JP7457524B2 - 剥離装置 - Google Patents

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Description

本発明は、板状ワークから保護部材を剥離する剥離装置に関する。
テープマウンタは、保護テープを一方の面に貼着したウェーハの他方の面とリングフレームとにダイシングテープを貼着して、ウェーハをダイシングテープを介してリングフレームで支持可能な状態にすることができる。また、ダイシングテープを貼着した後、ウェーハに貼着されている保護テープを剥離している（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１５－１６７２０５号公報
保護テープを剥離する際は、例えば、保護テープの外周部分に剥離テープを貼着させ、剥離テープを把持してウェーハから離間する方向に引っ張ることで保護テープを剥離している。しかし、保護テープを剥離する際の保護テープを引っ張る速度が速いと保護テープの糊がウェーハの一方の面に残る可能性がある、または、ウェーハを破損させる可能性があるという問題が有る。対して、保護テープを引っ張る速度が遅いと無駄な時間がかかり作業効率が落ちるという問題がある。
また、保護テープが貼着されたウェーハの一方の面に形成されるデバイスの種類等によって、保護テープの粘着力は異なる。つまり、同じ保護テープだとしても、ウェーハに形成されたデバイスによって強く粘着される場合と、弱く粘着される場合とがあり、粘着力の違いによって剥離させる時の引っ張り力（引っ張り速度）を変える必要がある。
さらに、円形の保護テープの剥離開始当初の小さな剥離領域と、ウェーハの中央付近まで保護テープが剥離された時の大きな剥離領域とにより、引っ張る力が異なるのでウェーハが受ける力も保護テープが剥離されている位置によって異なる。しかし、従来は、ウェーハ毎に剥離する剥離速度を徐々に早くして、剥離実験を繰り返し、所定の剥離速度を決定して該剥離速度で剥離していくか、ウェーハを破損させる可能性が無いという余裕をもった安全な速度を設定して剥離させていくかであったため、無駄な時間がかかっていた。
したがって、ウェーハの一方の面に形成した保護テープ等の保護部材をウェーハから剥離する剥離装置においては、保護部材をウェーハから剥離する際に、ウェーハが割れたり、ウェーハに糊残り等が発生したりしないようにしつつ、かつ、無駄な時間を掛けずに保護部材をウェーハから剥離するという課題がある。
上記課題を解決するための本発明は、板状ワークの一方の面を保護する保護部材を、該一方の面から剥離する剥離装置であって、保持面によって該板状ワークの他方の面を保持する保持手段と、該保持面に保持された該板状ワークの該一方の面を覆う該保護部材の外周部分を把持し、該保護部材を剥離する剥離手段と、を備え、該剥離手段は、該保護部材の外周部分を把持する把持部と、該把持部を該一方の面から遠ざかる方向に移動させつつ該把持部と該保持手段とを相対的に該保持面に平行な方向に移動させ、該把持部を該保持面の外周から中心に向かわせ、該保持面の該中心を通過した該把持部を該中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段と、該把持部と該保持面との間に介在する該保護部材に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部と、を備え、該引っ張り荷重測定部は、該保持面に平行な方向の水平方向引っ張り荷重を測定する水平方向引っ張り荷重測定部と、該一方の面から遠ざかる方向のＺ軸方向引っ張り荷重を測定するＺ軸方向引っ張り荷重測定部と、該水平方向引っ張り荷重測定部の測定値と該Ｚ軸方向引っ張り荷重測定部の測定値と下記の式とを用いて引っ張り荷重を算出する算出部と、を備え、
（水平方向引っ張り荷重Ｆｘ） ２ ＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ） ２ ＝（引っ張り荷重Ｆ） ２
該引っ張り荷重測定部によって該保護部材に掛かる引っ張り荷重を測定することによって該剥離手段の剥離動作を最適化させる剥離装置である。
前記引っ張り荷重測定部は、前記保持手段を支持する支持部に配設された圧電素子からなると好ましい。
前記引っ張り荷重測定部は、前記把持部を支持する把持部支持部に配設された圧電素子からなると好ましい。
前記保護部材は、保護テープであって、前記板状ワークは、外周部分に切り欠き部を備え、前記保持手段は、該切り欠き部に位置する該板状ワークに貼着されていない該保護テープを突き上げ該切り欠き部付近の該保護テープを該板状ワークから剥離させる部分剥離部を備え、前記把持部は、該部分剥離部によって剥離された該保護テープの外周部分を把持すると好ましい。
前記保護部材は、保護テープであって、該保護テープの外周部分に剥離テープを貼着する剥離テープ貼着手段を備え、前記把持部は、保護テープの外周部分を把持するのに代えて、該保護テープに貼着した該剥離テープを把持し、前記引っ張り荷重測定部は、該把持部と該保持面との間に介在する該保護テープと一体となった該剥離テープに掛かる引っ張り荷重を測定すると好ましい。
前記保護部材は、前記板状ワークの外周から僅かにはみ出したはみ出し部を有していて、前記把持部は、該はみ出し部を把持すると好ましい。
本発明に係る剥離装置は、剥離手段は、保護部材の外周部分を把持する把持部と、把持部と保持手段とを相対的に保持面に平行な方向に移動させ、把持部を保持面の外周から中心に向かわせ、保持面の中心を通過した把持部を中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段と、把持部と保持面との間に介在する保護部材に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部と、を備えているため、引っ張り荷重測定部によって保護部材に掛かる引っ張り荷重を測定することで剥離手段の剥離動作を最適化させることができる。即ち、ウェーハが割れたり、ウェーハに糊残り等が発生したりしないようにしつつ、かつ、無駄に時間をかけること無い最適な剥離速度で保護部材をウェーハから剥離することが可能となる。
引っ張り荷重測定部は、保持手段を支持する支持部に配設された圧電素子からなると、保護部材に掛かる引っ張り荷重を正確に測定することが可能となる。
引っ張り荷重測定部は、把持部を支持する把持部支持部に配設された圧電素子からなると、保護部材に掛かる引っ張り荷重を正確に測定することが可能となる。
保護部材は、保護テープであって、板状ワークは、外周部分に切り欠き部を備え、保持手段は、切り欠き部に位置する板状ワークに貼着されていない保護テープを突き上げ切り欠き部付近の保護テープを板状ワークから剥離させる部分剥離部を備えることで、把持部が、部分剥離部によって剥離された保護テープの外周部分を容易に把持することが可能となる。
保護部材は、保護テープであって、保護テープの外周部分に剥離テープを貼着する剥離テープ貼着手段を備えることで、把持部は、保護テープの外周部分を把持するのに代えて、保護テープに貼着した剥離テープを把持し、引っ張り荷重測定部は、保護テープに掛かる引っ張り荷重を測定することに代えて、把持部と保持面との間に介在する保護テープと一体となった剥離テープに掛かる引っ張り荷重を測定することで、剥離手段の剥離動作を最適化させることが可能となる。
保護部材は、板状ワークの外周から僅かにはみ出したはみ出し部を有していることで、把持部が保護部材の外周部分のはみ出し部を容易に把持することが可能となる。
実施形態１の剥離装置を説明するための斜視図である。 保持手段をＸ軸方向に移動させ、かつ、把持部を保持手段の保持面に対して水平方向に向かって移動させながら、把持部側引っ張り荷重測定部により引っ張り荷重を測定しつつ、板状ワークから保護テープを剥離する場合を説明する断面図である。 保持手段をＸ軸方向に移動させ、かつ、把持部を移動させないで、テーブル側引っ張り荷重測定部により引っ張り荷重を測定しつつ、板状ワークから保護テープを剥離する場合を説明する断面図である。 板状ワークの切り欠き部付近の保護テープを板状ワークから剥離させる部分剥離部を備える保持手段を説明するための断面図である。 実施形態２の剥離装置を説明するための斜視図である。 実施形態２の剥離装置において、保護部材の剥離を開始するにあたって、把持部の把持クランプがはみ出し部を把持した状態を示す断面図である。 実施形態２の剥離装置において、保護部材の剥離を開始するにあたって、把持部の把持クランプがはみ出し部の一部を板状ワークの外周縁から剥がした状態を説明する断面図である。 実施形態２の剥離装置において、保護部材の剥離を開始するにあたって、把持部の把持クランプがはみ出し部の一部を板状ワークの外周縁から剥がした後回転ローラの側面に保護部材をならわせた状態を説明する断面図である。 保持手段をＹ軸方向に移動させ、かつ、把持部を保持手段の保持面に対して斜め下方に向かって移動させながら、把持部側引っ張り荷重測定部により引っ張り荷重を測定しつつ、板状ワークから保護部材を剥離する場合を説明する断面図である。 保持手段をＹ軸方向に移動させ、かつ、把持部を移動させないで、パッド側引っ張り荷重測定部により引っ張り荷重を測定しつつ、板状ワークから保護部材を剥離する場合を説明する断面図である。
（剥離装置の実施形態１）
図１に示す本発明に係る剥離装置１（以下、実施形態１の剥離装置１とする。）は、帯状の剥離テープ８３を用いて、板状ワーク８０の図１における上面である一方の面８００に貼着されている保護部材である保護テープ８１を剥離する剥離装置の一例であり、保持面３０２によって板状ワーク８０の他方の面８０１を保持する保持手段３０と、保持面３０２に保持された板状ワーク８０の一方の面８００を覆う保護テープ８１の外周部分を把持し、保護テープ８１を板状ワーク８０の外周から中央に向かって剥離し、更に中央から外周の反対側の外周へと剥離する剥離手段４と、を少なくとも備えている。
