KR0110484Y1 - 웨이퍼로딩 머신의 웨이퍼 감지장치 - Google Patents

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KR0110484Y1
KR0110484Y1 KR2019940007231U KR19940007231U KR0110484Y1 KR 0110484 Y1 KR0110484 Y1 KR 0110484Y1 KR 2019940007231 U KR2019940007231 U KR 2019940007231U KR 19940007231 U KR19940007231 U KR 19940007231U KR 0110484 Y1 KR0110484 Y1 KR 0110484Y1
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Abstract

본 고안은 웨이퍼가 담긴 카세트(cassette)에서 웨이퍼를 순차적으로 분리시키는 웨이퍼로딩 머신의 웨이퍼 감지장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 웨이퍼의 로딩시 직선암이 웨이퍼와 충돌하는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.
이를위해, 본고안은 웨이퍼(1)가 담긴 카세트(2)를 로더(3)에 얹어 모터(4)의 구동에 따라로더(3)를 하강시킴과 동시에 상기 로더(3)일측으로는 수평이동하는 직선암(6)을 설치하여 카세트(2)내에 담긴 웨이퍼(1)를 순차적으로 로딩시키도록 된것에 있어서, 직선암에(6) 고정된 가이드(7)내에 발광소자(8)를 설치하고 상기 직선암(6)의 수평선상에 위치되는 카세트(2)의 일측으로는 수광소자(9)를 설치함과 함께 상기 발광소자(8)와 수광소자(9)를 앰프(10)에 연결하며 상기 앰프(10)와 직선암(6)을 구동시키는 모터(11)사이에는 릴레이(12)를 연결하여 발광소자(8)에서 발광된 적외선을 수광소자(9)가 수광함에 따라 릴레이(12)가 구동하여 직선암(6)을 구동시키는 모터(11)의 구동을 제어하도록 된 것이다.

