JPH11163105A - シート剥離装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウェハ等の板状部材に損傷を与えず
に、板状部材に貼付されたシートを剥離するシート剥離
装置および方法を提供する。 【解決手段】 半導体ウェハＷに貼付された保護シート
を接着テープを用いて剥離するシート剥離装置である。
ウェハＷはウェハキャリア６１７に収容され可動アーム
７０１によって取り出されて、オリフラアライメント部
８００において、オリフラの位置が決められる。その後
可動アーム７０１によってＵＶ照射部９００へ送られＵ
Ｖ照射された後、シート剥離部９５０へ送られる。シー
ト剥離部９５０においては、接着テープがウェハＷのオ
リフラ部以外の箇所に接着され、この接着テープを引っ
張って保護シートを剥離する。保護シート剥離後のウェ
ハＷは可動アーム７０１によってウェハキャリア６１７
へ戻される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ等の
板状部材に貼付されたシートを剥離するシート剥離装置
および方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、半導体チップ
を小型化、薄型化するために半導体ウェハ（以下単にウ
ェハという）の裏面を研磨して薄くする工程があり、そ
の工程においてはウェハの表面（回路が形成された面）
を、粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて保
護する。研磨後は保護シートをウェハから剥離する。

【０００３】保護シートの剥離方法としては、従来、２
５mm〜５０mm幅の粘着テープをプレスローラを用いて、
ウェハ上に貼付された保護シート上に貼付し、この粘着
テープを引っ張ることにより保護シートをウェハから剥
がしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法によれば、粘着テープをプレスローラで押し付けて保
護シートに貼付するため、この押し付けに起因するウェ
ハ割れが生じるおそれがあった。特に、近年ウェハ外径
が大型化し、又厚さが更に薄くなるに伴いウェハ割れの
問題について考慮する必要がでてきている。

【０００５】そこで、本発明は、ウェハ等の板状部材を
傷つけることなく、保護シート等のシートを板状部材か
ら剥離できるようにすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、板状部材に貼付されたシートを
接着テープを用いて剥離するシート剥離装置および方法
において、前記板状部材に形成された基準部（たとえば
半導体ウェハに形成されたオリエンテーションフラット
やＶノッチ）の位置を検出し、前記接着テープを前記基
準部以外の前記シートの端部に接着し、前記接着テープ
を引っ張って前記シートを剥離するように構成した。

【０００７】また、近年ウェハの外径の大型化及びウェ
ハの薄型化に伴いＵＶ（紫外線）硬化型の保護シートを
用いて剥離時にＵＶ照射して粘着力を弱めてシートを剥
がす方式も採用されており、こうした方式の場合には、
接着テープを使用してシートを剥がす前に保護シートに
ＵＶ照射を行うようにした。

【０００８】なお、本発明は、ウェハ上に貼付された保
護シートの剥離に特に適したものではあるが、本発明は
それに限らず、板状部材に貼付されたシートを接着テー
プを用いて剥離するシート剥離装置及び方法一般に適用
できるものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下本発明についてウェハの保護
シート剥離装置を例にとって説明する。図１は本発明の
一実施形態を示す保護シート剥離装置の平面図であり、
保護シート剥離装置は、ウェハ供給部６００と、ウェハ
搬送部７００と、オリフラアライメント部８００と、Ｕ
Ｖ照射部９００と、シート剥離部９５０とから構成され
ている。以下、各部について説明する。

【００１０】図２は、ウェハ供給部６００を図１の矢印
Ａの方向に見た図であり、ウェハ供給部６００では、支
柱６０１に２本のガイドレール６０３が取り付けられ、
このガイドレール６０３にガイド６０５を介してテーブ
ル６０７が上下動自在に取り付けられている。支柱６０
１に沿ってボールネジ６０９が取り付けられ、ボールネ
ジ６０９と係合する板６１１がテーブル６０７に接続さ
れている。ボールネジ６０９はベルト６１３を介してモ
ータ６１５によって回転され、この回転によってテーブ
ル６０７が上下動する。テーブル６０７上にウェハキャ
リア（ウェハ搬送容器）６１７が置かれ、ウェハキャリ
ア６１７内の棚には保護シートが貼付されたウェハＷが
複数収容されている。

