JP2000133697A - ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置Info
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- JP2000133697A JP2000133697A JP30290098A JP30290098A JP2000133697A JP 2000133697 A JP2000133697 A JP 2000133697A JP 30290098 A JP30290098 A JP 30290098A JP 30290098 A JP30290098 A JP 30290098A JP 2000133697 A JP2000133697 A JP 2000133697A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ミニエンバイロメント方式の密閉型ポッドに
於けるウエハの取出し、搬送及び処理に際し、ウエハの
破損を未然に防止しながら効率の良い作業の遂行を図
る。 【解決手段】 内部にウエハを棚段状に収納してなる密
閉型ポッド１１をポートドアに向けて一定距離の移動可
能ならしめると共に、ポートドアは窓枠内を断面Ｌ字状
の板体が下降する構成となし、且つ断面Ｌ字状の板体上
部の両端縁部には一対のセンサー１４を９０°の水平移
動可能に取付けると共に、下部のＬ字状段部の中央端縁
部には受光器１５或いは投光器１７を取付けたものとな
し、他方受光器と対向する窓枠の天井内面部には投光器
或いは受光器を取付けたものとなし、密閉型ポッドの前
進移動の前端でポッドの前蓋１１ａが断面Ｌ字状のポー
トドア内へ端縁部の受光器を遮蔽しない状態に係着保持
させるものとなし、且つ該ポートドアを挟んで密閉型ポ
ッドドアの反対側には搬送ロボット６を配設した。
於けるウエハの取出し、搬送及び処理に際し、ウエハの
破損を未然に防止しながら効率の良い作業の遂行を図
る。 【解決手段】 内部にウエハを棚段状に収納してなる密
閉型ポッド１１をポートドアに向けて一定距離の移動可
能ならしめると共に、ポートドアは窓枠内を断面Ｌ字状
の板体が下降する構成となし、且つ断面Ｌ字状の板体上
部の両端縁部には一対のセンサー１４を９０°の水平移
動可能に取付けると共に、下部のＬ字状段部の中央端縁
部には受光器１５或いは投光器１７を取付けたものとな
し、他方受光器と対向する窓枠の天井内面部には投光器
或いは受光器を取付けたものとなし、密閉型ポッドの前
進移動の前端でポッドの前蓋１１ａが断面Ｌ字状のポー
トドア内へ端縁部の受光器を遮蔽しない状態に係着保持
させるものとなし、且つ該ポートドアを挟んで密閉型ポ
ッドドアの反対側には搬送ロボット６を配設した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ搬送ロ
ボットによりカセット内に収納されたウエハを搬送する
装置に於けるウエハ認識装置に関する。
ボットによりカセット内に収納されたウエハを搬送する
装置に於けるウエハ認識装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来装置を示すものであって、Ａ
は平面図、Ｂは側面図である。１はステージであって、
片側にはカセット２が架台３上に載置されてなり、且つ
該カセット２の中央に於ける前後方向位置でカセット２
内へ収納されるウエハ４を挟む状態に昇下降するセンサ
ー手段５が設けてある。
は平面図、Ｂは側面図である。１はステージであって、
片側にはカセット２が架台３上に載置されてなり、且つ
該カセット２の中央に於ける前後方向位置でカセット２
内へ収納されるウエハ４を挟む状態に昇下降するセンサ
ー手段５が設けてある。
【０００３】ここにセンサー手段５はカセット２の中央
前後位置にＵ字状の腕杆５ａをモータ５ｂで回動される
支軸５ｃで支承させ、且つＵ字状腕杆５ａの上端に投光
器５ｄと受光器５ｅを設けた構成であり、モータ５ｂの
駆動でカセット２の下端から上端（図示例は下端位置に
ある）の距離間を昇下降するものとなっている。
前後位置にＵ字状の腕杆５ａをモータ５ｂで回動される
支軸５ｃで支承させ、且つＵ字状腕杆５ａの上端に投光
器５ｄと受光器５ｅを設けた構成であり、モータ５ｂの
駆動でカセット２の下端から上端（図示例は下端位置に
ある）の距離間を昇下降するものとなっている。
【０００４】６はステージ１の他側位置に設けたウエハ
搬送ロボット、７は制御装置である。なお、８は上記搬
送ロボット６でカセット２から取出したウエハ４を処理
するためのウエハ処理装置である。
搬送ロボット、７は制御装置である。なお、８は上記搬
