KR200151330Y1 - 웨이퍼카세트의 위치고정장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은, 웨이퍼카세트의 위치고정장치에 관한 것으로서, 상기 웨이퍼카세트의 하향이동에 따라 상기 웨이퍼카세트를 적재위치로 안내하는 안내경사면과, 상기 안내경사면의 하단에 마련되어 상기 웨이퍼카세트를 안착시키는 지지면을 갖는 복수개의 고정블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 웨이퍼카세트가 정확한 적재위치에 적재되고, 적재동작의 반복에 따른 웨이퍼카세트의 마모가 생기지 않게 된다.

Description

웨이퍼카세트의 위치고정장치
제1도는 다관절로봇이 설치된AGV의 고정블럭에 웨이퍼카세트가 적재된 상태의 측면도.
제2도는 웨이퍼가 적재되지 않은 상태의 제1도의 상면도.
제3도는 저위치고정블럭을 나타낸 도면으로서,
a)도는 사시도.
b)도는 I-I선에 따른 단면도이고,
제4도는 고위치고정블럭을 나타낸 도면으로서,
a)도는 사시도.
b)도는 II-II선에 따른 단면도이다.
본 고안은 웨이퍼카세트의 위치고정장치에 관한 것이다.
반도체 제조라인에서는 웨이퍼를 적재한 카세트를 자동으로 반송하는 시스템으로서, 웨이퍼카세트를 AGV(Automatic Guide Vehicle)위에 올려놓고 이송하여, 로봇으로 웨이퍼카세트를 집어 라인에 올려놓는 시스템이 사용되고 있다. 이러한 AGV에는 이동 중의 흔들림이나 급정거시의 진동 등에 의해 웨이퍼카세트의 적재위치가 흔들리지 않도록 고정시키는 고정블럭이 설치되어 있다.
고정블럭은, 직육면체 형상을 가진 웨이퍼카세트의 하단 코너부를 지지하도록 되어 있으며, 웨이퍼카세트의 네개의 코너부의 형상에 맞게 'L'자 형상을 한 블록이 네개 설치되어 있다. 또한 고정블럭 내에는 센서가 설치되어 있어, 고정블럭 위에 웨이퍼카세트가 적재되어 있는지의 여부를 판별하도록 되어 있다.
그런데, 이러한 웨이퍼카세트의 위치고정장치는, 웨이퍼카세트의 각 코너부와 접하는 각 고정블럭의 내측벽면이 수직으로 형성되어 있으므로, 로봇이 웨이퍼카세트를 이송하여 고정블럭의 위쪽에서 하향시켜 고정블럭에 적재할 때 정확한 적재위치에 적재시키지 않으면 적재가 되지 않게 된다. 또한, 웨이퍼카세트를 적재한 상태에서 로봇이 웨이퍼카세트를 집어서 들어올릴 때, 웨이퍼카세트를 수직 방향으로 들어올리지 못하고 다소의 흔들림이 발생하면서 들어올리게 되므로, 고정블럭의 내측벽면과 웨이퍼카세트의 하단 코너부가 부딪치게 되어 웨이퍼카세트의 마모가 생기는 단점이 있다.
또한, 웨이퍼카세트의 유무를 감지하기 위해 설치한 센서는 웨이퍼카세트가 아닌 다른 물체가 감지되어도 고정블럭에 웨이퍼카세트가 수용된 것으로 판별하므로, 적재된 물건이 웨이퍼카세트인지의 여부는 판별할 수가 없다.
따라서, 본 고안의 목적은, 웨이퍼카세트를 적재위치에 적재시키기 쉽고, 적재동작의 반복에 따른 웨이퍼카세트의 마모가 생기지 않으며, 적재된 물건이 웨이퍼카세트인지 다른 물체인지를 판별할 수 있는 웨이퍼카세트의 위치고정장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 웨이퍼카세트의 위치고정장치에 있어서, 상기 웨이퍼카세트의 하향이동에 따라 상기 웨이퍼카세트를 적재위치로 안내하는 안내경사면과, 상기 안내경사면의 하단에 마련되어 상기 웨이퍼카세트를 안착시키는 지지면을 갖는 복수개의 고정블럭를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트의 위치고정장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 각 고정블럭에 적어도 하나의 센서가 마련되어 있는 것이 효과적이며, 상기 센서는, 상기 고정블럭에 관통형성된 홀에 근접하게 설치되는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.