【００１１】支柱６０１には板６１９が取り付けられ、
板６１９にはウェハキャリア６１７を挟むように、板６
２１，６２３が接続され（図１）、板６２１，６２３に
はウェハ検出センサ（光透過型や光反射型のセンサ等）
６２５，６２７が取り付けられている。ウェハキャリア
６１７を上下に移動させながらセンサ６２５，６２７に
よってウェハＷの段位置、枚数等を検出する。

【００１２】搬送部７００は、多軸の可動アーム７０１
を備え、可動アーム先端には吸着部材７０３が設けら
れ、可動アーム７０１上にウェハＷを載せて吸着部材７
０３によってウェハＷを吸着固定する。可動アーム７０
１は鎖線７０５で示す範囲でウェハＷを搬送可能であ
る。

【００１３】図３は、オリフラアライメント部８００を
図１の矢印Ｂの方向に見た図であり、図４はその平面図
である。オリフラアライメント部８００は、ウェハＷに
形成された基準部としてのオリエンテーションフラット
（オリフラ）部を検出し、このオリフラ部が、後述する
接着テープの接着部に位置しないように、ウェハＷを回
転させて位置決めを行う。

【００１４】ウェハＷは可動アーム７０１によってター
ンテーブル８０１上に截置される。ターンテーブル８０
１は吸着口を備え、ウェハＷを吸着固定する。ターンテ
ーブル８０１はモータ８０３によって回転し、シリンダ
８０５によって上下動する。ターンテーブル８０１の両
側には、センタリング板８０７が取り付けられ、センタ
リング板８０７はシリンダ８０９によってターンテーブ
ル８０１方向へ移動可能である。センタリング板８０７
にはウェハＷの径の大きさに合わせて段部８０７ａが形
成されている。

【００１５】可動アーム７０１によって搬送されたウェ
ハＷはターンテーブル８０１上に截置され、センタリン
グ板８０７はターンテーブル８０１方向に移動してウェ
ハＷのセンタリングを行う。その後ターンテーブル８０
１がウェハＷを吸着して回転する。ウェハＷを挟んで光
透過型や光反射型のセンサ８１１が配置され、センサ８
１１はウェハＷのオリフラ部を検知し、センサ８１１が
オリフラ部を検知した後所定角度だけ回転させてターン
テーブル８０１を制止させる。これにより、オリフラ部
が接着テープの接着部に位置しないようにウェハＷを位
置決めする。すなわち、後述するヒーターカッター部５
００（図１３）によってテープをシートに接着する際に
この接着部上にオリフラ部がこないようにし、接着テー
プが確実にシートに接着されるようにする。

【００１６】ターンテーブル８０１の上方には、ウェハ
Ｗの位置決めを行っているときに次のウェハを吸着保持
しておくためのウェハ保持アーム８１３が配置され、ウ
ェハ保持アーム８１３はウェハＷを吸着保持した後、ウ
ェハＷの大きさに応じた位置（図４の鎖線８１３ａ，８
１３ｂで示す）で待機する。

【００１７】図５は、ＵＶ照射部９００を図１の矢印Ｃ
の方向に見た図であり、その角部９０１にＬ字形の開口
部９０３が形成され、その開口部９０３からウェハＷが
可動アーム７０１によって図１の線７０７に沿って搬入
される。開口部９０３は、Ｌ字形の蓋９０５によって開
閉され、蓋９０５はシリンダ９０７により駆動される。
ウェハＷはテーブル９０９上に吸着される。ＵＶ照射部
９００の中央にはＵＶランプ室９１１が設置され、その
中にＵＶランプ９１３が取り付けられている。ＵＶラン
プ９１３の下方には、シリンダ９１５によって開閉する
シャッタ９１７が配置されている。ＵＶランプ室９１１
の空気は、図示しないが、排気用動力によってダクト９
１９を通って強制排気される。