送ロボット６でカセット２から取出したウエハ４を処理
するためのウエハ処理装置である。
【０００５】上記使用に於いて、最初にカセット２内の
ウエハ４がどの棚に入っているか認識する動作を行う。
これは通常カセット２はウエハ４を１０枚から２５枚収
納できる構成になっており、どの棚にウエハ４が収納さ
れているかわからないためである。即ち、架台３上にカ
セット２が載置されると制御装置７は、センサーの取付
けられた腕杆５ａを最下位置から最上位置まで設定され
た速度で上昇するよう支持を行う。この過程に於いて、
センサーの出力信号と搬送ロボット６のアーム６ａ，６
ｂの移動量との組合せにより、制御装置７はウエハの位
置情報を知得する。而して、腕杆５ａが最上位置まで上
昇するとウエハ搬送装置は制御装置７にて命令を処理
し、ウエハ搬送ロボット６へ指示された段の棚のウエハ
４をウエハ処理装置８へ搬送を行い、処理の終わったウ
エハ４を支持された段の棚に収納するようになされるの
である。
ウエハ４がどの棚に入っているか認識する動作を行う。
これは通常カセット２はウエハ４を１０枚から２５枚収
納できる構成になっており、どの棚にウエハ４が収納さ
れているかわからないためである。即ち、架台３上にカ
セット２が載置されると制御装置７は、センサーの取付
けられた腕杆５ａを最下位置から最上位置まで設定され
た速度で上昇するよう支持を行う。この過程に於いて、
センサーの出力信号と搬送ロボット６のアーム６ａ，６
ｂの移動量との組合せにより、制御装置７はウエハの位
置情報を知得する。而して、腕杆５ａが最上位置まで上
昇するとウエハ搬送装置は制御装置７にて命令を処理
し、ウエハ搬送ロボット６へ指示された段の棚のウエハ
４をウエハ処理装置８へ搬送を行い、処理の終わったウ
エハ４を支持された段の棚に収納するようになされるの
である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置は上記の如
くウエハマッピング機構が専用の機構であるため、装置
設置の占有面積を大きくする問題がある。一方、今日半
導体製造工場でミニエンバイロメント方式の密閉型ポッ
ドが主流となりつつあり、これには上記のウエハマッピ
ング機構そのものが密閉型のために装置内に組み込めな
いという決定的な問題がある。本発明は後者のミニエン
バイロメント方式の密閉型ポッドに対する新規なウエハ
認識装置を提供せんとするものである。
くウエハマッピング機構が専用の機構であるため、装置
設置の占有面積を大きくする問題がある。一方、今日半
導体製造工場でミニエンバイロメント方式の密閉型ポッ
ドが主流となりつつあり、これには上記のウエハマッピ
ング機構そのものが密閉型のために装置内に組み込めな
いという決定的な問題がある。本発明は後者のミニエン
バイロメント方式の密閉型ポッドに対する新規なウエハ
認識装置を提供せんとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は内部にウエハを
棚段状に収納してなる密閉型ポッドをポートドアに向け
て一定距離の移動可能ならしめると共に、ポートドアは
窓枠内を断面Ｌ字状の板体が下降する構成となし、且つ
断面Ｌ字状の板体上部の両端縁部には一対のセンサーを
９０°の水平移動可能に取付けると共に、下部のＬ字状
段部の中央端縁部には受光器を取付けたものとなし、他
方該受光器と対向する窓枠の天井内面部には投光器を取
付けたものとなし、上記密閉型ポッドの前進移動の前端
でポッドの前蓋が断面Ｌ字状のポートドア内へ端縁部の
受光器を遮蔽しない状態に係着保持させるものとなし、
且つ該ポートドアを挟んで密閉型ポッドの反対側には搬
送ロボットを配設したものとなしてあることを特徴とす
る。
棚段状に収納してなる密閉型ポッドをポートドアに向け
て一定距離の移動可能ならしめると共に、ポートドアは
窓枠内を断面Ｌ字状の板体が下降する構成となし、且つ
断面Ｌ字状の板体上部の両端縁部には一対のセンサーを
９０°の水平移動可能に取付けると共に、下部のＬ字状
段部の中央端縁部には受光器を取付けたものとなし、他
方該受光器と対向する窓枠の天井内面部には投光器を取
付けたものとなし、上記密閉型ポッドの前進移動の前端
でポッドの前蓋が断面Ｌ字状のポートドア内へ端縁部の
受光器を遮蔽しない状態に係着保持させるものとなし、
且つ該ポートドアを挟んで密閉型ポッドの反対側には搬
送ロボットを配設したものとなしてあることを特徴とす
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明装置を備えたウエハ
搬送装置全体の平面図、図２は同一部破断側面図、図３
は上記に於ける密閉型ポッドを移動ステージ１０から取
外してポートドア部分を見た一部破断斜視図である。上
