JP2000269308A - 密閉形基板収納器及び密閉型基板収納器内の基板検知方法 - Google Patents
密閉形基板収納器及び密閉型基板収納器内の基板検知方法Info
- Publication number
- JP2000269308A JP2000269308A JP7032299A JP7032299A JP2000269308A JP 2000269308 A JP2000269308 A JP 2000269308A JP 7032299 A JP7032299 A JP 7032299A JP 7032299 A JP7032299 A JP 7032299A JP 2000269308 A JP2000269308 A JP 2000269308A
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- wafers
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フープ蓋を外さなくても密閉型基板収納器内
に存するウェハの枚数及び状態を検知可能にする。 【解決手段】 フープ１の両側面に、その密閉性を維持
しつつセンサ光１１を通すための一対の透光窓６、７
を、内部の全てのウェハＷが透視しうる長さで設ける。
透光窓６、７の一方の側に投光器８を、また他方の側に
受光器９を設け、そのセンサ光１１をフープ１の縦方向
に走査することで、フープ１内部のウェハＷの枚数また
は状態を検知する。
に存するウェハの枚数及び状態を検知可能にする。 【解決手段】 フープ１の両側面に、その密閉性を維持
しつつセンサ光１１を通すための一対の透光窓６、７
を、内部の全てのウェハＷが透視しうる長さで設ける。
透光窓６、７の一方の側に投光器８を、また他方の側に
受光器９を設け、そのセンサ光１１をフープ１の縦方向
に走査することで、フープ１内部のウェハＷの枚数また
は状態を検知する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、密閉型基板収納器
及び密閉型基板収納器内の基板検知方法に関するもので
ある。
及び密閉型基板収納器内の基板検知方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、縦型拡散ＣＶＤ装置などの半導体
製造装置においては、処理対象となる所定枚数の半導体
ウェハを「フープ（Ｆｏｕｐ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉ
ｎｇＵｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）」と称される開閉可能な
蓋付の密閉型基板収納器に収納し、このフープを単位と
して搬入室に対して搬入・搬出することが行われてい
る。これは搬送中のゴミ対策、クリーン化の問題を解決
する技術として有効である。
製造装置においては、処理対象となる所定枚数の半導体
ウェハを「フープ（Ｆｏｕｐ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉ
ｎｇＵｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）」と称される開閉可能な
蓋付の密閉型基板収納器に収納し、このフープを単位と
して搬入室に対して搬入・搬出することが行われてい
る。これは搬送中のゴミ対策、クリーン化の問題を解決
する技術として有効である。
【０００３】このフープを単位として複数枚のウェハを
扱う方法では、密閉されたフープ内にウェハが収納され
てしまうことから、フープ内のどの位置にウェハが収納
され、どの位置が空いているかを検出するウェハ検知機
構を半導体製造装置に付加しなければならない。
扱う方法では、密閉されたフープ内にウェハが収納され
てしまうことから、フープ内のどの位置にウェハが収納
され、どの位置が空いているかを検出するウェハ検知機
構を半導体製造装置に付加しなければならない。
【０００４】従来のウェハ検知動作を図３〜図４に示
す。フープ１は搬入室のポッドオープナの備えられた位
置まで運ばれた状態にある。
す。フープ１は搬入室のポッドオープナの備えられた位
置まで運ばれた状態にある。
【０００５】まず、ポッドオープナの蓋開閉機構５が起
動して（図３（ａ））、下から上へ移動し（図３
（ｂ））、フープ蓋２と接する（図３（ｃ））。蓋開閉
機構５がフープ蓋２のロックを解除し（図３（ｄ））、
フープ蓋２をフープ１から外す（図３（ｅ））。蓋開閉
機構５がフープ蓋２を連行して下降する（図３
（ｆ））。
動して（図３（ａ））、下から上へ移動し（図３
（ｂ））、フープ蓋２と接する（図３（ｃ））。蓋開閉
機構５がフープ蓋２のロックを解除し（図３（ｄ））、
フープ蓋２をフープ１から外す（図３（ｅ））。蓋開閉
機構５がフープ蓋２を連行して下降する（図３
（ｆ））。
【０００６】次いで、正面に設けられた櫛形ウェハ検知
センサ３の付いた回転アーム４を垂直面内で矢印方向に
回転させ（図３（ｇ））、回転アーム４先端の櫛形ウェ
ハ検知センサ３をウェハＷの手前まで移動する（図３
（ｈ））。この状態で、櫛形ウェハ検知センサ３を矢印
方向に移動させて（図３（ｉ））、フープ１内のウェハ
Ｗ間に差し込み（図３（ｊ））、ウェハＷの有無を検知
する。以上のように、従来ではフープ蓋を外してからウ
ェハ検知を行っていた。
センサ３の付いた回転アーム４を垂直面内で矢印方向に
回転させ（図３（ｇ））、回転アーム４先端の櫛形ウェ