【００１８】ウェハＷの保護シートの粘着面にＵＶラン
プ９１３のＵＶ光が当たるようにウェハＷがテーブル９
０９に載せられると、シャッタ９１７が開き、テーブル
９０９はウェハＷを吸着手段９０９ａにより吸着保持
し、図５の左方向へ移動してウェハＷの保護シートの粘
着面に紫外線が照射される。照射完了後テーブル９０９
は再び角部９０１へ戻り、吸着手段９０９ａが解除さ
れ、ウェハＷは可動アーム７０１によって搬出される。
搬出されたウェハＷは、図１の線７０９に沿って剥離部
９５０へ搬送される。剥離部９５０の詳細は後述する。

【００１９】なお、ＵＶ硬化型保護シート以外の保護シ
ートを使用する場合は、ＵＶ照射部９００を設けなくて
もよい。

【００２０】次に保護シート剥離装置の全体の動作の流
れを説明する。 （１）ウェハ供給部６００のテーブル６０７上に人手ま
たは自動搬送機によってウェハキャリア６１７を截置す
る。 （２）モータ６１５の駆動によりテーブル６０７が上下
動し、センサ６２５，６２７によってウェハキャリア６
１７内のウェハＷの段位置、枚数等が検出される。 （３）ウェハキャリア６１７の最上段からウェハＷを可
動アーム７０１によって１枚ずつ取り出し、オリフラア
ライメント部８００へ移載する。テーブル６０７が上昇
してウェハキャリア６１７は１段上昇し、可動アーム７
０１は次のウェハＷの取り出しを行う。 （４）オリフラアライメント部８００では、センタリン
グ板８０７によってウェハＷのセンタリングが行われ、
ウェハＷがターンテーブル８０１に吸着回転される。こ
の間に可動アーム７０１は次のウェハＷをウェハキャリ
ア６１７から取り出し、ウェハ保持アーム８１３へ移載
し、待機保持しておく。 （５）ターンテーブル８０１によってウェハＷを吸着保
持しながら回転させ、センサ８１１によってオリフラ部
を検出し、検出後、所定角だけ回転させてウェハＷを吸
着保持しながら位置決めする。 （６）ウェハＷ位置決め後、可動アーム７０１によりウ
ェハＷをＵＶ照射部９００へ移動させる。 （７）ＵＶ照射後、可動アームによってウェハＷをシー
ト剥離部９５０へ搬送し、シート剥離部９５０において
保護シートを剥離する。 （８）剥離後、可動アーム７０１によってウェハＷをシ
ート剥離部９５０から搬出し、ウェハキャリア６１７の
所定段へ収納する。 （９）次のウェハについても同様の処理を行い、ウェハ
キャリア６１７内のすべてのウェハのシート剥離が終了
したら、ウェハキャリアを人手または自動搬送機によっ
て次工程へ搬送する。なお、ＵＶ硬化型保護シート以外
の保護シートを使用する場合は、上述の中で、ＵＶ照射
部９００への移動、ＵＶ照射などは不要となる。

【００２１】以上のようにすれば、ウェハ等の板状部材
を傷つけることなく、保護シート等のシートを板状部材
から剥離できるとともに、ウェハの基準部（オリフラ、
Ｖノッチ等）上に接着テープの接着部が位置しないの
で、保護シートに接着テープを確実に接着することがで
き、保護シートを剥がすことができる。

【００２２】上記例ではウェハ搬送手段として可動アー
ムを用いたが他の搬送手段を利用してもよい。また、各
部の配置も上記例に限定されない。ＵＶ硬化型保護シー
トを使用した場合は、ウェハ供給部、オリフラアライメ
ント部、ＵＶ照射部の順に配置すれば、比較的時間のか
かるＵＶ照射の間にウェハＷの位置決めを実行すれば効
率が良く、ウェハ処理枚数を増やすことができる。

【００２３】次にシート剥離部９５０について詳細に説
明する。図６はシート剥離部９５０の正面図、図７は側
面図、図８は平面図である。シート剥離部９５０は、台
１００と、テーブル部２００と、テープ繰出し部３００
と、剥がしヘッド部４００と、ヒーターカッター部５０
０とから構成されている。

【００２４】はじめに、このシート剥離部９５０の概要
を説明すると、保護シートの貼付されたウェハは、テー
ブル部２００によって搬送される。一方、接着テープＴ
が、テープ繰出し部３００から繰出され、剥がしヘッド
部４００によって引き出される。接着テープＴは、ヒー
ターカッター部５００によって保護シートの端部に熱圧
着され、所定の長さに切断される。次いで、剥がしヘッ
ド部４００は、接着テープＴを保持して引っ張って保護
シートをウェハから引き剥がす。以下、各部の詳細につ
いて説明する。