図１に示す板状ワーク８０は、例えば、シリコンを母材とする外形が円形の半導体ウェーハであり、その一方の面８００は、直交差する複数の分割予定ライン８０４で格子状に区画されており、格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイス８０５がそれぞれ形成されている。
板状ワーク８０の一方の面８００全面を覆うように貼着されている保護部材は、本実施形態においては、例えば、ある程度の柔軟性を有した樹脂（例えば、ポリオレフィン系樹脂等）からなる基材層と基材層上の粘着層（糊層）とを備える保護テープ８１である。
なお、板状ワーク８０はシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、保護部材も保護テープ８１に限定されるものではない。
例えば、板状ワーク８０は一方の面８００の反対面である他方の面８０１（図１における下面）に板状ワーク８０よりも大径のダイシングテープ８２が貼着されている。そして、ダイシングテープ８２の糊層の外周部が環状フレーム８４にも貼着されていることで、板状ワーク８０は、ダイシングテープ８２を介して環状フレーム８４に支持され、環状フレーム８４によるハンドリングが可能である。
剥離装置１は、Ｘ軸方向に延在する直方体状の基台１０を有しており、基台１０の上には、保持手段３０をＸ軸方向に往復移動させるテーブル移動手段１３が配設されている。テーブル移動手段１３は、基台１０に配設されたボールネジ１３０と、ボールネジ１３０の一端に接続されたモータ１３２と、ボールネジ１３０と平行に延在する一対のガイドレール１３１と、Ｘ軸方向に移動可能な可動部材１３３とを備えている。可動部材１３３の上面には、保持手段３０が支持部３１を介して配設されている。可動部材１３３の下面には、一対のガイドレール１３１が摺接し、可動部材１３３の下面に配設された図示しないナットにはボールネジ１３０が螺合している。モータ１３２によって駆動されてボールネジ１３０が回動することにより、可動部材１３３とともに保持手段３０がガイドレール１３１に沿ってＸ軸方向に移動する。
テーブル移動手段１３は、剥離手段４の一部であり、把持部４１と保持手段３０とを相対的に保持面３０２に平行なＸ軸方向に移動させ、把持部４１を保持面３０２の外周から中心に向かわせ、保持面３０２の中心を通過した把持部４１を中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段として機能する。
保持手段３０は、本実施形態においては、保持テーブルであり、ポーラス部材等からなり板状ワーク８０を吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部３００の露出面である平坦な保持面３０２に伝達されることで、保持手段３０は保持面３０２上で板状ワーク８０を吸引保持できる。
例えば、保持手段３０は、環状フレーム８４を固定するフレーム固定手段３２によって周囲を囲繞されている。平面視環状の外形を備え環状フレーム８４が載置されるフレーム固定手段３２は、図示しない吸引源が生み出す吸引力により環状フレーム８４を吸引固定する構成となっており、周方向に均等に配設されたピストン機構３３によってＺ軸方向（鉛直方向）に上下動可能となっている。なお、フレーム固定手段３２の代わりに、クランプがバネ等によって開閉するメカニカルクランプが保持手段３０の周囲に複数配設されていてもよい。
例えば、剥離手段４は、後述する図１に示す把持部４１と保持面３０２との間に介在する保護テープ８１に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部として、保持手段３０を支持する支持部３１に配設された圧電素子からなる引っ張り荷重測定部３５を備えている。以下、引っ張り荷重測定部３５を、テーブル側引っ張り荷重測定部３５とする。
本実施形態において、保持手段３０を支持する支持部３１は、例えば、円筒形状を備えており、テーブル側引っ張り荷重測定部３５は、支持部３１のテーブル移動手段１３の可動部材１３３との接続部位に配設されている。即ち、テーブル側引っ張り荷重測定部３５は、支持部３１と可動部材１３３との間に上下方向（Ｚ軸方向）から挟まれ、支持部３１上に装着された保持手段３０の重量を支える形で配設される。そして、本実施形態において、テーブル側引っ張り荷重測定部３５は、保持手段３０の下方にＸ軸方向において対向するように２つ配設されている。即ち、テーブル側引っ張り荷重測定部３５は、第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１と、第２のテーブル側引っ張り荷重測定部３５２とで構成されている。
第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１（第２のテーブル側引っ張り荷重測定部３５２）である圧電素子は、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、リチウムナイオベート（ＬｉＮｂＯ３）、又はリチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ３）等の材料で平板状又は柱状に形成されており、受けた荷重を電圧信号に変換して、剥離装置１の装置全体の制御を行う制御手段１９に出力することができる。
保持手段３０の移動経路上方には、保持手段３０に保持される板状ワーク８０の保護テープ８１を剥離する剥離手段４が配設されており、剥離手段４は、例えば、所定の長さで剥離テープ８３を切断するテープ切断手段４０と、剥離テープ８３がロール状に巻回されたテープロール８３１から剥離テープ８３を引き出し板状ワーク８０の一方の面８００に貼着された保護テープ８１に供給する剥離テープ供給手段４２と、保護テープ８１の外周部分に剥離テープ８３を貼着する剥離テープ貼着手段４４と、保護テープ８１に貼着した剥離テープ８３を把持する把持部４１と、剥離テープ貼着手段４４及び把持部４１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段４６とを備えている。
Ｘ軸方向移動手段４６は、把持部４１と保持手段３０とを相対的に保持面３０２に平行なＸ軸方向に移動させ、把持部４１を保持面３０２の外周から中心に向かわせ、保持面３０２の中心を通過した把持部４１を中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段として機能する。
具体的には、Ｘ軸方向移動手段４６は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ４６０と、ボールネジ４６０と平行に配設された一対のガイドレール４６１と、ボールネジ４６０に連結しボールネジ４６０を回動させるモータ４６２と、内部のナットがボールネジ４６０に螺合し側部がガイドレール４６１に摺接する可動板４６３とを備え、モータ４６２がボールネジ４６０を回動させると、これに伴い可動板４６３がガイドレール４６１にガイドされてＸ軸方向に往復移動し、可動板４６３に取り付けられた剥離テープ貼着手段４４及び把持部４１もＸ軸方向に往復移動する。
剥離テープ供給手段４２は、テープロール８３１が装着された巻筒４２０と、テープロール８３１から引き出された剥離テープ８３を下方にガイドする一対のガイドローラ４２１と、一対のガイドローラ４２１の下方側に配置された一対の送り出しローラ４２２とを備えている。巻筒４２０には、図示しない制御機構によってバックテンションがかけられており、テープロール８３１から引き出された剥離テープ８３に弛みが生じないように張り具合が調整されている。一対のガイドローラ４２１は、剥離テープ８３を挟みながら折り返してテンションをかけつつ一対の送り出しローラ４２２に向けてガイドし、一対の送り出しローラ４２２は、剥離テープ８３を把持部４１に向けて送り出すことができる。
剥離テープ８３は、例えば、保護テープ８１の外周部分に熱を加えて接着される接着剤層と基材とからなる２層構造のヒートシールである。基材の材質は、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂からなる。接着剤層は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成されている。剥離テープ８３の保護テープ８１に対する粘着力は、保護テープ８１の板状ワーク８０に対する粘着力よりも強く設定されている。かかる剥離テープ８３は、内側（伸ばされた状態における下面側）に接着剤層が位置する状態で巻回されてテープロール８３１となっている。なお、剥離テープ８３は、ヒートシールに限定されない。
図１に示すＸ軸方向移動手段４６の可動板４６３の側面に固定された支持台４８０には、把持部支持部４８が取り付けられており、さらに把持部支持部４８によって把持部４１を構成する一対の把持爪４１２が上下動可能となっている。
一対の把持爪４１２は、例えば、側面視略Ｌ字状の固定爪４１２１と、固定爪４１２１とＺ軸方向において対向して配設され固定爪４１２１に対して接近又は離間可能な可動爪４１２２とを備えている。把持部４１では、固定爪４１２１に対して可動爪４１２２を接近させることにより剥離テープ８３の一端をその間に把持することができる。そして、剥離テープ８３を把持した一対の把持爪４１２を、把持部支持部４８により保持手段３０に保持された板状ワーク８０の保護テープ８１上のテープ貼着に適切な高さ位置に位置づけることができる。一方、固定爪４１２１から可動爪４１２２を離間させることにより把持部４１における剥離テープ８３の一端の把持状態を解除することができる。
図１に示す剥離テープ貼着手段４４は、一対の送り出しローラ４２２と把持部４１との間に配設されている。剥離テープ貼着手段４４は、Ｘ軸方向移動手段４６の可動板４６３の側面に固定された支持台４４０と、エアシリンダ等からなり支持台４４０によって支持された押付板昇降機構４４１と、押付板昇降機構４４１によって上下動可能となっている押付板４４２とを備えている。