記各図に於いて１がステージ、６が搬送ロボット、８が
ウエハ処理装置であることは図６の従来装置に示したも
のと変わりがないが、本発明ではウエハ４を収納するカ
セット２を密閉型ポッド１１の構成となし、移動ステー
ジ１０上に取付けられて図示しない移動手段で矢印の水
平方向へ移動可能となされてあり、且つウエハ４の取出
し側には前蓋１１ａが取付けてある。
搬送装置全体の平面図、図２は同一部破断側面図、図３
は上記に於ける密閉型ポッドを移動ステージ１０から取
外してポートドア部分を見た一部破断斜視図である。上
記各図に於いて１がステージ、６が搬送ロボット、８が
ウエハ処理装置であることは図６の従来装置に示したも
のと変わりがないが、本発明ではウエハ４を収納するカ
セット２を密閉型ポッド１１の構成となし、移動ステー
ジ１０上に取付けられて図示しない移動手段で矢印の水
平方向へ移動可能となされてあり、且つウエハ４の取出
し側には前蓋１１ａが取付けてある。
【０００９】１２は密閉型ポッド１１と搬送ロボット６
との間に介在させてなるポッドドアであって、窓枠１２
ａ内を断面Ｌ字状の板体１３が昇下降するものとなされ
る。ここに断面Ｌ字状の板体１３は前記密閉型ポッド１
１の前蓋１１ａとほぼ同様の大きさのものとなし、且つ
後述する如く密閉型ポッド１１が前進移動の前端でこれ
を受け止めて係止するようになされている。１３ａはそ
のための位置決めピン、１３ｂは係止フックである。こ
の係止フック１３ｂは前蓋１１ａの固定を施錠したり解
除したりする機能を備えている。
との間に介在させてなるポッドドアであって、窓枠１２
ａ内を断面Ｌ字状の板体１３が昇下降するものとなされ
る。ここに断面Ｌ字状の板体１３は前記密閉型ポッド１
１の前蓋１１ａとほぼ同様の大きさのものとなし、且つ
後述する如く密閉型ポッド１１が前進移動の前端でこれ
を受け止めて係止するようになされている。１３ａはそ
のための位置決めピン、１３ｂは係止フックである。こ
の係止フック１３ｂは前蓋１１ａの固定を施錠したり解
除したりする機能を備えている。
【００１０】而して、上記Ｌ字状板体１３の上部に於け
る両端縁部１３ｃ，１３ｃにはウエハ検出器１４として
一対のセンサー１４ａ，１４ｂが図示一点鎖線の如く９
０°の水平移動可能に取付けてあり、またＬ字状段部１
３ｄの中央端縁部には受光器１５が取付けてある。この
さい、該受光器１５は板体１３がポッド１１の前蓋１１
ａを係着させたとき、該前蓋１１ａによって遮断されな
い位置に取付けしめるのである。
る両端縁部１３ｃ，１３ｃにはウエハ検出器１４として
一対のセンサー１４ａ，１４ｂが図示一点鎖線の如く９
０°の水平移動可能に取付けてあり、またＬ字状段部１
３ｄの中央端縁部には受光器１５が取付けてある。この
さい、該受光器１５は板体１３がポッド１１の前蓋１１
ａを係着させたとき、該前蓋１１ａによって遮断されな
い位置に取付けしめるのである。
【００１１】１６は上記板体１３の昇下降機構を示すも
のであって、板体１３の下端部に対しロッド１３ｅを介
して取付けた軸承部１３ｆをスクリュー軸１６ａに螺合
させ、該スクリュー軸１６ａをモータ１６ｂの駆動で正
転或いは逆転回動されることにより昇降動作するものと
なされる。なお、１７は上記Ｌ字状段部１３ｂの中央端
縁部に設けた受光器１５と対応する窓枠１２ａの天井内
面部箇所に設けた投光器である。
のであって、板体１３の下端部に対しロッド１３ｅを介
して取付けた軸承部１３ｆをスクリュー軸１６ａに螺合
させ、該スクリュー軸１６ａをモータ１６ｂの駆動で正
転或いは逆転回動されることにより昇降動作するものと
なされる。なお、１７は上記Ｌ字状段部１３ｂの中央端
縁部に設けた受光器１５と対応する窓枠１２ａの天井内
面部箇所に設けた投光器である。
【００１２】図４及び図５は上記構成の要部に於ける作
用説明図であって、夫々れは一部切断側面図及び同平面
図で且つ各図のＡ〜Ｆは夫々れ対応状態となっている。
即ち、各図で図Ａはスタート状態を示し、図Ｂはポッド
１１が移動ステージ１０の移動でポートドア１２に向っ
て前進移動し、その前蓋１１ａをポートドア１２の前面
で係合止着させる状態を示す。而して、図Ｃは上記上蓋
１１ａの係合止着が終了するとポッド１１が少し後退す
る状態を示すのであり、このさい、ポッド１１の棚段に
収納されたウエハ２の中で位置ずれなどで外方へ突出し
たりしているものがあると、投光器１７と受光器１５間
の光路が遮断されることにより、この情報を制御装置７
に伝えて後の工程でウエハマッピングを行うさいにウエ
ハ４を破損することのないように情報伝達する。
用説明図であって、夫々れは一部切断側面図及び同平面
図で且つ各図のＡ〜Ｆは夫々れ対応状態となっている。
即ち、各図で図Ａはスタート状態を示し、図Ｂはポッド
