KR20080033003A

KR20080033003A - 웨이퍼의 돌출에러방지장치

Info

Publication number: KR20080033003A
Application number: KR1020060099518A
Authority: KR
Inventors: 최현철
Original assignee: 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date: 2006-10-12
Filing date: 2006-10-12
Publication date: 2008-04-16

Abstract

본 발명은 로드락챔버에서 웨이퍼 로딩시 웨이퍼가 카세트로부터 정상위치를 벗어나 있는 경우 그 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원위치로 복귀시켜줌으로써, 장비를 정지시키지 않고 계속해서 공정을 진행시킬 수 있도록 한 웨이퍼의 돌출에러방지장치에 관한 것이다.

이를 실현하기 위한 본 발명은 로드락챔버 내부에 다수개의 웨이퍼가 적재된 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 발광부와 수광부로 이루어진 센서부가 구비된 웨이퍼의 돌출에러방지장치에 있어서, 상기 카세트의 전면 상/하부에 평행하게 설치된 가이드레일; 상기 가이드레일에 슬라이드 가능하게 조립된 이송부재; 상기 가이드레일 일측면에 설치되어 이송부재를 좌우로 왕복이송시키는 동력전달수단; 상기 센서부에서 신호를 전달받아 동력전달수단을 제어하는 제어부; 상기 이송부재가 제한된 범위에서 왕복이송을 할 수 있도록 가이드레일의 일측에 설치된 복수개의 감지센서; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

웨이퍼, 돌출에러, 인터록

Description

웨이퍼의 돌출에러방지장치 {Apparatus for preventing walk-out error of wafer}

도 1은 종래의 로드락챔버에서 웨이퍼 로딩과정을 보여주는 개략도,

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼의 돌출에러방지장치를 보여주는 개략적인 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼의 돌출에러방지장치의 작동원리를 보여주는 개략적인 구성도,

도 4는 도 3의 A-A 선 단면도,

도 5의 (a)(b)(c)는 본 발명에 따른 웨이퍼의 돌출에러방지장치의 작동순서도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 가이드레일 20 : 이송부재

30 : 동력전달수단 40 : 감지센서

100 : 로드락챔버 110 : 카세트

130 : 엘리베이터 140 : 이송암

150 : 통로 200 : 트랜스퍼챔버

W : 웨이퍼 W1 : 돌출된 웨이퍼

본 발명은 웨이퍼의 돌출에러 방지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로드락챔버에서 웨이퍼 로딩시 웨이퍼가 카세트로부터 정상위치를 벗어나 있는 경우 그 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원위치로 복귀시켜줌으로써, 장비를 정지시키지 않고 계속해서 공정을 진행시킬 수 있도록 한 웨이퍼의 돌출에러방지장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자는 미세한 파티클(Particle)에 의해서도 공정불량이 발생하게 되므로 반도체 제조장치는 고도로 청정한 클린룸(Clean Room) 내부에 설치된다. 그리고 반도체 제조장치의 공정챔버(Process Chamber)는 고진공펌프의 가동에 의해서 고진공상태를 유지함으로써 파티클에 의한 공정 영향성을 배제시키고 있다. 또한, 상기 공정챔버가 고진공상태를 유지함으로써 공정챔버로의 웨이퍼 투입 및 방출시 공정챔버의 고진공상태가 급격히 불량해지는 것을 방지하기 위하여 공정챔버와 인접하여 저 진공상태의 로드락챔버(Loadlock Chamber)를 구비하고 있다.

도 1은 종래의 로드락챔버에서 웨이퍼 로딩과정을 보여주는 개략도이다.

도 1을 참조하면, 로드락챔버(100)의 내부에는 웨이퍼(W)가 적재된 카세트(110)가 엘리베이터(130) 위에 위치되어 있다. 상기 엘리베이터(130)는 카세트(110)를 상하로 승/하강시킴으로써 로딩 될 웨이퍼(W)의 높이 위치를 조정하게 된다.