押付板４４２には電流を流すことで発熱する図示しないヒータが取り付けられており、押付板昇降機構４４１によって押付板４４２を下降させて保護テープ８１の外周部分に剥離テープ８３を押し付けて貼着する際には、図示しないヒータが押付板４４２を加熱することで、保護テープ８１に剥離テープ８３を部分的に熱溶着させることができる。これにより、剥離テープ８３を保護テープ８１に対して良好に貼着することができる。
テープ切断手段４０は、例えば、一対の送り出しローラ４２２と剥離テープ貼着手段４４との間に配設されている。テープ切断手段４０は、剥離テープ８３の接着剤層側（下側）が載置される載置面４０４及び載置面４０４を剥離テープ８３の幅方向（Ｘ軸方向に水平面内において直交するＹ軸方向）に横断する溝４０５を備える載置台４００と、溝４０５の延在方向に沿って溝４０５内を進行させるカッター４０１と、カッター４０１をカッター昇降手段４０３を介して支持しカッター４０１を溝４０５の延在方向（Ｙ軸方向）に移動させるボールネジ機構であるカッター移動手段４０２と、エアシリンダ等からなりカッター４０１を載置面４０４に対してＺ軸方向に昇降させるカッター昇降手段４０３と、を備えている。
例えば、剥離手段４は、把持部４１と保持面３０２との間に介在する保護テープ８１に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部として、把持部４１を支持する把持部支持部４８に配設された圧電素子からなる引っ張り荷重測定部４７を備えている。以下、引っ張り荷重測定部４７を、把持部側引っ張り荷重測定部４７とする。そして、把持部側引っ張り荷重測定部４７は、例えば、上下方向荷重測定圧電素子４７１と、水平方向荷重測定圧電素子４７２とを備えている。
なお、剥離装置１は、引っ張り荷重測定部として、テーブル側引っ張り荷重測定部３５、又は把持部側引っ張り荷重測定部４７の少なくともいずれか一方を備えていればよい。
把持部支持部４８は、例えば、ピストンロッド４８３がシリンダチューブ４８４内からＺ軸方向に上下動可能である電動シリンダ等である。そして、例えば、上下方向荷重測定圧電素子４７１は、円柱状の外形を備えており、二本のロッドを上下連結させて一本のピストンロッド４８３とするように、ピストンロッド４８３に一体的に配設されている。
水平方向荷重測定圧電素子４７２は、例えば、平板状に形成されており、ピストンロッド４８３の先端部と固定爪４１２１との連結部位に両部材によってＸ軸方向両側から挟まれた状態で配設されている。
なお、上下方向荷重測定圧電素子４７１、及び水平方向荷重測定圧電素子４７２は、先に説明したテーブル側引っ張り荷重測定部３５と同様の材質で構成されている。
例えば、把持部４１の移動経路下方となる位置には、剥離手段４が剥離した保護テープ８１を投下させて回収する回収ボックス１７が配設されている。
剥離装置１は、例えば、装置の各構成の制御を行う制御手段１９を備えており、制御手段１９は、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ及びメモリ等の記憶媒体等から構成されており、図示しない有線又は無線の通信経路を介して、テーブル移動手段１３、Ｘ軸方向移動手段４６、及び把持部４１を昇降移動させる電動シリンダ等の把持部支持部４８等に電気的に接続されており、制御手段１９によるテーブル移動手段１３の制御の下で、板状ワーク８０を吸引保持した保持手段３０のＸ軸方向における移動速度の制御や把持部４１等に対する位置合わせ制御がなされる。また、制御手段１９によるＸ軸方向移動手段４６及び把持部支持部４８の制御の下で、板状ワーク８０の保護テープ８１に貼着された剥離テープ８３を把持する把持部４１の移動速度の制御や位置合わせの制御等が行われる。なお、例えば、制御手段１９によるＸ軸方向移動手段４６の制御は、モータ４６２の回転数の制御によって行われる。また、制御手段１９は、テーブル側引っ張り荷重測定部３５、及び把持部側引っ張り荷重測定部４７から、それぞれの荷重測定部が測定した引っ張り荷重についての情報を受け取ることができる。
例えば、テーブル移動手段１３のモータ１３２がサーボモータである場合には、サーボモータのロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段１９に接続されており、制御手段１９の出力インターフェイスからサーボモータに対して動作信号が供給された後、サーボモータの回転数をエンコーダ信号として制御手段１９の入力インターフェイスに対して出力する。そして、エンコーダ信号を受け取った制御手段１９は、モータ１３２の回転角度を基に保持手段３０の移動量を逐次認識し、これによって保持手段３０のＸ軸方向における位置を逐次認識することができる。
次に、図１に示す剥離装置１を用いて、板状ワーク８０から保護テープ８１を剥離する場合について説明する。
まず、環状フレーム８４と一体となった板状ワーク８０が、保持手段３０の保持面３０２に保護テープ８１を上側に向けた状態で載置されると共に、保持手段３０の外周側に配設されたフレーム固定手段３２に環状フレーム８４が載置される。続いて、図示しない吸引源が作動して、保持面３０２で板状ワーク８０が吸引保持されると共に、フレーム固定手段３２によって環状フレーム８４が吸引固定される。そして、環状フレーム８４が、例えば保持面３０２よりも低い位置まで引き下げられる。
図１に示した一対のガイドローラ４２１によって、テープロール８３１から剥離テープ８３が把持部４１に向けて送り出される。剥離テープ８３の接着剤層側（内側）がテープ切断手段４０の載置台４００の載置面４０４に載置され、さらに、剥離テープ８３の一端が把持部４１の固定爪４１２１の上面に位置付けられたら、可動爪４１２２が固定爪４１２１に対して接近して把持部４１が剥離テープ８３の一端を把持する。次いで、Ｘ軸方向移動手段４６によって把持部４１が－Ｘ方向に移動して把持された剥離テープ８３が同方向に引っ張られる。この段階では、剥離テープ８３の上方側に剥離テープ貼着手段４４の押付板４４２及びテープ切断手段４０のカッター４０１が待機した状態となっている。
例えば保持手段３０が＋Ｘ方向に移動して、剥離テープ貼着手段４４の真下に保護テープ８１の外周部分を位置付ける。続いて、内部に備える図示しないヒータにより加熱された押付板４４２が下降して、押付板４４２の下端で剥離テープ８３を上方から保護テープ８１の外周部分に押し付け、剥離テープ８３の接着剤層を保護テープ８１に熱溶着させる。
この状態で、カッター４０１が剥離テープ８３の一方の側辺側から露出した載置台４００の溝４０５の一端の位置に位置付けられる。さらに、カッター昇降手段４０３によって、カッター４０１の最下端が溝４０５内に至るまでカッター４０１が下降する。さらに、カッター４０１が溝４０５の延在方向に沿って－Ｙ方向に進行し、カッター４０１によって剥離テープ８３が切断される。カッター４０１が剥離テープ８３を切断した後、カッター４０１及び押付板４４２は、＋Ｚ方向に上昇して剥離テープ８３から退避する。
（剥離装置１における保護テープ８１の剥離の実施形態Ａ）
保護テープ８１の剥離において、保持手段３０をＸ軸方向に移動させ、かつ、把持部４１を保持手段３０の保持面３０２から所定の距離上に位置づけた後、水平方向に移動させる場合について説明する。
剥離テープ８３を把持する把持部４１が＋Ｚ方向に移動して、板状ワーク８０の一方の面８００から保護テープ８１の一部が剥離される。次いで、Ｘ軸方向移動手段４６により把持部４１を－Ｘ方向に移動させる。また、テーブル移動手段１３によって保持手段３０を＋Ｘ方向に移動させて、把持部４１を相対的に板状ワーク８０の外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワーク８０から保護テープ８１を剥離していく。なお、保持手段３０の移動経路上方に図示しない回転ローラを配設し、該回転ローラに保護テープ８１を当接させつつ剥離を行っていくことで、保護テープ８１の剥離の際に起き得る保護テープ８１の折れの発生を抑制させるものとしてもよい。
なお、例えば、把持部４１を相対的に板状ワーク８０の外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワーク８０から保護テープ８１を剥離できればよいため、例えば、保持手段３０は＋Ｘ方向には移動せず、把持部４１のみが－Ｘ方向に移動することにより保護テープ８１が剥離されるものとしてもよい。
本実施形態において、上記板状ワーク８０からの保護テープ８１の剥離において、図２に示す把持部側引っ張り荷重測定部４７は、把持部４１と保持面３０２との間に介在する保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３に掛かる引っ張り荷重を正確に測定することができる。
例えば、把持部側引っ張り荷重測定部４７による引っ張り荷重の測定は、上下方向荷重測定圧電素子４７１と水平方向荷重測定圧電素子４７２とによって行われる。なお、図２において、剥離手段４及び保持手段３０等の構成を一部簡略化して示している。
図２において、斜め上方に向く矢印Ｆ１は、把持部４１と保持手段３０の保持面３０２との間に介在する保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３に掛かる引っ張り荷重Ｆ１を示している。そして、引っ張り荷重Ｆ１は、図２に示す向きが－Ｘ方向であるＸ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ１と、向きが＋Ｚ方向であるＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ１とが合成された引っ張り荷重Ｆ１である。そして、ピタゴラスの定理より下記の式１が成立する。
（Ｘ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ１）２＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ１）２＝（引っ張り荷重Ｆ１）２・・・・（式１）