１１が移動ステージ１０の移動でポートドア１２に向っ
て前進移動し、その前蓋１１ａをポートドア１２の前面
で係合止着させる状態を示す。而して、図Ｃは上記上蓋
１１ａの係合止着が終了するとポッド１１が少し後退す
る状態を示すのであり、このさい、ポッド１１の棚段に
収納されたウエハ２の中で位置ずれなどで外方へ突出し
たりしているものがあると、投光器１７と受光器１５間
の光路が遮断されることにより、この情報を制御装置７
に伝えて後の工程でウエハマッピングを行うさいにウエ
ハ４を破損することのないように情報伝達する。
【００１３】上記でウエハ４の飛出しがなく、受光器１
５がこれを検知しなかった場合には、ポートドア１２を
図Ｄで示す位置まで下降させる。この位置はポッド１１
内の最上段に収納されたウエハ４とポッド１１内の天井
面との間にウエハ検出器１４のセンサー１４ａ，１４ｂ
が干渉せずにポッド１１内へ９０°の回動可能となる位
置である。ここにセンサーは透過式センサーであって、
即ちセンサーのポッド１１内へ向けて９０°回動し、投
光器１４ａと受光器１４ｂの光路がウエハ４の存在を検
出可能となされるものとなる。
５がこれを検知しなかった場合には、ポートドア１２を
図Ｄで示す位置まで下降させる。この位置はポッド１１
内の最上段に収納されたウエハ４とポッド１１内の天井
面との間にウエハ検出器１４のセンサー１４ａ，１４ｂ
が干渉せずにポッド１１内へ９０°の回動可能となる位
置である。ここにセンサーは透過式センサーであって、
即ちセンサーのポッド１１内へ向けて９０°回動し、投
光器１４ａと受光器１４ｂの光路がウエハ４の存在を検
出可能となされるものとなる。
【００１４】而して、図Ｅに示す如くポートドア１２を
下降させるのであり、これにより投光器１４ａと受光器
１４ｂの光路が遮断されたり遮断されなかったりするの
であり、具体的にはウエハ４が存在する場合はウエハ４
が透過式センサーの光路を遮光するため、受光器１４ｂ
からの遮光信号が制御装置７に出力されるのであり、制
御装置７は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記
憶するものとなり、従ってこれら情報が順次制御装置７
に記憶されると共に、また全体の統括装置へ伝達される
ものとなる。
下降させるのであり、これにより投光器１４ａと受光器
１４ｂの光路が遮断されたり遮断されなかったりするの
であり、具体的にはウエハ４が存在する場合はウエハ４
が透過式センサーの光路を遮光するため、受光器１４ｂ
からの遮光信号が制御装置７に出力されるのであり、制
御装置７は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記
憶するものとなり、従ってこれら情報が順次制御装置７
に記憶されると共に、また全体の統括装置へ伝達される
ものとなる。
【００１５】斯くして、ポートドア１２がウエハ最下段
まで移動を終えると、ウエハ検出器１４の投光器１４ａ
及び受光器１４ｂを９０°の逆回動させて当初位置に復
帰させるのであり、上記した透過式センサー１７からの
遮光信号とウエハ検出器１４の上下移動量の組合せによ
り、ウエハ認識情報を得ることができるものとなり、こ
の結果を全体の統括装置へ伝達するものとなす。而し
て、図Ｆに示す如くポートドア１２をステージ１の最下
部まで移動させ、次にポッド１１をウエハ４の移載が可
能となる位置まで前進させる。
まで移動を終えると、ウエハ検出器１４の投光器１４ａ
及び受光器１４ｂを９０°の逆回動させて当初位置に復
帰させるのであり、上記した透過式センサー１７からの
遮光信号とウエハ検出器１４の上下移動量の組合せによ
り、ウエハ認識情報を得ることができるものとなり、こ
の結果を全体の統括装置へ伝達するものとなす。而し
て、図Ｆに示す如くポートドア１２をステージ１の最下
部まで移動させ、次にポッド１１をウエハ４の移載が可
能となる位置まで前進させる。
【００１６】上記操作の終了により制御装置７は統括装
置からの命令を処理し、ウエハ搬送ロボット６がポッド
１１内の指定された棚のウエハ４をウエハ処理装置８に
向けて搬送するようになすのであり、また同様に制御装
置７はウエハ処理装置８で処理の終了したウエハ４をポ
ッド１１内の指定された棚に搬送するようになすのであ
る。
置からの命令を処理し、ウエハ搬送ロボット６がポッド
１１内の指定された棚のウエハ４をウエハ処理装置８に
向けて搬送するようになすのであり、また同様に制御装
置７はウエハ処理装置８で処理の終了したウエハ４をポ
ッド１１内の指定された棚に搬送するようになすのであ
る。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１は上記認識情報のフローシートであっ