한편, 로드락챔버(100)와 통로(150)로 연결된 트랜스퍼챔버(200)의 내부에는 웨이퍼(W)를 이송하는 로봇의 이송암(140)이 설치되고, 상기 엘리베이터(130)의 승/하강에 의해 웨이퍼(W)의 수직 높이를 상기 이송암(140)의 높이에 맞추게 된다.

상기 카세트(10)에 적재된 웨이퍼(W)는 원래 위치를 벗어나 슬라이딩 된 상태에서 이송암(140)에 이송되는 경우가 있는데, 이와 같은 경우 웨이퍼(W)의 위치가 정상인지 여부를 감지하기 위해 웨이퍼(W)가 로딩되는 측의 상/하부에는 발광부(121)와 수광부(122)로 이루어진 센서부(120)가 구비되어 있어, 웨이퍼(W)의 위치가 정상인지 여부를 감지하여 정상위치가 아닌 경우 공정에러를 발생시킨다.

그러나 상기와 같은 종래의 시스템에서는 웨이퍼(W)의 위치가 정상이 아니라고 판단되는 경우 인터록(Inter-Lock) 회로에 의해 장비는 정지상태로 바뀌면서 중단되기 때문에 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 로드락챔버에서 웨이퍼 로딩시 웨이퍼가 카세트로부터 정상위치를 벗어나 있는 경우 그 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원위치로 복귀시켜줌으로써, 장비를 정지시키지 않고 계속해서 공정을 진행시킬 수 있도록 한 웨이퍼의 돌출에러방지장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 웨이퍼의 돌출에러방지장치는,

로드락챔버 내부에 다수개의 웨이퍼가 적재된 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 발광부와 수광부로 이루어진 센서부가 구비된 웨이퍼의 돌출에러방지장치에 있어서, 상기 카세트의 전면 상/하부에 평행하게 설치된 가이드레일; 상기 가이드레일에 슬라이드 가능하게 조립된 이송부재; 상기 가이드레일 일측면에 설치되어 이송부재를 좌우로 왕복이송시키는 동력전달수단; 상기 센서부에서 신호를 전달받아 동력전달수단을 제어하는 제어부; 상기 이송부재가 제한된 범위에서 왕복이송을 할 수 있도록 가이드레일의 일측에 설치된 복수개의 감지센서; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 동력전달수단은 회전하는 모터에 결합된 구동풀리와, 상기 구동풀리와 소정거리 떨어지게 설치된 종동풀리 및 상기 구동풀리와 종동풀리에 각각 연결되어 동력을 전달하는 타이밍벨트로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 동력전달수단은 상기 상/하부에 설치된 가이드레일에 각각 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이송부재의 양 측면은 웨이퍼와 접촉시 파손되는 것을 방지하기 위하여 라운드처리된 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

여기서, 종래 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호 및 명칭을 사용한다.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼의 돌출에러방지장치를 보여주는 개략적인 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 작동원리를 보여주는 개략적인 구성도이며, 도 4는 도 3의 A-A 선 단면도이고, 도 5의 (a),(b),(c)는 웨이퍼의 돌출에러방지장치의 작동순서도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼의 돌출에러방지장치는 가이드레일(10), 이송부재(20), 동력전달수단(30), 제어부(도면에 미도시), 감지센서(40)를 포함하여 구성된다.

상기 가이드레일(10)은 상부가이드레일(11)과 하부가이드레일(12)로 구성되어 있다. 상기 가이드레일(10)은 로드락챔버(100) 내부에 위치된 카세트(110)의 전면 상/하부에 평행하게 설치된다.

상기 이송부재(20)는 가이드레일(10)에 슬라이드 가능하게 조립되어 제한된 범위 내에서 좌우로 왕복이송가능하도록 되어 있다.

이 경우 상기 이송부재(20)는 카세트(110)에서 돌출된 웨이퍼(W1)를 밀어넣어 원위치로 복귀시키는 역할을 하게 된다.

상기 동력전달수단(30)은 가이드레일(10)의 일측면에 설치되어 상기 이송부재(20)를 좌우로 왕복이송시키는 역할을 하게 된다.