ここで、Ｘ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ１は、水平方向荷重測定圧電素子４７２によって所定の時間間隔毎に測定される。即ち、Ｘ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ１により水平方向荷重測定圧電素子４７２が僅かに変形し、水平方向荷重測定圧電素子４７２には荷重に応じた電位差が発生する。水平方向荷重測定圧電素子４７２に電位差が生じることで、水平方向荷重測定圧電素子４７２から荷重検出信号が図１に示す制御手段１９に測定毎に送られる。また、Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ１は、上下方向荷重測定圧電素子４７１によって所定の時間間隔毎に測定され、測定毎に荷重検出信号が制御手段１９に送られる。
制御手段１９は、式１にＸ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ１についての実測値とＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ１についての実測値とを代入する演算処理を行い、所定の時間間隔毎の引っ張り荷重Ｆ１を測定する。そして、制御手段１９は、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ１を、剥離手段４による保護テープ８１の剥離動作を最適化させるための情報として用いる。即ち、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ１の値によって、例えば、Ｘ軸方向移動手段４６による把持部４１の－Ｘ方向への移動速度が制御手段１９によって最適化される。その結果、把持部４１が保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３を剥離する際の引っ張り荷重Ｆ１が、板状ワーク８０が割れたり、板状ワーク８０に糊残り等が発生したりしない最適な引っ張り荷重となるようフィードバック制御がなされた状態になる。また、把持部４１による剥離速度も遅すぎることが無くなり、無駄な時間を掛けること無く保護テープ８１が板状ワーク８０から剥離されていく。
保護テープ８１が板状ワーク８０の一方の面８００から完全に剥離されると、保護テープ８１に貼着された剥離テープ８３を把持する把持部４１が、回収ボックス１７上まで移動する。そして、把持部４１は、剥離テープ８３の把持を解除し、保護テープ８１及び剥離テープ８３を回収ボックス１７内に落下させる。
本実施形態のように、板状ワーク８０を保護する保護部材は、保護テープ８１であって、保護テープ８１の外周部分に剥離テープ８３を貼着する剥離テープ貼着手段４４を備えることで、把持部４１は、保護テープ８１の外周部分を把持するのに代えて、保護テープ８１に貼着した剥離テープ８３を把持し、把持部側引っ張り荷重測定部４７は、保護テープ８１に掛かる引っ張り荷重を測定することに代えて、把持部４１と保持面３０２との間に介在する保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３に掛かる引っ張り荷重を測定することで、剥離手段４の剥離動作を最適化させることが可能となる。
（剥離装置１における保護テープ８１の剥離の実施形態Ｂ）
剥離テープ８３を把持する把持部４１が＋Ｚ方向に移動して、板状ワーク８０の一方の面８００から保護テープ８１の一部が剥離された後、さらに保護テープ８１を剥離していくにあたり、図３に示すように、保持手段３０をＸ軸方向に移動させ、かつ、把持部４１をＸ軸方向移動手段４６で移動させない場合について説明する。
本場合において、把持部４１は、所定の高さ位置及び所定のＸ軸方向における位置Ｐ２に停止しており、制御手段１９は、把持部４１の位置している高さ位置及びＸ軸方向における位置Ｐ２を認識している。
テーブル移動手段１３によって保持手段３０を＋Ｘ方向に移動させて、移動が停止している把持部４１を相対的に板状ワーク８０の外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワーク８０から保護テープ８１を剥離していく。なお、保持手段３０の移動経路上方に図示しない回転ローラを配設し、該回転ローラに保護テープ８１を当接させつつ剥離を行っていくことで、保護テープ８１の剥離の際に起き得る保護テープ８１の折れの発生を抑制させるものとしてもよい。
本実施形態において、上記板状ワーク８０からの保護テープ８１の剥離において、テーブル側引っ張り荷重測定部３５は、把持部４１と保持面３０２との間に介在する保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３に掛かる引っ張り荷重を測定する。
図３において、矢印Ｆ２は、把持部４１と保持手段３０の保持面３０２との間に介在する保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３に掛かる引っ張り荷重Ｆ２を示している。そして、引っ張り荷重Ｆ２は、図３に示す向きが－Ｘ方向であるＸ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ２と、向きが＋Ｚ方向であるＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２とが合成された引っ張り荷重Ｆ２である。
図３に示す矢印Ｒ１は、第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１がＺ軸方向において、所定の時間間隔毎に測定することができる第１測定荷重Ｒ１である。第１測定荷重Ｒ１は、例えば、－Ｚ方向の向きを有する。第１測定荷重Ｒ１の値についての情報は、所定の時間間隔毎に制御手段１９に送られる。
矢印Ｒ２は、第２のテーブル側引っ張り荷重測定部３５２がＺ軸方向において、所定の時間間隔毎に測定することができる第２測定荷重Ｒ２である。第２測定荷重Ｒ２は、例えば、＋Ｚ方向の向きを有する。第２測定荷重Ｒ２の値についての情報は、所定の時間間隔毎に制御手段１９に送られる。
図３に示す第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１と第２のテーブル側引っ張り荷重測定部３５２とのＸ軸方向における距離Ｌ２は、制御手段１９が予め認識している装置設計値であり、定数となる。
第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１からＸ軸方向における移動が停止しており位置Ｐ２に位置している把持部４１までのＸ軸方向の変化距離Ｍは、保持手段３０がＸ軸方向に移動することで変化する変数である。なお、テーブル移動手段１３のモータ１３２（サーボモータ１３２）のロータリエンコーダから制御手段１９にフィードバックされるエンコーダ信号によって、制御手段１９は可動部材１３３と共に移動する第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１の位置を把握できるため、該変化距離Ｍの値についても制御手段１９は所定の時間間隔毎に逐次認識することができる。
制御手段１９が高さ位置を認識している第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１と位置Ｐ２に停止している把持部４１とＺ軸方向における距離Ｎは、制御手段１９が予め認識する定数となる。
ピタゴラスの定理より下記の式２が成立する。
（Ｘ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ２）２＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２）２＝（引っ張り荷重Ｆ２）２・・・・（式２）
また、Ｚ軸方向における力のつり合いから、下記の式３が成立する。
（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２）＝（第１測定荷重Ｒ１）＋（第２測定荷重Ｒ２）・・・・（式３）
さらに、第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１を原点と仮定した場合の、第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１周りのモーメントのつり合いから、下記の式４が成立する。
（Ｘ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ２）×（定数である距離Ｎ）＝（第２測定荷重Ｒ２）×（距離Ｌ２）＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２）×（変化距離Ｍ）・・・・（式４）
式３から、制御手段１９は、所定の時間間隔毎にＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２を測定できる。
また、式４を変形した下記の式５から、制御手段１９は、所定の時間間隔毎にＸ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ２を測定できる。
（Ｘ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ２）＝｛（第２測定荷重Ｒ２）×（距離Ｌ２）＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２）×（変化距離Ｍ）｝／（定数である距離Ｎ）・・・・（式５）
制御手段１９は、式２にＸ軸方向引っ張り荷重Ｆｘ２についての値とＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ２についての値とを代入する演算処理を行い、所定の時間間隔毎に引っ張り荷重Ｆ２を測定する。そして、制御手段１９は、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ２を、剥離手段４による保護テープ８１の剥離動作を最適化させるための情報として用いる。即ち、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ２の値によって、例えば、テーブル移動手段１３による保持手段３０の移動速度が制御手段１９によって最適化される。その結果、把持部４１が保護テープ８１と一体となった剥離テープ８３を剥離する際の引っ張り荷重Ｆ２が、板状ワーク８０が割れたり、板状ワーク８０に糊残り等が発生したりしない最適な引っ張り荷重となるフィードバック制御がなされた状態になる。また、移動する保持手段３０に対してＸ軸方向おいて相対的に移動する把持部４１による剥離速度も遅すぎることが無くなり、無駄な時間を掛けること無く保護テープ８１が板状ワーク８０から剥離されていく。
