JP6730879B2 - 剥離方法及び剥離装置 - Google Patents
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Description
まず、図1に示す研削後のウエーハWが、研削された面である他方の面Wbが上側になるように、受け渡しテーブル141上に載置される。保持手段2が+Y方向に移動し、保持パッド21の保持面210aの中心がウエーハWの他方の面Wbの中心に略合致するように、ウエーハWの上方に位置付けられる。さらに、保持手段2が−Z方向へと降下し、保持パッド21の保持面210aをウエーハWの他方の面Wbに接触させる。さらに、吸引源213が吸引することで生み出された吸引力が保持面210aへと伝達されることで、図2に示すように保持手段2が保護部材Sを下にしてウエーハWの他方の面Wbを吸引保持する。ここで、保護部材Sは、樹脂S1とフィルムS2とからなり、フィルムS2が樹脂S1を介してウエーハWの一方の面Waに固着されている。
例えば、ウエーハWを吸引保持した保持手段2が+Z方向に移動して、受け渡しテーブル141上からウエーハWを離脱させる。次いで、図4に示すように、第一の昇降シリンダ321及び第二の昇降シリンダ322それぞれに対してエアが供給され、ピストンロッド321c及びピストン322bが上昇し、クランプ台310の上面が保護部材Sの下面S2bと同程度の高さ位置に位置するように、第1の把持部31が所定の高さ位置に位置付けられる。また、各水平移動部33が、各第1の把持部31を−X方向及び+X方向に移動させ、第1の把持部31と保護部材Sのはみ出し部S2aとの径方向における位置合わせを行う。クランプシリンダ311によってクランプ板312が下降して、クランプ台310の上面とクランプ板312の下面との間にウエーハWの保護部材Sのはみ出し部S2aを挟み込むことで、第1の把持部31がウエーハWの保護部材Sのはみ出し部S2aを把持する。なお、第1の把持部31によるウエーハWの保護部材Sのはみ出し部S2aを把持等は、受け渡しテーブル141上にウエーハWを保持した状態で行ってもよい。
次いで、図7に示すように、ウエーハWを吸引保持した保持手段2が、回転ローラ18の上方に位置するまで−Y方向に移動してから−Z方向に下降して、保護部材Sの下面S2bの+Y方向側の外周部付近に回転ローラ18の側面18cを当接させる。移動手段40が第2の把持部41を−Y方向に移動させ、挟持クランプ412と保護部材Sのはみ出し部S2aとの位置合わせを行い、挟持クランプ412がはみ出し部S2aを挟持する。図7に示す例においては、第2の把持部41が、保護部材Sの外側部分の内ウエーハWからの剥離が行われていない外側部分のはみ出し部S2aを把持しているが、保護部材Sの外側部分の内ウエーハWからの剥離が行われている外側部分のはみ出し部S2a(図7における−Y方向側のはみ出し部S2a)を把持するものとしてもよい。
12:Y軸方向移動手段 120:ボールネジ 121:可動板 122:モータ
13:Z軸方向移動手段 130:ボールネジ 131:可動板 132:モータ
140:テーブル保持台 141:受け渡しテーブル
18:回転ローラ 18c:回転ローラの側面
2:保持手段 20:アーム部 21:保持パッド 210:吸着部 210a:保持面
211:枠体 212:吸引管 213:吸引源 22:回転手段
3:外側部分剥離手段
31:第1の把持部 310:クランプ台 311:クランプシリンダ
312:クランプ板
32:垂直移動部 321:第一の昇降シリンダ 321a:シリンダチューブ
321b:ピストン 321c:ピストンロッド
322:第二の昇降シリンダ 322a:シリンダチューブ 322b:ピストン
33:水平移動部 330:ボールネジ 331:ガイドレール 332:モータ
333:可動ブロック 334:保持版
4:全体剥離手段 40:移動手段 400:ボールネジ 401:一対のガイドレール
402:モータ 403:可動ブロック
41:第2の把持部 410:スピンドル 411:ハウジング 412:挟持クランプ
5:載置テーブル 5a:載置テーブルの載置面 50:直線材
6:落下手段 60:ボールネジ 61:一対のガイドレール 62:モータ
63:可動部材 631:ピン台部 64:突き出しピン
7:ボックス 79:光センサ 790:発光部 791:受光部
90保持テーブル 90a:保持面 91:樹脂供給装置 92:保持手段
93:紫外線照射機構 94:研削装置 940:チャックテーブル
941:研削ホイール 941a:研削砥石
W:ウエーハ Wa:ウエーハの一方の面 Wb:ウエーハの他方の面
Wd:ウエーハの外周縁
S:保護部材 S1:樹脂 S2:フィルム S2a:はみ出し部
S2b:保護部材の下面
Claims (3)
- フィルムがウエーハの外周縁からはみ出してはみ出し部が形成された状態で樹脂を介して該フィルムがウエーハの一方の面に固着されると共に、ウエーハの外周縁に該樹脂を付着させている場合における該樹脂と該フィルムとからなる保護部材をウエーハから剥離する剥離方法であって、
ウエーハの他方の面を吸引保持する保持工程と、
該保持工程で保持したウエーハの該保護部材の該はみ出し部を把持部で把持して該把持部をウエーハの外周縁より外側に向かって水平移動させ該はみ出し部を引っ張り拡張させた後、拡張した該はみ出し部を把持した該把持部をウエーハよりも下方に向かって垂直に降下させてウエーハの外周縁に付着した該樹脂をウエーハの外周縁から剥離させウエーハの外周縁に樹脂残りが発生していない状態とする外周縁付着樹脂剥離工程と、
該外周縁付着樹脂剥離工程の後、ウエーハから該保護部材全体を剥離する全体剥離工程とを備える剥離方法。 - フィルムがウエーハの外周縁からはみ出してはみ出し部が形成された状態で樹脂を介して該フィルムがウエーハの一方の面に固着されると共に、ウエーハの外周縁に該樹脂を付着させている場合における該樹脂と該フィルムとからなる保護部材をウエーハから剥離する剥離装置であって、
ウエーハの他方の面を保持する保持面を有する保持手段と、該はみ出し部を把持して該保護部材の外側部分をウエーハから剥離する外側部分剥離手段と、該保護部材全体をウエーハから剥離する全体剥離手段と、を備え、
該外側部分剥離手段は、該はみ出し部を把持する第1の把持部と、該第1の把持部を該保持面に対して垂直方向に移動させる垂直移動部と、該第1の把持部を該保持面方向に移動させる水平移動部と、を備え、
該全体剥離手段は、該はみ出し部を把持する第2の把持部と、該第2の把持部をウエーハの外周から中央を基準とする逆側の外周に向かって移動させる移動手段とを備え、
該保持手段に保持される該ウエーハの該保護部材のはみ出し部を該第1の把持部が把持し、該水平移動部で該第1の把持部をウエーハの外周縁より外側に水平移動させて該はみ出し部を引っ張り拡張させてウエーハの外周縁に付着した該樹脂を剥離した後、該垂直移動部で該第1の把持部をウエーハの一方の面から離間する方向に降下させて該保護部材の外側部分をウエーハの外周縁に樹脂残りを発生させないように剥離し、さらに、該はみ出し部を該第2の把持部で把持し該第2の把持部をウエーハの外周から中央を基準とする逆側の外周に向かって相対的に移動させ該保護部材全体を剥離する剥離装置。 - 前記保持手段は、前記保持面の中心を軸に該保持面を回転させる回転手段を備える請求項2記載の剥離装置。
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