상기 동력전달수단(30)은 회전하는 모터(31)에 결합된 구동풀리(31)와, 상기 구동풀리(31)와 소정거리 떨어지게 설치된 종동풀리(33) 및 상기 구동풀리(31)와 종동풀리(33)에 각각 연결되어 동력을 전달하는 타이밍벨트(35)로 구성된다. 이 경우 상기 이송부재(20)의 상/하부는 타이밍벨트(35)에 고정브라켓(21)으로 고정결합된다.

상기 제어부(도면에 미도시)는 웨이퍼(W)의 위치가 정상인지 여부를 감지하기 위해 웨이퍼(W)가 로딩되는 측의 상/하부에 발광부(121)와 수광부(122)로 이루어진 센서부(120)에서 감지된 신호를 전달받아 상기 동력전달수단(30)의 모터(31)를 제어하게 된다.

이 경우 상기 제어부(도면에 미도시)에서는 상기 모터(31)를 정/역회전해가면서 이송부재(20)를 왕복이송시키게 된다.

상기 감지센서(40)는 이송부재(20)가 제한된 범위에서 왕복이송 할 수 있도록 가이드레일(11)의 일측에 복수개 설치되어 있다.

이 경우 상기 감지센서(40a)(40b)는 가이드레일(11)의 처음과 끝 부분의 소정 위치에 각각 설치되어 있다.

도 4를 참조하면, 상기 이송부재(20)는 양측면이 라운드처리되어 있다. 따라서, 상기 이송부재(20)가 돌출된 웨이퍼(W1)와 접촉시 웨이퍼(W1)가 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.

이상과 같은 구성의 웨이퍼의 돌출에러방지장치의 작동순서를 도 5의 (a)를 참조하여 설명하면, 센서부(120)에서 돌출된 웨이퍼(W1)가 감지되면 제어부(도면에 미도시)에서는 동력전달수단(30)의 모터(31)를 제어하여 이송부재(20)를 이송시킨다.

상기 이송되는 이송부재(20)는 도 5의 (b)와 같이 돌출된 웨이퍼(W1)를 카세트(110)의 안쪽으로 밀어넣어 원위치로 복귀시키게 된다.

도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W1)를 밀어넣은 후 이송되는 이송부재(20)가 감지센서(30b)에 감지되면, 제어부(도면에 미도시)에서는 모터(31)를 역회전시켜 다시 원위치로 이동시키게 된다.

상기 이송부재(20)가 원위치 부근의 감지센서(30a)에 감지되면 동력전달수단(30)의 동작이 완료되고, 반도체 제조 공정을 계속해서 진행시킨다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼의 돌출에러방지장치는 로드락챔버에서 웨이퍼 로딩시 웨이퍼가 카세트로부터 정상위치를 벗어나 있는 경우 그 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원위치로 복귀시켜줌으로써, 장비를 정지시키지 않고 계속해서 공정을 진행시킬 수 있는 장점이 있다.

Claims

로드락챔버 내부에 다수개의 웨이퍼가 적재된 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 발광부와 수광부로 이루어진 센서부가 구비된 웨이퍼의 돌출에러방지장치에 있어서,

상기 카세트의 전면 상/하부에 평행하게 설치된 가이드레일;

상기 가이드레일에 슬라이드 가능하게 조립된 이송부재;

상기 가이드레일 일측면에 설치되어 이송부재를 좌우로 왕복이송시키는 동력전달수단;

상기 센서부에서 신호를 전달받아 동력전달수단을 제어하는 제어부;

상기 이송부재가 제한된 범위에서 왕복이송을 할 수 있도록 가이드레일의 일측에 설치된 복수개의 감지센서;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 돌출에러방지장치.
제 1항에 있어서,

상기 동력전달수단은 회전하는 모터에 결합된 구동풀리와, 상기 구동풀리와 소정거리 떨어지게 설치된 종동풀리 및 상기 구동풀리와 종동풀리에 각각 연결되어 동력을 전달하는 타이밍벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 돌출에러방지장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 동력전달수단은 상기 상/하부에 설치된 가이드레일에 각각 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 돌출에러방지장치.
제 1항에 있어서,

상기 이송부재의 양측면은 웨이퍼와 접촉시 파손되는 것을 방지하기 위하여 라운드처리된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 돌출에러방지장치.