本実施形態のように、テーブル側引っ張り荷重測定部３５、即ち、第１のテーブル側引っ張り荷重測定部３５１及び第２のテーブル側引っ張り荷重測定部３５２は、保持手段３０を支持する支持部３１に配設された圧電素子からなると、保護部材である保護テープ８１に掛かる引っ張り荷重を正確に測定することが可能となる。
保護テープ８１が板状ワーク８０の一方の面８００から完全に剥離されると、保護テープ８１に貼着された剥離テープ８３を把持する把持部４１が、回収ボックス１７上まで移動する。そして、把持部４１は、剥離テープ８３の把持を解除し、保護テープ８１及び剥離テープ８３を回収ボックス１７内に落下させる。
本発明に係る実施形態１の剥離装置１は、上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている剥離装置１の各構成要素の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
例えば、板状ワーク８０は、図４に示すように、外周部分に切り欠き部８０６を備えていてもよい。切り欠き部８０６は、例えば、結晶方位を示すマークであるノッチであり、板状ワーク８０の外周縁に板状ワーク８０の中心に向けて径方向内側に窪んだ状態で形成されている。または、切り欠き部８０６は、オリエンテーションフラットであってもよい。この場合、板状ワーク８０の外周の一部をフラットに切欠くことで切り欠き部８０６は形成されている。
図１に示す保持手段３０は、例えば、図４に示すように、板状ワーク８０の切り欠き部８０６に位置する板状ワーク８０に貼着されていない保護テープ８１を突き上げ切り欠き部８０６付近の保護テープ８１を板状ワーク８０から剥離させる部分剥離部３４を備えていてもよい。そして、例えば、図１に示す把持部４１は、部分剥離部３４によって剥離された保護テープ８１の外周部分を把持して保護テープ８１を板状ワーク８０から剥離してもよい。
保持面３０２に載置される板状ワーク８０の切り欠き部８０６に対応するように、保持面３０２の外周には、部分剥離部３４を構成し保持面３０２と保持手段３０の下面（枠体３０１の下面）とを貫通させる円形状の貫通孔３４１が形成されている。具体的には、板状ワーク８０の中心から切り欠き部８０６までの距離と、保持面３０２の中心から貫通孔３４１までの距離とが一致するように、貫通孔３４１が保持面３０２に配設される。
また、貫通孔３４１の直径は切り欠き部８０６の幅より例えばわずかに小さく設定されている。部分剥離部３４の貫通孔３４１の直下には、板状ワーク８０の一方の面８００に貼着された保護テープ８１の一部を突き上げる突き上げピン３４２が、上下駆動部３４５によって上下動可能に設けられている。突き上げピン３４２は、上下方向に延在した棒状に形成されており、突き上げピン３４２の外径は、貫通孔３４１よりわずかに小さくなっている。例えば、突き上げピン３４２は、先端（上端）が尖った形状を有しており、板状ワーク８０の他方の面８０１に貼着されたダイシングテープ８２を突き破ることが可能になっている。
また、例えば、突き上げピン３４２には、先端から流体を噴出する図示しない噴出孔が延在方向に沿って形成されている。噴出孔の下端にはバルブ３４６を介して流体供給源３４７が接続されており、バルブ３４６が開かれることで流体供給源３４７から突き上げピン３４２内に流体が供給される。なお、流体供給源３４７から供給される流体は特に限定されず、本実施の形態においては、流体として圧縮エアを用いることにする。
上下駆動部３４５は、例えば、エア又はモータ駆動のガイドアクチュエータで構成されており、保持手段３０の貫通孔３４１内で突き上げピン３４２を上下方向にガイドしながら上下動させることが可能になっている。
このように、突き上げピン３４２は、噴出孔の出口からエアを噴出しながら上下駆動部３４５によって上昇され、ダイシングテープ８２を突き破るように構成されている。また、突き上げピン３４２は、ダイシングテープ８２を突き破った後に保持面３０２から突出して、板状ワーク８０の切り欠き部８０６の上の保護テープ８１を突き上げることが可能になっている。即ち、突き上げピン３４２の噴出孔からエアを噴出させ保護テープ８１を浮上させながら、更に突き上げピン３４２を上昇させ保護テープ８１の外周部分を突き上げる、もしくは突き上げピン３４２を上昇させ保護テープ８１の外周部分を突き上げながら噴出孔からエアを噴出させて保護テープ８１の外周部分を板状ワーク８０から剥離させる。
そして、図４に示す把持部４１は、部分剥離部３４によって剥離された保護テープ８１の外周部分を把持して保護テープ８１を板状ワーク８０から剥離することができる。
（剥離装置の実施形態２）
図５に示す本発明に係る剥離装置２（以下、実施形態２の剥離装置２とする。）は、板状ワーク８０の図５における下面である一方の面８００に貼着されている保護部材８５を剥離する剥離装置の一例であり、保持面５０２によって板状ワーク８０の他方の面８０１を保持する保持手段５０と、保持面５０２に保持された板状ワーク８０の一方の面８００を覆う保護部材８５の外周部分を把持し、保護部材８５を板状ワーク８０の外周から中央に向かって剥離し、更に中央から外周の反対側の外周へと剥離する剥離手段６と、を少なくとも備えている。
板状ワーク８０の下方を向いている一方の面８００の全面を覆うように貼着されている保護部材８５は、例えば、図示しない保護部材形成装置において、板状ワーク８０よりも大径の円形シート８６上に供給された液状樹脂に板状ワーク８０の一方の面８００を押し付けて、板状ワーク８０の中心から外周側に向けて液状樹脂を押し広げて一方の面８００全面に液状樹脂をいきわたらせた後、この液状樹脂に例えば紫外線を照射することにより液状樹脂を硬化させて形成した樹脂膜８７（図６参照）と円形シート８６とからなる保護部材である。そして、本実施形態において、保護部材８５は、円形シート８６と樹脂膜８７とからなり板状ワーク８０の外周から僅かに径方向外側にはみ出した図６に示すはみ出し部８５０を備えている。
図５に示す剥離装置２のベース２０上の後方側（－Ｘ方向側）には、コラム２１が立設されており、コラム２１の＋Ｘ方向側の前面の上部には、モータ６０２によりボールネジ６００を回動させることで、可動板６０１に配設された保持手段５０をＹ軸方向に往復移動させるパッド移動手段６０が配設されている。
パッド移動手段６０は、剥離手段６の一部であり、把持部６１と保持手段５０とを相対的に保持面５０２に平行なＹ軸方向に移動させ、把持部６１を保持面５０２の外周から中心に向かわせ、保持面５０２の中心を通過した把持部６１を中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段として機能する。
可動板６０１上には、Ｚ軸方向に保持手段５０を往復移動させるパッド昇降手段６６が配設されている。パッド昇降手段６６は、モータ６６２によりボールネジ６６０を回動させることで、可動板６６１上に配設された保持手段５０をＺ軸方向に往復移動させる。
保持面５０２によって板状ワーク８０の他方の面８０１を保持する保持手段５０は、可動板６６１上に一端が固定されＸ軸方向に延在するアーム部５２により支持されており、アーム部５２の＋Ｘ方向側のもう一端の下面側に支持部５３を介して取り付けられている。
図６に示すように、保持手段５０は、本実施形態においては、吸引保持パッドであり、ポーラス部材からなり板状ワーク８０を吸着する吸着部５００と、吸着部５００を支持する枠体５０１とを備える。吸着部５００は、図示しない吸引源に吸引管５０９、及び樹脂チューブや継手等を介して連通している。そして、吸引源が生み出す吸引力が、吸着部５００の露出面と枠体５０１の下面とで形成される面一な保持面５０２に伝達されることで、保持手段５０は保持面５０２で板状ワーク８０を吸引保持する。
図５に示す支持部５３は、例えば、円環板状の外形を備えており、その上面がアーム部５２の下面に図示しない固定ボルト等によって接続されている。支持部５３の下面には、把持部６１と保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部であるパッド側引っ張り荷重測定部６４が取り付けられている。
パッド側引っ張り荷重測定部６４は、保持手段５０を支持する支持部５３に配設された圧電素子からなる。即ち、例えば、パッド側引っ張り荷重測定部６４は、円柱状又は角柱状に形成されたチタン酸バリウム等の圧電素子であり、Ｙ軸方向において対向するように２つ（図５においては、１つのみ図示）、支持部５３と保持手段５０とを連結し保持手段５０の重量を支える形で配設されている。即ち、パッド側引っ張り荷重測定部６４は、図６に示す第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１と、第２のパッド側引っ張り荷重測定部６４２とで構成されている。
図５に示すコラム２１の＋Ｘ方向側の前面の中間部、即ち、保持手段５０の移動経路の下方には、＋Ｚ方向側から順に、Ｘ軸方向の軸心を有する回転ローラ２１１と、剥離手段６の各構成要素と、板状ワーク８０から剥離された保護部材８５が載置される載置テーブル２７と、載置テーブル２７上の剥離後の保護部材８５をダストボックス２８に落下させる落下手段２６と、が並んで配設されている。