ハ検知センサ３をウェハＷの手前まで移動する（図３
（ｈ））。この状態で、櫛形ウェハ検知センサ３を矢印
方向に移動させて（図３（ｉ））、フープ１内のウェハ
Ｗ間に差し込み（図３（ｊ））、ウェハＷの有無を検知
する。以上のように、従来ではフープ蓋を外してからウ
ェハ検知を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の方
式では、ウェハ検知を行うのに、フープ蓋を外さなけれ
ばならず、外してからでないとウェハ検知を行えない。
このため、フープに収納されたウェハを把握するのに時
間がかかり、半導体製造装置のスループットが上らない
という問題があった。
式では、ウェハ検知を行うのに、フープ蓋を外さなけれ
ばならず、外してからでないとウェハ検知を行えない。
このため、フープに収納されたウェハを把握するのに時
間がかかり、半導体製造装置のスループットが上らない
という問題があった。
【０００８】そこで、本発明の課題は、上述した従来技
術の問題点をを解決し、蓋を外さなくても基板検知を行
うことが可能な密閉型基板収納器及び密閉型基板収納器
内の基板検知方法を提供することにある。
術の問題点をを解決し、蓋を外さなくても基板検知を行
うことが可能な密閉型基板収納器及び密閉型基板収納器
内の基板検知方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の密閉形基板収納
器は、内部に収納された基板を検知するためのセンサ光
を通す透過窓を設けたものである。密閉型基板収納容器
に透過窓を設けたので、その透過窓からセンサ光を入射
してその反射光を検出すれば、密閉したままの状態で、
内部に収納された基板の枚数や状態を検知することがで
きる。
器は、内部に収納された基板を検知するためのセンサ光
を通す透過窓を設けたものである。密閉型基板収納容器
に透過窓を設けたので、その透過窓からセンサ光を入射
してその反射光を検出すれば、密閉したままの状態で、
内部に収納された基板の枚数や状態を検知することがで
きる。
【００１０】具体的には、ポッドオープナの備えられた
所定位置まで運ばれ、そのポッドオープナにより蓋が開
けられて、複数枚の基板の収納又は引き出しが横向きで
なされる密閉形基板収納器であって、該基板収納器の両
側面に、該基板収納器の密閉性を維持しつつセンサ光を
通すための一対の基板検知用の透光窓を、内部の全ての
基板が透視しうる長さで設けることが好ましい。
所定位置まで運ばれ、そのポッドオープナにより蓋が開
けられて、複数枚の基板の収納又は引き出しが横向きで
なされる密閉形基板収納器であって、該基板収納器の両
側面に、該基板収納器の密閉性を維持しつつセンサ光を
通すための一対の基板検知用の透光窓を、内部の全ての
基板が透視しうる長さで設けることが好ましい。
【００１１】また本発明の密閉形基板収納器内の基板検
知方法は、密閉型基板収納容器に設けた透過窓からセン
サ光を入射して、内部に収納された基板の枚数または状
態を検知するようにしたものである。センサ光を使うこ
とにより密閉した状態で基板検知ができるので、密閉型
基板収納容器に収納されたウェハの枚数または状態を短
時間で把握できる。また、蓋を開ける必要がないので、
基板検知操作が容易になる。
知方法は、密閉型基板収納容器に設けた透過窓からセン
サ光を入射して、内部に収納された基板の枚数または状
態を検知するようにしたものである。センサ光を使うこ
とにより密閉した状態で基板検知ができるので、密閉型
基板収納容器に収納されたウェハの枚数または状態を短
時間で把握できる。また、蓋を開ける必要がないので、
基板検知操作が容易になる。
【００１２】具体的には、密閉形基板収納器の両側面に
設けた透光窓の一方の側に投光器を、また他方の側に受
光器を設け、その一方の投光器から他方の受光器に向け
て基板収納器内にセンサ光を照射すると共に、該センサ
光を基板収納器の縦方向に走査して、基板収納器内部の
基板の枚数または状態を検知することが好ましい。
設けた透光窓の一方の側に投光器を、また他方の側に受
光器を設け、その一方の投光器から他方の受光器に向け
て基板収納器内にセンサ光を照射すると共に、該センサ
光を基板収納器の縦方向に走査して、基板収納器内部の
基板の枚数または状態を検知することが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１４】図１は本発明の密閉形基板収納器たるフー
プ１の構成を示したもので、（ａ）はその斜視図、
（ｂ）はその右側面図、（ｃ）は背面図である。
プ１の構成を示したもので、（ａ）はその斜視図、
（ｂ）はその右側面図、（ｃ）は背面図である。
【００１５】この密閉形基板収納器たるフープ１は、上
記図３の（ａ）〜（ｆ）及び図４の（ｉ）〜（ｊ）で説
明した蓋開閉機構５のポッドオープナが備えられている
所定位置まで運ばれ、そのポッドオープナによりフープ
蓋２が開けられて、複数枚のウェハＷの収納又は引き出
しが横向きでなされるものである。
記図３の（ａ）〜（ｆ）及び図４の（ｉ）〜（ｊ）で説
明した蓋開閉機構５のポッドオープナが備えられている
所定位置まで運ばれ、そのポッドオープナによりフープ
蓋２が開けられて、複数枚のウェハＷの収納又は引き出
しが横向きでなされるものである。
【００１６】このフープ１の両側面には、そのフープ蓋
２により閉じられる開口１ａに近い側に、フープ１の密
閉性を維持しつつセンサ光を通すための一対のウェハ検
知用の透光窓６、７が、内部の全てのウェハが透視しう
る長さで設けられている。透光窓６、７は、ここでは、