【００２５】テーブル部２００は、台１００上に設置さ
れた２本のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１
上に截置されたテーブル２０３とを備えている。テーブ
ル２０３は、ガイドレール２０１上を図に示すＸ軸方向
に移動可能である。台１００上には、プーリー２０５，
２０７間にベルト２０９が掛けられ、プーリー２０５は
モーター２１１によって回転する。ベルト２０９は連結
具２１３によってテーブル２０３と接続され、モーター
２１１の回転によってテーブル２０３はガイドレール２
０１上を移動する。

【００２６】テーブル２０３の中央部には、シリンダ２
１５によって昇降する昇降テーブル２１７が配置されて
いる。またテーブル２０３には、昇降テーブル２１７と
同心状に環状の吸着溝２１９がウェハの口径に合わせて
複数形成され、各吸着溝２１９には吸着口が複数形成さ
れ、これら吸着口に負圧が与えられ、ウェハが吸着保持
される。ウェハをテーブル２０３から取り上げるときは
吸着を解除したのちシリンダ２１５を駆動して昇降テー
ブル２１７を上昇させる。

【００２７】接着テープＴとしては、ここではポリエチ
レンテレフタレートフィルムなどの耐熱フィルムに感熱
性接着剤層を設けた感熱性接着テープを使用している
が、基材自体に感熱接着性を有する感熱性接着テープを
用いてもよい。接着テープＴはリール３０１にセットさ
れて、テープ繰出し部３００に送られる。リール３０１
の回転軸には、スプリング３０２（図７）が取り付けら
れ、これにより摩擦板を介してリール３０１の回転軸に
摩擦力が与えられている。

【００２８】テープ繰出し部３００は、図１０に示すよ
うに、互いに圧接するピンチローラー３０３およびテン
ションローラ３０５と、ガイドローラ３０７およびピン
チローラ３０８とを備えている。テープ繰出し部３００
の下端部には、テープ受け板３０９が軸３１０によって
ボールブッシュ３１１に取り付けられている。テープ受
け板３０９は、Ｘ軸方向に移動可能でありスプリング３
１３によって突出方向（図１０の左方向）に常時付勢さ
れている。

【００２９】接着テープＴは、リール３０１から繰り出
されてピンチローラー３０８とガイドローラー３０７と
の間に挟持された後、ガイドローラー３０７で方向転換
され、さらにピンチローラ３０３とテンションローラ３
０５との間に挟持されテープ受け板３０９へ送られ、テ
ープ受け板３０９上でテープ押え板３１５によって押え
られている。テープ押え板３１５の前端部にはカッター
溝３０９ａが形成されている。テープ押え板３１５はシ
リンダ３１７によって駆動される。また、テンションロ
ーラー３０５には、タイミングプーリー３１９からタイ
ミングベルト３２１が掛けられ、タイミングプーリー３
１９はモーター３２３（図８）で駆動される。テンショ
ンローラー３０５は、接着テープＴの繰出し方向と逆方
向に回転されて、接着テープＴに繰出し方向と逆方向の
張力（バックテンション）が掛けられている。

【００３０】テンションローラ３０５の後側（図１０の
右側）にはテープ押えガイド３０６が取り付けられ、テ
ープ受け板３０９上の接着テープＴが後退することを防
止している。

【００３１】テープ繰出し部３００は上下方向（図に示
すＺ軸方向）に移動可能である。すなわち、図７に示す
ように、台部１００には基板１０１が設置され、この基
板１０１上に固定されたシリンダ３２５によってテープ
繰出し部３００がＺ軸方向に移動する。

【００３２】剥がしヘッド部４００は、図７に示すよう
に、剥がしヘッド４０１と、剥がしヘッドを支持するア
ーム４０３とを備え、アーム４０３はガイド４０５にＸ
軸方向に移動自在に取り付けられている。アーム４０３
は、動力伝達機構（図示せず）を介して、ガイド４０５
の端部に設置されたモータ４０７によって駆動される。
ガイド４０５は、台１００上に支持板４０９によって取
り付けられている。