剥離手段６は、保護部材８５の外周部分（本実施形態においては、外周部分となるはみ出し部８５０）を把持する把持部６１と、把持部６１と保持手段５０とを相対的に保持面５０２に平行な方向（Ｙ軸方向）に移動させ、把持部６１を保持面５０２の外周から中心に向かわせ、保持面５０２の中心を通過した把持部６１を中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段６３と、把持部６１と保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部であるパッド側引っ張り荷重測定部６４と、を備えている。
なお、移動手段６３は、以下の説明において把持部移動手段６３とする。
把持部移動手段６３は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ６３０と、ボールネジ６３０と平行に配設された一対のガイドレール６３１と、ボールネジ６３０を回動させるモータ６３２と、内部のナットがボールネジ６３０に螺合し側部がガイドレール６３１に摺接する可動ブロック６３３とから構成される。そして、モータ６３２がボールネジ６３０を回動させると、これに伴い可動ブロック６３３がガイドレール６３１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動ブロック６３３に配設された把持部６１が可動ブロック６３３の移動に伴いＹ軸方向に移動する。
可動ブロック６３３の側面には、軸方向がＸ軸方向であるスピンドル６８０を回転可能に支持するアーム型ハウジング６８１が取り付けられている。そして、スピンドル６８０の＋Ｘ方向側の先端に配設されたカップリング部材６１６に、把持部側引っ張り荷重測定部６７の上下方向荷重測定圧電素子６７３を介して把持部６１を支持する連結ブロック６１４が取り付けられている。連結ブロック６１４には、把持部側引っ張り荷重測定部６７の水平方向荷重測定圧電素子６７４を介して把持部６１の把持クランプ６１２を支持するクランプ基部６１０が取り付けられている。
また、図示はしないが、アーム型ハウジング６８１は、図示しないボールネジ機構等の昇降手段でＺ軸方向に昇降可能となっており、把持部６１もＺ軸方向に昇降可能となっている。
把持クランプ６１２は、互いが接近及び離間可能な一対の把持板の間に把持対象を挟み込むことができ、スピンドル６８０が回転することで、把持対象に対する角度を変えることができる。
把持部６１と保持手段５０の保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部である、把持部側引っ張り荷重測定部６７は、例えば平板状に形成されたチタン酸バリウム等の水平方向荷重測定圧電素子６７４と、同様の素材で構成される平板状の上下方向荷重測定圧電素子６７３とで構成される。そして、上下方向荷重測定圧電素子６７３は、スピンドル６８０の先端側に取り付けられたブロック状のカップリング部材６１６の下面と連結ブロック６１４の上面との間にＺ軸方向から挟まれた状態で配設されている。また、水平方向荷重測定圧電素子６７４は、連結ブロック６１４と把持部６１のクランプ基部６１０とによって、Ｙ軸方向両側から挟まれた状態で配設されている。
図５に示す回転ローラ２１１は、例えば、その外形が円柱状に形成されており、図示しないモータによりＸ軸方向の軸心を軸として回転する。回転ローラ２１１は、保護部材８５に当接することにより、例えば、保護部材８５の剥離の際に起き得る図６に示す樹脂膜８７の折れを防止する役割を果たす。なお、回転ローラ２１１は、Ｙ軸方向に移動可能であってもよい。
板状ワーク８０から剥離された保護部材８５が載置される載置テーブル２７は、例えば、その外形が略長方形状であり、すのこ状の載置面を備えている。すなわち、載置テーブル２７は、板状の直線材２７１をその長手方向をＹ軸方向としてＸ軸方向に等間隔を保って隙間が形成されるように並列に整列させ、各直線材２７１の＋Ｙ軸方向側の一端を図示しない棒状の連結具で連結し固定した構成となっている。例えば、載置テーブル２７は、各直線材２７１を連結する図示しない棒状の連結具により、コラム２１の＋Ｘ方向側側面に固定されて、把持部の移動経路下に配設される。
載置テーブル２７上の保護部材８５を落下させる落下手段２６は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ２６０と、ボールネジ２６０と平行に配設された一対のガイドレール２６１と、ボールネジ２６０を回動させるモータ２６２と、内部のナットがボールネジ２６０に螺合し側部２６３１がガイドレール２６１に摺接する側面視略Ｌ字状の可動部材２６３と、可動部材２６３に配設された突き出しピン２６３４とから構成される。
可動部材２６３は、例えば、ボールネジ２６０に螺合する側部２６３１と、側部２６３１の上端部分側面から＋Ｘ方向側に向かって突き出すように形成されたピン台部２６３２とを備えている。ピン台部２６３２の上面には、＋Ｚ方向に向かって突き出る二本の突き出しピン２６３４が配設されている。各突き出しピン２６３４は、Ｘ軸方向に所定距離だけ離間して配置されており、モータ２６２がボールネジ２６０を回動させると、これに伴い可動部材２６３がガイドレール２６１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動部材２６３上に配設された突き出しピン２６３４が、載置テーブル２７の各直線材２７１間の隙間を通るようにしてＹ軸方向に移動する。
ベース２０上には、剥離された保護部材８５を収容するダストボックス２８が配設されている。ダストボックス２８は、例えば、外形が略直方体状に形成されており、載置テーブル２７の＋Ｙ方向側端の下方において開口している。ダストボックス２８の上部には、例えば、発光部２８０（－Ｙ方向側）と受光部２８１（＋Ｙ方向側）とを備える透過型の光センサが配設されている。板状ワーク８０から剥離され載置テーブル２７上に載置された保護部材８５が、落下手段２６によりダストボックス２８内に落とされていき、ダストボックス２８内に保護部材８５が所定の高さまで積み上がり、発光部２８０から出射された検査光が保護部材８５により遮られ受光部２８１の受光量が減少することで、光センサはダストボックス２８内に回収すべき量の保護部材８５が溜まったことを検出する。
例えば、コラム２１の前面の剥離手段６の把持部６１の可動範囲内となる位置には、テーブル保持台２２が取り付けられており、テーブル保持台２２上には、保護部材８５が剥離される板状ワーク８０が載置される受け渡しテーブル２２１が配設されている。受け渡しテーブル２２１は、その保持面上に載置された板状ワーク８０を例えば一方の面８０１を上側に向けた状態で吸引保持できる。なお、テーブル保持台２２上に受け渡しテーブル２２１が配設されていない構成としてもよい。
テーブル保持台２２上には、はみ出し部８５０を把持して保護部材８５の外側部分を板状ワーク８０から剥離する外側部分剥離手段２３が、受け渡しテーブル２２１を中心として周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば８つ）配設されている。なお、図１においては、外側部分剥離手段２３の構成を拡大して詳しく示している。
外側部分剥離手段２３は、はみ出し部８５０を把持するはみ出し部把持部２３０と、はみ出し部把持部２３０をＺ軸方向（鉛直方向）に移動する図示しない垂直移動部と、はみ出し部把持部２３０を水平方向に移動する水平移動部２３４とを備えている。
図３に示すように、水平移動部２３４は、モータ２３４０により水平方向に延在するボールネジ２３４１を回動させることで、例えば側面視Ｌ字状に形成されたスライダー２３４２上に図示しない垂直移動部を介して配設されたはみ出し部把持部２３０を、受け渡しテーブル２２１の径方向に往復移動させる。図示しない垂直移動部は、例えば、ボールネジ機構等で構成されている。
はみ出し部把持部２３０は、略直方体状の把持台２３０１と、把持台２３０１の側面に配設されるシリンダ機構２３０３と、シリンダ機構２３０３によってＺ軸方向に上下動する把持板２３０２とを備えており、把持台２３０１の上面と把持板２３０２の下面との間に把持対象を挟み込むことができる。
各はみ出し部把持部２３０は、把持板２３０２と把持台２３０１との間の開口部分を受け渡しテーブル２２１側に向けて配設されている。
剥離装置２は、例えば、装置の各構成の制御を行う制御手段２９を備えており、制御手段２９は、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ及びメモリ等の記憶媒体等から構成されており、図示しない有線又は無線の通信経路を介して、パッド移動手段６０、パッド昇降手段６６、及び把持部移動手段６３等に電気的に接続されており、制御手段２９によるパッド移動手段６０やパッド昇降手段６６の制御の下で、板状ワーク８０を吸引保持した保持手段５０のＹ軸方向やＺ軸方向における移動速度の制御や把持部６１等に対する位置合わせ制御がなされる。また、制御手段２９による把持部移動手段６３の制御の下で、板状ワーク８０を保護する保護部材８５のはみ出し部８５０を把持する把持部６１の移動速度の制御や位置合わせの制御等が行われる。また、制御手段１９は、パッド側引っ張り荷重測定部６４、及び把持部側引っ張り荷重測定部６７から、それぞれの荷重測定部が測定した引っ張り荷重についての情報を受け取ることができる。
例えば、パッド移動手段のモータ６０２がサーボモータである場合には、サーボモータのロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段２９に接続されており、制御手段２９の出力インターフェイスからサーボモータに対して動作信号が供給された後、サーボモータの回転数をエンコーダ信号として制御手段２９の入力インターフェイスに対して出力する。そして、エンコーダ信号を受け取った制御手段２９は、サーボモータの回転角度を基に保持手段５０の移動量を逐次認識し、これによって保持手段５０のＹ軸方向における位置を逐次認識することができる。
以下に、図５に示す板状ワーク８０から保護部材８５を剥離する場合の剥離装置２の動作について説明する。