縦方向に帯状に設けられている。
２により閉じられる開口１ａに近い側に、フープ１の密
閉性を維持しつつセンサ光を通すための一対のウェハ検
知用の透光窓６、７が、内部の全てのウェハが透視しう
る長さで設けられている。透光窓６、７は、ここでは、
縦方向に帯状に設けられている。
【００１７】上記フープ１の両側面に設けた透光窓６、
７のうち、その一方の側には透過式光電センサの構成要
素である投光器８が、また他方の側には同じく透過式光
電センサの構成要素である受光器９が、互いに対向して
配設され、その一方の投光器８から他方の受光器９に向
けてフープ１内にセンサ光１１を照射するように構成さ
れている。また、この投光器８及び受光器９の対が構成
する透過式光電センサから成るウェハ検知器１０は、矢
印で略示する昇降機構１２により、上記帯状の透光窓
６、７に沿って上下方向に移動できるように構成されて
いる。このウェハ検知器１０は、センサ光１１をフープ
１の縦方向に走査して、フープ１内部のウェハＷの枚数
または状態を検知することができる。
７のうち、その一方の側には透過式光電センサの構成要
素である投光器８が、また他方の側には同じく透過式光
電センサの構成要素である受光器９が、互いに対向して
配設され、その一方の投光器８から他方の受光器９に向
けてフープ１内にセンサ光１１を照射するように構成さ
れている。また、この投光器８及び受光器９の対が構成
する透過式光電センサから成るウェハ検知器１０は、矢
印で略示する昇降機構１２により、上記帯状の透光窓
６、７に沿って上下方向に移動できるように構成されて
いる。このウェハ検知器１０は、センサ光１１をフープ
１の縦方向に走査して、フープ１内部のウェハＷの枚数
または状態を検知することができる。
【００１８】ウェハＷが存在しない場合、ウェハ検知器
１０のセンサ光１１が遮断されないので、投光器８の光
が上記透光窓６、７及びフープ１内を透過して受光器９
に到達する。しかし、ウェハＷが存在する場合は、ウェ
ハ検知器１０のセンサ光１１が遮断されるので、受光器
９は投光器８からの光を受光しなくなる。従って、受光
器９における両者の受光状態の違いを判断することでウ
ェハＷの有無を検知することができる。
１０のセンサ光１１が遮断されないので、投光器８の光
が上記透光窓６、７及びフープ１内を透過して受光器９
に到達する。しかし、ウェハＷが存在する場合は、ウェ
ハ検知器１０のセンサ光１１が遮断されるので、受光器
９は投光器８からの光を受光しなくなる。従って、受光
器９における両者の受光状態の違いを判断することでウ
ェハＷの有無を検知することができる。
【００１９】図２は、フープ１の内部を走査してウェハ
の存否を検知する方法の具体例を示したもので、上記ウ
ェハ検知器１０を上から下に移動させた場合を示す。
の存否を検知する方法の具体例を示したもので、上記ウ
ェハ検知器１０を上から下に移動させた場合を示す。
【００２０】図２（ａ）の例では、フープ１内に、上か
ら１枚目、２枚目及び４枚目、５枚目にウェハＷが存在
し、３枚目にウェハＷが存在しない。従って、図２
（ｂ）に示すように、ウェハ検知器１０のセンサ光１１
が、ウェハの存在する１枚目、２枚目及び４枚目、５枚
目の位置を走査しているときは、その受光器９における
出力信号はＨ（又はＬ）になり、ウェハのない３枚目の
位置を走査しているときはＬ（又はＨ）のままとなる。
ら１枚目、２枚目及び４枚目、５枚目にウェハＷが存在
し、３枚目にウェハＷが存在しない。従って、図２
（ｂ）に示すように、ウェハ検知器１０のセンサ光１１
が、ウェハの存在する１枚目、２枚目及び４枚目、５枚
目の位置を走査しているときは、その受光器９における
出力信号はＨ（又はＬ）になり、ウェハのない３枚目の
位置を走査しているときはＬ（又はＨ）のままとなる。
【００２１】このようにウェハ検知器１０の移動量とそ
の出力信号の種類とから、フープ１内のウェハの有無の
検知を行うことができる。このため、従来のようにフー
プ蓋２が開くのを待つ必要がない。
の出力信号の種類とから、フープ１内のウェハの有無の
検知を行うことができる。このため、従来のようにフー
プ蓋２が開くのを待つ必要がない。
【００２２】本実施形態では、フープ１の両側面に、セ
ンサ光１１を通しやすくするため透明な帯状の小窓であ
る透光窓２を設け、投光器８及び受光器９を持つ透過式
光電センサを設けて、そのセンサを昇降機構により上下
動させることでフープ内部を走査する構成とした。これ
により、フープ蓋２を開ける必要なしに、容易に、フー
プ１内に存するウェハの枚数及び状態を知ることができ
る。従って、ウェハ検知動作が従来より簡略化され、こ
れによりスループットが向上する。
ンサ光１１を通しやすくするため透明な帯状の小窓であ
る透光窓２を設け、投光器８及び受光器９を持つ透過式
光電センサを設けて、そのセンサを昇降機構により上下
動させることでフープ内部を走査する構成とした。これ
により、フープ蓋２を開ける必要なしに、容易に、フー
プ１内に存するウェハの枚数及び状態を知ることができ
る。従って、ウェハ検知動作が従来より簡略化され、こ
れによりスループットが向上する。
【００２３】なお本発明は上記実施形態に限られるもの
ではなく、ウェハ検知器１０には、光電センサの代わり
にレーザ式センサ用いることができる。また、ウェハ検
知器１０を移動させて走査を行う代わりに、フープ１側
を移動させて走査を行うこともできる。
ではなく、ウェハ検知器１０には、光電センサの代わり
にレーザ式センサ用いることができる。また、ウェハ検
知器１０を移動させて走査を行う代わりに、フープ１側
