出しセンサを備えたことを特徴とするロードポート。
6. ロードポートのドアを囲むマッピングフレームと、前記マッピングフレーム上部に固定されて基板収納容器に収納されたウエハの枚数を検出するマッピングセンサと、前記マッピングフレームの下部に設けられたローラと、前記ローラを引込むための引込み手段と、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサを前記基板収納容器内部に進入させるための第１テーパブロックと、前記第１テーパブロックの下部に設けられ、引込まれた前記ローラが接触することで前記マッピングセンサの下降を停止させるための第２テーパブロックと、を備えたロードポートにおいて、
   前記マッピングフレームが下降して前記引込み手段が前記ローラを前記ロードポート内部まで引込むまでの第１の区間、前記ローラが引込まれてから前記マッピングフレームが下降を完了するまでの第２の区間および前記マッピングフレームが下降を完了してから上昇を完了するまでの第３の区間で、それぞれ前記マッピングフレームの移動速度が切り替わることを特徴とするロードポートの制御方法。
7. 前記第１の区間、前記第２の区間および前記第３の区間において、前記マッピングフレームの移動速度がそれぞれ低速、中速および高速に切り替わることを特徴とする請求項６記載のロードポートの制御方法。
8. 検出光がウエハ面に対して直角に照射されるウエハ飛出しセンサにおいて、
   前記ウエハのオリフラの直線部の長さよりも広い間隔で２組配置されたことを特徴とするウエハ飛出しセンサ。

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