【００３３】剥がしヘッド４０１は、上あご４１１と下
あご４１３とで成るテープチャック４１２を備え、上あ
ご４１１をシリンダ４１５で上下動させることによって
テープチャック４１２を開閉する。剥がしヘッド４０１
には、テープチャック４１２内に接着テープＴが存在す
るかどうか検出するテープ検出センサ４１７（例えば光
電センサ等、図１０参照）が取り付けられている。

【００３４】次にヒーターカッター部５００について説
明する。図９（Ａ）はヒーターカッター部の拡大平面
図、（Ｂ）は側面図である。また図１３にはヒーターカ
ッター部５００の正面図が描かれている。ヒーターブロ
ック５０１内には、棒状のヒーター５０３が埋設され、
ヒーターブロック５０１の下端にはヒーター工具５０５
がネジ５０７で固定されている。ヒーター工具５０５の
下端には図９（Ｂ）に示すような凹凸が形成され局所的
に熱を与えるようになっている。また、ヒーター工具５
０５は取替可能であり、ウェハの大きさやウェハ外周の
曲率に応じて、異なる形状の工具を使用することができ
る。ヒーターブロック５０１は、２本のガイド棒５０６
によってフレーム５０８に上下動（図のＺ軸方向）自在
に取り付けられ、フレーム５０８に固定されたヒーター
上下シリンダ５０９によって昇降する。

【００３５】ヒーターブロック５０１を前後（Ｘ軸方
向）から挟むように２枚の板状のテープ押えガイド５１
１がフレーム５０８に取り付けられている。テープ押え
ガイド５１１は断熱性を有する部材、例えばポリイミド
樹脂やポリエーテルエーテルケトン樹脂などから作成さ
れる。テープ押えガイド５１１の上端はフレーム５０８
に固定され、下端は丸く形成され、フリーになっていて
接着テープＴを押さえるようになっている。一方のテー
プ押えガイド５１１の側面には、カッター移動シリンダ
５１３が取り付けられ（図９（Ａ））、このシリンダ５
１３のピストン先端部にカッター刃５１５が取り付けら
れ、カッター刃５１５はシリンダ５１３の駆動によって
Ｙ軸方向に往復動する。シリンダ５１３の下方には板状
のテープ押え５１７が配置され、テープ押え５１７には
カッター刃５１５が通るためのスリット５１７ａが形成
されている。

【００３６】ヒーターカッター部５００は上下方向（Ｚ
軸方向）に移動可能である。すなわち、基板１０１に取
り付けられたシリンダ５１９（図８）によってヒーター
カッター部５００がＺ軸方向に移動する。

【００３７】次にシート剥離部９５０の動作について、
ステップ１からステップ８に分けて説明する。

【００３８】（ステップ１： ウェハセット）可動アー
ム７０１によってウェハＷをテーブル２０３上にセット
する。ウェハＷは、テーブル２０３上の該当するサイズ
の吸着溝２１９に合わせて截置され、その後バキューム
装置（図示せず）が作動してウェハＷを吸着し、テーブ
ル２０３はテープ繰出し部３００の直下へ移動する（図
１０）。

【００３９】テープ繰出し部３００においては、事前に
接着テープＴがガイドローラ３０７、ピンチローラ３０
３、テンションローラ３０５に順に掛けられ、接着テー
プＴの先端部近くはテープ押え３１５とテープ受け板３
０９によって把持されている。また、テンションローラ
３０５は駆動されており、接着テープＴには適当なバッ
クテンションがかけられている。

【００４０】このとき、剥がしヘッド部４００のテープ
チャック４１２は開いている。そして、剥がしヘッド部
４００はＸ軸方向にテープ繰出し部３００へ向って移動
する。なお、この剥がしヘッド部４００の移動は、上記
テーブル２０３の移動と同時に行ってもよい。