제1도는 다관절로봇 설치된AGV의 고정블럭에 웨이퍼카세트가 적재된 상태의 측면도이고, 제2도는 웨이퍼가 적재되지 않은 상태의 제1도의 상면도이다. 웨이퍼카세트(1)는AGV(3)에 의해 반도체 제조라인을 따라 이송된다. AGV(3)가 목표위치에 멈추면 카세트이송로봇(5)은 웨이퍼카세트(1)를 집어 제조라인 위에 올려놓게 된다.
한개의 AGV(3)는 통상적으로 네개의 웨이퍼카세트(1)를 적재할 수 있도록 되어 있으며, 각 웨이퍼카세트(1)는 네 개의 블록으로 이루어진 고정블럭(11,21)에 적재된다. 웨이퍼카세트(1) 하단의 네 코너부는 각 고정블럭(11, 21)에 의해 안착 지지된다.
네개의 블럭은 두개의 저위치고정블럭(11)과 두개의 고위치 고정블럭(21)으로 구성되어 있고, 웨이퍼카세트(1)가 지지된 상태에서 고위치고정블럭(21)에 지지된 쪽이 다소 높게되어, 웨이퍼카세트(1)는 전체적으로 다소 기울어진 상태로 지지된다.
이는, AGV(3)는 주로 한쪽 방향으로 이동하게 되므로 AGV(3)가 이동 중 급정거시 진행하던 방향으로 웨이퍼카세트(1)가 쏠리게 되어 관성을 받은 웨이퍼카세트(1) AGV(3)의 진향방향으로 떨어지지 않도록 하기 위해 일반적으로 진행방향쪽을 고위치고정블럭(21)으로 지지한다.
제3도는 저위치고정블럭을 나타낸 도면으로서 a)도는 사시도이고 b)도는I-I선에 따른 단면도이다. 저위치고정블럭(11)은 웨이퍼카세트(1)의 하단 코너부가 지지되는 지지면(13)과 웨이퍼카세트(1)가 자연적으로 지지면(13)에 안착될 수 있도록 안내하는 경사면(14)을 가지고 있다. 지지면(13)은 'L'자형 코너를 가지고 있어 웨이퍼카세트(1)의 코너부가 형상맞춤되어 안착되게 되며, 경사면(14)은 저위치고정블럭(11)의 상면(15)과 지지면(13)사이를 소정 각도로 연결하고 있다.
제4도는 고위치고정블럭을 나타낸 도면으로서 a)도는 사시도이고 b)도는 II-II선에 따른 단면도이다. 고위치고정블럭(21)도 저위치고정블럭(11)과 마찬가지로 지지면(23)과 경사면(24)을 가지고 있다. 웨이퍼카세트(1)가 전체적으로 기울어진 상태로 적재도도록 고위치고정블럭(21)의 지지면(23)은 저위치고정브럭(11)의 지지면(13)보다 높게 형성되어 있으며, 경사면(24)은 고위치고정블럭(21)의 상면(25)과 지지면(23) 사이를 소정 각도로 연결하고 있다.
웨이퍼카세트(1)는, 카세트이송로봇(5)에 의해 각 고정블럭(11,21)의 상부로부터 하향이동함에 따라 지지면(13, 23)에 코너부가 수용되어 지지된다. 이때 정확한 위치에 적재가 되지 않더라도, 경사면(14,24)상에 코너부가 위치하게 되면 웨이퍼카세트(1)자체의 무게에 의해 경사면(14,24)따라 코너부가 하향하여 지지면(13,23)에 정확하게 위치하게 된다.