て、１５のステップ段階で表示したものである。
て、１５のステップ段階で表示したものである。
【００１９】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成するものであっ
て、密閉型ポッドに於けるウエハの取出し、搬送及び処
理にさいし、ウエハの破損を未然に防止しながら効率の
良い作業を遂行する上で優れた作用効果を奏するもので
ある。
て、密閉型ポッドに於けるウエハの取出し、搬送及び処
理にさいし、ウエハの破損を未然に防止しながら効率の
良い作業を遂行する上で優れた作用効果を奏するもので
ある。
【図１】本発明装置を備えたウエハ搬送装置の全体平面
図である。
図である。
【図２】上記の一部破断平面図である。
【図３】上記の一部破断斜視図である。
【図４】上記構成の作用説明図（一部切断側面図）であ
る。
る。
【図５】上記構成の作用説明図（一部切断平面図）であ
る。
る。
【図６】従来装置を示すものでＡは平面図、Ｂは側面図
である。
である。
１ ステージ ４ ウエハ ６ ウエハ搬送ロボット ７ 制御装置 ８ ウエハ処理装置 １０ 移動ステージ １１ 密閉型ポッド １２ ポッドドア １３ Ｌ字状板体 １４ ウエハ検出器 １５ 受光器 １７ 投光器
Claims (1)
- 【請求項１】 内部にウエハを棚段状に収納してなる密
閉型ポッドをポートドアに向けて一定距離の移動可能な
らしめると共に、ポートドアは窓枠内を断面Ｌ字状の板
体が下降する構成となし、且つ断面Ｌ字状の板体上部の
両端縁部には一対のセンサーを９０°の水平移動可能に
取付けると共に、下部のＬ字状段部の中央端縁部には受
光器或いは投光器を取付けたものとなし、他方該受光器
と対向する窓枠の天井内面部には投光器或いは受光器を
取付けたものとなし、上記密閉型ポッドの前進移動の前
端でポッドの前蓋が断面Ｌ字状のポートドア内へ端縁部
の受光器を遮蔽しない状態に係着保持させるものとな
し、且つ該ポートドアを挟んで密閉型ポッドドアの反対
側には搬送ロボットを配設したものとなしてあることを
特徴としたウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30290098A JP4310556B2 (ja) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30290098A JP4310556B2 (ja) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000133697A true JP2000133697A (ja) | 2000-05-12 |
| JP4310556B2 JP4310556B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=17914467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30290098A Expired - Fee Related JP4310556B2 (ja) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4310556B2 (ja) |
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| WO2003026003A1 (fr) * | 2001-09-17 | 2003-03-27 | Rorze Corporation | Dispositif de mappage de plaquettes et port de chargement avec ledit dispositif |
| EP1345828A1 (en) * | 2000-11-28 | 2003-09-24 | Asyst Technologies | Fims interface without alignment pins |
| JP2004509454A (ja) * | 2000-07-10 | 2004-03-25 | ニューポート コーポレイション | Ｆｉｍｓシステムで実施されるポッドロードインタフェース装置 |
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-
1998
- 1998-10-23 JP JP30290098A patent/JP4310556B2/ja not_active Expired - Fee Related
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