Description

웨이퍼로딩 머신의 웨이퍼 감지장치
제1도는 종래 장치를 나타낸 정면도 및 측면도
제2도는 종래 장치에서 웨이퍼의 로딩작전을 나타낸 상태도
제3도는 본 고안장치를 나타낸 정면도
제4도는 본 고안에서 웨이퍼의 로딩직전을 나타낸 상태도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 웨이퍼 2 : 카세트
3 : 로더 4,11 : 모터
6 : 직선암 7 : 가이드
8 : 발광소자 9 : 수광소자
10 :앰프 12 : 릴레이
본 고안은 웨이퍼가 담긴 카세트(cassette)에서 웨이퍼를 순차적으로 분리시키는 웨이퍼로딩 머신의 웨이퍼 감지장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 웨이퍼의 로딩시 직선암이 웨이퍼와 충돌하는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.
첨부도면 제1도는 종래 장치를 나타낸 정면도 및 측면도로서, 웨이퍼(1)가 수평적으로 끼워진 카세트(2)를 상. 하이동시키는 로더(Loader)(3)와, 상기 로더를 구동시키는 D.C모터(4)와, 상기 로더내에 설치되어 카세트내의 웨이퍼를 감지하는 정전용량센서(5)와, 또 다른 모터(도시는 생략함)에 의해 직선 왕복운동하면서 카세트내의 웨이퍼를 로딩시키는 직선암(6)과, 상기 직선암에 웨이퍼가 로딩될 때 웨이퍼를 안내하도록 직선암에 형성된 가이드(7)로 구성되어 있다. 따라서 웨이퍼(1)가 가득담긴 카세트(2)를 로더(3)의 상부에 올려놓고 모터(4)를 구동시키면 카세트가 얹혀진 로더(3)는 1/2피치(PITCH)하강한 다음 정지한다. 그후, 직선암(6)을 구동시키는 모터가 구동하면 직선암이 카세트내로 진입한 다음 정지한다.
이러한 상태에서 모터(4)의 구동으로 로더(3)가 다시 1/2피치 더 하강하면 카세트내에 끼워져 있던 웨이퍼가 직선암에 얹혀지게된다. 이때 웨이퍼의 유.무감지센서인 정전 용량센서에 의해 웨이퍼의 유.무가 감지된다. 이와같이 카세트(2)내의 웨이퍼가 직선암(6)에 얹혀지고 나면 모터의 구동으로 직선암이 최초의 상태로 환원되므로 카세트내에 있던 1매의 웨이퍼가 분리된다.
그러나 이러한 종래의 웨이퍼 로딩장치는 제2도의 (가)와 같이 로더(3)가 1/2피치 하강된 상태에서 직선암(6)이 웨이퍼의 하방에 위치될 경우에는 정상적인 동작을 하게 되지만, (나)와 같이 직선암과 웨이퍼가 일직선상에 위치된 상태에서 직선암이 웨이퍼(1)측으로 이동시에는 직선암이 웨이퍼에 충돌하게 되므로 웨이퍼가 파손되었고, 또한 (다)와 같이 웨이퍼가 직선암의 하방에 위치된 상태에서 직선암이 이동시에는 직선암이 웨이퍼의 상면과 접속되므로 웨이퍼의 상면에 스크래치(scratch)가 발생되는 문제점이 있었다.
본 고안은 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 구조를 개선하여 웨이퍼를 로딩하는 직선암이 웨이퍼의 하방에 위치되어 있지 않으면 직선암을 구동시키는 모터의 구동이 중단 되도록하여 웨이퍼가 파손되는 것을 미연에 방지하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 웨이퍼가 담긴 카세트를 로더에 얹어 모터의 구동에 따라 로더를 하강시킴과 동시에 상기 로더의 일측으로는 수평이동하는 직선암을 설치하여 카세트내에 담긴 웨이퍼를 순차적으로 로딩시키도록 된것에 있어서, 직선암에 고정된 가이드에 발광소자를 설치하고 상기 직선암의 수평선상에 위치되는 카세트의 일측으로는 수광소자를 설치함과 함께 상기 발광소자와 수광소자를 앰프에 연결하며 상기 앰프와 직선암을 구동시키는 모터사이에는 릴레이를 연결하여 발광소자에서 발광된 적외선을 수광소자가 수광함에 따라 릴레이가 구동하여 직선암을 이동시키는 모터의 구동을 제어하도록 된 웨이퍼로딩 머신의 웨이퍼 감지장치가 제공된다.
이하, 본고안을 실시예로 도시한 첨부된 도면 제3도 및 제4도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부도면 제3도는 본 고안장치를 나타낸 정면도이고, 제4도는 본 고안에서 웨이퍼의 로딩직전을 나타낸 상태도로서, 종래의 웨이퍼 로딩머신과 구조가 동일한 부분은 그 설명을 생략하고, 동일부호를 부여하기로 한다.
본 고안은 직선암(6)이 카세트(2)에 끼워진 1매의 웨이퍼(1)를 로딩할 때 안내하는 가이드(7)내에 발광소자(8)가 설치되어있고 상기 직선암의 수평선상에 위치되는 카세트(2)의 일측으로는 수광소자(9)가 설치되어있다.
그리고 상기 발광소자(8)와 수광소자(9)는 앰프(10)에 연결되어있고 상기 앰프와 직선암을 구동시키는 모터(11)사이에는 릴레이(12)가 연결되어있는데, 이때 발광소자, 수광소자와 앰프, 그리고 앰프, 릴레이, 모터사이는 신호선으로 연결된다. 이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제4도의 (가)와 같이 웨이퍼(1)를 로딩시키는 직선암(6)이 웨이퍼의 하방에 위치되어 발광소자(8)에서 발광된 적외선이 웨이퍼에 의해 차단되어 수광소자(9)가 수광하지 못할경우에는 종래장치와 마찬가지로 모터(11)의 구동으로 직선암(6)이 수평이동하면서 카세트(2)내의 웨이퍼를 순차적으로 1매씩 로딩시키게 된다.
그러나 (나)와 같이 로딩시킬 웨이퍼(1)가 직선암(6)과 일직선상에 위치될 경우에는 발광소자(8)에서 발광된 적외선을 수광소자(9)가 감지하게 되므로 앰프(10)가 릴레이(12)를 구동시켜 모터(11)의 구동을 제어하게 되므로 직선암(6)이 동작되지 않게된다.
또한 직선암(6)이 웨이퍼(1)의 상부에 위치될 경우에도 발광소자(8)에서 발광된 적외선을 수광소자(9)가 감지하게 되므로 앰프(10)가 릴레이(12)를 구동시켜 모터(11)의 구동을 제어하게 되므로 (나)에서와 같이 직선암(6)이 동작되지 않아 직선암(6)이 웨이퍼(1)의 상면과 접속되어 스크래치를 발생시키는 것을 방지하게 된다.
이상에서와 같이 본 고안은 직선암의 이동방향으로 수평되게 발광소자와 수광소자를 설치하여 발광소자에서 발광된 적외선을 수광소자가 수광여부에 따라 직선암을 이동시키는 모터의 구동을 제어하도록 되어 있으므로 웨이퍼와 직선암이 충돌하여 웨이퍼가 파손되는 것을 미연에 방지하게 됨은 물론 직선암이 웨이퍼의 상면과 접속되므로 인해 스크래치가 발생되는 겻을 방지하게 되는 효과를 얻게된다.

Claims (1)

  1. 웨이퍼(1)가 담긴 카세트(2)를 로더(3)에 얹어 모터(4)의 구동에 따라 로더(3)를 하강 시킴과 동시에 상기로더(3)일측으로는 수평이동하는 직선암(6)을 설치하여 카세트(2)내에 담긴 웨이퍼(1)를 순차적으로 로딩시키도록 된것에 있어서 직선암(6)에 고정된 가이드(7)내에 발광소자(8)를 설치하고 상기 직선암(6)의 수평선상에 위치되는 카세트(2)의 일측으로는 수광소자(9)를 설치함과 함께 상기 발광소자(8)와 수광소자(9)를 앰프(10)에 연결하며 상기 앰프(10)와 직선암(6)을 구동시키는 모터(11)사이에는 릴레이(12)를 연결하여 발광소자(8)에서 발광된 적외선을 수광소자(9)가 수광함에 따라 릴레이(12)가 구동하여 직선암(6)을 구동시키는 모터(11)의 구동을 제어하도록 된 웨이퍼로딩 머신의 웨이퍼 감지장치.
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