【００４１】（ステップ２： 接着テープ先端部把持）
図１１に示すように、剥がしヘッド部４００はテープ受
け板３０９を押し、これによりテープ受け板３０９が後
退し、接着テープＴの先端はテープチャック４１２の開
口部へ挿入される。このとき接着テープＴはテンション
ローラー３０５とピンチローラー３０３とによって挟持
され、さらにテープ押えガイド３０６によって後方を押
えられているので、テープ受け板３０９のみが後退しテ
ープ受け板３０９につられて接着テープＴが後退するこ
とはなく、接着テープＴの先端は確実にテープチャック
４１２の開口部へ挿入される。接着テープＴ先端がセン
サ４１７で検知されるとテープチャック４１２が閉じ接
着テープＴ先端が把持される。次にテンションローラ３
０５によるバックテンションを解除し、テープ押え３１
５は上昇して接着テープＴから離れる。

【００４２】（ステップ３： 接着テープ引き出し）図
１２に示すように、剥がしヘッド部４００をＸ軸方向に
沿ってテープ繰出し部３００から離れる方へ移動させ、
接着テープＴを引き出す。このときテンションローラ３
０５は作動してバックテンションがかかっている。

【００４３】（ステップ４： テープ熱圧着、切断）図
１３に示すように、ヒーターカッター部５００が下降
し、テープ押えガイド５１１が接着テープＴをウェハＷ
の近くまで押し下げる。接着テープＴはテープ受け板３
０９上でテープ押え５１７，３１５によって押えられ
る。その後、ヒーター上下シリンダ５０９が駆動されて
ヒーター工具５０５が接着テープＴをウェハＷの先端部
の保護シートＦに数秒間押し付け、接着テープＴを保護
シートに熱圧着する。このときテーブル２０３の位置は
ウェハＷの大きさに応じて調整しておく。テーブル２０
３は、接着テープＴの熱圧着までにヒーターカッター部
５００の直下まで移動していればよい。続いて、カッタ
ー刃５１５がＹ軸方向に移動して接着テープＴが所定長
に切断される。

【００４４】（ステップ５： テープ繰出し部、ヒータ
ーカッター部上昇）図１４に示すように、テープ繰出し
部３００、ヒーターカッター部５００が上昇する。図に
示すように、接着テープＴと保護シートＦとの接着点Ｐ
はウェハＷの端部近傍にある。例えば、ウェハＷの端か
らの距離ｄが３mm以内である。

【００４５】（ステップ６： 保護シート剥離）図１５
に示すように、剥がしヘッド４００をモータ４０７によ
り図の右方向へ、テーブル２０３をモータ２１１により
図の左方向へそれぞれ移動させ、剥がしヘッド４００に
よって保護シートＦを保持し引っ張って剥がしていく。
このとき、剥がしヘッド４００による保持箇所はできる
だけ保護シートＦに近くして引っ張り方向が水平になる
ことが望ましい。それにより、ウェハＷにかかるストレ
スを最小にすることができ、また、ウェハＷとテーブル
２０３との吸着もはずれにくくなる。剥がしヘッド４０
０の移動と同時にテーブル２０３も逆方向に移動するの
で、剥がし動作は短時間で終了する。

【００４６】（ステップ７： 保護シート廃棄）図１６
に示すように、剥がしヘッド４００は所定位置まで移動
するとテープチャック４１２を開き、接着テープＴおよ
び保護シートＦを、台１００内に収容した廃棄ボックス
１０３に投下する。このとき上方から高圧エアを吹き付
けるようにしてもよい。

【００４７】（ステップ８： ウェハ取り出し）テーブ
ル２０３は当初の位置に戻ると昇降テーブル２１７を上
昇させ、その後ウェハＷを取り出す。この取り出しは可
動アーム７０１によって行われる。

【００４８】以上のように、接着テープＴを保護シート
Ｆの端部に接着するので、従来のようにプレスローラに
よってウェハを押圧することもなく、ウェハ割れを防止
することができ、ウェハの外径の大型化及びウェハの薄
型化に対応することができる。接着テープとしては、上
述したように、ウェハ端部の保護シートを接着するもの
であればよく、感熱性接着テープが好ましく用いられる
が、端部すなわち小面積で強く接着できるものであれば
他の接着テープも使用できる。