한편, 두 개의 저위치고정블럭(11) 중 제3도의(a)에 도시된 하난의 저위치고정블럭(11)의 상면(15)에는 소정 크기의 홀(17)이 형성되어 있고 이 홀(17)과 근접한 상면(15)에는 제1센서(19)가 설치되어 있으며, 도면상에 도시 않은 다른 하나의 저위치고정블럭에는 제2센서가 지지면에 형성된 홀내에 수용되어 있다.
이와 마찬가지로, 두 개의 고위치고정블럭(21) 중 제 4도의 (a)도에 도시된 하나의 고위치고정블럭(21)에는 제2센서(29)가 지지면(23)의 홀(27)내에 수용되어 있으며, 도면상에 도시 않은 다른 하나의 고위치고정블럭의 상면에는 제1센서가 설치되어 있다.
그리고, 각가의 제1 및 제2센서(19,29)로부터 연장된 케이블(18,28)은AGV(3)내의 도시 않은 제어부로 연결되어 있다.
여기서, 대각선 방향으로 상호 대향한 한 쌍의 저위치 및 고위치고정블럭(11,21)의 지지면의 홀내에 각각 삽입된 제2센서(29)는 조도센서의 일종으로 웨이퍼카세트(1)가 홀의 개구부를 차단함에 따라 빛의 조도를 감지하여 웨이퍼카세트(1)가 지지면(27)에 안착되었음을 감지하는 신호를 케이블(28)을 통해 제어부로 보내게 된다.
그리고, 나머지 대각 방향으로 상호 대향한 한 쌍의 저위치 및 고위치고정블럭(11,21)의 상면에 각각 설치된 제1센서(19)는 관센서의 일종으로, 상호 대향하여 서로를 향해 소정의 발광각도를 가지고 빛을 발광 및 수광한다. 따라서, 제1센서(19)들의 발광범위내에 고정블럭(11,21)들의 높이보다 높은 웨이퍼카세트(1)가 위치하게 되어 제1센서(19)들의 빛을 차단하게 도면 제1센서(19)는 웨이퍼카세트(1)가 각 고정블럭(11,21)에 안착되었음을 감지하는 신호르 케이블(18)을 통해 제어부로 보내게 된다.
만일, 제2센서(29)가 수용된 홀(27)의 개구부에 작업자의 부주위로 웨이퍼카세트(1)가 아닌 다른 물체가 안착되어진 경우에는, 제2센서(29)는 지지면(27)에 웨이퍼카세트(1)가 안착되었다고 잘못된 신호를 제어부로 보내지만, 제어부에서는 총 4개의 제1 및 제2센서(19,29)의 신호를 모두 통합하여 이들로부터의 신호들이 일치했을 경우에 카세트이송로봇(5)으로 작동신호를 보내게 되므로 카세트이송로봇(5)으로 송신되는 작동신호에는 거의 요류가 발생하지 않게 된다.
따라서, 상기와 같은 웨이퍼카세트의 위치고정장치는, 웨이퍼카세트(1)가 정확한 적재위치에 적재되지 않아도 각 경사면(14,24)에 의해 안내되어 고정블럭(11,21)들의 각 지지면(13,23)에 정확히 적재되고, 적재동작의 반복에 따른 웨이퍼카세트(1)의 마모가 생기지 않으며, 각 고정블럭(11,21)에 설치된 제1 및 제2센서(19,29)에 의해 적재된 물건이 웨이퍼카세트(1)인지 다른 물체인지의 여부를 판별할 수 있게 된다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼카세트의 위치고정장치에 있어서, 상기 웨이퍼카세트의 하향이동에 따라 상기 웨이퍼카세트를 적재위치로 안내하는 안내경사면과, 상기 안내경사면의 하단에 마련되어 상기 웨이퍼카세트를 안착시키는 지지면을 갖는 복수개의 고정블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트의 위치고정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 고정블럭에 적어도 하나의 센서가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트의 위치고정장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 센서는, 상기 각 고정블럭에 관통형성된 홀에 근접하게 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트의 위치고정장치.
KR2019960002383U 1996-02-15 1996-02-15 웨이퍼카세트의 위치고정장치 KR200151330Y1 (ko)

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