まず、図５に示す例えば研削後の板状ワーク８０が、研削された面である他方の面８０１が上側になるように、受け渡しテーブル２２１上に載置される。保持手段５０が＋Ｙ方向に移動し、保持面５０２の中心が板状ワーク８０の他方の面８０１の中心に略合致するように、板状ワーク８０の上方に位置付けられる。さらに、保持手段５０が降下し、保持面５０２を板状ワーク８０の他方の面８０１に接触させる。さらに、図示しない吸引源が吸引することで生み出された吸引力が保持面５０２へと伝達されることで、保持手段５０が保護部材８５を下にして板状ワーク８０の他方の面８０１を吸引保持する。
例えば、板状ワーク８０を吸引保持した保持手段５０が上昇して、受け渡しテーブル２２１上から板状ワーク８０を離脱させる。次いで、はみ出し部把持部２３０が、図示しない垂直移動部によって、保護部材８５のはみ出し部８５０を把持できる所定の高さ位置に位置付けられる。
また、各水平移動部２３４が、各はみ出し部把持部２３０を水平方向に移動させ、はみ出し部把持部２３０と保護部材８５のはみ出し部８５０との径方向における位置合わせを行う。シリンダ機構２３０３によって把持板２３０２が下降して、はみ出し部把持部２３０が保護部材８５のはみ出し部８５０を把持する。なお、はみ出し部把持部２３０による板状ワーク８０の保護部材８５のはみ出し部８５０を把持等は、受け渡しテーブル２２１上に板状ワーク８０を保持した状態で行ってもよい。
次いで、各水平移動部２３４が板状ワーク８０の保護部材８５のはみ出し部８５０を把持した各はみ出し部把持部２３０を、板状ワーク８０の径方向外側に向かって移動させることで、はみ出し部８５０がはみ出し部把持部２３０により径方向外側に向かって引っ張られて拡張される。そして、はみ出し部把持部２３０の上記移動によって、板状ワーク８０の外周部分に付着した樹脂膜８７（図６参照）に対して付与される拡張力と、円形シート８６と樹脂膜８７との間に働く接着力とにより、板状ワーク８０の外周部分に付着した樹脂膜８７が板状ワーク８０の外周縁から径方向外側に向かって容易に剥離される。
次いで、例えば、各はみ出し部把持部２３０を所定の高さ位置まで降下させ、保護部材８５のはみ出し部８５０を板状ワーク８０からある程度下方に引き下げ剥離した後、はみ出し部把持部２３０が保護部材８５のはみ出し部８５０を開放する。これによって、例えば、板状ワーク８０の中心を基準として周方向において均等な角度で、板状ワーク８０の外周部分の少なくとも計８箇所ではみ出し部８５０が部分的に剥離される。
次いで、板状ワーク８０を吸引保持した保持手段５０が、回転ローラ２１１の上方に位置するまで－Ｙ方向に移動してから下降して、保護部材８５の下面の＋Ｙ方向側の外周部付近に回転ローラ２１１の側面を当接させる。把持部移動手段６３が、図６に示すように把持部６１を－Ｙ方向に移動させ、把持クランプ６１２と保護部材８５のはみ出し部８５０との位置合わせを行い、把持クランプ６１２がはみ出し部８５０を把持する。図６に示す例においては、把持部６１が、保護部材８５の外側部分の内板状ワーク８０からの剥離が行われていない外側部分のはみ出し部８５０を把持しているが、保護部材８５の外側部分の内板状ワーク８０からの剥離が行われている外側部分のはみ出し部８５０（図６における－Ｙ方向側のはみ出し部８５０）を把持するものとしてもよい。
例えば、図６に示すように、把持クランプ６１２がはみ出し部８５０を把持した後、把持クランプ６１２が＋Ｙ方向側へ僅かに移動して、樹脂膜８７の外周部分が板状ワーク８０の外周縁から剥離される。次いで、図７から図８に示すように、スピンドル６８０が＋Ｘ方向側から見て時計回り方向に１８０度回転することで、回転ローラ２１１が保護部材８５の下面側を支持した状態で、保護部材８５の樹脂膜８７が回転ローラ２１１の側面にならって緩やかに曲げられつつ、保護部材８５が－Ｚ方向に向かって把持クランプ６１２により引っ張られることにより、板状ワーク８０の一方の面８００から保護部材８５の一部が剥離される。
（剥離装置２における保護部材８５の剥離の実施形態Ｃ）
保護部材８５のさらなる剥離において、保持手段５０をＹ軸方向に移動させる。または、把持部６１を保持手段５０の保持面５０２に対してＹ軸方向に移動させる場合について説明する。
図５に示す把持部移動手段６３により、図９に示すように把持部６１を－Ｙ方向に移動させる。また、パッド移動手段６０（図５参照）によって保持手段５０を＋Ｙ方向に移動させてもよい。把持部６１を相対的に板状ワーク８０の外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワーク８０から保護部材８５を剥離していく。また、回転ローラ２１１がＸ軸方向の軸心を軸に回転し、保護部材８５の樹脂膜８７が回転ローラ２１１の側面にならって緩やかに曲げられた状態を維持しつつ、板状ワーク８０の＋Ｙ方向側の外周縁から板状ワーク８０の中央に向かって保護部材８５を剥離していく。保護部材８５の剥離中に樹脂膜８７の折れが発生すると、剥離後も樹脂膜８７が板状ワーク８０に対して部分的に残ってしまったり、樹脂折れによる反動で樹脂膜８７から板状ワーク８０の一方の面８００に対して瞬間的に撃力が加わり板状ワーク８０の一方の面８００が傷ついてしまったりする場合があるが、回転ローラ２１１の側面が円形シート８６に当接することにより、そのような問題が生じるのを防ぐことができる。
本実施形態において、上記板状ワーク８０からの保護部材８５の剥離において、把持部側引っ張り荷重測定部６７は、把持部６１と保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重を正確に測定することができる。
例えば、把持部側引っ張り荷重測定部６７による引っ張り荷重の測定は、上下方向荷重測定圧電素子６７３と水平方向荷重測定圧電素子６７４とによって行われる。
図９において、矢印Ｆ３は、把持部６１と保持手段５０の保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重Ｆ３を示している。そして、引っ張り荷重Ｆ３は、板状ワーク８０と把持部６１とがＺ軸方向に所定の距離離間しているので、図９に示す、向きが－Ｙ方向であるＹ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ３と、向きが－Ｚ方向であるＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ３とが合成された引っ張り荷重Ｆ３である。そして、ピタゴラスの定理より下記の式１１が成立する。
（Ｙ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ３）２＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ３）２＝（引っ張り荷重Ｆ３）２・・・・（式１１）
ここで、Ｙ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ３は、水平方向荷重測定圧電素子６７４によって所定の時間間隔毎に的確に測定され、荷重検出信号が制御手段２９に測定毎に送られる。また、Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ３は、上下方向荷重測定圧電素子６７３によって所定の時間間隔毎に的確に測定され、測定毎に荷重検出信号が制御手段２９に送られる。
制御手段２９は、式１１にＹ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ３についての実測値とＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ３についての実測値とを代入する演算処理を行い、所定の時間間隔毎に引っ張り荷重Ｆ３を測定する。そして、制御手段２９は、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ３を、剥離手段６による保護部材８５の剥離動作を最適化させるための情報として用いる。即ち、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ３の値によって、例えば、把持部移動手段６３による把持部６１の移動速度が制御手段２９によって最適化される。その結果、把持部６１が保護部材８５を剥離する際の引っ張り荷重Ｆ３が、板状ワーク８０が割れたり、板状ワーク８０に糊残り等が発生したりしない最適な引っ張り荷重となるフィードバック制御がなされた状態になる。また、把持部６１による剥離速度も遅すぎることが無くなり、無駄な時間を掛けること無く保護部材８５が板状ワーク８０から剥離されていく。
保護部材８５が板状ワーク８０の一方の面８００から完全に剥離されると、保護部材８５のはみ出し部８５０を把持する把持部６１が、図５に示す載置テーブル２７上まで移動する。そして、把持部６１は、はみ出し部８５０の把持を解除し、保護部材８５を載置テーブル２７上に落下させる。
（剥離装置２における保護部材８５の剥離の実施形態Ｄ）
保護部材８５の剥離において、保持手段５０をＹ軸方向に移動させ、かつ、実施形態Ｃのように把持部６１をＹ軸方向に移動させない場合について説明する。この場合には、例えば、回転ローラ２１１が保持手段５０の移動方向と同方向に移動する。
本場合において、図８に示す状態から図１０に示すように９０度回転した把持部６１は、所定の高さ位置及びＹ軸方向における位置Ｐ３に停止しており、図５に示す制御手段２９は、把持部６１の位置している高さ位置及びＹ軸方向における位置Ｐ３を認識している。
パッド移動手段６０によって保持手段５０を＋Ｙ方向に移動させて、移動が停止している把持部６１を相対的に板状ワーク８０の外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワーク８０から保護部材８５を剥離していく。なお、回転ローラ２１１の側面が円形シート８６に当接することにより、樹脂膜８７の割れ等が防がれる。
本実施形態において、上記板状ワーク８０からの保護部材８５の剥離において、パッド側引っ張り荷重測定部６４は、把持部６１と保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重を測定する。