【００４９】なお、接着テープＴとして感熱性接着テー
プを使用すれば、保護シートＦの一部を熱圧着するだけ
なので、従来のようにプレスローラによってウェハを押
圧することもなく、ウェハ割れを防止することができ
る。また、粘着テープを使用する場合、保護シートの表
面に研磨屑、切削屑や水が付着すると、粘着テープとの
密着性が悪くなるため、保護テープを１回の引っ張りで
剥がせないことがあったり、あるいは保護テープの表面
をクリーニングする必要があった。しかし、感熱性接着
テープを使用すれば、表面にごみや水等が付着しても接
着可能である。しかも、感熱性接着テープは、室温状態
で粘着性がないので搬送ローラの表面加工が不要、剥離
シートが不要、というように取り扱いが容易である。そ
して、材料としてもヒートシール材等の安価な材料が使
用でき、さらに接着力が強いので使用量は少なくて済
み、省資源、低コストである。

【００５０】さらに、上記装置のように、保護シートの
端部を接着し、かつ感熱性接着テープを使用すれば、ウ
ェハの端部は一般に電子回路が形成されていないので、
熱圧着してもウェハに損傷を与えることがなく、感熱性
接着テープの使用が容易になるという利点がある。

【００５１】なお、上記装置においては、接着テープを
所定長に切断する切断手段としてカッター刃を設けた
が、これに限定されることなく種々の切断手段を用いる
ことができる。さらに上記装置においてはこの切断手段
を設けなくてもよい。例えば、はじめから適当な長さの
接着テープを使用すれば、切断しなくても、そのような
接着テープをそのまま保護シートＦの端部に接着して引
っ張れば保護シートを剥がすことができる。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェハ等の板状部材を傷つけることなくシートを剥離す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一例を示す保護シート剥離装置の平面
図。

【図２】ウェハ供給部を図１の矢印Ａの方向に見た図。

【図３】オリフラアライメント部を図１の矢印Ｂの方向
に見た図。

【図４】オリフラアライメント部の平面図。

【図５】ＵＶ照射部を図１の矢印Ｃの方向に見た図。

【図６】シート剥離部の正面図。

【図７】シート剥離部の側面図。

【図８】シート剥離部の平面図。

【図９】ヒーターカッター部の平面図及び側面図。

【図１０】シート剥離部の動作を説明する図。

【図１１】シート剥離部の動作を説明する図。

【図１２】シート剥離部の動作を説明する図。

【図１３】シート剥離部の動作を説明する図。

【図１４】シート剥離部の動作を説明する図。

【図１５】シート剥離部の動作を説明する図。

【図１６】シート剥離部の動作を説明する図。

【符号の説明】

１００ 台部 ２００ テーブル部 ３００ テープ繰出し部 ４００ 剥がしヘッド部 ５００ ヒーターカッター部 ５０５ ヒーター工具 ５１５ カッター刃 ６００ ウェハ供給部 ７００ ウェハ搬送部 ８００ オリフラアライメント部 ９００ ＵＶ照射部 ９５０ シート剥離部 Ｗ 半導体ウェハ Ｆ 保護シート Ｔ 接着テープ

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/301 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｐ (72)発明者 小林 賢治 埼玉県大宮市御蔵125−６ (72)発明者 栗田 剛 埼玉県南埼玉郡白岡町白岡1140−４

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状部材に形成された基準部の位置を検
   出する検出手段と、前記基準部が接着テープの接着部に
   位置しないように前記板状部材を位置決めする位置決め
   手段と、前記板状部材に貼付されたシートの端部に前記
   接着テープを接着する接着手段と、前記接着テープを引
   っ張って前記シートを剥離する剥離手段とを備えたこと
   を特徴とするシート剥離装置。
2. 【請求項２】 前記シートとして紫外線硬化型シートを
   使用し、前記シートを剥離する前に前記シートに紫外線
   を照射する請求項１に記載のシート剥離装置。
3. 【請求項３】 板状部材に貼付されたシートを接着テー
   プを用いて剥離するシート剥離方法において、前記板状
   部材に形成された基準部の位置を検出し、前記接着テー
   プを前記基準部以外の前記シートの端部に接着し、前記
   接着テープを引っ張って前記シートを剥離することを特
   徴とするシート剥離方法。
4. 【請求項４】 前記シートとして紫外線硬化型シートを
   使用し、前記シートを剥離する前に前記シートに紫外線
   を照射する請求項３に記載のシート剥離方法。