を移動させて走査を行うこともできる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、密閉したままで密閉型
基板収納器内の基板の枚数及び状態の検出ができるの
で、スループットの向上を図ることができる。
基板収納器内の基板の枚数及び状態の検出ができるの
で、スループットの向上を図ることができる。
【図１】本発明の密閉形基板収納器たるフープの構成を
示したもので、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその右側
面図、（ｃ）は背面図である。
示したもので、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその右側
面図、（ｃ）は背面図である。
【図２】本発明の密閉形基板収納器内の基板検知方法を
示したもので、（ａ）はそのウェハ検知器による走査の
説明図、（ｂ）はウェハ検知器の出力波形を示す図であ
る。
示したもので、（ａ）はそのウェハ検知器による走査の
説明図、（ｂ）はウェハ検知器の出力波形を示す図であ
る。
【図３】従来のウェハ検知動作の説明に供する図であ
る。
る。
【図４】従来のウェハ検知動作の説明に供する図であ
る。
る。
１ フープ ２ フープ蓋 ６、７ 透光窓 １０ ウェハ検知器 １１ センサ光 Ｗ ウェハ
Claims (2)
- 【請求項１】内部に収納された基板を検知するためのセ
ンサ光を通す透過窓を設けた密閉型基板収納容器。 - 【請求項２】密閉型基板収納容器に設けた透過窓からセ
ンサ光を入射して、内部に収納された基板の枚数または
状態を検知する密閉型基板収納器内の基板検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7032299A JP2000269308A (ja) | 1999-03-16 | 1999-03-16 | 密閉形基板収納器及び密閉型基板収納器内の基板検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7032299A JP2000269308A (ja) | 1999-03-16 | 1999-03-16 | 密閉形基板収納器及び密閉型基板収納器内の基板検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000269308A true JP2000269308A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13428107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7032299A Pending JP2000269308A (ja) | 1999-03-16 | 1999-03-16 | 密閉形基板収納器及び密閉型基板収納器内の基板検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000269308A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007123513A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
| WO2017094694A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
| JP2017103284A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
-
1999
- 1999-03-16 JP JP7032299A patent/JP2000269308A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007123513A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
| JP4519056B2 (ja) * | 2005-10-27 | 2010-08-04 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
| WO2017094694A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
| JP2017103284A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
| CN108292621A (zh) * | 2015-11-30 | 2018-07-17 | 昕芙旎雅有限公司 | 装载端口 |
| KR20180087260A (ko) * | 2015-11-30 | 2018-08-01 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 로드 포트 |
| CN108292621B (zh) * | 2015-11-30 | 2023-08-18 | 昕芙旎雅有限公司 | 装载端口 |
| KR102701094B1 (ko) * | 2015-11-30 | 2024-09-02 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 로드 포트 |
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