図１０において、矢印Ｆ４は、把持部６１と保持手段５０の保持面５０２との間に介在する保護部材８５に掛かる引っ張り荷重Ｆ４を示している。そして、引っ張り荷重Ｆ４は、図１０に示す向きが－Ｙ方向であるＹ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ４と、向きが－Ｚ方向であるＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４とが合成された引っ張り荷重Ｆ４である。
図１０に示す矢印Ｒ４は、第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１がＺ軸方向において、所定の時間間隔毎に測定することができる第１測定荷重Ｒ４である。第１測定荷重Ｒ４は、例えば、＋Ｚ方向の向きを有する。
矢印Ｒ５は、第２のパッド側引っ張り荷重測定部６４２がＺ軸方向において、所定の時間間隔毎に測定することができる第２測定荷重Ｒ５である。第２測定荷重Ｒ５は、例えば、－Ｚ方向の向きを有する。
第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１と第２のパッド側引っ張り荷重測定部６４２とのＹ軸方向における距離Ｌ４は、制御手段２９が予め認識している装置設計値であり、定数となる。
第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１からＹ軸方向における移動が停止しており位置Ｐ３に位置している把持部６１までのＹ軸方向の変化距離Ｍ１は、保持手段５０がＹ軸方向に移動することで変化する変数である。なお、図５に示すパッド移動手段６０のモータ６０２（サーボモータ６０２）のロータリエンコーダから制御手段２９にフィードバックされるエンコーダ信号によって、制御手段２９は可動板６０１と共に移動する第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１の位置を把握できるため、該変化距離Ｍ１の値についても制御手段２９は所定の時間間隔毎に逐次認識することができる。
第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１と位置Ｐ３に停止している把持部６１とＺ軸方向における距離Ｎ１は、制御手段２９が予め認識している装置設計値であり、定数となる。
ピタゴラスの定理より下記の式１２が成立する。
（Ｙ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ４）２＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４）２＝（引っ張り荷重Ｆ４）２・・・・（式１２）
また、Ｚ軸方向における力のつり合いから、下記の式１３が成立する。
（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４）＝（第１測定荷重Ｒ４）＋（第２測定荷重Ｒ５）・・・・（式１３）
さらに、第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１を原点と仮定した場合の、第１のパッド側引っ張り荷重測定部６４１周りのモーメントのつり合いから、下記の式１４が成立する。
（Ｙ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ４）×（距離Ｎ１）＝（第２測定荷重Ｒ５）×（距離Ｌ４）＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４）×（変化距離Ｍ１）・・・・（式１４）
式１３から、制御手段２９は、所定の時間間隔毎にＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４を測定できる。
また、式１４を変形した下記の式１５から、制御手段２９は、所定の時間間隔毎にＹ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ４を測定できる。
（Ｙ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ４）＝｛（第２測定荷重Ｒ５）×（距離Ｌ４）＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４）×（変化距離Ｍ１）｝／（距離Ｎ１）・・・・（式１５）
制御手段２９は、式１２にＹ軸方向引っ張り荷重Ｆｙ４についての値とＺ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ４についての値とを代入する演算処理を行い、所定の時間間隔毎に引っ張り荷重Ｆ４を測定する。そして、制御手段２９は、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ４を、剥離手段６による保護部材８５の剥離動作を最適化させるための情報として用いる。即ち、所定の時間間隔毎に測定した引っ張り荷重Ｆ４の値によって、例えば、パッド移動手段６０による保持手段５０の移動速度が制御手段２９によって最適化される。その結果、把持部６１が保護部材８５と一体となった剥離テープ８３を剥離する際の引っ張り荷重Ｆ４が、板状ワーク８０が割れたり、板状ワーク８０に糊残り等が発生したりしない最適な引っ張り荷重となるフィードバック制御がなされた状態になる。また、移動する保持手段５０に対してＹ軸方向おいて相対的に移動する把持部６１による剥離速度も遅すぎることが無くなり、無駄な時間を掛けること無く保護部材８５が板状ワーク８０から剥離されていく。
保護部材８５が板状ワーク８０の一方の面８００から完全に剥離されると、保護部材８５のはみ出し部８５０を把持する把持部６１が、図５に示す載置テーブル２７上まで移動する。そして、把持部６１は、はみ出し部８５０の把持を解除し、保護部材８５を載置テーブル２７上に落下させる。
８０：板状ワーク ８００：一方の面 ８０１：他方の面 ８０６：切り欠き部
８２：ダイシングテープ ８４：環状フレーム ８１：保護テープ（保護部材）
１：実施形態１の剥離装置 １０：基台 １９：制御手段 １７：回収ボックス
３０：保持手段 ３００：吸着部 ３０２：保持面 ３０１：枠体 ３１：支持部 ３２：フレーム固定手段 ３３：ピストン機構
３４：部分剥離部 ３４１：貫通孔 ３４２：突き上げピン ３４６：バルブ
３４７：流体供給源 ３４５：上下駆動部
８３：剥離テープ ８３１：テープロール
４：剥離手段
１３：テーブル移動手段 １３０：ボールネジ １３２：モータ １３３：可動部材
３５：テーブル側引っ張り荷重測定部 ３５１：第１のテーブル側引っ張り荷重測定部
３５２：第２のテーブル側引っ張り荷重測定部
４０：テープ切断手段 ４００：載置台 ４０１：カッター ４０２：カッター移動手段 ４０３：カッター昇降手段
４１：把持部 ４１２：一対の把持爪 ４１２１：固定爪 ４１２２：可動爪
４８：把持部支持部 ４８０：支持台 ４８３：ピストンロッド ４８４：シリンダチューブ
４２：剥離テープ供給手段 ４２０：巻筒 ４２１：一対のガイドローラ ４２２：一対の送り出しローラ
４４：剥離テープ貼着手段 ４４０：支持台 ４４１：押付板昇降機構 ４４２：押付板
４６：Ｘ軸方向移動手段 ボールネジ４６０ モータ４６２
４７：把持部側引っ張り荷重測定部 ４７１：上下方向荷重測定圧電素子 ４７２：水平方向荷重測定圧電素子
８０：板状ワーク ８５：保護部材 ８６：円形シート ８７：樹脂膜 ８５０：はみ出し部
２：実施形態２の剥離装置 ２０：ベース ２１：コラム
５０：保持手段 ５００：吸着部 ５０２：保持面 ５０９：吸引管
５２：アーム部 ５３：支持部
６：剥離手段
６０：パッド移動手段 ６０２：モータ ６００：ボールネジ ６０１：可動板
６１：把持部 ６１２：把持クランプ ６１０：クランプ基部 ６１４：連結ブロック
６１６：カプリング部材
６７：把持部側引っ張り荷重測定部 ６７３：上下方向荷重測定圧電素子 ６７４：水平方向荷重測定圧電素子
６３：把持部移動手段 ６３０：ボールネジ ６３１：一対のガイドレール ６３２：モータ ６３３：可動ブロック
６８０：スピンドル ６８１：アーム型ハウジング
６４：パッド側引っ張り荷重測定部
６４１：第１のパッド側引っ張り荷重測定部 ６４２：第２のパッド側引っ張り荷重測定部
６６：パッド昇降手段 ６６０：ボールネジ ６６２：モータ ６６１：可動板
２１１：回転ローラ
２７：載置テーブル ２６：落下手段 ２８：ダストボックス
２９：制御手段

Claims (1)

  1. 板状ワークの一方の面を保護する保護部材を、該一方の面から剥離する剥離装置であって、
    保持面によって該板状ワークの他方の面を保持する保持手段と、該保持面に保持された該板状ワークの該一方の面を覆う該保護部材の外周部分を把持し、該保護部材を剥離する剥離手段と、を備え、
    該剥離手段は、該保護部材の外周部分を把持する把持部と、該把持部を該一方の面から遠ざかる方向に移動させつつ該把持部と該保持手段とを相対的に該保持面に平行な方向に移動させ、該把持部を該保持面の外周から中心に向かわせ、該保持面の該中心を通過した該把持部を該中心から遠ざかる方向へと一直線上に移動させる移動手段と、該把持部と該保持面との間に介在する該保護部材に掛かる引っ張り荷重を測定する引っ張り荷重測定部と、を備え、
    該引っ張り荷重測定部は、該保持面に平行な方向の水平方向引っ張り荷重を測定する水平方向引っ張り荷重測定部と、該一方の面から遠ざかる方向のＺ軸方向引っ張り荷重を測定するＺ軸方向引っ張り荷重測定部と、該水平方向引っ張り荷重測定部の測定値と該Ｚ軸方向引っ張り荷重測定部の測定値と下記の式とを用いて引っ張り荷重を算出する算出部と、を備え、
    （水平方向引っ張り荷重Ｆｘ） ２ ＋（Ｚ軸方向引っ張り荷重Ｆｚ） ２ ＝（引っ張り荷重Ｆ） ２
    該引っ張り荷重測定部によって該保護部材に掛かる引っ張り荷重を測定することによって該剥離手段の剥離動作を最適化させる剥離装置。
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